JPH0464423B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 磨いた断面を顕微鏡によつて調べることは印刷
回路板生産の最も包括的な手段を提供する。選ば
れた断面の顕微鏡検査によつて、印刷回路板の品
質を生産の種々の決定的段階で決めることができ
るようになる。このようにして工程の早い段階に
おいて問題を発見することにより欠陥材料による
極端な追加コストが避けられることができ、また
より大きい歩留りが得られる。

印刷回路板の多量の分析を行なうことが必要で
あることは大量生産工場で完全な品質管理を行う
ことへの常に増大する要求の結果である。その１
つの理由は印刷回路板のテストに対する厳しい要
求事項を明記する軍の仕様と関係があり、１つの
要求事項は、最小３個の貫通メツキした孔を含む
１個のクーポン即ち断面が各メツキしたパネルか
ら作製されねばならないということである。

(ロ) 従来の技術 過去において顕微鏡検査のために印刷回路板の
磨いた断面を作製するため手動の作製技術を使う
ことが一般であつた。そのような手の技術は１回
に１個の断面を磨くのに１個の断面が回転する研
磨材を付けたテーブルに手で圧しつけて保持され
る手動の磨き作業を含む。磨いた小さい断面の増
大する要求は多量作業技術が使われ、それによつ
て多くのそのような断面が磨き作業の１回の続い
た作業に同時に研磨されることを要求する。しか
しながらそのような多くの断面を単一の磨き作業
で多量に磨くことに対する要求はそのような磨き
作業に極端な精度が要求されるため挑戦的であ
る。

(ハ) 発明が解決しようとする問題 そのようなサンプル作製での１つの重要な要求
事項は磨きの最終的面はすべてのテスト孔の中心
の軸線を通らねばならぬということである。換言
すれば、各クーポン即ち断面は打抜きまたは他の
方法によつてメツキした印刷回路板パネルから取
つた部分を含み、またそのような試料の部分は顕
微鏡検査のため磨かれねばならない１個の断面端
を含む。上に述べたある軍の仕様に従つて、顕微
鏡検査を受けるそのような試料クーポンの磨いた
断面端は最小３個の貫通メツキした孔を含まねば
ならない。

断面端を磨いたあと、最終の磨かれた表面が中
心線を通るかまたはすべての３個の貫通メツキし
た孔の中心線に近い面を画定することが要求され
る。そのうえ、単一の多量磨き作業において50個
またはそれ以上の試料クーポンが同時に磨かれる
ときは、これらクーポンの各々の最終的に磨いた
断面はその試料クーポンの中の孔の各々の中心軸
線に近いことが重要である。

よつて、前記の精度上の要求事項を満足させる
一方同時に磨いた断面の多量生産を行うことに特
別の問題がある。このように、もし与えられたク
ーポン試料の上の磨いた表面がクーポン内の貫通
穴の各々の中心軸線にないならば、観察される層
は歪みまた測定または解釈上の誤りが顕微鏡検査
に起きるであろう。

(ニ) 発明が解決しようとする問題点 よつて磨いた断面が各クーポン試料内の複数個
の貫通孔の中心軸線に近い印刷回路板の受け入れ
ることのできる程度に磨いた多量の断面を提供す
る方法と装置を提供することは本発明の１つの目
的である。

良好な金属組織学的試料作製作業であることと
共に最小数の作製手順を使つてそのような断面を
作製する方法と装置を与えることは我々の発明の
もう１つの目的である。

さらに他の目的は、比較的に熟練していない人
によつて作業が行われるときにおいてさえ良好な
結果を達成する方法によつてそのような断面を作
製する方法と装置を与えることである。

