JPH0469308B2 - - Google Patents
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- JPH0469308B2 JPH0469308B2 JP58094238A JP9423883A JPH0469308B2 JP H0469308 B2 JPH0469308 B2 JP H0469308B2 JP 58094238 A JP58094238 A JP 58094238A JP 9423883 A JP9423883 A JP 9423883A JP H0469308 B2 JPH0469308 B2 JP H0469308B2
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- JP
- Japan
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- sealing
- rotating
- sealing ring
- shaft
- gap
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
- F16J15/3436—Pressing means
- F16J15/3444—Pressing means by magnetic attraction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
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- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
- F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
- F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
- F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities
- F16J15/342—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities with means for feeding fluid directly to the face
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
- F16J15/3492—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member with monitoring or measuring means associated with the seal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Mechanical Sealing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、回転する軸上に固定されて軸線に対
して直角な密封面をもつ回転密封環と、密封間隙
を介して回転密封環の密封面に対向しかつ同様に
軸線に対して直角な密封面をもつ非回転密封環
と、軸を包囲して半径方向および軸線方向にたわ
み可能で非回転密封環を密封装置ハウジングに結
合する筒状たわみ密封素子と、非回転密封環また
は回転密封環の密封面に形成されて非回転密封環
にある密封媒体供給孔に連通するかまたは対向す
る円弧状分配ポケツトとを有する、軸封装置に関
する。
して直角な密封面をもつ回転密封環と、密封間隙
を介して回転密封環の密封面に対向しかつ同様に
軸線に対して直角な密封面をもつ非回転密封環
と、軸を包囲して半径方向および軸線方向にたわ
み可能で非回転密封環を密封装置ハウジングに結
合する筒状たわみ密封素子と、非回転密封環また
は回転密封環の密封面に形成されて非回転密封環
にある密封媒体供給孔に連通するかまたは対向す
る円弧状分配ポケツトとを有する、軸封装置に関
する。
２つの空間を互いに分離する壁の所で非回転部
分に対して回転部分を密封するのに必要な密封媒
体の流量を少なくする軸封装置は既に公知である
（ドイツ連報共和国特許出願公開第2134964号明細
書）。ここでは非回転密封環は非回転部分に対し
てあらゆる方向に自由に動くことができ、１つま
たはそれ以上の変形可能な壁によりこの非回転部
分に結合されている。
分に対して回転部分を密封するのに必要な密封媒
体の流量を少なくする軸封装置は既に公知である
（ドイツ連報共和国特許出願公開第2134964号明細
書）。ここでは非回転密封環は非回転部分に対し
てあらゆる方向に自由に動くことができ、１つま
たはそれ以上の変形可能な壁によりこの非回転部
分に結合されている。
この構成では、狭い供給孔がつまると復元力が
なくなり、したがつて回転環が固定環をこするこ
とになるという欠点がある。
