JPH0471788A - 電子ビーム加工機の目合せ検出装置 - Google Patents
電子ビーム加工機の目合せ検出装置Info
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- JPH0471788A JPH0471788A JP2184943A JP18494390A JPH0471788A JP H0471788 A JPH0471788 A JP H0471788A JP 2184943 A JP2184943 A JP 2184943A JP 18494390 A JP18494390 A JP 18494390A JP H0471788 A JPH0471788 A JP H0471788A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、電子ビーム加工機の目合せ検出装置に関す
るものである。
るものである。
［従来の技術］
第２図は、例えば特開昭５８−８４６９２号公報に開示
された従来の電子ビーム加工機としての電子ビーム溶接
機の溶接線検出装置を示す構成図である。
された従来の電子ビーム加工機としての電子ビーム溶接
機の溶接線検出装置を示す構成図である。
図において、（１）は高電圧電源、（２）はこの高電圧
電源（１）の両端間に接続された電子銃、（３）はこの
電子銃（２）から発生された電子ビーム、（４）はこの
電子ビーム（３）が照射されることによって加工される
被加工物、（５）は電子銃（２）より発生された電子ビ
ーム（３）を被加工物（４）の表面に集束させるための
集束コイル、（６）は被加工物（４）の継目（７）を横
切るように電子ビーム（３）を走査させるための偏向コ
イル、（８）は被加工物（４）からの反射電子および二
次電子（９）を捕捉するコレクタ、〈１０〉は信号発生
器、（１１）はこの信号発生器（１０）に接続され、そ
の発生信号の波形を変換する波形変換部、（１２）はこ
の波形変換部（１１）からの信号を偏向コイル（６）に
印加するための電流増幅器、Ｒ１はこの電流増幅器（１
２）と偏向コイル（６）の闇に接続された抵抗器、Ｒ２
はコレクタ（８）と接地の間に接続された抵抗器、（１
３）は抵抗器Ｒ１の各端に接続された水平軸偏向端子（
１３ａ）、（１３ｂ）、および抵抗器Ｒ２の各端に接続
された垂直軸偏向端子（１３（り、（１３ｄ）を有する
オシロスコープ、（１４）はこのオシロスコープ（Ｉ３
）の画面上に現れる輝点である。
電源（１）の両端間に接続された電子銃、（３）はこの
電子銃（２）から発生された電子ビーム、（４）はこの
電子ビーム（３）が照射されることによって加工される
被加工物、（５）は電子銃（２）より発生された電子ビ
ーム（３）を被加工物（４）の表面に集束させるための
集束コイル、（６）は被加工物（４）の継目（７）を横
切るように電子ビーム（３）を走査させるための偏向コ
イル、（８）は被加工物（４）からの反射電子および二
次電子（９）を捕捉するコレクタ、〈１０〉は信号発生
器、（１１）はこの信号発生器（１０）に接続され、そ
の発生信号の波形を変換する波形変換部、（１２）はこ
の波形変換部（１１）からの信号を偏向コイル（６）に
印加するための電流増幅器、Ｒ１はこの電流増幅器（１
２）と偏向コイル（６）の闇に接続された抵抗器、Ｒ２
はコレクタ（８）と接地の間に接続された抵抗器、（１
３）は抵抗器Ｒ１の各端に接続された水平軸偏向端子（
１３ａ）、（１３ｂ）、および抵抗器Ｒ２の各端に接続
された垂直軸偏向端子（１３（り、（１３ｄ）を有する
オシロスコープ、（１４）はこのオシロスコープ（Ｉ３
）の画面上に現れる輝点である。
電子ビーム溶接機は上述したように構成されており、以
下にその動作を説明する。信号発生器（１０）から出力
された信号は、波形変換部（１１〉を経て電流増幅器（
１２）に入力されて所定の大きさに増幅された後、偏向
コイル（６）に供給されると共に抵抗器Ｒ１の両端より
の信号がオシロスコープ（１３）の水平軸偏向端子（１
３ａ）、（１３ｂ）、に入力される。一方、集束コイル
（５）により被加工物（４）の表面に集束される電子ビ
ーム（３）は、偏向コイル（６）によって被加工物（４
）の継目（７）を横切るように走査される。又、電子ビ
ーム（３）の反射電子および二次電子（９）はコレクタ
（８）によって捕捉され、抵抗器Ｒ２の両端よりの信号
がオシロスコープ （１３）の垂直軸偏向端子（１３ｃ
）および（１３ｄ ）に入力される。信号発生器（１
０）は三角波状の信号を出力し、この信号は波形変換部
