JPH047125B2 - - Google Patents
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- JPH047125B2 JPH047125B2 JP6962082A JP6962082A JPH047125B2 JP H047125 B2 JPH047125 B2 JP H047125B2 JP 6962082 A JP6962082 A JP 6962082A JP 6962082 A JP6962082 A JP 6962082A JP H047125 B2 JPH047125 B2 JP H047125B2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 37
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は圧電体上にインタデイジタル電極を
形成してなる弾性表面波装置に関する。
形成してなる弾性表面波装置に関する。
弾性表面波装置として、圧電体基板表面にイン
タデイジタル電極を設けたものが実用化されてい
る。ところがこのような装置においては、インタ
デイジタル電極の電気的な再励起による電気的反
射波を生じるという問題がある。この反射波は出
力にスプリアスを発生し、弾性表面波フイルタ等
を構成した場合にその特性を劣化させる原因とな
つている。
タデイジタル電極を設けたものが実用化されてい
る。ところがこのような装置においては、インタ
デイジタル電極の電気的な再励起による電気的反
射波を生じるという問題がある。この反射波は出
力にスプリアスを発生し、弾性表面波フイルタ等
を構成した場合にその特性を劣化させる原因とな
つている。
そこで従来このような電気的な反射波を、電極
構造による音響的反射波でキヤンセルする技術が
特開昭56−10724号により知られている。しかし
ながらこの特開昭56−10724号の発明においては
電気的反射波の時間軸レスポンスと音響的反射波
の時間軸レスポンスとは完全に相殺しない場合が
生じる。このような欠点を鑑みて第１図に示すよ
うにインタデイジタル電極部に音響的反射波を生
じさせる電極金属欠落部２１〜２６をアポダイズ
法によつて設け、時間軸レスポンスを完全に一致
させるものが提案されている。
構造による音響的反射波でキヤンセルする技術が
特開昭56−10724号により知られている。しかし
ながらこの特開昭56−10724号の発明においては
電気的反射波の時間軸レスポンスと音響的反射波
の時間軸レスポンスとは完全に相殺しない場合が
生じる。このような欠点を鑑みて第１図に示すよ
うにインタデイジタル電極部に音響的反射波を生
じさせる電極金属欠落部２１〜２６をアポダイズ
法によつて設け、時間軸レスポンスを完全に一致
させるものが提案されている。
しかしながら、第１図に示すように音響反射波
発生部を有する電極部（金属欠落部）を通過する
弾性表面波Ａは、音響反射波発生部を有しない電
極部を通過する弾性表面波Ｂとは伝搬速度が異な
る為位相差が生じる。この速度差の生じる原因は
電極金属が弾性表面波による電界を短絡する為生
ずる速度低下と金属の質量が弾性表面波に与える
質量付加効果による速度低下とによるものであ
る。
発生部を有する電極部（金属欠落部）を通過する
弾性表面波Ａは、音響反射波発生部を有しない電
極部を通過する弾性表面波Ｂとは伝搬速度が異な
る為位相差が生じる。この速度差の生じる原因は
電極金属が弾性表面波による電界を短絡する為生
ずる速度低下と金属の質量が弾性表面波に与える
質量付加効果による速度低下とによるものであ
る。
このような位相差が生じると、所望の周波数特
性が得られなくなる。
性が得られなくなる。
本発明は前述の電気反射を音響反射でキヤンセ
ルする方法において、音響反射発生部の有無によ
つて電極部での弾性表面波の伝搬速度が変化しな
い電極形状を提供し、周波数特性の良好な弾性表
面波装置、とりわけフイルタを提供することを目
的とする。
ルする方法において、音響反射発生部の有無によ
つて電極部での弾性表面波の伝搬速度が変化しな
い電極形状を提供し、周波数特性の良好な弾性表
面波装置、とりわけフイルタを提供することを目
的とする。
本発明は音響反射発生部以外の電極部にも1/8
波長幅の金属のない部分を設けることにより、電
極のどの部分でも弾性表面波の伝搬速度を等しく
したもので、さらにこのダミーの電極金属欠落部
が音響反射波を生じては、本来の反射波キヤンセ
ルの目的を達成できなくなることから本発明では
新たに設けたダミーの電極金属欠落部からの音響
反射波をキヤンセルするような構造にして上記目
的を達成している。
波長幅の金属のない部分を設けることにより、電
極のどの部分でも弾性表面波の伝搬速度を等しく
したもので、さらにこのダミーの電極金属欠落部
が音響反射波を生じては、本来の反射波キヤンセ