本発明は上記の目的及び他の目的並びに本発明
の利点は添附図面を参照した好適な実施例の下記
の記述から明らかであろう。

さて本技術に熟練した人々に我々の発明を行い
また使用することに親しみを与えるため、我々は
添附図面を参照して本発明の好適な実施例を記載
する。

(ホ) 実施例 第１図は本発明と共に使用するのに適した型の
研磨機械の周知の形を示し、この研磨機械は回転
するテーブル１２が取り付けられる主ハウジング
１０とエヤシリンダ１６が垂れ下つている上方の
ハウジング１４を示す。駆動軸１８はエヤシリン
ダ１６の底部から突出し、この軸１８は電気モー
タ（図示しない））によつて回転させられまたエ
ヤシリンダ１６によつて垂直方向に移動すること
ができる。チヤツク２０はそれに固定したサンプ
ル保持装置２２を有し、またチヤツクは駆動軸１
８に取り外し可能に取り付けられている。サンプ
ル保持装置２２は円形に配置した複数個の孔２４
を含み、また各孔は磨かれる取り付けた試料を保
持するのに適している。

磨かれる各試料は通常取り扱い易くするためプ
ラスチツクのサンプル試料台の中に取り付けら
れ、そのような取り付けは磨く試料表面がプラス
チツク試料台の１つの表面と略々同じ水平面内に
ある。プラスチツク試料台は例えば調整可能なね
じ装置２６によつて選ばれた開口２４の中に保持
され、また試料台はサンプル保持装置の中で磨く
表面が試料保持装置の底面の下方に決まつた量突
出するような方向にあり、よつて試料表面は研磨
材料が塗られているテーブル１２に対して保持さ
れることができる。

上記のようにして、複数個の取り付けた試料は
サンプル保持装置２２のそれぞれの開口２４内に
固定され、チヤツク２０はサンプル保持装置に確
保され、取り付けたサンプル保持装置を有するチ
ヤツクは駆動軸１８に確保され、研磨ペーパ円板
を上に付けたテーブル１２は選ばれた速度で回転
され、サンプル保持装置２２は所望の速度で選ば
れた方向に回転され、また圧力シリンダ１６はサ
ンプル保持装置２２を下方に移動するよう作動し
て磨かれる試料を所望の圧力で回転する研磨材を
着けたテーブル１２に圧しつけ、それによつてク
ーポン試料をして磨かれるようにする。サンプル
保持装置２２は取り付けた試料を固定するためい
くつかの開口２４を含むので、多数の試料が単一
の作業中に磨かれることができる。

本発明は上記のタイプの研磨機械を使て複数個
の印刷回路板断面の大量研磨を許す方法と装置に
関する。そのような装置はクーポンと呼ばれる印
刷回路板パネルから採取した部分を取り付ける装
置及びあとで行なう取り扱いと磨きを容易にする
プラスチツク製試料台の中にクーポンを取り付け
る装置を含む。周知の方法により我々はアセンブ
リとしての複数個のクーポンをそれらを一緒にピ
ンで通すことによつて取りつけることを好み、ま
たそのあとピンで通したクーポン・アセンブリは
本発明に従つて作られる装置を使つてプラスチツ
ク試料台の中に鋳込まれる。

第３図は一対のインデツクス・ピン３２と３４
によつて一緒にピンを通された複数個のクーポン
を示す。各クーポン３０はテストの目的のためメ
ツキした印刷回路板パネルから採取した小さい部
分を含んでいる。クーポンは標準I.P.C.テスト・
パターンから取られ、それらは印刷回路板から剪
断または抜打ち作業によつて採取される。第２図
に示すような好適なクーポンの形は最終的には標
準仕様によつて決められ、ここに示すクーポンは
一般に形は矩形であり、上述の通り、磨かれ検査
されるべき断面または端部において少なくとも３
個の貫通メツキをした孔を含む。