なくなり、したがつて回転環が固定環をこするこ
とになるという欠点がある。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第2444544号明
細書によれば、この欠点を回避するため密封ガス
が、回転密封環および非回転密封環にあるうず巻
状溝を通つて密封間隙へ半径方向外側または内側
から供給されて、気体力学的復元力を生ずる。こ
の場合この復元力が回転数に関係しているので、
小さい回転数では絞り穴を介して発生される静的
ガスクツシヨンを存在させねばならないという欠
点がある。
細書によれば、この欠点を回避するため密封ガス
が、回転密封環および非回転密封環にあるうず巻
状溝を通つて密封間隙へ半径方向外側または内側
から供給されて、気体力学的復元力を生ずる。こ
の場合この復元力が回転数に関係しているので、
小さい回転数では絞り穴を介して発生される静的
ガスクツシヨンを存在させねばならないという欠
点がある。
ターボ機械の軸封装置において動作媒体の漏れ
損失を減少するために、電子制御される電磁石コ
イルの磁界により軸封装置を軸に対して同心的に
保つことが、ドイツ連邦共和国特許出願公開第
2515316号明細書に提案されている。しかし軸に
対する同心位置に関連して軸封装置を半径方向間
隙密封装置として構成することについては、何も
開示されていない。
損失を減少するために、電子制御される電磁石コ
イルの磁界により軸封装置を軸に対して同心的に
保つことが、ドイツ連邦共和国特許出願公開第
2515316号明細書に提案されている。しかし軸に
対する同心位置に関連して軸封装置を半径方向間
隙密封装置として構成することについては、何も
開示されていない。
さらに、ドイツ連邦共和国特許出願公開第
1675354号明細書には、絞り穴の間で密封環に埋
込まれて反発作用する永久磁石により密封間隙を
形成する考えが暗示されているが、その構造的構
成についての示唆はなされていない。
1675354号明細書には、絞り穴の間で密封環に埋
込まれて反発作用する永久磁石により密封間隙を
形成する考えが暗示されているが、その構造的構
成についての示唆はなされていない。
これまで公知の構成は、密封媒体のほかにさら
に非回転密封環に作用する弾性復元力が及ぼされ
る半径方向軸封装置では、きわめて小さい密封間
隙には適していない。なぜならば、密封間隙の方
へ軸線方向に向く力が重畳されると、間隙の必要
な均一性が維持されず、軸と共に回転する環が接
触するおそれがあるからである。
に非回転密封環に作用する弾性復元力が及ぼされ
る半径方向軸封装置では、きわめて小さい密封間
隙には適していない。なぜならば、密封間隙の方
へ軸線方向に向く力が重畳されると、間隙の必要
な均一性が維持されず、軸と共に回転する環が接
触するおそれがあるからである。
本発明の課題は、軸封装置において半径方向密
封間隙へ作用する力を互いに整合させて、所定の
密封間隙を維持する軸封装置の機能が常に保証さ
れるようにすることである。
封間隙へ作用する力を互いに整合させて、所定の
密封間隙を維持する軸封装置の機能が常に保証さ
れるようにすることである。
この課題を解決するため第１の発明によれば、
非回転密封環が半径方向外方へ延びる肩部をも
ち、この肩部の軸線方向両側で密封装置ハウジン
グにそれぞれ電磁石が設けられて、肩部へ互いに
逆向きに作用し、非回転密封環の密封面にセンサ
が設けられ、このセンサにより電子制御装置を介
して制御される電磁石の磁力が、密封間隙へ供給
されて軸線方向に作用する密封媒体の圧力および
たわみ密封素子の復元力に重畳されて、密封間隙
の所定の間隙幅を維持する。
非回転密封環が半径方向外方へ延びる肩部をも
ち、この肩部の軸線方向両側で密封装置ハウジン
グにそれぞれ電磁石が設けられて、肩部へ互いに
逆向きに作用し、非回転密封環の密封面にセンサ
が設けられ、このセンサにより電子制御装置を介
して制御される電磁石の磁力が、密封間隙へ供給
されて軸線方向に作用する密封媒体の圧力および
たわみ密封素子の復元力に重畳されて、密封間隙
の所定の間隙幅を維持する。
さらに第２の発明によれば、非回転密封環の周
囲に、これを半径方向に案内する手段が設けられ
ている。
囲に、これを半径方向に案内する手段が設けられ
ている。
第１の発明および第２の発明に共通な利点とし
て、非回転密封環の肩部に作用する電磁石の磁力
のほかに、密封間隙へ供給される密封媒体の圧力
およびたわみ密封素子の復元力が、非回転密封環
へ軸線方向に作用するので、磁力の発生に必要な
電磁力を小さくし、電磁石の励磁エネルギも少な
くすることができる。またセンサにより電磁石を
制御するので、運転中になんらかの原因で密封媒
体が密封間隙へ供給されなくなつても、非回転密
封環と回転密封環との接触を確実に回避しなが
ら、所定の密封間隙幅を維持することができる。
さらに軸封装置をもつ機械の輸送中および組立て
中密封媒体がまだ密封間隙へ供給されない間は、
非回転密封環と回転密封環との間隙を保持するた
めに、電磁石を利用することもできる。
