JPH0473663U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
動摩擦係数とベローズばねの支持剛性との関係図
、第３図は従来の回転体シール装置の断面図であ
る。 Ａ……高真空側空間、Ｂ……中真空側空間、Ｃ
……大気圧側空間、１……回転体、２ａ……気体
軸受、２ｂ……軸受ダンパ、３……非接触ねじシ
ール、３ａ……高真空側非接触ねじシール、３ｂ
……取付ボルト、４ａ……低真空側非接触ねじシ
ール、４ｂ……取付ボルト、５……軸受排気口、
６……ケーシング、７……ハウジング、８……中
間排気口、１３ａ……第１ベローズばね、１３ｂ
……第２ベローズばね、１３ｄ……第１ベローズ
ばね支持台、１３ｅ……第２ベローズばね支持台
、１４ａ……第１段ねじ溝、１４ｂ……第２段ね
じ溝、１４ｃ……第３段ねじ溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 気体軸受およびダンパにより回転軸をハウ
   ジング内に回転可能に支持し、同気体軸受および
   同ダンパの高圧側とケーシングの高真空側を非接
   触ねじシールによつてシールする真空中回転体の
   シール装置において、上記非接触ねじシールを多
   段のものとし、同シールと一体となつている複数
   のベローズを介して同シールを弾性支持したこと
   を特徴とする真空中回転体のシール装置。 (2) 請求項(1)に記載の真空中回転体のシール装
   置において、その非接触ねじシールのベローズの
   支持剛性を１０００Kgｆ／cm以下としたことを特
   徴とする真空中回転体のシール装置。