ルの目的を達成できなくなることから本発明では
新たに設けたダミーの電極金属欠落部からの音響
反射波をキヤンセルするような構造にして上記目
的を達成している。
以下本発明を図面を参照して詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例の弾性表面波装置のイ
ンタデイジタル電極構成を示すものである。図示
するように、このインタデイジタル電極１１，１
２はそれぞれ1/8波長幅電極指および5/8波長幅電
極指を有し、これら電極指が1/8波長幅の間隔を
おいて互いに噛み合うよう形成されている。なお
このインタデイジタル電極１１，１２は図示しな
いがLiTaO3やLiNbO3等の圧電性基板上に形成
されている。インタデイジタル電極12の5/8波長
幅の電極指には第１図と同様に音響的反射波を生
じさせる電極金属欠落部２１〜２６がアポダイズ
法によつて設けられている。すなわち電極金属欠
落部２１〜２６の長さが電極指間で徐々に変化し
ている。従つて第１図の装置と同様に反射波のキ
ヤンセル効果が維持されている。
第２図は本発明の一実施例の弾性表面波装置のイ
ンタデイジタル電極構成を示すものである。図示
するように、このインタデイジタル電極１１，１
２はそれぞれ1/8波長幅電極指および5/8波長幅電
極指を有し、これら電極指が1/8波長幅の間隔を
おいて互いに噛み合うよう形成されている。なお
このインタデイジタル電極１１，１２は図示しな
いがLiTaO3やLiNbO3等の圧電性基板上に形成
されている。インタデイジタル電極12の5/8波長
幅の電極指には第１図と同様に音響的反射波を生
じさせる電極金属欠落部２１〜２６がアポダイズ
法によつて設けられている。すなわち電極金属欠
落部２１〜２６の長さが電極指間で徐々に変化し
ている。従つて第１図の装置と同様に反射波のキ
ヤンセル効果が維持されている。
本実施例の弾性表面波装置が第１図の装置と異
なる点はインタデイジタル電極１２の5/8波長幅
の電極指に上記電極金属欠落部２１〜２６の他に
ダミーの電極金属欠落部３１〜３５及び４１〜４
５が設けられている点である。このダミーの電極
金属欠落部３１〜３６，４１〜４６は金属電極欠
落部２１〜２６と同じ1/8波長幅で、金属電極欠
落部２１〜２６の外側部分に形成されている。ま
た同一電極指内のダミーの電極金属欠落部３１と
４１，３２と４２，３３と４３…はその長さが等
しく、かつ両者は各々1/4波長ずつ表面波伝搬方
向にずれている。
なる点はインタデイジタル電極１２の5/8波長幅
の電極指に上記電極金属欠落部２１〜２６の他に
ダミーの電極金属欠落部３１〜３５及び４１〜４
５が設けられている点である。このダミーの電極
金属欠落部３１〜３６，４１〜４６は金属電極欠
落部２１〜２６と同じ1/8波長幅で、金属電極欠
落部２１〜２６の外側部分に形成されている。ま
た同一電極指内のダミーの電極金属欠落部３１と
４１，３２と４２，３３と４３…はその長さが等
しく、かつ両者は各々1/4波長ずつ表面波伝搬方
向にずれている。
上記構成によると、図中左方から伝搬して来た
弾性表面波Ｃはダミーの電極金属欠落部３１，３
２，…，３６で音響反射を生じる。一方、同様に
弾性表面波Ｄもダミーの電極金属欠落部４１，４
２，…，４６で音響反射を生ずる。この場合電極
金属欠落部３１と４１，３２と４２……３６と４
６の長さは互いに等しいので、各電極金属欠落部
３１と４１，３２と４２……、３６と４６からの
反射量は等しい。しかしながら弾性波ＣとＤの音
響反射波は、ダミーの電極金属欠落部３１と４
１，３２と４２，……３６と４６がそれぞれ1/4
波長ずれているので往復1/2波長分すなわち180°
位相差が異なつている。この為、反射波が入力電
極側に達した時、電極金属欠落部３１からの反射
波と４１からの反射波とはキヤンセルする。同様
に各電極金属欠落部３２と４２，３３と４３，…
…３６と４６の反射波もキヤンセルする。従つて
ダミーの電極金属欠落部３１〜３６，４１〜４６
からの音響反射波についても全く問題とならず、
しかも同一電極指の長さ方向のどの位置でも電極
金属欠落部の幅が一定とすることができる。
弾性表面波Ｃはダミーの電極金属欠落部３１，３
２，…，３６で音響反射を生じる。一方、同様に
弾性表面波Ｄもダミーの電極金属欠落部４１，４
２，…，４６で音響反射を生ずる。この場合電極
金属欠落部３１と４１，３２と４２……３６と４
６の長さは互いに等しいので、各電極金属欠落部
３１と４１，３２と４２……、３６と４６からの
反射量は等しい。しかしながら弾性波ＣとＤの音
響反射波は、ダミーの電極金属欠落部３１と４
１，３２と４２，……３６と４６がそれぞれ1/4
波長ずれているので往復1/2波長分すなわち180°
位相差が異なつている。この為、反射波が入力電
極側に達した時、電極金属欠落部３１からの反射
波と４１からの反射波とはキヤンセルする。同様
