JPH0465557B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミツクフイルタ等に用いる圧電
磁器の製造方法に係るもので、特に分極処理を施
した後の熱処理の方法に関するものである。 〔従来技術とその問題点〕 強誘電性を有するセラミツク基板を分極処理し
て、その圧電特性を利用した、セラミツクフイル
タ、共振子、アクチユエータ等、種々の装置が利
用されている。 これは、基板の両面に形成した電極間に高圧の
直流電圧を印加して分極を施している。分極の後
に、80〜150゜程度の温度中に放置しておく。この
処理によつて特性を安定させることができ、経時
変化などにたいしては効果がある。 しかし、熱衝撃サイクル（−45゜←→80℃）に
よる電気的特性の劣化に対しては効果が認められ
ず、例えば共振周波数の変化が大きくなるといつ
た問題を生じている。 〔目的〕 本発明は、上記のような問題点を解決して、熱
衝撃サイクルによる特性の劣化の小さい圧電磁器
を得ることを目的とする。 それによつて、温度変化の激しい装置等に用い
られる素子の信頼性を向上させようとするもので
ある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、キユーリー点に近い温度で短時間熱
処理することによつて上記の目的を達成するもの
である。 すなわち、分極を施した圧電磁器を加熱処理す
る圧電磁器の製造方法において、分極を施した圧
電磁器をキユーリー点近傍の温度で短時間熱処理
することに特徴を有するものである。 これによつて、減極が行われ、結合係数も若干
低下するが、特性の非常に安定した圧電磁器が得
られる。 〔実施例〕 以下、本発明の実施例について説明する。 La，Ni，Ｗで一部を置換したPb−Ti−Zr酸化
物からなり、0.5％のMnO₂を添加して焼結した圧
電磁器の例について説明する。 上記の圧電磁器を、80℃、4KV／mmの直流電
界を30秒間印可して分極処理を行つた。その後、
30分間エージングしてから熱処理を行つた。 熱処理は、290℃の温度の空気中で５〜10秒間
という、ごく短い時間行つた。なお、この圧電磁
器のキユーリー点は300℃であり、熱処理の温度
はキユリー点に極めて近い温度である。 圧電体は、第１図に示したように、キユーリー
点に近い温度に曝されると、減極されて電気機械
結合係数が下がる。上記の熱処理によつても、電
気機械結合係数が低下し、20〜30％低下して初期
値は小さくなつている。 このように熱処理した圧電磁器を、−45℃と＋
80℃の熱衝撃サイクルに対する特性の変化につい
て測定した。測定は、共振子としての共振周波数
の変化の状況を調べることによつて行つた。 ０回、５回、10回、25回、100回のサイクルに
おいて、それぞれ素子の初期値の共振周波数から
どの程度共振周波数が変化しているかを測定した
結果を次の表に示す。

〔効果〕

本発明によれば、熱衝撃サイクルに対して安定
した特性を示す圧電磁器が得られる。 それよつて、温度変化の激しい環境において用
いられるフイルタ、振動子、アクチユエータなど
の圧電装置に適した素子が容易に得られる。 また、本発明により熱処理した素子は経時変化
に対しても効果が認められた。

【図面の簡単な説明】

第１図は温度と減極の関係を示す説明図、第２
図は周波数変化の状態を示す説明図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 分極を施した圧電磁器を加熱処理する圧電磁
   器の製造方法において、分極を施した圧電磁器を
   キユーリー点近傍の温度で短時間熱処理すること
   を特徴とする圧電磁器の製造方法。