て、非回転密封環の肩部に作用する電磁石の磁力
のほかに、密封間隙へ供給される密封媒体の圧力
およびたわみ密封素子の復元力が、非回転密封環
へ軸線方向に作用するので、磁力の発生に必要な
電磁力を小さくし、電磁石の励磁エネルギも少な
くすることができる。またセンサにより電磁石を
制御するので、運転中になんらかの原因で密封媒
体が密封間隙へ供給されなくなつても、非回転密
封環と回転密封環との接触を確実に回避しなが
ら、所定の密封間隙幅を維持することができる。
さらに軸封装置をもつ機械の輸送中および組立て
中密封媒体がまだ密封間隙へ供給されない間は、
非回転密封環と回転密封環との間隙を保持するた
めに、電磁石を利用することもできる。
第２の発明に固有の利点として、半径方向案内
手段により、非回転密封環の軸線が回転軸の軸線
と常に一致せしめられ、たわみ密封素子は軸線方
向復元力のみを及ぼしさえすればよい。
手段により、非回転密封環の軸線が回転軸の軸線
と常に一致せしめられ、たわみ密封素子は軸線方
向復元力のみを及ぼしさえすればよい。
密封環の分配ポケツトを経てまたは縁から例え
ばうず巻状溝を経て密封媒体を供給することによ
つて、間隙保持についてのいくらかの余裕は得ら
れるが、この余裕だけでは充分でない。電磁石が
多量に並列に設けられていると、電磁石装置自体
における余裕が付加的に得られる。
ばうず巻状溝を経て密封媒体を供給することによ
つて、間隙保持についてのいくらかの余裕は得ら
れるが、この余裕だけでは充分でない。電磁石が
多量に並列に設けられていると、電磁石装置自体
における余裕が付加的に得られる。
たわみ密封素子が、回転密封環から非回転密封
環を離す力を生ずるように構成されていることに
より、電子制御装置が故障しても、回転密封環へ
の接触を防止することができる。
環を離す力を生ずるように構成されていることに
より、電子制御装置が故障しても、回転密封環へ
の接触を防止することができる。
軸封装置において圧力を段階づけるか、または
２つの異なる密封媒体を使用することも可能であ
る。このため回転密封環が、軸線方向両側でこの
回転密封環に対向する非回転密封環と共にそれぞ
れ密封間隙を区画することができる。
２つの異なる密封媒体を使用することも可能であ
る。このため回転密封環が、軸線方向両側でこの
回転密封環に対向する非回転密封環と共にそれぞ
れ密封間隙を区画することができる。
非密封環の密封面にあるセンサが密封間隙の温
度も測定し、それにより特定の時間間隔で測定さ
れる温度により温度の時間的勾配を形成し、この
勾配により電子制御装置を介して電磁石を制御し
て、一定に保つべき密封間隙の目標値を変化する
ことも可能である。非回転密封環の周囲に分布し
て少なくとも３つのセンサを設けると有利であ
る。これにより密封間隙の範囲に生ずる温度も付
加的なパラメータとして電子制御装置へ供給さ
れ、それによりそのつどの電転条件の最適な適合
が行なれ、軸封装置の運転信頼性が著しく高めら
れる。
度も測定し、それにより特定の時間間隔で測定さ
れる温度により温度の時間的勾配を形成し、この
勾配により電子制御装置を介して電磁石を制御し
て、一定に保つべき密封間隙の目標値を変化する
ことも可能である。非回転密封環の周囲に分布し
て少なくとも３つのセンサを設けると有利であ
る。これにより密封間隙の範囲に生ずる温度も付
加的なパラメータとして電子制御装置へ供給さ
れ、それによりそのつどの電転条件の最適な適合
が行なれ、軸封装置の運転信頼性が著しく高めら
れる。
図面には本発明の実施例が示されており、以下
これについて説明する。
これについて説明する。
図において密封間隙１は、軸と共に回転して軸
線に対して直角な密封面をもつ回転密封環２と、
この密封環に対向しかつ同様に軸線に対して直角
な密封面をもつ非回転密封環５とにより区画され
ている。非回転密封環５は、軸を包囲して半径方
向および軸線方向にたわむことのできる筒状たわ
み密封素子３により密封装置ハウジング４に結合
されている。この密封素子３例えばベローは、非
回転密封環５へ軸線方向に向く力を及ぼす。
線に対して直角な密封面をもつ回転密封環２と、
この密封環に対向しかつ同様に軸線に対して直角
な密封面をもつ非回転密封環５とにより区画され
ている。非回転密封環５は、軸を包囲して半径方
向および軸線方向にたわむことのできる筒状たわ
み密封素子３により密封装置ハウジング４に結合
されている。この密封素子３例えばベローは、非
回転密封環５へ軸線方向に向く力を及ぼす。
密封媒体の供給は、第１図および第２図によれ
ば、非回転密封環５にある円弧状分配ポケツト７
への接続部にある絞り状くびれ部をもつ供給孔６
を通して行なわれる。したがつて密封媒体は密封
間隙１へ供給される。この例では非回転密封環５
の内縁に設けられているうず巻状溝１２には、高
い回転数において密封媒体の動圧クツシヨンが付
加的に生ずる。
ば、非回転密封環５にある円弧状分配ポケツト７
への接続部にある絞り状くびれ部をもつ供給孔６
を通して行なわれる。したがつて密封媒体は密封
間隙１へ供給される。この例では非回転密封環５