に各電極金属欠落部３２と４２，３３と４３，…
…３６と４６の反射波もキヤンセルする。従つて
ダミーの電極金属欠落部３１〜３６，４１〜４６
からの音響反射波についても全く問題とならず、
しかも同一電極指の長さ方向のどの位置でも電極
金属欠落部の幅が一定とすることができる。
本発明によれば、電気的反射と音響的反射が完
全にキヤンセルされしかも電極のどの部分でも弾
性表面波の伝搬速度は等しい為、位相差が生じず
周波数特性を設計どうりのものにすることができ
る。しかもこの効果は電極形状を変えるだけであ
りしかもこの電極は最も細い部分でもせいぜい1/
８波長幅であることにより製造時の困難性もほと
んどない。
全にキヤンセルされしかも電極のどの部分でも弾
性表面波の伝搬速度は等しい為、位相差が生じず
周波数特性を設計どうりのものにすることができ
る。しかもこの効果は電極形状を変えるだけであ
りしかもこの電極は最も細い部分でもせいぜい1/
８波長幅であることにより製造時の困難性もほと
んどない。
前記実施例では、同一電極指内に1/4波長の間
隔をおいて一対のダミー電極金属欠落部３１，４
１を設けるようにしたが、第３図に示すようにこ
のダミーの電極金属欠落部３１，４１を複数個に
分割して３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄと４１
ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄとして形成すること
もできる。この場合電極金属欠落部３１ａ〜３１
ｄからの音響反射波の量と４１ａ〜４１ｄからの
音響反射波の量が互いに等しくなり、完全にキヤ
ンセルするよう電極金属欠落部３１ａ〜３１ｄの
長さの合計と４１ａ〜４１ｄの長さの合計とが等
しいことが望ましい。このような実施例において
も第２図の実施例と同様の効果を奏することは明
らかである。
隔をおいて一対のダミー電極金属欠落部３１，４
１を設けるようにしたが、第３図に示すようにこ
のダミーの電極金属欠落部３１，４１を複数個に
分割して３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄと４１
ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄとして形成すること
もできる。この場合電極金属欠落部３１ａ〜３１
ｄからの音響反射波の量と４１ａ〜４１ｄからの
音響反射波の量が互いに等しくなり、完全にキヤ
ンセルするよう電極金属欠落部３１ａ〜３１ｄの
長さの合計と４１ａ〜４１ｄの長さの合計とが等
しいことが望ましい。このような実施例において
も第２図の実施例と同様の効果を奏することは明
らかである。
また本発明の主旨は電気的反射と音響的反射を
キヤンセルし、かつ電極の長さ方向のどの部分で
も弾性表面波の伝搬速度が等しくなるようにする
ことであるから第４図に示すように電極金属欠落
部５１〜５３を5/8波長幅電極指の長さ方向すべ
てにわたり形成するようなものも考えられる。
キヤンセルし、かつ電極の長さ方向のどの部分で
も弾性表面波の伝搬速度が等しくなるようにする
ことであるから第４図に示すように電極金属欠落
部５１〜５３を5/8波長幅電極指の長さ方向すべ
てにわたり形成するようなものも考えられる。
第１図の従来例では音響反射用電極金属欠落部
２１〜２６が左方より徐々に長さ変わつている
が、これは反射率を変える主旨によるものであ
る。
２１〜２６が左方より徐々に長さ変わつている
が、これは反射率を変える主旨によるものであ
る。
第４図の実施例では反射率を変えるのに電極金
属欠落部５１〜５３の幅を電極指間で徐々に変え
て行つている。但し、同一電極指内では電極金属
欠落部の幅は同一である。この時、電極金属欠落
部の幅の中心位置は5/8波長幅電極の左端より3/1
６波長で一定でなければならない。また電極の対
数が多くなつてくると電極の再励起効果などの影
響で電気的反射波の周波数特性の位相が直線でな
くなつてくる場合がある。この時、音響波発生用
電極欠落部２１〜２６あるいは５１〜５３の幅の
中心位置を、5/8波長幅電極の左端より3/16波長
の距離からわずかに変化させて、電気的反射波と
音響反射波を完全にキヤンセルすることも可能で
ある。
属欠落部５１〜５３の幅を電極指間で徐々に変え
て行つている。但し、同一電極指内では電極金属
欠落部の幅は同一である。この時、電極金属欠落
部の幅の中心位置は5/8波長幅電極の左端より3/1
６波長で一定でなければならない。また電極の対
数が多くなつてくると電極の再励起効果などの影
響で電気的反射波の周波数特性の位相が直線でな
くなつてくる場合がある。この時、音響波発生用
電極欠落部２１〜２６あるいは５１〜５３の幅の
中心位置を、5/8波長幅電極の左端より3/16波長
の距離からわずかに変化させて、電気的反射波と
音響反射波を完全にキヤンセルすることも可能で
ある。
