JPH0464788A - 恒温バルブ - Google Patents
恒温バルブInfo
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- JPH0464788A JPH0464788A JP17354990A JP17354990A JPH0464788A JP H0464788 A JPH0464788 A JP H0464788A JP 17354990 A JP17354990 A JP 17354990A JP 17354990 A JP17354990 A JP 17354990A JP H0464788 A JPH0464788 A JP H0464788A
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- JP
- Japan
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- valve
- heater
- valve body
- heat
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、例えば、半導体を製造するときに用いられ
るガスの流量調整をする恒温バルブに関する。
るガスの流量調整をする恒温バルブに関する。
発明が解決しようとする課題
従来、半導体の製造には、シラン系ガスが用いられてい
たが、テトラエトキシシラン（ＴＥＱＳ）等の有機材料
に置き代わりつつある。
たが、テトラエトキシシラン（ＴＥＱＳ）等の有機材料
に置き代わりつつある。
上記有機材料は、室温では液体であるため、利用時には
、加熱してガス化される。ガス化された有機材料が液化
しないようにするために有機材料を一定の温度に保つ必
要があり、そのため、有機材料の配管に用いられるバル
ブも一定の温度に保つことが必要である。バルブを一定
温度に保つには、バルブを加熱する必要があるが、一般
に、バルブの表面には、大きな凹凸があるため、バルブ
を効率良く加熱することは、なかなか困難であるという
問題点があった。
、加熱してガス化される。ガス化された有機材料が液化
しないようにするために有機材料を一定の温度に保つ必
要があり、そのため、有機材料の配管に用いられるバル
ブも一定の温度に保つことが必要である。バルブを一定
温度に保つには、バルブを加熱する必要があるが、一般
に、バルブの表面には、大きな凹凸があるため、バルブ
を効率良く加熱することは、なかなか困難であるという
問題点があった。
この発明の目的は、上記問題点を解決した恒温バルブを
提供することにある。
提供することにある。
課題を解決するための手段
この発明による恒温バルブは、バルブ本体と、バルブ本
体の周囲を取囲んでいる筒状ヒータと、バルブ本体とヒ
ータ間の隙間に詰められている熱伝導材とよりなるもの
である。
体の周囲を取囲んでいる筒状ヒータと、バルブ本体とヒ
ータ間の隙間に詰められている熱伝導材とよりなるもの
である。
作 用
この発明による恒温バルブには、バルブ本体と、バルブ
本体の周囲を取囲んでいる筒状ヒータと、バルブ本体と
ヒータ間の隙間に詰められている熱伝導材とが備わって
いるから、バルブ本体表面の凹凸の有無にかかわりなく
、ヒータの熱は熱伝導材によってバルブ本体に伝えられ
る。
本体の周囲を取囲んでいる筒状ヒータと、バルブ本体と
ヒータ間の隙間に詰められている熱伝導材とが備わって
いるから、バルブ本体表面の凹凸の有無にかかわりなく
、ヒータの熱は熱伝導材によってバルブ本体に伝えられ
る。
実 施 例
この発明の実施例を図面を参照してつぎに説明する。
恒温バルブは、第１図および第２図に示すように、バル
ブ本体１１と、バルブ本体１１の周囲を取囲んでいる筒
状ヒータ１２と、バルブ本体１１とヒータＩ２間の隙間
に詰められている熱伝導材Ｉ３とよりなる。
ブ本体１１と、バルブ本体１１の周囲を取囲んでいる筒
状ヒータ１２と、バルブ本体１１とヒータＩ２間の隙間
に詰められている熱伝導材Ｉ３とよりなる。
ヒータ１２には、円筒状断熱材１４を介してステンレス
製カバー１５が被覆されている。
製カバー１５が被覆されている。
バルブ本体１１は、第６図に示すように、上方開放弁室
２１を有している直方体状弁箱２２と、下端開口が弁室
２１の上端に接続されている垂直筒状弁Ｍ２Ｂと、弁蓋
２３の上部に取付けられているピストン２４を内蔵した
シリンダ２５とを有している。
２１を有している直方体状弁箱２２と、下端開口が弁室
２１の上端に接続されている垂直筒状弁Ｍ２Ｂと、弁蓋