の内縁に設けられているうず巻状溝１２には、高
い回転数において密封媒体の動圧クツシヨンが付
加的に生ずる。
非回転密封環５に設けられたセンサ８および回
転密封環２に埋込まれた挿入片１１は、密封装置
ハウジング４にある電磁石９を、電子制御装置を
介して制御し、これらの電磁石９は非回転環５の
半径方向外方へ延びる肩部５ａにある磁化可能な
対向体１０と共同して密封間隙１に作用する。
転密封環２に埋込まれた挿入片１１は、密封装置
ハウジング４にある電磁石９を、電子制御装置を
介して制御し、これらの電磁石９は非回転環５の
半径方向外方へ延びる肩部５ａにある磁化可能な
対向体１０と共同して密封間隙１に作用する。
密封装置ハウジング４にある電磁石９は、非回
転密封環５の肩部５ａに設けられて積層鉄板とし
て構成された磁化可能な対向体１０の軸線方向両
側で互いに逆向きに作用するように配置されてい
る。それにより非回転密封環５に作用する密封媒
体および密封素子３の力に電磁力が重畳され、こ
の電磁力は他の力に関係なく密封間隙１にあるセ
ンサ８を介して調整されて、所定の密封間隙１を
維持する。
転密封環５の肩部５ａに設けられて積層鉄板とし
て構成された磁化可能な対向体１０の軸線方向両
側で互いに逆向きに作用するように配置されてい
る。それにより非回転密封環５に作用する密封媒
体および密封素子３の力に電磁力が重畳され、こ
の電磁力は他の力に関係なく密封間隙１にあるセ
ンサ８を介して調整されて、所定の密封間隙１を
維持する。
密封装置ハウジング４に対して非回転密封環５
を半径方向に案内するため、第３図によれば、密
封装置ハウジング４の内周面に設けられた電磁石
１３と、この電磁石１３に対向して非回転密封環
５にある積層鉄板１４とが役だつ。この半径方向
案内は、第４図によれば半径方向ガス軸受１５に
よつても行なわれ、このガス軸受１５は、密封装
置ハウジングにある半径方向ガス供給孔１６と、
非回転密封環５とハウジング４との間の環状間隙
にあるガス排出孔１７とを備えている。
を半径方向に案内するため、第３図によれば、密
封装置ハウジング４の内周面に設けられた電磁石
１３と、この電磁石１３に対向して非回転密封環
５にある積層鉄板１４とが役だつ。この半径方向
案内は、第４図によれば半径方向ガス軸受１５に
よつても行なわれ、このガス軸受１５は、密封装
置ハウジングにある半径方向ガス供給孔１６と、
非回転密封環５とハウジング４との間の環状間隙
にあるガス排出孔１７とを備えている。
第５図は第１図に示す密封装置をいわゆる二重
密封装置として使用する実施例を示し、対応する
部分には同じ数字およびダツシユをつけた数字を
つけてある。この場合密封間隙１および１′へ異
なる密封媒体を供給することができる。
密封装置として使用する実施例を示し、対応する
部分には同じ数字およびダツシユをつけた数字を
つけてある。この場合密封間隙１および１′へ異
なる密封媒体を供給することができる。
第１図は本発明による軸封装置の中心軸線を通
る縦断面図、第２図はその非回転密封環を第１図
の−線の方向に見た正面図、第３図は電磁石
により非回転密封環を半径方向に案内する装置を
もつ軸封装置の縦断面図、第４図はガス軸受によ
り半径方向案内を行なう装置をもつ軸封装置の縦
断面図、第５図は二重密封装置として構成された
軸封装置の縦断面図である。 １…密封間隙、２…回転密封環、３…たわみ密
封素子、４…密封装置ハウジング、５…非回転密
封環、５ａ…肩部、６…密封媒体供給孔、７…分
配ポケツト、８…センサ、９…電磁石、１０…対
向体、１２…うず巻状溝、１３，１４，１５…半
径方向案内手段。
る縦断面図、第２図はその非回転密封環を第１図
の−線の方向に見た正面図、第３図は電磁石
により非回転密封環を半径方向に案内する装置を
もつ軸封装置の縦断面図、第４図はガス軸受によ
り半径方向案内を行なう装置をもつ軸封装置の縦
断面図、第５図は二重密封装置として構成された
軸封装置の縦断面図である。 １…密封間隙、２…回転密封環、３…たわみ密
封素子、４…密封装置ハウジング、５…非回転密
封環、５ａ…肩部、６…密封媒体供給孔、７…分
配ポケツト、８…センサ、９…電磁石、１０…対
向体、１２…うず巻状溝、１３，１４，１５…半
径方向案内手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転する軸上に固定されて軸線に対して直角
な密封面をもつ回転密封環と、密封間隙を介して
回転密封環の密封面に対向しかつ同様に軸線に対
して直角な密封面をもつ非回転密封環と、軸を包
囲して半径方向および軸線方向にたわみ可能で非
回転密封環を密封装置ハウジングに結合する筒状
たわみ密封素子と、非回転密封環または回転密封
環の密封面に形成されて非回転密封環にある密封
媒体供給孔に連通するかまたは対向する円弧状分
配ポケツトとを有するものにおいて、非回転密封
環５が半径方向外方へ延びる肩部５ａをもち、こ
の肩部５ａの軸線方向両側で密封装置ハウジング
４にそれぞれ電磁石９が設けられて、肩部５ａへ
互いに逆向きに作用し、非回転密封環５の密封面
