JPH046848B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH046848B2 JPH046848B2 JP60281869A JP28186985A JPH046848B2 JP H046848 B2 JPH046848 B2 JP H046848B2 JP 60281869 A JP60281869 A JP 60281869A JP 28186985 A JP28186985 A JP 28186985A JP H046848 B2 JPH046848 B2 JP H046848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- pipe
- heater
- heating tube
- organic solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超純水を加熱する超純水加熱器に関
するものである。
するものである。
第２図は従来の超純水加熱器を示す正面図、第
３図は同じく側断面図である。図において、１は
石英ガラス製の二重管で、多数の二重管１が縦方
向に並べられている。２は二重管１を接続する接
続管、３は二重管１の間に設けられたスペーサ、
４は二重管１内に挿入されたカートリツジヒー
タ、５は最下部の二重管１に設けられた流入管、
６は最上部の二重管１に設けられた流出管であ
る。
３図は同じく側断面図である。図において、１は
石英ガラス製の二重管で、多数の二重管１が縦方
向に並べられている。２は二重管１を接続する接
続管、３は二重管１の間に設けられたスペーサ、
４は二重管１内に挿入されたカートリツジヒー
タ、５は最下部の二重管１に設けられた流入管、
６は最上部の二重管１に設けられた流出管であ
る。
この超純水加熱器においては、流入管５から超
純水を供給し、超純水を二重管１内に循環させる
と、カートリツジヒータ４によつて二重管１内の
超純水が加熱され、所定温度の超純水が流出管６
から供給される。
純水を供給し、超純水を二重管１内に循環させる
と、カートリツジヒータ４によつて二重管１内の
超純水が加熱され、所定温度の超純水が流出管６
から供給される。
しかしながら、この超純水加熱器においては、
カートリツジヒータ４によつて二重管１が直接加
熱され、二重管１が熱膨張するので、二重管１が
破損するおそれがあり、また二重管１とカートリ
ツジヒータ４との密着性が悪いため、熱効率があ
まりよくなく、さらに石英ガラスの機械的強度は
小さいので、二重管１が過熱して熱膨張により損
傷するのを防止するため、停止時等にカートリツ
ジヒータ４の温度が低下するまで超純水を二重管
１内に循環させる必要があるから、高価な超純水
が無駄となる。
カートリツジヒータ４によつて二重管１が直接加
熱され、二重管１が熱膨張するので、二重管１が
破損するおそれがあり、また二重管１とカートリ
ツジヒータ４との密着性が悪いため、熱効率があ
まりよくなく、さらに石英ガラスの機械的強度は
小さいので、二重管１が過熱して熱膨張により損
傷するのを防止するため、停止時等にカートリツ
ジヒータ４の温度が低下するまで超純水を二重管
１内に循環させる必要があるから、高価な超純水
が無駄となる。
この発明は上述の問題点を解決するためになさ
れたもので、加熱用管の破損のおそれがなく、効
率よく超純水を加熱することができ、かつ超純水
が無駄とならない超純水加熱器を提供することを
目的とする。
れたもので、加熱用管の破損のおそれがなく、効
率よく超純水を加熱することができ、かつ超純水
が無駄とならない超純水加熱器を提供することを
目的とする。
この目的を達成するため、この発明において
は、ヒータと、上記ヒータ上に設けられた蒸留槽
と、上記蒸留槽内に設けられた石英ガラス製の加
熱用管と、上記蒸留槽内にかつ上記加熱用管の下
方に設けられた制御用冷却管とを設ける。
は、ヒータと、上記ヒータ上に設けられた蒸留槽
と、上記蒸留槽内に設けられた石英ガラス製の加
熱用管と、上記蒸留槽内にかつ上記加熱用管の下
方に設けられた制御用冷却管とを設ける。
この超純水加熱器においては、蒸留槽内に被蒸
留液を入れ、ヒータによつてその被蒸留液を加熱
すれば、被蒸留液が蒸気となり、その蒸気によつ
て加熱用管内の超純水が加熱され、また停止時等
に制御用冷却管に冷却水を供給すれば、加熱用管
に超純水を流さなくとも、加熱用管は加熱されな
い。
留液を入れ、ヒータによつてその被蒸留液を加熱
すれば、被蒸留液が蒸気となり、その蒸気によつ
て加熱用管内の超純水が加熱され、また停止時等
に制御用冷却管に冷却水を供給すれば、加熱用管