２３の上部に取付けられているピストン２４を内蔵した
シリンダ２５とを有している。
弁箱２２の上面に弁蓋接続用上方突出雄ねじ筒部２６が
設けられるとともに、弁箱２２の左右両面に入口管接続
用左方突出雄ねじ筒部２７および出口管接続用右方突出
雄ねじ筒部２８が設けられている。上方突出雄ねじ筒部
２６の内周面には、上端より一段低い段２９が設けられ
、その段の上にシールリング３１を介して弁蓋２３の下
端部が挿入されている。弁蓋２３外周面下端寄りにはフ
ランジ３２が設けられ、これに、袋ナツト３３の頂壁に
設けられた孔の縁部が上側から係合されて袋ナツト３３
が上方突出雄ねじ筒部２６にねじ嵌められることにより
、弁箱２２に弁蓋２３が取付けられている。シリンダ２
５は、断面逆Ｕ字状上部材３４および断面Ｕ字状下部材
３５が互いの開口縁部においてねじ合わされて一体化さ
れたものであって、頂壁３６、円筒状周壁３７および底
壁３８よりなる。
設けられるとともに、弁箱２２の左右両面に入口管接続
用左方突出雄ねじ筒部２７および出口管接続用右方突出
雄ねじ筒部２８が設けられている。上方突出雄ねじ筒部
２６の内周面には、上端より一段低い段２９が設けられ
、その段の上にシールリング３１を介して弁蓋２３の下
端部が挿入されている。弁蓋２３外周面下端寄りにはフ
ランジ３２が設けられ、これに、袋ナツト３３の頂壁に
設けられた孔の縁部が上側から係合されて袋ナツト３３
が上方突出雄ねじ筒部２６にねじ嵌められることにより
、弁箱２２に弁蓋２３が取付けられている。シリンダ２
５は、断面逆Ｕ字状上部材３４および断面Ｕ字状下部材
３５が互いの開口縁部においてねじ合わされて一体化さ
れたものであって、頂壁３６、円筒状周壁３７および底
壁３８よりなる。
底壁３８中央部には孔３９が設けられて、これに弁蓋２
３の上部が通されている。底壁３８が、弁蓋２３外周面
の高さの中程に設けられた段４１で受けられかつ弁蓋２
３外周面の上端部に取付けられた止め輪４２で押えられ
ることにより、弁蓋２３へのシリンダ２５の取付が果た
されている。また、底壁３８には作動流体供給ポート４
３が設けられている。
３の上部が通されている。底壁３８が、弁蓋２３外周面
の高さの中程に設けられた段４１で受けられかつ弁蓋２
３外周面の上端部に取付けられた止め輪４２で押えられ
ることにより、弁蓋２３へのシリンダ２５の取付が果た
されている。また、底壁３８には作動流体供給ポート４
３が設けられている。
シールリング３１および弁Ｍ２３には弁棒４４が挿入さ
れている。弁棒４４の下端部には弁体４５が一体的に設
けられている。シールリング３１より下方における弁棒
４４を取囲んでシールリング３１と弁体４５の間には蛇
腹部材４６が介在されている。
れている。弁棒４４の下端部には弁体４５が一体的に設
けられている。シールリング３１より下方における弁棒
４４を取囲んでシールリング３１と弁体４５の間には蛇
腹部材４６が介在されている。
シールリング３Ｉのすぐ上における弁棒４４には段４７
が設けられ、これに上側から係合されたばね受け４８と
弁蓋２３上端の内フランジ４９の間に圧縮コイルばね５
１が介在されて、このばね５１によって弁棒４４が下向
きに付勢されている。弁棒４４の上端部は弁蓋２３より
上方に突出してピストン２４に連結されている。
が設けられ、これに上側から係合されたばね受け４８と
弁蓋２３上端の内フランジ４９の間に圧縮コイルばね５
１が介在されて、このばね５１によって弁棒４４が下向
きに付勢されている。弁棒４４の上端部は弁蓋２３より
上方に突出してピストン２４に連結されている。
左方突出雄ねじ筒部２７より導入された流体は、弁棒４
４が持上げられることにより、弁室２１に流入し、弁室
２１から右方突出雄ねじ筒部２８を通じて排出される。
４が持上げられることにより、弁室２１に流入し、弁室
２１から右方突出雄ねじ筒部２８を通じて排出される。
この間、流体が接触するのは、主として、左方突出雄ね
じ筒部２７、弁室２１および右方突出雄ねじ筒部２８の
内周面と、シートリング３１の下面と、蛇腹部材４６の
外周面であり、これらの各面が加熱を必要とする部分で
ある。
じ筒部２７、弁室２１および右方突出雄ねじ筒部２８の
内周面と、シートリング３１の下面と、蛇腹部材４６の
外周面であり、これらの各面が加熱を必要とする部分で
ある。
ヒータ１２は、詳しく図示しないが、抵抗線を２枚のシ
リコンゴム板間に挾んで加硫接着することにより形成さ
れた面状ヒータを円筒状に折り曲げたものである。ヒー
タ１２の上部は、バルブ本体１１のシリンダ２５の周壁
３７外面と直接接触している。ヒータ１２の下縁部には