（１１）で第３図に示される波形に変換される。第３図
に示される波形は、各電圧零点が時間ｔの間、引き延ば
されている。これにより電子ビーム（３）が偏向されな
い点、すなわち電子ビーム（３）が継目り７）上にある
とき、オシロスコープ（１３）では電圧波形が第３図中
の時間ｔの間、停止するので画面には輝点（１４）が生
じることになる。従って、反射電子および二次電子（９
）のコレクタ（８）への到達量が被加工物継目（７）の
位置において減少する特徴を利用し、輝点（１４）とコ
レクタ（８）よりの信号減少のピーク点とを一致させれ
ば位１決めが達成される。
下にその動作を説明する。信号発生器（１０）から出力
された信号は、波形変換部（１１〉を経て電流増幅器（
１２）に入力されて所定の大きさに増幅された後、偏向
コイル（６）に供給されると共に抵抗器Ｒ１の両端より
の信号がオシロスコープ（１３）の水平軸偏向端子（１
３ａ）、（１３ｂ）、に入力される。一方、集束コイル
（５）により被加工物（４）の表面に集束される電子ビ
ーム（３）は、偏向コイル（６）によって被加工物（４
）の継目（７）を横切るように走査される。又、電子ビ
ーム（３）の反射電子および二次電子（９）はコレクタ
（８）によって捕捉され、抵抗器Ｒ２の両端よりの信号
がオシロスコープ （１３）の垂直軸偏向端子（１３ｃ
）および（１３ｄ ）に入力される。信号発生器（１
０）は三角波状の信号を出力し、この信号は波形変換部
（１１）で第３図に示される波形に変換される。第３図
に示される波形は、各電圧零点が時間ｔの間、引き延ば
されている。これにより電子ビーム（３）が偏向されな
い点、すなわち電子ビーム（３）が継目り７）上にある
とき、オシロスコープ（１３）では電圧波形が第３図中
の時間ｔの間、停止するので画面には輝点（１４）が生
じることになる。従って、反射電子および二次電子（９
）のコレクタ（８）への到達量が被加工物継目（７）の
位置において減少する特徴を利用し、輝点（１４）とコ
レクタ（８）よりの信号減少のピーク点とを一致させれ
ば位１決めが達成される。
［発明が解決しようとする課題］
従来の溶接線検出装置では、例えば加圧治具を装着した
電子ビーム加工機にコレクタ（検出器）を取り付けるこ
とが非常に困難であり、たとえ取り付けることができた
としても、装置自体が高価になり、その上検出精度や安
定性に問題点があった。
電子ビーム加工機にコレクタ（検出器）を取り付けるこ
とが非常に困難であり、たとえ取り付けることができた
としても、装置自体が高価になり、その上検出精度や安
定性に問題点があった。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、目合せ検出器を簡単に装着できるとともに安
価で、高い検出精度を得ることができ、しかも高品質の
電子ビーム加工機の目合せ検出装着を得ることを目的と
する。
たもので、目合せ検出器を簡単に装着できるとともに安
価で、高い検出精度を得ることができ、しかも高品質の
電子ビーム加工機の目合せ検出装着を得ることを目的と
する。
［課題を解決するための手段］
この発明に係る電子ビーム加工機の目合せ検出装置は、
電子ビーム加工機に装着され、被加工物の継目と同等の
形状をしたスリットが加工され、このスリットを通過し
た電子ビームを捕捉するコレクタを内蔵し、前記被加工
物と同等の形状をした目合せ検出治具と、この目合せ検
出治具で検出した電子ビーム量から前記電子ビームの軸
と前記被加工物の加工位置とが一致しているかどうかを
判定する目合せ判定器とを設けたものである。
電子ビーム加工機に装着され、被加工物の継目と同等の
形状をしたスリットが加工され、このスリットを通過し
た電子ビームを捕捉するコレクタを内蔵し、前記被加工
物と同等の形状をした目合せ検出治具と、この目合せ検
出治具で検出した電子ビーム量から前記電子ビームの軸
と前記被加工物の加工位置とが一致しているかどうかを
判定する目合せ判定器とを設けたものである。
［作 用］
この発明においては、目合せ検出治具に加工された、被
加工物の継目と同等の形状をしたスリットに電子ビーム
を通過させ、その電子ビームの通過量を目合せ検出治具
に組込まれなコレクタで検出し、検出した電子ビーム量
から目合せ判定器で一致又は不一致の判定を行い、不一
致の場合に電子ビーム軸の調整器にフィードバックし目
合せを行う。
加工物の継目と同等の形状をしたスリットに電子ビーム
を通過させ、その電子ビームの通過量を目合せ検出治具
に組込まれなコレクタで検出し、検出した電子ビーム量