にセンサ８が設けられ、このセンサ８により電子
制御装置を介して制御される電磁石９の磁力が、
密封間隙１へ供給されて軸線方向に作用する密封
媒体の圧力およびたわみ密封素子３の復元力に重
畳されて、密封間隙１の所定の間隙幅を維持する
ことを特徴とする、軸封装置。 ２ 電磁石９が多重に並列に設けられていること
を特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の軸
封装置。 ３ たわみ密封素子３が、回転密封環２から非回
転密封環５を離す力を生ずるように構成されてい
ることを特徴とする、特許請求の範囲第１項に記
載の軸封装置。 ４ 回転密封環２が、軸線方向両側でこの回転密
封環に対向する非回転密封環５，５′と共に、密
封間隙１，１′をそれぞれ区画していることを特
徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の軸封装
置。 ５ 非回転密封環５の密封面にあるセンサが密封
間隙１の温度も測定し、それにより特定の時間間
隔で測定される温度により温度の時間的勾配が形
成され、この勾配が電子制御装置を介して電磁石
９を制御して、一定に保つべき密封間隙１の目標
値を変化することを特徴とする、特許請求の範囲
第１項に記載の軸封装置。 ６ 密封間隙１の温度を測定するセンサが、非回
転密封環５の周囲に分布して少なくとも３つ設け
られていることを特徴とする、特許請求の範囲第
５項に記載の軸封装置。 ７ 回転する軸上に固定されて軸線に対して直角
な密封面をもつ回転密封環と、密封間隙を介して
回転密封環の密封面に対向しかつ同様に軸線に対
して直角な密封面をもつ非回転密封環と、軸を包
囲して半径方向および軸線方向にたわみ可能で非
回転密封環を密封装置ハウジングに結合する筒状
たわみ密封素子と、非回転密封環または回転密封
環の密封面に形成されて非回転密封環にある密封
媒体供給孔に連通するかまたは対向する円弧状分
配ポケツトを有するものにおいて、非回転密封環
５が半径方向外方へ延びる肩部５ａをもち、この
肩部５ａの軸線方向両側で密封装置ハウジング４
にそれぞれ電磁石９が設けられて、肩部５ａへ互
いに逆向きに作用し、非回転密封環５の密封面に
センサ８が設けられ、このセンサ８により電子制
御装置を介して制御される電磁石９の磁力が、密
封間隙１へ供給されて軸線方向に作用する密封媒
体の圧力およびたわみ密封素子３の復元力に重畳
されて、密封間隙１の所定の間隙幅を維持し、さ
らに非回転密封環５の周囲に、これを半径方向に
案内する手段１３，１４，１５が設けられている
ことを特徴とする、軸封装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3221380.8 | 1982-06-05 | ||
| DE3221380A DE3221380C1 (de) | 1982-06-05 | 1982-06-05 | Wellendichtung mit aktiv-magnetisch geregeltem Dichtspalt |
| DE3227796.2 | 1982-07-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58221074A JPS58221074A (ja) | 1983-12-22 |
| JPH0469308B2 true JPH0469308B2 (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=6165490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58094238A Granted JPS58221074A (ja) | 1982-06-05 | 1983-05-30 | 軸封装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58221074A (ja) |
| DE (1) | DE3221380C1 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4528451A (en) * | 1982-10-19 | 1985-07-09 | Varian Associates, Inc. | Gap control system for localized vacuum processing |
| US4580791A (en) * | 1984-11-16 | 1986-04-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator, National Aeronautics And Space Administration | Variable friction secondary seal for face seals |
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