JPH0472055A - 真空中で気化し得る有機系被膜形成物質を含浸固化させた多孔性セラミックス材料およびそれを用いた有機物質系蒸着被膜の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空蒸着方法に関するもので、特に無機物系蒸
着被膜形成手段と有機物系蒸着被膜形成手段とを有する
真空蒸着装置内で、光学部品等を無機物系蒸着物質で真
空蒸着処理した上に、さらに有機保護被膜を形成するこ
とを特徴とする真空蒸着方法に関するものである。

従来技術 一般に化学物質は融点・沸点を有するものであるが、特
に沸点に於いては圧力依存性があり高圧では高く減圧側
で低くなる。この事から通常の圧力では沸騰しにくい物
質も減圧をする事で容易に蒸発が起きる様になる。この
時蒸発物質の通り道に固形物を存在させることによって
、その表面が蒸発物の析出物で覆われるが、これが真空
蒸着の原理である。光学部品等を真空蒸着で処理をする
と、その処理の性格上被処理物表面は無機性蒸着物質の
結晶の付着によって生じる非常に小さい激しい凹凸が生
じる。この凹凸の隙間を充填して滑らかにし、光学的な
性質を損ねることなく保護膜を形成し、手指などが触れ
たりして生じる汚染から保護するために保護被膜が使用
されるが、用いる被膜は従来はその物質を溶剤によって
溶液とし、塗布処理の後蒸発乾固して保護膜としていた
。

被膜形成物質を溶液として塗布することにより、一定の
効果があることが知られているが、非常に薄い膜を底膜
しなければならないため大量の溶剤で希薄な溶液として
いる。従来技術で使用する溶剤はいわゆるフロン系のオ
ゾン層破壊物質であり、近年開発された非フロン系の溶
剤も将来規制物質検討の対象として考えられる有機弗素
系ないしは有機塩素系化合物である。

また、従来技術では蒸着装置から取り出した後、別に用
意した工程で被膜を形成するが、その工程は溶液の濃度
調整、塗布、乾燥とに分かれ、従来技術で通常に操作す
ると真空蒸着装置内部は蒸着終了後直ちに大気圧に解放
され品物が取り出され、この時被処理物の表面は蒸着さ
れた結晶性の物質が表面に粒子状に付着しているので外
部からの汚染に非常に弱い状態となっているばかりでな
く、大気解放の際空気または窒素ガスなどを導入して生
じた気流によって装置内部に堆積していた蒸着物質が舞
い上がり、被処理物に再付着するため、次工程で湿式の
洗浄工程が欠かせない等の問題点があることは周知の通
りである。

発明が解決しようとする問題点 このよう′に従来の保護被膜の形成には使用溶剤による
環境汚染の問題と、工程上からもたらされる表面洗浄の
問題があったことは周知の通りであり、従って本発明は
これら従来不可欠とされてきた溶剤の使用と、湿式洗浄
工程の使用の欠点を解消することを目的とするものであ
り、特に有機物系の被膜形成物質を溶媒を全く使用する
ことなく蒸発させて付着固化させることを目的とするも
のである。

問題点を解決するための手段 本発明は無機物系蒸着被膜形成手段と有機物系蒸着被膜
形成手段とを有する真空蒸着装置内で、光学部品等を無
機物系蒸着物質で真空蒸着処理した上に、さらに有機保
護被膜を形成することを特徴とする真空蒸着方法に関す
るもので、特に、有機系保護被膜の形成が、真空中で気
化し得る有機系被膜形成物質を含浸固化させた多孔性セ
ラミックスを加熱することによって行なわれる真空蒸着
方法及び真空中で気化し得る有機系被膜形成物質を含浸
固化させたことを特徴とする多孔性セラミックス材料に
関するものである。

すなわち、本発明はこれまで不可欠とされてきた溶剤の
使用を完全に不要とする無溶剤化の原理によって有機物
系の被膜形成物質を蒸発し付着固化させるものであるが
、この場合被膜形成物の溶融液や溶液を容易に吸収する
ことができ、しかも真空中で蒸発しない媒介物が必要で
あり、この目的のため一般に多孔性セラミックスの使用
が望ましいものである。その際被膜形成物質は多孔質性
セラミックスに吸収されているが、有機物系化合物が無
溶剤の物であっても全（差しつかえがない。