我々は、共通の磨き作業で各々の上に与えられ
る断面を磨くため共通の試料台の中にクーポンが
鋳込まれるよう前以て決められた関係で複数個の
クーポンを組み立てるのに前記のピン基準の方法
が最も信頼すべきものと考える。そのようなピン
を基準とする技術は、磨かれ検査される要求され
た断面の面、即ち各クーポン内の少なくとも３個
のテスト孔の中心軸を通る平面に対しての正確な
基準点を確立することを許す。

第３図に示すようなピンを通したクーポン・ア
センブリを作るためには各クーポンに１対の孔を
明ける必要がある。その穴は寸法的に安定したピ
ンを受け入れるために、この技術では周知のよう
に、特定の寸法であり特定の位置になければなら
ない。本発明によつて、インデツクス・ピン３２
と３４は処分することのできる精密ピンであるの
で、ピンを通したアセンブリが取り付け樹脂のブ
ロツク中に鋳込まれたあと、再使用のためピンを
取り除く必要はない。

処分することのできるピンのそのような使用は
型を樹脂材料で満たすことを許すので、樹脂はイ
ンデツクス・ピンを囲み、これは樹脂材料が型に
注入される高さより上方のある位置にピンが置か
れる通常のやり方と対照的である。クーポンを通
すピンの挿入を容易にするため固定具を利用する
ことが好ましく、またクーポン３０をインデツク
ス・ピン３２と３４の上で間隔をとつて各クーポ
ンの間に型込め作業中孔の中に樹脂材料を流すこ
とを許すに充分な空間を与えることが望ましい。

モールド・アセンブリの３つの主なコンポーネ
ントを図示する第４図、第５図及び第６図に参照
して、第４図は円形に配置した複数個の穴を有す
る円板の形をした金属型ベース３６を含む型基底
メンバを示す。この各孔は孔の中に取り外し可能
に個々のシリコン・ラバーの型底３８を有する。
金属型ベース３６には３個の間隔をとつた脚４０
が設けられるので、プレートは脚の上に支持され
カウンタ台表面または他の支持表面よりいくらか
上方に間隔をとつて置かれることができる。脚４
０の各々の上方に上方に突出するねじを切つたシ
ヤフト４２があり、その上にはクランプ・ワツシ
ヤ４４または類似のものが以下に記載する目的の
ために取りつけられている。

第５図は複数個の孔２４を有するサンプル保持
装置を示し、その各々は、第３図のピンを通した
クーポン・アセンブリの１つが鋳込みの目的のた
めに位置させられる型コンパートメントの一部を
画定する。型部材の組み立てのとき、サンプル保
持装置２２は型ベース・プレート３６の頂上に置
かれる。サンプル保持装置２２の外径は、型ベー
ス・プレート３６から突出するねじを切つたシヤ
フト４２によつて画定される円の直径よりも小さ
いので、保持装置２２は３個の柱４２内の型ベー
ス・プレート３６の頂上に置かれることができ
る。

第６図を参照して、この図は円形に配置されサ
ンプル保持装置２２内の孔２４の数と位置及び型
ベース・プレート３６内の孔に符合する複数個の
孔４８を有する型頂上プレート４６を示す。型頂
上プレート４６は金属で作られ、また型ベース・
プレート３６がそうであるようにサンプル保持装
置２２より薄いが、サンプル保持装置２２の直径
に略々等しい外径を有する。孔４８の各々はこの
孔の中に取り外し可能に取り付けられた個々のシ
リコン・ラバー注入唇部５０を有し符号する型室
への入口を画定する。型部材が組み立てられる
と、以下により詳細に記載するように、型頂上プ
レート４６はサンプル保持装置２２の頂上の上に
直接取り付けられる。

鋳込み作業を実行するためにサンプル保持装置
２２はサンプル保持装置内の孔２４を型ベース・
プレート３６内に取り付けられる個々のゴムの型
底３８に芯出しした状態で、型ベース・プレート
３６の頂上に取り付けられる。このようにして各
孔２４は型室を形成し、また一般に平坦な頂上面
を有する各ゴム製型底３８は型室に対する基底を
形成する。

