JPH0467653U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0467653U JPH0467653U JP11012590U JP11012590U JPH0467653U JP H0467653 U JPH0467653 U JP H0467653U JP 11012590 U JP11012590 U JP 11012590U JP 11012590 U JP11012590 U JP 11012590U JP H0467653 U JPH0467653 U JP H0467653U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- line
- line pitch
- photomask
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は
第１図の一部分を拡大して示す平面図、第３図は
従来のフオトマスクパターンの平面図である。 １０……チツプパターン、１１，１２……交叉
指状電極パターン、２０……ライン幅確認用パタ
ーン。
第１図の一部分を拡大して示す平面図、第３図は
従来のフオトマスクパターンの平面図である。 １０……チツプパターン、１１，１２……交叉
指状電極パターン、２０……ライン幅確認用パタ
ーン。
Claims (1)
- 弾性表面波デバイスの電極パターンを含むチツ
プパターンを配設したフオトマスクに、ラインピ
ツチは電気電極パターンと同一でライン幅を前記
ラインピツチの方向に単調に変化させた同一の２
つのラインパターンを相互に半ラインピツチだけ
ずらして上下に近接して設けてあることを特徴と
する弾性表面波デバイス用フオトマスクパターン
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012590U JPH0467653U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012590U JPH0467653U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467653U true JPH0467653U (ja) | 1992-06-16 |
Family
ID=31857416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11012590U Pending JPH0467653U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467653U (ja) |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP11012590U patent/JPH0467653U/ja active Pending