JPH0469192A - 円板体に貼付けられたフィルム等の倣い切断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明の倣い切断方法は、例えば半導体ウェハの製造過
程の後処理工程において、ウェハに貼合されているテー
プを、同ウェハの外形に倣って切断する方法に関するも
のである。

（従来の技術） 半導体ウェハを製造した後には、同ウェハを損傷等から
保護するために、一般にテープマウンタと称されるテー
プ貼付装置により同ウェハの一面又は両面に保護用のフ
ィルムを貼付けている。

通常、この貼付けられたフィルムはウェハの外径よりも
大きい、いわゆるオーバーサイズであるため、ウェハの
芯出しくセンタリング）等のために同フィルムをウェハ
の外形に倣って切断する必要がある。

そこで従来は第７図のような倣い切断装置により切断し
ていた。この切断装置は同図の矢印Ｚ方向に刃物Ｃを降
下してフィルムＡを切込み、次に同フィルムＡが貼付け
られているウェハＢの外周に沿って同刃物Ｃを同図の矢
印ｙ方向に周回移動させ、同刃物ＣがウェハＢを完全に
周回して切断を終了した後に、同図の矢印Ｘ方向に刃物
Ｃが上昇するようにしたものである。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら従来の倣い切断装置では、第７図のように
刃物ＣがフィルムＡを切込んだ位置（高さ）で、ウェハ
Ｂの外周に沿って周回移動するので、第８図のように刃
物Ｃの切刃りのうち一定箇所ｊだけが常にフィルムＡを
切断し、その箇所ｊが切れにくくなる。また刃物Ｃのう
ち、同箇所Ｊの側面がフィルムＡを介してウェハＢに当
るので、その部分だけが局部的に摩耗してしまう。この
ため刃物の寿命が短く、頻繁に刃物を交換しなければな
らないという問題があった。

刃物を長期間使用するためには前記切断箇所Ｊや接触部
分ｋをずらせばよいが、そのためには−々、刃物Ｃの取
付は位置を調整しなければならず、その作業が面倒であ
った。

（発明の目的） 本発明の目的は、刃物の寿命を長くして刃物交換の頻度
を少なくし、刃物の取付は位置を調整する面倒もない倣
い切断方法を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明の倣い切断方法は第１図〜第３図のように、フィ
ルムＡが貼付けられたウェハ等の円板体Ｂの外周に沿っ
て刃物Ｃを周回移動して、同フィルムＡを円板体Ｂの形
状に切断する倣い切断方法において、前記刃物Ｃが円板
体Ｂの外周に沿って周回する間に、同刃物Ｃを前記周回
方向と交差する方向に自動的に往復移動させることを特
徴とするものである。

（作用） 本発明の倣い切断方法では、第３図の矢印ａ方向に刃物
Ｃを降下させて同刃物Ｃの切刃りをフィルムＡの一箇所
Ｖに切込み、その位置から同刃物ＣをウェハＢの外周に
沿って同図の矢印す方向に移動させる。本発明ではこの
とき、同刃物Ｃを前記周回方向を交差する方向、即ち同
図の矢印ｇ−ｈ方向（上下方向）にも移動するので、実
際には同図の矢印Ｃのように刃物Ｃを移動させる。従っ
て同刃物Ｃの切刃りのうち、実際にフィルムＡを切断す
る箇所とウェハＢの外周に接触する部分とがフィルムＡ
の切断中、変化するため、同刃物Ｃの局部的な摩耗が抑
制される。

（実施例） 第１図は本発明の倣い切断方法を実施化する装置の〜例
を示すものである。

この倣い切断装置は、基板ｌに取付けられているモータ
２を回転させて、同モータ２のプーリ４と回転軸３のプ
ーリ５にかけられているベルト６により、同基板１に取
付けられている回転軸３を回転させると、同回転軸３の
下端の取付は板７に固定されている刃物Ｃが、ウェハＢ
の外形に沿って第１図の矢印ｆ方向に周回されてフィル
ムＡが切断されるようにしである。

そしてこの倣い切断装置では前記回転軸３の回転時に、
第１図のように同回転軸３に取付はリングｌＯを介して
回転自在に取付けられているカムフォロワ１１が、同回
転軸３の周囲に設けられているカムｍ１２のカム面１２
ａの上にのって回転される。これにより回転軸３がカム
面１２ａの起伏に沿って上下動し、これに伴って同回転
軸３に取付けられている刃物Ｃが前記周回方向と交差す
る方向、即ち同図の上下方向（矢印ｇ−ｈ方向）に移動
（リフト）される。このとき、刃物ＣはフィルムＡ及び
ウェハＢに接触する部分が、第２図の有効切刃幅ｄの間
で往復移動するようにリフトする。なお、刃物Ｃが一周
する間に同刃物Ｃの切断・接触箇所が有効切刃幅ｄを一
往復する場合には、前記カム面１２ａの形状を第４図の
ようにリフト量２が有効切刃幅ｄになるようにし、その
振幅周期Ｔが２１（３６０度）となるようにすればよい
。また、刃物Ｃが一周する間に有効切刃幅ｄを二往復さ
せる場合にはカム面１２ａの形状を第５図のようにして
振幅周期をπ（１８０度）とすればよい。

なお、前記カムフォロワ１１のリフトと共に、モータ２
及び基板ｌもリフトされるので、同基板ｌにはそれを案
内するガイドアーム８が取付けられている。

図示した装置では回転軸３及び刃物Ｃをリフトさせる機
構として、カム板１２とカムフォロワ１１との組合わせ
を使用したが、同刃物Ｃを移動させる機構はそれら以外
であってもよく、例えば第６図のようにモータ２及び回
転軸３が取付けられた基板１をシリンダ２０のロッド２
１の伸縮によりリフトさせるようにしてもよい。

（発明の効果） 本発明の倣い切断方法は以下のような効果がある。

■、刃物Ｃが周回方向に移動すると同時に、それと交差
する方向に同刃物Ｃの有効切刃幅ｄ内で移動するので、
フィルムＡを切断する箇所とウェハＢの外周に接触する
部分とが常にずれる。このため、刃物Ｃの局部的な摩耗
が少なくなり、刃物Ｃ全体がほぼ均一に摩耗するので、
刃物Ｃの寿命が延びる。

■、刃物Ｃが自動的に上下動するので、刃物Ｃを交換し
たり刃物Ｃの位置を調整したりする手間が必要ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の倣い切断方法を実施化する装置の一例
を示す一部断面正面図、第２図は刃物の有効切刃幅の説
明図、第３図は同切断方法による切断動作説明図、第４
図、第５図は第１図の切断装置に用いられたカム板１２
のカム形状の説明図、第６図は本発明の倣い切断方法を
実施化する装置の地利を示す一部断面正面図、第７図は
従来の倣い切断装置による切断動作説明図、第８図は同
切断装置の刃物の摩耗の説明図である。 Ａはフィルム Ｂはウェハ等の円板体 Ｃは刃物

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　フィルムＡが貼付けられたウェハ等の円板体Ｂの外周
   に沿って刃物Ｃを周回移動して、同フィルムＡを円板体
   Ｂの形状に切断する倣い切断方法において、前記刃物Ｃ
   が円板体Ｂの外周に沿って周回する間に、同刃物Ｃを前
   記周回方向と交差する方向に自動的に往復移動させるこ
   とを特徴とする円板体に貼付けられたフィルム等の倣い
   切断方法。