、左方突出雄ねじ筒部２７および右方突出雄ねじ筒部２
８をそれぞれ入れる逆Ｕ字状切欠き５２がそれぞれ設け
られるとともに、ヒータ１２の上端辺（には、作動流体
供給ポート４３に接続するためのパイプを通すための孔
５３が設けられている。
リコンゴム板間に挾んで加硫接着することにより形成さ
れた面状ヒータを円筒状に折り曲げたものである。ヒー
タ１２の上部は、バルブ本体１１のシリンダ２５の周壁
３７外面と直接接触している。ヒータ１２の下縁部には
、左方突出雄ねじ筒部２７および右方突出雄ねじ筒部２
８をそれぞれ入れる逆Ｕ字状切欠き５２がそれぞれ設け
られるとともに、ヒータ１２の上端辺（には、作動流体
供給ポート４３に接続するためのパイプを通すための孔
５３が設けられている。
熱伝導材Ｉ３は、第３図に詳しく示すように、上半体５
４および下半体５５よりなる。上半体５４および下半体
５５は、いずれも縦割すされた一対ずツノ分割片５６ａ
、 ５６ｂ、 ５７ａ、 ５７ｂよりなる。
４および下半体５５よりなる。上半体５４および下半体
５５は、いずれも縦割すされた一対ずツノ分割片５６ａ
、 ５６ｂ、 ５７ａ、 ５７ｂよりなる。
分割片５６ａ、 ５６ｂ、 ５７ａ、 ５７ｂは、いず
れも現物に合わせてつくられた型に液状銅粉入り樹脂を
流し込んで固めることにより形成されたものである。上
半体５４は、弁箱２２とシリンダ２５間におけるバルブ
本体１１とヒータ１２の隙間を埋める形状に形成されて
いて、上半体５４の両分割片５６ａ、５６ｂの分割面に
は、ナツト３３を半分ずつ入れるｖ字底付凹所５８と、
弁蓋２３におけるナツト３３の直ぐ上と下の部分をそれ
ぞれ入れる円弧底付凹所５９とがそれぞれ設けられてい
る。下半体５５は、弁箱２２とヒータ１２の隙間を埋め
る形状に形成されていて、下半体５５の両分割片５７ａ
、５７ｂの分割面には、弁箱２２を半分ずつ入れる平坦
庇付凹所６１と、左方突出雄ねじ筒部２７および右方突
出雄ねじ筒部２８をそれぞれ半分ずつ入れる円弧底付凹
所６２がそれぞれ設けられている。
れも現物に合わせてつくられた型に液状銅粉入り樹脂を
流し込んで固めることにより形成されたものである。上
半体５４は、弁箱２２とシリンダ２５間におけるバルブ
本体１１とヒータ１２の隙間を埋める形状に形成されて
いて、上半体５４の両分割片５６ａ、５６ｂの分割面に
は、ナツト３３を半分ずつ入れるｖ字底付凹所５８と、
弁蓋２３におけるナツト３３の直ぐ上と下の部分をそれ
ぞれ入れる円弧底付凹所５９とがそれぞれ設けられてい
る。下半体５５は、弁箱２２とヒータ１２の隙間を埋め
る形状に形成されていて、下半体５５の両分割片５７ａ
、５７ｂの分割面には、弁箱２２を半分ずつ入れる平坦
庇付凹所６１と、左方突出雄ねじ筒部２７および右方突
出雄ねじ筒部２８をそれぞれ半分ずつ入れる円弧底付凹
所６２がそれぞれ設けられている。
熱伝導材１３を、上半体５４および下半体５５に分けた
のはつぎの理由による。すなわち、バルブ本体１１の組
立の際、弁箱２２と、これにねし嵌められるナツト３３
との相対角度が、組み立てられるバルブ本体１１毎に代
わるため、上半体５４および下半体５５を別々にしてお
かなければ、組み立てられる全てのバルブ本体１１に共
通して熱伝導材１３を用いることができないからである
。
のはつぎの理由による。すなわち、バルブ本体１１の組
立の際、弁箱２２と、これにねし嵌められるナツト３３
との相対角度が、組み立てられるバルブ本体１１毎に代
わるため、上半体５４および下半体５５を別々にしてお
かなければ、組み立てられる全てのバルブ本体１１に共
通して熱伝導材１３を用いることができないからである
。
断熱材１４およびカバー１５も、ヒータ１２同様に、薄
板状のものをヒータ１２に合わせて円筒状に折曲げたも
のである。断熱材１４およびカバー１５には、ヒータ１
２の切欠き５２および孔５３と合致した切欠き８３．６
４および孔６５．６６がそれぞれ形成されている。カバ
ー１５の対向縁部には締付は用フランジ６７が設けられ
るとともに、フランジ６７に複数の孔６８が形成されて
おり、孔６８に図示しないボルト通してボルトにナツト
をはめ、ボルトおよびナツトで両フランジ６７を締め付
けることにより、バルブ本体１１にヒータ１２、断熱材
１４オよびカバー１５が保持される。
板状のものをヒータ１２に合わせて円筒状に折曲げたも
のである。断熱材１４およびカバー１５には、ヒータ１
２の切欠き５２および孔５３と合致した切欠き８３．６
４および孔６５．６６がそれぞれ形成されている。カバ
ー１５の対向縁部には締付は用フランジ６７が設けられ
るとともに、フランジ６７に複数の孔６８が形成されて