実施例 以下に本発明の実施例を示すが、これらの実施例が単に
本発明の具体例を示すためのものに過ぎず、本発明を限
定するためのものでないことは自明である。

実施例１゜ 有機物系の被膜形成物質である蒸着物質としてポリ−エ
チレンワックスを溶融し、予め充分乾燥しである１５Ｘ
１５Ｘ１ミリメートルの多孔性セラミックスに吸収させ
た。このセラミックスの増量は１個あたり０．２０グラ
ムである。

ここで得たセラミックス１個を直径グ６００ミリメート
ルの真空蒸着装置に挿入し通常の蒸着操作の後８５度に
加熱して゛蒸発させた。

干渉法によって膜厚を測定すると０．０３マイクロメー
トルであった。これは保護膜として充分機能する厚みで
ある。

実施例２ 有機物系の被膜形成物質である蒸着物質としてシリコー
ン樹脂化合物の溶液を用いた。

この物の蒸発残留物は３チであった。直径グ１５ミリメ
ートル球状の多孔性セラミックスを用意し、あらかじめ
充分に乾燥した後シリコーン樹脂溶液を吸収させて溶剤
回収装置の付いた乾燥装置で１０’トールまで減圧乾燥
し蒸発性物質を除去した。この操作によるセラミックス
の増量は１個あたり０．５０グラムであるようＫした。

このセラミックス２個を直径９６６００ミリメートル真
空蒸着装置に挿入し通常の蒸着操作の後、１５０度に加
熱して蒸発させた。干渉法によって膜厚を測定すると０
．０８マイクロメートルであったこれは保護膜として充
分機能する厚みである。

実施例３６ 有機物系被膜形成物質である蒸着物質として脱アンモニ
ア型ウレタンモノマーを用いた。

この物の蒸発残留物は２５％であった。この物を不定型
に破砕して充分に乾燥した多孔性セラミックスに吸収さ
せて実施例２で用いた乾燥装置で乾燥した。この操作に
よるセラミックス１．０グラムあたシの増量は０．２グ
ラムすなわち２０％であった。このセラミックスを２グ
ラム分は取シ直径６０（Ｈ！Ｊメートル真空蒸着装置に
挿入し通常の蒸着操作の後、５０度に加熱して蒸発させ
た。また被処理物は別の加熱装置によＪ　１５０度に保
った。干渉法によって膜厚を測定すると０．０５マイク
ロメートルであった。これは保護膜として充分機能する
厚みである。

本発明では洗浄塗布工程を蒸着まで含めて１つの工程と
し、更に被膜形成のための細〃・な調整を不要としてし
まうものである。また、多孔質セラミックスに含浸させ
る場合、セラミックスの大きさ、溶液の粘度などを調整
することで被膜形成物質の量が調節でき、その作用を及
ぼす必要のある被処理物の量が一定している真空蒸着装
置に対していつも決まった量を供給できる。特にその必
要量が微量で良い場合は純粋な被膜形成物質のみでは計
量に困難を伴ない熟練を要するがいつも一定量をセラミ
ックスに吸収させてあれば特別な計器を必要とせず計数
が容易である。従ってこれが完全に無くなるように調整
した蒸発装置で処理すると自ずと必要量だけ蒸発するこ
とになる。また、この方法によれば被処理物を加熱する
ことが容易なので被処理物上で重合させて膜を形成する
ようにすることも可能である。

寸だ、本発明では蒸着後引き続き同じ真空装置内で保護
被膜の形成処理をするため洗浄工程が不要となり、溶剤
は製造工程でのみ使用され、回収が可能であり、このた
め工場から搬出される製品は全く無溶剤となる利点があ
る。

出　　願　　人

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．無機物系蒸着被膜形成手段と有機物系蒸着被膜形成
   手段とを有する真空蒸着装置内で、光学部品等を無機物
   系蒸着物質で真空蒸着処理した上に、さらに有機保護被
   膜を形成することを特徴とする真空蒸着方法。
2. ２．有機系保護被膜の形成が、真空中で気化し得る有機
   系被膜形成物質を含浸固化させた多孔性セラミックスを
   加熱することによって行なわれる特許請求の範囲第１項
   記載の方法。
3. ３．真空中で気化し得る有機系被膜形成物質を含浸固化
   させたことを特徴とする多孔性セラミックス材料。