から目合せ判定器で一致又は不一致の判定を行い、不一
致の場合に電子ビーム軸の調整器にフィードバックし目
合せを行う。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明に係る電子ビーム加工機の目合せ検出
装置の一実施例を示す概略構成図であり、図において（
１）、（２）、（３）、（５〉は第２図について上述し
たそれぞれ高電圧電源、電子銃、電子ビーム、集束コイ
ルである。（２１）は電子銃（２）と集束コイル（５）
の間に配置され、電子銃ビーム（３）の軸を移動させる
ためのアライメントコイル、（２２）は第２図に示した
被加工物（４）を収容する加工室、（２３）はこの加工
室（２２）内で被加工物（４）を加圧して押さえるため
の加圧治具、（２４）は被加工物（４）と同等の形状を
した目合せ検出治具であって、その上面には被加工物（
４）の継目（７）と同等の形状をしたスリット（２４ａ
）が加工されていると共にこのスリット（２４ａ ）を
通過した電子ビーム（３）を捕捉するためのコレクタ（
８＾）を内蔵している。（２５）は被加工物（４）又は
目合せ検出治具（２４）が取り付けられる取付治具、（
２６）はこの取付治具（２５）が１かれる昇降回転テー
ブル、Ｒ２Ａはコレクタ（８＾）に接続されてその捕捉
電子ビーム量を検出するための抵抗器、そして（２７）
はこの抵抗器（２６）に接続されてその検出電子ビーム
量から、電子ビーム（３）の軸が目合せ検出治具（２４
）のスリット＜２４ｇ ）と−致しているかどうかを判
定する目合せ判定器である。
装置の一実施例を示す概略構成図であり、図において（
１）、（２）、（３）、（５〉は第２図について上述し
たそれぞれ高電圧電源、電子銃、電子ビーム、集束コイ
ルである。（２１）は電子銃（２）と集束コイル（５）
の間に配置され、電子銃ビーム（３）の軸を移動させる
ためのアライメントコイル、（２２）は第２図に示した
被加工物（４）を収容する加工室、（２３）はこの加工
室（２２）内で被加工物（４）を加圧して押さえるため
の加圧治具、（２４）は被加工物（４）と同等の形状を
した目合せ検出治具であって、その上面には被加工物（
４）の継目（７）と同等の形状をしたスリット（２４ａ
）が加工されていると共にこのスリット（２４ａ ）を
通過した電子ビーム（３）を捕捉するためのコレクタ（
８＾）を内蔵している。（２５）は被加工物（４）又は
目合せ検出治具（２４）が取り付けられる取付治具、（
２６）はこの取付治具（２５）が１かれる昇降回転テー
ブル、Ｒ２Ａはコレクタ（８＾）に接続されてその捕捉
電子ビーム量を検出するための抵抗器、そして（２７）
はこの抵抗器（２６）に接続されてその検出電子ビーム
量から、電子ビーム（３）の軸が目合せ検出治具（２４
）のスリット＜２４ｇ ）と−致しているかどうかを判
定する目合せ判定器である。
このように構成された電子ビーム加工機および目合せ検
出装置では、高電圧電源（１）より電子銃（２）に高電
圧を印加すること′により電子銃（２）が電子ビーム（
３）を発生する。電子ビーム（３）はアライメントコイ
ル（２１）、集束コイル（５）を通過して加工室（２２
）内の取付治具（２５）に取付けられた目合せ検出治具
（２４）に到達する０通常、電子ビーム加工機では、被
加工物（４）を取付治具（２５）にセットし加圧治具（
２３）により被加工物（４）を加圧し、昇降回転テーブ
ル（２６）により被加工物（４）に回転を与え、電子ビ
ーム（３）を照射して電子ビーム加工を行う、電子ビー
ム（３）は、ビーム通路の着磁により軸がずれる。特に
加圧治具（２３）の近傍を電子ビーム（３）が通過する
為、実際の電子ビーム加工と同等の状態でモニターする
ことが必要である。
出装置では、高電圧電源（１）より電子銃（２）に高電
圧を印加すること′により電子銃（２）が電子ビーム（
３）を発生する。電子ビーム（３）はアライメントコイ
ル（２１）、集束コイル（５）を通過して加工室（２２
）内の取付治具（２５）に取付けられた目合せ検出治具
（２４）に到達する０通常、電子ビーム加工機では、被
加工物（４）を取付治具（２５）にセットし加圧治具（
２３）により被加工物（４）を加圧し、昇降回転テーブ
ル（２６）により被加工物（４）に回転を与え、電子ビ
ーム（３）を照射して電子ビーム加工を行う、電子ビー
ム（３）は、ビーム通路の着磁により軸がずれる。特に
加圧治具（２３）の近傍を電子ビーム（３）が通過する
為、実際の電子ビーム加工と同等の状態でモニターする
ことが必要である。
その為、被加工物（４）と同等の形状をした目合せ検出
