JPH04653U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04653U JPH04653U JP4004890U JP4004890U JPH04653U JP H04653 U JPH04653 U JP H04653U JP 4004890 U JP4004890 U JP 4004890U JP 4004890 U JP4004890 U JP 4004890U JP H04653 U JPH04653 U JP H04653U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liner
- gap
- length
- divided
- blocks
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- Pending
Links
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す平面断面図
、第２図は従来例を示す平面断面図、第３図は他
の従来例を示す平面断面図である。 ３……ニユートラルカツプ、４……デイスク、
５……キヤツチプレート、８……ライナ、８ａ〜
８ｃ……ライナブロツク、Ｇ……ギヤツプ、Ｗ…
…ウエハ、Ｌａ〜Ｌｃ……ライナブロツクの長さ
、Ｌｇ……ギヤツプの長さ。
、第２図は従来例を示す平面断面図、第３図は他
の従来例を示す平面断面図である。 ３……ニユートラルカツプ、４……デイスク、
５……キヤツチプレート、８……ライナ、８ａ〜
８ｃ……ライナブロツク、Ｇ……ギヤツプ、Ｗ…
…ウエハ、Ｌａ〜Ｌｃ……ライナブロツクの長さ
、Ｌｇ……ギヤツプの長さ。
Claims (1)
- ウエハを支持するデイスクをニユートラルカツ
プとキヤツチプレート間のギヤツプに進退自在に
設け、前記ニユートラルカツプに装着されたライ
ナをビームライン方向に複数個のライナブロツク
に分割し、これらの各ライナブロツクの長さを前
記ギヤツプの長さよりも短く設定したイオン注入
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004890U JPH04653U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004890U JPH04653U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04653U true JPH04653U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31549497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4004890U Pending JPH04653U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04653U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11152565A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-06-08 | Eaton Corp | イオン注入装置の電子シャワー、延長チューブ及びこのチューブの再生方法 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP4004890U patent/JPH04653U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11152565A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-06-08 | Eaton Corp | イオン注入装置の電子シャワー、延長チューブ及びこのチューブの再生方法 |