JPH0473858U - - Google Patents

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JPH0473858U
JPH0473858U JP11609690U JP11609690U JPH0473858U JP H0473858 U JPH0473858 U JP H0473858U JP 11609690 U JP11609690 U JP 11609690U JP 11609690 U JP11609690 U JP 11609690U JP H0473858 U JPH0473858 U JP H0473858U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例のブロツク図、第２
図は傷検査装置の概略の構成図、第３図はライン
センサの信号出力の波形および表示画像の一例を
示す図、第４図は被検査体の全表面の中の、モニ
タ領域の説明図、第５図は第１図の主要部の信号
の波形図、第６図は本考案の第２実施例の要部の
斜視図、第７図は従来の表面傷検査装置のブロツ
ク図である。 ５……ラインセンサ、１７ａ〜１７ｎ……閾値
、１８……フレームメモリ、１９……タイミング
信号発生手段、２０……水平位置カウンタ、２１
，２３……データ記憶部、２２……垂直位置カウ
ンタ、２４……書込み制御回路、２５……表示手
段。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被検査体に投光し、被検査体表面上の欠陥によ
    る散乱光を受光手段により光電変換し、閾値によ
    り２値化した信号を表示装置に表示するようにし
    た表面傷モニタ表示装置であつて、 前記被検査体の回転周期に対応した垂直同期信
    号を発生する手段と、 前記受光手段の走査周期に対応した水平同期信
    号および画素クロツク信号を発生する手段と、 前記被検査体表面上のモニタ領域を指定する手
    段と、 前記垂直同期信号、水平同期信号および画素ク
    ロツク信号に基づいて抽出された、前記モニタ領
    域に対応する前記２値化信号を記憶する画像記憶
    手段と、 前記画像記憶手段に記憶された内容を表示する
    表示手段とを具備し、 該表示手段に前記モニタ領域の画像を得るよう
    にしたことを特徴とする表面傷モニタ表示装置。
JP1990116096U 1990-11-05 1990-11-05 表面傷モニタ表示装置 Expired - Lifetime JP2536987Y2 (ja)

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JPH0473858U true JPH0473858U (ja) 1992-06-29
JP2536987Y2 JP2536987Y2 (ja) 1997-05-28

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03291507A (ja) * 1990-04-09 1991-12-20 Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd 円筒体の検査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH03291507A (ja) * 1990-04-09 1991-12-20 Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd 円筒体の検査装置

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JP2536987Y2 (ja) 1997-05-28

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