治具（２４）を被加工物（４）と同じ位置にセットする
必要がある。
治具（２４）を被加工物（４）と同じ位置にセットする
必要がある。
目合せ検出治具（２４）に加工されたスリット（２４ａ
）は、被加工物（４）の加工位置と同じ位置に加工され
ている。電子ビーム（３）は集束コイル（５）により集
束されて目合せ検出治具（２４）のスリット（２４ａ）
の面に当る。スリット（２４ａ）は集束された電子ビー
ム（３）がかろうじて通過できる程度に加工されている
為、少しでもスリット（２４ａ）の位置と電子ビーム（
３）の軸がずれていると電子ビーム（３）がスリット（
２４）を１００％通過できない、スリット（２４ａ ）
を通過した電子ビーム（３）をコレクタ（８＾）で捕捉
し、抵抗器Ｒ２Ａでその量を検出する。検出された電子
ビーム量は目合せ判定器（２７）に入力され、電子ビー
ム（３）の軸と被加工物（４）の加工値１が一致してい
るかどうかを判定する。目合せ判定器（２７）は、通過
量が１００％であれば一致信号を出力するが、不一致で
あればアライメントコイル（２１）により電子ビーム（
３）の軸を移動させ、電子ビーム（３）がスリット（２
４ａ ）を１００％通過するまで移動させる。
）は、被加工物（４）の加工位置と同じ位置に加工され
ている。電子ビーム（３）は集束コイル（５）により集
束されて目合せ検出治具（２４）のスリット（２４ａ）
の面に当る。スリット（２４ａ）は集束された電子ビー
ム（３）がかろうじて通過できる程度に加工されている
為、少しでもスリット（２４ａ）の位置と電子ビーム（
３）の軸がずれていると電子ビーム（３）がスリット（
２４）を１００％通過できない、スリット（２４ａ ）
を通過した電子ビーム（３）をコレクタ（８＾）で捕捉
し、抵抗器Ｒ２Ａでその量を検出する。検出された電子
ビーム量は目合せ判定器（２７）に入力され、電子ビー
ム（３）の軸と被加工物（４）の加工値１が一致してい
るかどうかを判定する。目合せ判定器（２７）は、通過
量が１００％であれば一致信号を出力するが、不一致で
あればアライメントコイル（２１）により電子ビーム（
３）の軸を移動させ、電子ビーム（３）がスリット（２
４ａ ）を１００％通過するまで移動させる。
このようにして目合せ検出治具（２４）のスリット（２
４ａ ）を通過する電子ビーム（３）の量が１００％に
達した時に位置決めが達成され、その後目合せ検出治具
（２４）に代えて被加工物（４）を取付け、電子ビーム
加工を行う。
４ａ ）を通過する電子ビーム（３）の量が１００％に
達した時に位置決めが達成され、その後目合せ検出治具
（２４）に代えて被加工物（４）を取付け、電子ビーム
加工を行う。
し発明の効果〕
以上のようにこの発明は、電子ビーム加工機に装着され
、被加工物の継目と同等の形状をしたスリットが加工さ
れ、このスリットを通過した電子ビームを捕捉するコレ
クタを内蔵し、前記被加工物と同等の形状をした目合せ
検出治具と、この目合せ検出治具で検出した電子ビーム
量から前記電子ビームの軸と前記被加工物の加工位置と
が一致しているかどうかを判定する目合せ判定器とを備
えているので、装着が簡単で、装置を安価に構成でき、
また精度の高いものが得られるという効果を奏す。
、被加工物の継目と同等の形状をしたスリットが加工さ
れ、このスリットを通過した電子ビームを捕捉するコレ
クタを内蔵し、前記被加工物と同等の形状をした目合せ
検出治具と、この目合せ検出治具で検出した電子ビーム
量から前記電子ビームの軸と前記被加工物の加工位置と
が一致しているかどうかを判定する目合せ判定器とを備
えているので、装着が簡単で、装置を安価に構成でき、
また精度の高いものが得られるという効果を奏す。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図、第２図
は従来の電子ビーム加工機の溶接線検出装置を示す概略
構成図、第３図は第２図の装置の動作を説明するための
波形図である。 図において、（３）は電子ビーム、（４）は被加工物、
（７）は継目、（２４）は目合せ検出治具、（２４ａ）
はスリット、（８＾）はコレクタ、（２７）は目合せ判
定器である。 代 理 人 大 岩 増 雄然１図 ３：電÷ビー４ ２４＠香ｔ！綬肥冶異 ２４０ 、スリーｙト ８Ａ つしフタ に２図 ＫＦ）３図 ７゛ 跣６
は従来の電子ビーム加工機の溶接線検出装置を示す概略
構成図、第３図は第２図の装置の動作を説明するための
波形図である。 図において、（３）は電子ビーム、（４）は被加工物、
（７）は継目、（２４）は目合せ検出治具、（２４ａ）