第７図に示すように、サンプル保持装置２２が
型ベース・プレート３６の頂上に置かれたあと、
ピンを通したクーポン・アセンブリの１つは磨か
れる断面のクーポン表面が上向きになるように型
室２４の各々の中に置かれる。さらに第７図か
ら、そのようなクーポン表面がサンプル保持装置
２２の平面の頂上表面より上方に突出することが
分るが、これはこのあとの磨く作業に対して重要
なことである。図示の実施例において、サンプル
保持装置２２は９個の空隙を有し、よつて９個の
ピンを通したクーポン・アセンブリは各鋳込み作
業に対してサンプル保持装置２２の中に取り付け
られる。

頂上プレート開口４８をサンプル保持装置内の
孔または空隙２４に芯出しして、型頂上プレート
４６がサンプル保持装置２２の頂上に置かれる型
の組み立ての次の手段が第８図に示される。よつ
てゴムの注入唇部５０は型の空隙の各々に対して
入口部を形成することが分る。そのうえ注入唇部
５０は充分高いので樹脂の型材料がほとんど種々
のピンを通したクーポン３０を蔽うことを許し、
樹脂の高さが磨かれる断面と略々同じ高さである
ことが好ましい。第８図に示されるように、クラ
ンプ・ワツシヤ４４はモールドの頂上プレートを
所定の位置に確保しそれによつてモールド・コン
ポーネントを積み重ねたアセンブリに保持するた
めにねじを切つた棒４２のうえで調整される。

一度モールド・アセンブリが第８図に示すよう
に確保されると、鋳込まれる試料取付け樹脂は型
空隙の各々の中に注入される。本発明によれば、
樹脂材料は磨くクーポン断面表面と略々同じ高さ
であることが好適である。上記の方法は、通常は
磨くクーポン表面がプラスチツクの試料台から限
られた程度突出することは許されるが、あとで行
なう研磨と磨き作業のあいだ取り付けたクーポン
に最も適した支持を与えるであろう。

適当な樹脂はイリノイ州レークブラフのビユー
ラ社のサンプル・グイツク（Sample−Kwick）
というアクリル系樹脂で、この樹脂は５分から７
分で硬化しまた工業界で周知の樹脂である。第９
図は樹脂取り付け材料の硬化中ピンを通したクー
ポン・アセンブリの各々の頂上に錘５２を置く選
択できる手段を示す。

本発明によつてピンを通したクーポン・アセン
ブリが、サンプル保持装置２２の中に直接鋳込ま
れ、それを別の鋳込み作業によつて取り付け、次
いでそのあとの磨く作業のためプラスチツクの試
料台をサンプル保持装置の中に位置決めするのと
は対照的であることを理解することが重要であ
る。よつて、ピンを通つたクーポン・アセンブリ
をそれがサンプル保持装置２２の中にあるあい
だ、直接そのプラスチツク試料台の中に鋳込むこ
とによつて、ピンを通したクーポンの共通のサン
プル保持装置２２内での互いに対しての位置決め
をすることに関して大きな精度が得られ、また取
り付けたピンを通したアセンブリを取り付け装置
から取り外す工程と次いでサンプル保持装置内で
の取り付け装置の位置決めをすることとは全く必
要がない。そのうえ、処分することのできるピン
３２と３４を使うことによつて、鋳造作業のあと
そのようなピンを取り外す時間のかかる工程もま
た必要でなくなる。

樹脂の取り付け材料が硬化したあと、頂上プレ
ート４６は第１０図に示すように取り除かれ、そ
のあとサンプル保持装置２２が取り除かれ、そこ
にはサンプル保持装置内の９個の孔の各々の中に
ある円筒形のプラスチツクの試料台があり、また
各試料台は、磨かれ検査されるクーポンの断面表
面が試料台の表面と同じ面になるようにまたはそ
こから限られた高さだけ突出するように、第１１
図に示すようにピンを通したクーポンアセンブリ
を封じ込める。第１１図はプラスチツクの試料台
の表面がサンプル保持装置２２の底面から突出す
るところを示し、また以上に説明したように、磨
かれるクーポンの断面についても同じことが成り
立つ。

