JPH0465049A - 放電灯 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は露光装置等に用いて好適な放電灯ｌこ関するも
のである。

集積回路やカラー受像管の製造を行なう際の微細パター
ン加工において、光学系の収差を少なくするために曲管
形の放電灯が使用さｔ、る。

第１図は曲管形の放電灯を用いた従来の放電灯保持装置
の正面図、第２図はその側面図、第３図は第１図の■−
■断面図、第４図は第】、図の■−■断面図である。図
において、１は放電部分がθ゛（約１３０’）にわたっ
て半径Ｒの円弧状に曲って形成され、その両端が直線状
にのびた電極部分になっている石英からなるガラス管、
２はガラス管］の両端にそれぞれ固定された金属からな
るステムであり、こわらにより曲管形の放電灯が構成さ
れている。３はセラミックやマイカ粉を１ノジンで固め
たマイカＩノックス等の耐高温性絶縁材からなるロケー
タであり、左右の対称位置にビン孔３ａおよび端子受穴
３ｂがそれぞれ形成されている。ビン孔３ａは図示しな
いランプハウスに植設されたビンにはめ込んで、ロケー
タ３を所定の位ｒに位置決めするために用いられる２ま
た。端子受穴３ｂ内には端子板４，５がそれぞれビス６
およびナツト７によって固定されている。端子板４゜５
の取付片４ａ、５ａにははんだ８によって放電灯のステ
ム２がそれぞれ固定されている。また、端子板４，５の
端子片４ｂ、５ｂには電源回路がらのコネクタがはめ込
まれるようになっている。

したがって放電灯は取付片４ａ、　５ａに対するステム
２のはんだ付番プによってロケータ３に位置決めして取
付番づられている。

このような柳造の放電灯保持装置は例えば特開昭５５−
７０８３２号公報等に開示されているが、同公報及び特
開昭５２−４４１６１号公報等からも明らかなようにこ
の種の光源装置では放電灯自体が高温となるため水冷も
しくは空冷により冷却しながら使用することが常識とな
っている。

第５図は放電灯の電極部分の断面図である。ガラス管１
の先端封止部には管軸方向にのび管内および管外に突出
したタングステン等からなる電極１０が封着され、また
、管内には電極１０の先端を所定寸法露出するように水
銀１１が収容されている。電極１０の外方端には裸導線
のリード線１２が溶接され、また、ガラス管１の先端部
の外周面にはステム２がはめ込まれ、このステム２の長
さはリード線１２の先端部までのびている。そして、ス
テム２の内部には、ガラス管１の先端部および電極１０
とリード線１２の接合部を埋め込むようにエポキシレジ
ン１３が充填され固定されている。さらに、ステム２の
先端開口には封止金具１４が挿入されるとともに、この
封止金具１４の中心をリード線１２が貫通して外部に突
出し、ステム２と封止金具１４とリード線１２とはばん
だ１５によって一体に接合されている。したがって、電
極１０はステム２と電気的に接続されている。

このような構成において、電源装置から端子片４ｂ、５
ｂ間に高電圧を印加すると、取付片４ａ。

５ａ、ステム２．はんだ１５、リード線１２を経て電極
１０間に電圧が加わり、ガラス管１の管内が放電し曲管
部分の中心が発光する。

このような従来の放電灯保持装置においては、放電灯の
ステムが電極に電気的に接続されており、しかもロケー
タ上に固定された端子板にステムをはんだ付けしてロケ
ータに放電灯を取付けているため、ロケータは絶縁材料
で作らざるを得なかった。しかも、電極部分は高温にな
るので、耐高温性、耐高圧性が要求され、従来はセラミ
ックやマイカレックス等が使用されていた。

しかしながら、このようなロケータでは、高価になると
ともに、焼成品であるため形状の寸法精度が落ちるので
高源位置を正確にセットするのが難しく、また機械的強
度が劣る等の欠点があった。

本発明は従来のこのような欠点を解消するためになされ
たもので、この目的とするところは、光源位置を高精度
に保持でき、かつ価格の低減化もはかれるような放電灯
を提供することにある。

このような目的を達成するために、本発明は。

放電灯のガラス管の非発光部の外周面に保持構体を固定
したもので、この保持構体を例えばロケータ上に固定さ
れた取付板にはんだまたは接着剤で固定して、放電灯を
ロケータに取付けられるように構成することを可能にし
たものである６以下、本発明を実施例にもとすいて詳細
に説明する。