おり、孔６８に図示しないボルト通してボルトにナツト
をはめ、ボルトおよびナツトで両フランジ６７を締め付
けることにより、バルブ本体１１にヒータ１２、断熱材
１４オよびカバー１５が保持される。
ヒータ１２の熱は、バルブ本体１１のシリンダ２５へは
直接、シリンダ２５より下方の部分へは熱伝導材１３を
通じて伝導される。シリンダ２５へ伝導された熱は、勿
論シリンダ２５付近を加熱することになるが、弁蓋２３
を通じてシールリング３１および蛇腹部材４６へも伝導
され、伝導された熱により上記した加熱を必要とする部
分が効率よく加熱される。
直接、シリンダ２５より下方の部分へは熱伝導材１３を
通じて伝導される。シリンダ２５へ伝導された熱は、勿
論シリンダ２５付近を加熱することになるが、弁蓋２３
を通じてシールリング３１および蛇腹部材４６へも伝導
され、伝導された熱により上記した加熱を必要とする部
分が効率よく加熱される。
第４図は、他の実施例を示す。この実施例では、上記実
施例のヒータ１２、熱伝導材１３、断熱材１４およびカ
バー１５に加えて、シリンダ２５の上面が円形断熱材７
Ｉで被覆され、弁箱２２および熱伝導材１３の下面が円
形ヒータ７２で被覆されるとともに、円形ヒータ７２の
下面が円形断熱材７３で被覆されている。
施例のヒータ１２、熱伝導材１３、断熱材１４およびカ
バー１５に加えて、シリンダ２５の上面が円形断熱材７
Ｉで被覆され、弁箱２２および熱伝導材１３の下面が円
形ヒータ７２で被覆されるとともに、円形ヒータ７２の
下面が円形断熱材７３で被覆されている。
第５図は、さらに他の実施例を示す。この実施例では、
バルブ本体１１のシリンダ２５が上被覆体７４で被覆さ
れるとともに、シリンダ２５より下方の部分が下被覆体
７５て被覆されている。上被覆体７４は、シリンダ２５
の外周面に被覆されている円筒状ヒータ７６と、ヒータ
７６の外周面に被覆されている円筒状断熱材７７と、ヒ
ータ７６および円筒状断熱材７７の上端に周縁部が受け
られている円板状断熱材７８と、円筒状断熱材７７の外
周面および円板状断熱材７８の上面に被覆されているキ
ャップ状カバー７９とよりなる。カバー７９は、ステン
レス板の一体成形品である。ヒータ７６、筒状断熱材７
７およびカバー７９には、上記パイプを通すための孔８
１．８２．８３があけられている。
バルブ本体１１のシリンダ２５が上被覆体７４で被覆さ
れるとともに、シリンダ２５より下方の部分が下被覆体
７５て被覆されている。上被覆体７４は、シリンダ２５
の外周面に被覆されている円筒状ヒータ７６と、ヒータ
７６の外周面に被覆されている円筒状断熱材７７と、ヒ
ータ７６および円筒状断熱材７７の上端に周縁部が受け
られている円板状断熱材７８と、円筒状断熱材７７の外
周面および円板状断熱材７８の上面に被覆されているキ
ャップ状カバー７９とよりなる。カバー７９は、ステン
レス板の一体成形品である。ヒータ７６、筒状断熱材７
７およびカバー７９には、上記パイプを通すための孔８
１．８２．８３があけられている。
下被覆体７５は、合体して有底筒状となる縦割すされた
一対の分割片８４ａ、 ８４ｂよりなる。両分割片８４
ａ、 ８４ｂは、左右の向きは異にするが、同一構造の
ものであって、内側からヒータ８５、断熱材８６および
ステンレス製カバー８７よりなる三層構造のものである
。両分割片８４ａ、 ８４ｂの分割面におけるヒータ８
５、断熱材８６およびカバー８７には、左方突出雄ねじ
筒部２７および右方突出雄ねじ筒部２８をそれぞれ半分
ずつ入れる円弧切欠き９１．９２．９３がそれぞれ設け
られている。
一対の分割片８４ａ、 ８４ｂよりなる。両分割片８４
ａ、 ８４ｂは、左右の向きは異にするが、同一構造の
ものであって、内側からヒータ８５、断熱材８６および
ステンレス製カバー８７よりなる三層構造のものである
。両分割片８４ａ、 ８４ｂの分割面におけるヒータ８
５、断熱材８６およびカバー８７には、左方突出雄ねじ
筒部２７および右方突出雄ねじ筒部２８をそれぞれ半分
ずつ入れる円弧切欠き９１．９２．９３がそれぞれ設け
られている。
発明の効果
この発明によれば、バルブ本体表面の凹凸の有無にかか
わりなく、ヒータの熱は熱伝導材によってバルブ本体に
伝えられるから、バルブ本体を効率良く加熱することが
できる。
わりなく、ヒータの熱は熱伝導材によってバルブ本体に
伝えられるから、バルブ本体を効率良く加熱することが
できる。
図面はこの発明の実施例を示し、第１図はバルブ全体の
分解斜視図、第２図は垂直縦断面図、第３図はバルブ本
体と熱伝導材の分解斜視図、第４図は他の実施例を示す