サンプル保持装置２２は複数個のダイヤモンド
形止め具５４を含み、止め具５４は、調整部品５
６によつてセツトされる前以て決められた量だけ
第１１図に示されるように突出する。ダイヤモン
ド形止め具５４はあとの研磨作業で封じ込められ
たクーポン３０の断面表面から取り除かれる材料
の量を制御する。クーポン３０が鋳込まれるサン
プル保持装置２２はインデツクス・ピン３２と３
４及びクーポン３０を貫くテスト孔の間に前以て
決められている重要な寸法上の関係を維持する精
密工具である。ダイヤモンド形上め具５４は磨き
の正確な面を決めるのに重要であり、またそのよ
うな止め具はねじ５６を調整するためねじ回しま
たは類似の工具を使つて前以てセツトされてい
る。二面ゲージ・プレートがダイヤモンド形止め
具をセツトするのに使用され、１万の面は粗い研
磨作業用の止め具をセツトするのに使われ第２の
面は細かい研磨作業用止め具をセツトするのに使
われる。

次の工程はサンプル保持装置２２にチヤツク２
０を取り付けまたチヤツクと取り付けたサンプル
保持装置を研磨機械の上に第１図に関連して以上
に記載したように取り付けることである。磨き作
業の目的のためテーブル１２は、機械的装置によ
つてまたは圧力に敏感である接着剤を裏に塗つた
研磨ペーパを使うことによつて、表面に取り付け
た研磨ペーパ円板を有する。本発明に使用するの
によく適している研磨機械はイリノイ州、レーク
ブラフのビユーラー社によつて販売されており、
エコメツト／ユーロメツト１サンプル作製機械
として知られている。

そのような機械のシリンダ１６は空気動力によ
つて作動され充分よく制御されているので、均一
な、前以て決められまた繰り返される圧力を、取
り付けたサンプルまたはクーポン磨き作業中研磨
剤を付けた板１２に対して圧しつけられるとき、
かけることが可能である。ここに記載の好適な実
施例に従つて、クーポン３０は樹脂の取り付け材
料によつてほとんど蔽われ、それによつて荷重を
受けるクーポンを支持する。

好適な研磨と磨きの連続作業に従つて、ダイヤ
モンド形止め具５４は粗い位置にセツトされ、ま
た研磨は板１２にかけられる120番目のシリコ
ン・カーバイド研磨ペーパの上に止め具が接触す
るまで略々２分間行なわれる。サンプル保持装置
２２はそこで洗われ、また止め具５４は弱細かい
目のセツト位置に再びセツトされ、そのあと研磨
は、止め具が600番目のシリコン・カーバイト研
磨ペーパに接触するまで、約30秒間行なわれる。
止め具５４はそこでサンプル保持装置２２の表面
と同一平面に再びセツトされ、サンプル保持装置
はそこで超音波透明クリーナ内で最大20秒から30
秒のあいだ洗われる。

そのあとは、磨き作業はビユーラー社でテツク
スメツトという名前で売られているようなけばの
ない磨き布を使つて行う。この布は３ミクロンの
ダイヤモンド粉のペーストと増量剤を付けたもの
で、磨き作業は約30秒から40秒行なわれる。サン
プル保持装置にもう１回超音波洗滌を済なつたあ
と、最終磨き作業がミクロクロスという名前でビ
ユーラー社によつて売られているけばだてた磨き
布を使つて行なう。この布には0.05ミクロンのア
ルミナ粉が付いている。特別の品質を得るために
はマスターメツトという名前でビユーラー社によ
つて売られているコロイド状シリカ溶液を加えて
もよい。試料を中に付けたサンプル保持装置２２
はそこで濯がれ、乾燥され、最終的に第１２図に
示すように顕微鏡で検査される。