はスリット、（８＾）はコレクタ、（２７）は目合せ判
定器である。 代 理 人 大 岩 増 雄然１図 ３：電÷ビー４ ２４＠香ｔ！綬肥冶異 ２４０ 、スリーｙト ８Ａ つしフタ に２図 ＫＦ）３図 ７゛ 跣６
Claims (1)
- （１）電子ビームにより被加工物を加工する電子ビーム
加工機において、この電子ビーム加工機に装着され、前
記被加工物の継目と同等の形状をしたスリットが加工さ
れ、このスリットを通過した前記電子ビームを捕捉する
コレクタを内蔵し、かつ前記被加工物と同等の形状をし
た目合せ検出治具と、この目合せ検出治具で検出した電
子ビーム量から前記電子ビームの軸と前記被加工物の加
工位置とが一致しているかどうかを判定する目合せ判定
器とを備えたことを特徴とする電子ビーム加工機の目合
せ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184943A JP2676270B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 電子ビーム加工機の目合せ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184943A JP2676270B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 電子ビーム加工機の目合せ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0471788A true JPH0471788A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2676270B2 JP2676270B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=16162070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184943A Expired - Lifetime JP2676270B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 電子ビーム加工機の目合せ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2676270B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5727934A (en) * | 1995-10-30 | 1998-03-17 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Scroll type fluid machine having a thin plate for each scroll |
| US7682670B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-03-23 | Choshu Industry Co., Ltd. | Method for controlling the volume of a molecular beam |
-
1990
- 1990-07-10 JP JP2184943A patent/JP2676270B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5727934A (en) * | 1995-10-30 | 1998-03-17 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Scroll type fluid machine having a thin plate for each scroll |
| US7682670B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-03-23 | Choshu Industry Co., Ltd. | Method for controlling the volume of a molecular beam |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2676270B2 (ja) | 1997-11-12 |
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