第１図は電気的反射を音響的反射でキヤスセル
する従来の弾性表面波装置の電極形状を示す図、
第２図は本発明の弾性表面波装置の電極形状の一
実施例を示す図、第３図および第４図はそれぞれ
本発明の他の実施例を示す図である。 １１，１２……インタデイジタル電極、２１〜
２６……音響波発生用電極金属欠落部、３１〜３
６，４１〜４６……ダミーの電極金属欠落部、５
１〜５３……音響波発生用電極金属欠落部。
する従来の弾性表面波装置の電極形状を示す図、
第２図は本発明の弾性表面波装置の電極形状の一
実施例を示す図、第３図および第４図はそれぞれ
本発明の他の実施例を示す図である。 １１，１２……インタデイジタル電極、２１〜
２６……音響波発生用電極金属欠落部、３１〜３
６，４１〜４６……ダミーの電極金属欠落部、５
１〜５３……音響波発生用電極金属欠落部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電基板と、 この圧電基板上に設けられた1/8波長幅電極指
と5/8波長幅電極指との組み合わせからなる弾性
表面波送信あるいは受信用インターデイジタル電
極と、 この弾性表面波送信あるいは受信用インターデ
イジタル電極の5/8波長幅電極指に形成され、そ
の長さが電極指間で徐々に変化する音響反射用電
極金属欠落部と、同一電極指内の長さ方向のどの
位置でも欠落部幅が1/8波長一定となるように、
同一電極指内で少なくとも２カ所以上に分散して
配置された1/8波長幅のダミーの電極金属欠落部
とからなる電極金属欠落部と、 前記ダミーの電極金属欠落部の幅の中心位置は
お互いに1/4波長弾性表面波伝搬方向にずれてお
り1/4波長左の欠落部の長さの合計と、1/4波長右
の欠落部の長さの合計とが等しく形成されている
ことを特徴とする弾性表面波装置。 ２ 圧電基板と、 この圧電基板上に設けられた1/8波長幅電極指
と5/8波長電極指との組み合わせからなる弾性表
面波送信あるいは受信用インターデイジタル電極
と、 この弾性表面波送信あるいは受信用インターデ
イジタル電極の5/8波長幅電極指の長さ方向全て
にわたつて形成される音響反射用電極欠落部は、
欠落部の幅が同一電極指内では同一であるが電極
指間では徐々に変化しており、さらに前記欠落部
の幅の中心が5/8波長幅電極指の端部から3/16波
長の位置にあることを特徴とする弾性表面波装
置。 ３ 圧電基板と、 この圧電基板上に設けられた1/8波長幅電極指
と5/8波長電極指との組み合わせからなる弾性表
面波送信あるいは受信用インターデイジタル電極
と、 この弾性表面波送信あるいは受信用インターデ
イジタル電極の5/8波長幅電極指の長さ方向全て
にわたつて形成される音響反射用電極欠落部は、
欠落部の幅が同一電極指内では同一であるが電極
指間では徐々に変化しており、さらに前記欠落部
の幅の中心位置が5/8波長幅電極指の端部から3/1
６波長よりわずかにずらして5/8波長幅電極指内に
形成されてなることを特徴とする弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6962082A JPS58187013A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6962082A JPS58187013A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58187013A JPS58187013A (ja) | 1983-11-01 |
| JPH047125B2 true JPH047125B2 (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=13408093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6962082A Granted JPS58187013A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58187013A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60241313A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-11-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
-
1982
- 1982-04-27 JP JP6962082A patent/JPS58187013A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58187013A (ja) | 1983-11-01 |
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