断面の表面をさらに磨く必要があるときは、サ
ンプル保持装置２２から取り付けたクーポンを取
り外すまえにクーポン３０の磨いた断面の表面の
おおざつぱな検査を行なうことが好ましい。その
ような検査が受け入れられる磨きの結果を示すな
らば、個々の取り付けたサンプルは、そこで簡単
にたたき出す方法でサンプル保持装置２２から取
り外される。例えば、ガイド内で滑動するパンチ
具がサンプル保持装置の頂上部の上にあてがわれ
個々のプラスチツクの試料台をたたいてゆるめ、
磨いた断面の顕微鏡検査の目的で手で取り外され
ることができる。第１３図は磨き作業を行なつた
あとの取り付けたクーポン・アセンブリを上から
見た平面図で、処分されるピン３２と３４が破線
によつて示されている。第１４図は磨き作業のあ
と取り付けたクーポン・アセンブリの正面図であ
り、図面から磨いた断面の表面は検査するテスト
孔を含む３個の貫通メツキをした孔の軸線を略々
通つていることが分る。研磨作業中磨き取つた部
分は破線によつて示される。

本発明の方法と装置を使用することは多量の受
け入れ可能に磨かれた断面を得ることを達成し、
それらの断面では多くのクーポンの各々の磨かれ
た断面は各クーポンの最小３つの貫通孔の中央軸
線上にあるかまたはプラス・マイナス0.125mm
（0.005インチ）にある。上記のことは各試料台が
３個から６個のクーポンをピンで通したアセンブ
リを含むとき、及びサンプル保持装置２２が単一
の研磨作業で同時に磨くため８個から15個のピン
で通したクーポン・アセンブリを取り付けている
ときにも適用する。