第６図は本発明に係る放電灯を用いた放電灯保持装置の
一例の正面図、第７図はその側面図、第８図は取付板の
正面図である０図において、第１図と同一部分には同一
符号を付しである。２０は金属からなるロケータ、２０
ａはピン孔、２１は黄銅板からなり第８図に示すように
取付孔２１ａを有するＬ字形に形成された取付板である
。この取付板２１はビス２２及びナツト２３によりロケ
ータ２０の対称位置にそれぞれ固定されている。

２４は保持構体で、該保持構体２４はこの例ではガラス
管１の非発光部、すなわち電極部分の外周面上に巻き付
かれた燐青銅からなるコイルスプリング２４ａを有し、
このコイルスプリング２４ａはそれ自身の弾力でガラス
管１上に強く取付いている。すなわち、この例では燐青
銅線をガラス管１の外径より小さな径のコイルスプリン
グとし、これをガラス管に強制挿入かん合させてコイル
スプリング自身の弾力でガラス管に強く取付いている。

このコイルスプリング２４ａはばんだ２５によって取付
板２１の先端に接合されると共にコイルスプリング２４
ａの線相互間もはんだ付けされて一体構造を呈している
。これによって放電灯は位置決めしてロケータ２０に取
付けられる。なお、２６は放電灯のリード線である。

なお、保持構体２４はコイルスプリング２４ａをガラス
管１の外周面にはんだで一体構造とした状態で固定され
ているが、ガラス管１が発熱することによりコイルスプ
リング２４ａも加熱されて高温となるが、前述のようｊ
７コ光源使用時は装置を冷却して使用するため、温度り
昇が抑えられ、ガラス管１と保持構体２４との熱膨張率
の差による両者の剥離等は全く生じない。

放電灯はガラス管１を保持具２４で保持し、ばんだ２５
．取付板２１を介してロケータ２０に取付けられている
ため、ロケータ２０は放電灯を単に機械的に支持するの
みで電気的には全く絶縁されている。このためにロケ・
−夕２０は金属で作ることができる。

第９図は放電灯の電極部分の断面図である。図において
、第５図と同一部分には同一符号を付しである。２７は
ガラス管１の細くなった先端封止部からｔｔｍｌＯとリ
ード線２６の芯線２６ａとの接合部にわたってこれらの
丘に巻き付かれた補強用のコイルスプリング、２８はコ
イルスプリング２７の外周にがん合されたシリコンゴム
等からなる絶縁チューブ、２９はリード線２６の絶縁被
覆２６ｂの先端部と絶縁チューブ２８を完全に埋め込む
ようにステム２の内側に充填されたエポキシレジンであ
る。電極〕０と芯線２６ａの接合部はコイルスプリング
２７によって補強されているので、リード線２６を外部
から曲げたり引っばったりして力を加えても破損するこ
とはない。また、ステム２は電極１０からは完全に電気
的に絶縁されているので、両方のステム２が取４−Ｊ板
２１に同時に接触しても知４終事故を起こすことはない
。

保持構体２４ははんだ２５を取付板２１との接合だけに
用いず、全周にわたって付けてガラス管１との固定強度
を増すこともできる。また、はんだのかわりにエポキシ
レジン等の接着剤さらにはろう材等を用いることもでき
る。また保持構体はコイルスプリングに限定されるもの
ではなく、他の例えばメツシュリング等種々の構造が可
能である。

また、」−述の実施例では円弧状のガラス管を用いるも
のについて説明したが、直管でも全く同様に実施できる
ことは勿論である。

このように、本発明に係る放電灯は、ガラス管の外周面
に保持構体を固定した構造としたことにより、倒えばロ
ケータに金属材料を用いることができるので、ロケータ
を高い寸法精度で作ることができ放電灯の光源位置を正
確ｉ、：、設定することができる。また機械的強度が高
くて破損することがなく、かつコス１−の低減もはかれ
る等価れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の放電灯保持装Ｅの正面図、第２図はその
側面図、第３図は第１図の■〜■断面図。 第４図は第１図のＩＶ−ＩＶ断面図、第５図は放電灯の
電極部分の断面図、第６図は本発明に係る放電灯を用い
た放電灯保持装置の一例の正面図、第７図はその側面図
、第８図は取付板の正面図、第９図は放電灯の電極部分
の断面図である６１・・・ガラス管、２・・・ステム、
２０・・・ロケータ、２０ａ・・・ビン孔、２１・・・
取付板、２４・・・保持構体、２５・・・はんだ、２６
・・・す・−ド線、２７・・・補強用のコイルスプリン
グ、２８・・・絶縁チューブ、２９・・・エポキシレジ
ン、 第　１　図 第３１２１ 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、端部に電極を封着したガラス管を有する放電灯にお
   いて、前記ガラス管の少なくとも非発光部の外周面に保
   持構体を固定したことを特徴とする放電灯保持装置。