に超純水を流さなくとも、加熱用管は加熱されな
い。
第１図はこの発明に係る超純水加熱器を示す断
面図である。図において、７は取付台、８は取付
台７上に設けられた外槽、９は外槽８の上部に取
付けられた外槽蓋、１０は外槽蓋９に設けられた
孔、１１は外槽８の外側下部に取付けられた断熱
板、１２は外槽８の上部に接続された排気ダクト
で、排気ダクト１２には吸引器（図示せず）が接
続されている。１３は外槽８の外側に取付けられ
た外槽冷却管、１４は外槽８内の下部に設けられ
たヒートブロツク、１５はヒートブロツク１４の
近傍に設けられた熱反射板、１６はヒートブロツ
ク１４上に設けられた蒸留槽、１７は蒸留槽１６
の上部に取付けられた蒸留槽蓋、１８は蒸留槽蓋
１７に設けられた孔、１９は蒸留槽１６内に入れ
られた有機溶剤、２０は蒸留槽１６内に有機溶剤
１９を供給するための有機溶剤供給管、２１は外
槽８と蒸留槽１６との間に設けられた熱気上昇防
止板、２２は蒸留槽１６内に設けられた石英ガラ
ス製の加熱用管、２３は蒸留槽１６内にかつ加熱
用管２２の下方に設けられた制御用冷却管、２４
は加熱用管２２の上方に設けられた蒸気放散防止
用冷却管、２５は蒸留槽１６の下部に接続された
ガラス管、２６はガラス管２５に設けられた液面
計、２７は排気ダクト１２に設けられた熱感知
器、２８は排気ダクト１２に設けられた濃度検知
器、２９は外槽蓋９に取付けられた消火ノズルで
ある。
面図である。図において、７は取付台、８は取付
台７上に設けられた外槽、９は外槽８の上部に取
付けられた外槽蓋、１０は外槽蓋９に設けられた
孔、１１は外槽８の外側下部に取付けられた断熱
板、１２は外槽８の上部に接続された排気ダクト
で、排気ダクト１２には吸引器（図示せず）が接
続されている。１３は外槽８の外側に取付けられ
た外槽冷却管、１４は外槽８内の下部に設けられ
たヒートブロツク、１５はヒートブロツク１４の
近傍に設けられた熱反射板、１６はヒートブロツ
ク１４上に設けられた蒸留槽、１７は蒸留槽１６
の上部に取付けられた蒸留槽蓋、１８は蒸留槽蓋
１７に設けられた孔、１９は蒸留槽１６内に入れ
られた有機溶剤、２０は蒸留槽１６内に有機溶剤
１９を供給するための有機溶剤供給管、２１は外
槽８と蒸留槽１６との間に設けられた熱気上昇防
止板、２２は蒸留槽１６内に設けられた石英ガラ
ス製の加熱用管、２３は蒸留槽１６内にかつ加熱
用管２２の下方に設けられた制御用冷却管、２４
は加熱用管２２の上方に設けられた蒸気放散防止
用冷却管、２５は蒸留槽１６の下部に接続された
ガラス管、２６はガラス管２５に設けられた液面
計、２７は排気ダクト１２に設けられた熱感知
器、２８は排気ダクト１２に設けられた濃度検知
器、２９は外槽蓋９に取付けられた消火ノズルで
ある。
この超純水加熱器においては、ヒートブロツク
１４を加熱すると、有機溶剤１９が蒸気となり、
その蒸気と加熱用管２２内の超純水との間で熱交
換が行なわれ、超純水が加熱される。そして、超
純水の加熱を開始する場合に、ヒートブロツク１
４の加熱を開始するとともに、冷却管２３に冷却
水を供給し、ヒートブロツク１４が所定の温度に
なつたとき、加熱用管２２に超純水を流すととと
もに、冷却管２３に冷却水を供給するのを停止す
れば、冷却管２３に冷却水を供給しているときに
は、有機溶剤１９の蒸気は冷却管２３によつて液
化されるため、加熱用管２２に超純水を流さなく
とも、加熱用管２２は加熱されないので、高価な
超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用管
２２が過熱して熱膨張により損傷するのを防止す
ることができる。また、超純水の加熱を一時中止
する場合に、冷却管２３に冷却水を供給するとと
もに、加熱用管２２への超純水の供給を中止すれ
ば、加熱用管２２に超純水を流さなくとも、加熱
用管２２は加熱されないので、高価な超純水が無
駄になることがなく、しかも加熱用管２２が過熱
して熱膨張により損傷するのを防止することがで
きる。さらに、超純水加熱器を停止する場合に、
冷却管２３に冷却水を供給するとともに、加熱用
管２２への超純水の供給を停止し、ヒートブロツ
ク１４の通電を止め、ヒートブロツク１４の温度
が低下したのちに、冷却管２３への冷却水の供給
を停止すれば、加熱用管２２に超純水を流さなく
とも、加熱用管２２は加熱されないので、高価な
超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用管
２２が過熱して熱膨張により損傷するのを防止す
ることができる。また、液面計２６で有機溶剤１
９の液面を検知し、この値に応じて供給管２０か
ら有機溶剤１９を供給すれば、有機溶剤１９の液