【図面の簡単な説明】

第１図は単一の磨き作業において多数の試料を
磨く本発明に関して使用できる高性能琢機械の斜
視図；第２図はメツキした印刷回路板パネルから
打ち抜かれたまたは剪断された試料クーポンを示
す平面図；第３図は複数個のクーポンの各々の断
面の同時磨きを許すため樹脂試料台の中に鋳込ま
れるであろうクーポン・アセンブリを形成する一
対のインデツクス・ピンに取り付けた複数個のク
ーポンを示す斜視図；第４図は中に形成され円形
に配置される複数個の孔を有する金属製型基底メ
ンバ及び孔の各々の中に取り外し可能に取り付け
た個々のゴム製型基底メンバを示す透視図；第５
図は第３図に示すタイプのクーポンのそれぞれの
ピンで通したアセンブリを含むため円形に配置さ
れた複数個の孔を有する金属プレートを含むサン
プル保持装置の斜視図；第６図は型基底メンバと
サンプル保持装置内の類似の孔に符合するよう円
形に配置された複数個の孔を有する型頂上メンバ
の斜視図で、そこには型材料の注入を容易にする
ため孔の各々内に取り外し可能に取り付けた個々
の注入唇部がある図；第７図は第４図の型基底メ
ンバの頂上に取り付けた第５図のサンプル保持装
置を示し、また第３図に示したタイプのピンを通
したクーポン・アセンブリをモールド作業の準備
のときサンプル保持装置内のそれぞれの孔の中に
作業者が入れるところを示す斜視図；第８図は完
成した型アセンブリを与えるため第７図のアセン
ブリの頂上に取り付けた第６図の型頂上メンバを
示す斜視図；第９図は試料取り付け樹脂が型開口
の各々の中に注入されたあとピンを通したクーポ
ン・アセンブリの各々の頂上に置かれることのあ
る錘を示す第８図の型アセンブリの透視図；第１
０図は型頂上メンバが取り外されたとき、型作り
作業のあとの型アセンブリの図；第１１図は型作
り作業のあとのサンプル保持装置の底部の斜視図
で、クーポン・アセンブリの取り扱いを容易にす
るため透明の樹脂材料で作つた個々の円筒形型の
中に鋳込んだ９個のピンを通したクーポン・アセ
ンブリの各々を示す図；第１２図はサンプル保持
装置から個々のクーポン・アセンブリを取り外す
まえに取り付けたクーポン・アセンブリの予備的
検査を行つている作業者を示す図；第１３図はサ
ンプル保持装置より取り外されたあとのクーポ
ン・アセンブリの１つの拡大した上方から見た平
面図；第１４図は第１３図に示す取り付けたクー
ポン・アセンブリの拡大した正面図で、磨き作業
中取り除かれる部分は点線によつて示される図で
ある。 図において：−１２…研磨機回転テーブル、２
２…サンプル保持装置、２４…孔、３０…クーポ
ン、３２，３４…インデツクス・ピン、３６…金
属型ベース（基底）メンバ（プレート）、３８…
型底、４６…型頂上プレート、５０…注入唇部、
５２…錘、５４…ダイヤモンド止め具。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 試料をプラスチツク製試料台に取り付ける装
   置と研磨機械によつて磨くため取り付けた試料を
   固定する装置とを含む顕微鏡検査用試料を作製す
   る装置において、貫通して延びる複数個の開口を
   有するプレート装置を含むサンプル保持装置と、 型基底メンバと、 前記サンプル保持装置の開口の位置に符合する
   複数個の貫通開口をその中に有するプレート装置
   を含む型頂上メンバの組み合わせを有し、 前記型基底メンバ、サンプル保持装置及び型頂
   上メンバは、前記サンプル保持装置を基底と頂上
   の間に位置させられ、また前記頂上とサンプル保
   持装置内の開口は個々の型空隙を形成するよう芯
   出しされた状態にして、積み重ねたアセンブリに
   組み合わされることに適応させられることを特徴
   とする顕微鏡検査用試料作製装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記型頂上メンバ、サンプル保持装置及び型
   基底メンバを積み重ねた型アセンブリとして保持
   する締め付け装置を含むことを特徴とする顕微鏡
   検査用試料作製装置。 ３ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記型基底メンバは前記型基底メンバの頂上
   に取り外し可能に取り付けられた個々の型底の複
   数個を含むことを特徴とする顕微鏡検査用試料作
   製装置。 ４ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記頂上メンバは前記頂上メンバの前記開口
   内に取り外し可能に取り付けられた個々の鋳込み
   唇部の複数個を含むことを特徴とする顕微鏡検査
   用試料作製装置。 ５ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記型基底メンバは前記基底メンバの頂上に
   取り外し可能に取り付けた個々の型底の複数個を
   含み、前記型頂上メンバは前記型頂上メンバ内の
   前記開口内に取り外し可能に取り付けた個々の鋳
   込み唇部の複数個を含むことを特徴とする顕微鏡