第１図相当の分解斜視図、第５図はさらに他の実施例を
示す第１図相当の分解斜視図、第６図はバルブ本体の垂
直縦断面図である。 １１・・・バルブ本体、１２．７２．７６、８５・・・
ヒータ、１３・・・熱伝導材。 以 上 第１図 第４図
分解斜視図、第２図は垂直縦断面図、第３図はバルブ本
体と熱伝導材の分解斜視図、第４図は他の実施例を示す
第１図相当の分解斜視図、第５図はさらに他の実施例を
示す第１図相当の分解斜視図、第６図はバルブ本体の垂
直縦断面図である。 １１・・・バルブ本体、１２．７２．７６、８５・・・
ヒータ、１３・・・熱伝導材。 以 上 第１図 第４図
Claims (1)
- バルブ本体と、バルブ本体の周囲を取囲んでいる筒状
ヒータと、バルブ本体とヒータ間の隙間に詰められてい
る熱伝導材とよりなる恒温バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17354990A JPH0464788A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 恒温バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17354990A JPH0464788A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 恒温バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464788A true JPH0464788A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=15962597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17354990A Pending JPH0464788A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 恒温バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464788A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837970A (en) * | 1995-04-20 | 1998-11-17 | Jilek; Gerard T. | Method and apparatus for controlled delivery of heat energy into a mechanical device |
| EP0877185A3 (en) * | 1997-04-21 | 1998-11-25 | Fujikin Incorporated | Device for heating fluid controller |
| EP0863348A3 (en) * | 1997-03-07 | 1999-06-09 | Fujikin Incorporated | Device for heating fluid control apparatus |
| US6274854B1 (en) | 1996-04-17 | 2001-08-14 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for baking out a gate valve in a semiconductor processing system |
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| KR100502788B1 (ko) * | 2001-12-25 | 2005-07-22 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 히터가 부착된 포핏밸브 |
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| KR20200009780A (ko) * | 2018-07-20 | 2020-01-30 | 한국원자력연구원 | 액체금속용 밸브 장치 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17354990A patent/JPH0464788A/ja active Pending
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