面を一定に保持することができる。さらに、外槽
８の下部に断熱板１１が設けられているから、外
槽８の下部から熱が外部に逃げることがない。ま
た、外槽８の上部に熱気上昇防止板２１および外
槽冷却管１３が設けられているから、外槽８の上
部の温度が上昇するのを防止することができる。
さらに、蒸留槽１６の上部に冷却管２４が設けら
れているから、有機溶剤１９の蒸気が冷却管２４
によつて液化されるので、有機溶剤１９の蒸気が
蒸留槽１６の外に出るのを防止することができ
る。また、排気ダクト１２を設けているから、た
とえ有機溶剤１９の蒸気が蒸留槽１６の外に出た
としても、有機溶剤１９の蒸気を吸引することが
できる。さらに、濃度検知器２８によつて排気ダ
クト１２内の蒸気の濃度を検出することができる
から、蒸気の濃度が一定値以上になつたときにヒ
ートブロツク１４の加熱を停止すれば、排気ダク
ト１２内の蒸気の濃度が所定値以上になるのを防
止することが可能である。また、外槽蓋９、蒸留
槽蓋１７にそれぞれ孔１０，１８が設けられてい
るから、蒸留槽１６内で爆発が生じたとしても、
外槽８、蒸留槽１６が破損することがなく、しか
も熱感知器２７によつて火災が発生したことを検
知することができ、この場合に消火ノズル２９か
ら消火ガスを噴出すれば、自動的に消火を行なう
ことができる。
１４を加熱すると、有機溶剤１９が蒸気となり、
その蒸気と加熱用管２２内の超純水との間で熱交
換が行なわれ、超純水が加熱される。そして、超
純水の加熱を開始する場合に、ヒートブロツク１
４の加熱を開始するとともに、冷却管２３に冷却
水を供給し、ヒートブロツク１４が所定の温度に
なつたとき、加熱用管２２に超純水を流すととと
もに、冷却管２３に冷却水を供給するのを停止す
れば、冷却管２３に冷却水を供給しているときに
は、有機溶剤１９の蒸気は冷却管２３によつて液
化されるため、加熱用管２２に超純水を流さなく
とも、加熱用管２２は加熱されないので、高価な
超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用管
２２が過熱して熱膨張により損傷するのを防止す
ることができる。また、超純水の加熱を一時中止
する場合に、冷却管２３に冷却水を供給するとと
もに、加熱用管２２への超純水の供給を中止すれ
ば、加熱用管２２に超純水を流さなくとも、加熱
用管２２は加熱されないので、高価な超純水が無
駄になることがなく、しかも加熱用管２２が過熱
して熱膨張により損傷するのを防止することがで
きる。さらに、超純水加熱器を停止する場合に、
冷却管２３に冷却水を供給するとともに、加熱用
管２２への超純水の供給を停止し、ヒートブロツ
ク１４の通電を止め、ヒートブロツク１４の温度
が低下したのちに、冷却管２３への冷却水の供給
を停止すれば、加熱用管２２に超純水を流さなく
とも、加熱用管２２は加熱されないので、高価な
超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用管
２２が過熱して熱膨張により損傷するのを防止す
ることができる。また、液面計２６で有機溶剤１
９の液面を検知し、この値に応じて供給管２０か
ら有機溶剤１９を供給すれば、有機溶剤１９の液
面を一定に保持することができる。さらに、外槽
８の下部に断熱板１１が設けられているから、外
槽８の下部から熱が外部に逃げることがない。ま
た、外槽８の上部に熱気上昇防止板２１および外
槽冷却管１３が設けられているから、外槽８の上
部の温度が上昇するのを防止することができる。
さらに、蒸留槽１６の上部に冷却管２４が設けら
れているから、有機溶剤１９の蒸気が冷却管２４
によつて液化されるので、有機溶剤１９の蒸気が
蒸留槽１６の外に出るのを防止することができ
る。また、排気ダクト１２を設けているから、た
とえ有機溶剤１９の蒸気が蒸留槽１６の外に出た
としても、有機溶剤１９の蒸気を吸引することが
できる。さらに、濃度検知器２８によつて排気ダ
クト１２内の蒸気の濃度を検出することができる
から、蒸気の濃度が一定値以上になつたときにヒ
ートブロツク１４の加熱を停止すれば、排気ダク
ト１２内の蒸気の濃度が所定値以上になるのを防
止することが可能である。また、外槽蓋９、蒸留
槽蓋１７にそれぞれ孔１０，１８が設けられてい
るから、蒸留槽１６内で爆発が生じたとしても、
外槽８、蒸留槽１６が破損することがなく、しか
も熱感知器２７によつて火災が発生したことを検
知することができ、この場合に消火ノズル２９か
ら消火ガスを噴出すれば、自動的に消火を行なう
ことができる。
なお、上述実施例においては、ヒータとしてヒ
ートブロツク１４を用いたが、他のヒータを用い
てもよい。また、上述実施例においては、被蒸留