   検査用試料作製装置。 ６ 特許請求の範囲第５項に記載の装置におい
   て、前記個々の型底及び前記個々の鋳込み唇部が
   ゴムで作られていること特徴とする顕微鏡検査用
   試料作製装置。 ７ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記基底メンバは前記サンプル保持装置の開
   口の位置に符合する複数個の開口を有することを
   特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。 ８ 特許請求の範囲第７項に記載の装置におい
   て、前記型基底メンバは前記型基底メンバ内前記
   開口内に取り外し可能に取り付けられた個々の型
   底の複数個を含むことを特徴とする顕微鏡検査用
   試料作製装置。 ９ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記型頂上メンバと前記サンプル保持装置は
   一般に円板の形をし直径が略々同じであり、前記
   型基底メンバは一般に円板の形をし前記型頂上メ
   ンバ及び前記サンプル保持装置より大きい直径を
   有することを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装
   置。 １０ 試料をプラスチツク製試料台に取り付ける
   装置と研磨機械によつて磨くため取り付けた試料
   を固定する装置を含む顕微鏡用試料を作製する装
   置において、貫通して延びる複数個の開口を有す
   るプレート装置を含むサンプル保持装置、前記サ
   ンプル保持装置の開口の位置に符合する複数個の
   開口をその中に有する型基底メンバ、前記型基底
   メンバ内の前記開口内に取外し可能に取りつけら
   れた複数個の型底、前記サンプル保持装置の開口
   の位置に符合する貫通開口の複数個を有するプレ
   ート装置を含む型頂上メンバ、前記型頂上メンバ
   内の前記開口の中に取り外し可能に取り付けた
   個々の鋳込み唇部の複数個を有し、前記型基底メ
   ンバ、サンプル保持装置及び型頂上メンバは前記
   サンプル保持装置が前記型基底メンバと型頂上メ
   ンバとの間に位置させられまた前記頂上メンバ、
   サンプル保持装置及び型基底メンバ内の開口が
   個々の型空隙を形成するよう芯出しされた状態で
   積み重ねたアセンブリに組み合わされることに適
   応し、各個々の型空隙は鋳込み唇部、前記サンプ
   ル支持装置内の開口及び個々の型底によつて画定
   されることを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装
   置。 １１ 特許請求の範囲第１０項に記載の装置にお
   いて、前記取り外し可能な鋳込み唇部と前記取り
   外し可能な型底はゴムで作られることを特徴とす
   る顕微鏡検査用試料作製装置。 １２ 特許請求の範囲第１０項に記載の装置にお
   いて、前記型頂上メンバ、サンプル保持装置及び
   型基底メンバを積み重ね型アセンブリに保持する
   ための締め付け装置を含むことを特徴とする顕微
   鏡検査用試料作製装置。 １３ 印刷回路板パネルから採取したクーポンの
   複数個を該クーポンを磨く目的のため取り付ける
   方法において、該方法はピンを通したクーポン・
   アセンブリを形成するため磨く断面表面に反対の
   側に各クーポンを貫通して延びる処分することの
   できる一対のピンを使用して間隔をとつてクーポ
   ンの複数個を一緒にピンで通すこと、該ピンで通
   したアセンブリを磨く断面表面を上方に向けて型
   の中に置くこと、及びプラスチツク製試料台内に
   取り付けたピンで通したアセンブリを作るため型
   の中に鋳造材料を加えることの組み合わせを含む
   ことを特徴とする印刷回路板より採取したクーポ
   ンの複数個を取り付ける方法。 １４ 特許請求の範囲第１３項に記載の方法にお
   いて、鋳造材料が磨かれる断面表面の略々水準の
   ところまで加えられることを特徴とする印刷回路
   板パネルから採取したクーポンの複数個を取り付
   ける方法。 １５ 特許請求の範囲第１３項に記載の方法にお
   いて、ピンを通したアセンブリの複数個がサンプ
   ル保持装置の中のそれぞれの穴の中に置かれ、鋳
   造材料はプラスチツク試料台の中の各ピンを通し
   たアセンブリを前記サンプル保持装置の中に直接
   鋳込むため前記開口の中に加えられ、また前記サ
   ンプル保持装置は逆さにされて前記断面表面の同
   時研磨用の研磨機械に取り付けられることを特徴
   とする印刷回路板パネルから採取したクーポンの
   複数個を取り付ける方法。 １６ 特許請求の範囲第１５項に記載の方法にお
   いて、前記サンプル保持装置は少なくとも３個の
   調整可能な止め具を含み、また該止め具は前記断
   面表面を磨くあいだ前記断面表面から取り除かれ
   る材料の量を制御するよう調整されることを特徴
   とする印刷回路板パネルから採取したクーポンの
   複数個を取り付ける方法。