液として有機溶剤１９を用いたが、他の液を用い
てもよく、有機溶剤１９としてはパークレン、パ
ークロールエチレン、トリクレン等を用いること
ができる。
ートブロツク１４を用いたが、他のヒータを用い
てもよい。また、上述実施例においては、被蒸留
液として有機溶剤１９を用いたが、他の液を用い
てもよく、有機溶剤１９としてはパークレン、パ
ークロールエチレン、トリクレン等を用いること
ができる。
以上説明したように、この発明に係る超純水加
熱器においては、ヒータによつて加熱用管を直接
加熱しないから、加熱用管が破損するおそれがな
く、また蒸気と超純水との熱交換によつて超純水
を加熱するから、効率よく超純水を加熱すること
ができ、さらに停止時等に加熱用管に超純水を流
さなくとも、加熱用管は加熱されないから、高価
な超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用
管が過熱して熱膨張により損傷するのを防止する
ことができる。このように、この発明の効果は顕
著である。
熱器においては、ヒータによつて加熱用管を直接
加熱しないから、加熱用管が破損するおそれがな
く、また蒸気と超純水との熱交換によつて超純水
を加熱するから、効率よく超純水を加熱すること
ができ、さらに停止時等に加熱用管に超純水を流
さなくとも、加熱用管は加熱されないから、高価
な超純水が無駄になることがなく、しかも加熱用
管が過熱して熱膨張により損傷するのを防止する
ことができる。このように、この発明の効果は顕
著である。
第１図はこの発明に係る超純水加熱器を示す断
面図、第２図は従来の超純水加熱器を示す正面
図、第３図は同じく側断面図である。 １４……ヒートブロツク、１６……蒸留槽、１
９……有機溶剤、２２……加熱用管、２３……制
御用冷却管。
面図、第２図は従来の超純水加熱器を示す正面
図、第３図は同じく側断面図である。 １４……ヒートブロツク、１６……蒸留槽、１
９……有機溶剤、２２……加熱用管、２３……制
御用冷却管。
Claims (1)
- １ ヒータと、上記ヒータ上に設けられた蒸留槽
と、上記蒸留槽内に設けられた石英ガラス製の加
熱用管と、上記蒸留槽内にかつ上記加熱用管の下
方に設けられた制御用冷却管とを具備することを
特徴とする超純水加熱器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28186985A JPS62141459A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 超純水加熱器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28186985A JPS62141459A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 超純水加熱器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62141459A JPS62141459A (ja) | 1987-06-24 |
| JPH046848B2 true JPH046848B2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=17645111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28186985A Granted JPS62141459A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 超純水加熱器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62141459A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53149259A (en) * | 1977-06-01 | 1978-12-26 | Dainippon Printing Co Ltd | Production of embossed release film |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP28186985A patent/JPS62141459A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62141459A (ja) | 1987-06-24 |
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