JPH0474523A - バブラー型原料気化容器 - Google Patents
バブラー型原料気化容器Info
- Publication number
- JPH0474523A JPH0474523A JP18920490A JP18920490A JPH0474523A JP H0474523 A JPH0474523 A JP H0474523A JP 18920490 A JP18920490 A JP 18920490A JP 18920490 A JP18920490 A JP 18920490A JP H0474523 A JPH0474523 A JP H0474523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- container
- carrier gas
- gasifying
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体や光ファイバー等の製造に用いられるバ
ブラー型原料気化容器に関するもので、特に原料をキャ
リアガスに十分に飽和させた状態で送り出せるようにし
たものである。
ブラー型原料気化容器に関するもので、特に原料をキャ
リアガスに十分に飽和させた状態で送り出せるようにし
たものである。
従来半導体や光ファイバー等の製造に用いられるバブラ
ー型原料気化容器は、第３図に示すように液体又は固体
原料（２）を入れて恒温に保持した気化容器（１）内に
、ディップチューブ（３）を通してキャリアガスを送太
し、バブリングを行なって原料（２）を気化させ、キャ
リアガスに飽和させて原料出口（４）より送出するよう
になっている。
ー型原料気化容器は、第３図に示すように液体又は固体
原料（２）を入れて恒温に保持した気化容器（１）内に
、ディップチューブ（３）を通してキャリアガスを送太
し、バブリングを行なって原料（２）を気化させ、キャ
リアガスに飽和させて原料出口（４）より送出するよう
になっている。
バブラー型原料気化容器は、内部の原料を恒温に保持す
るため恒温槽に入れ、気化容器内を均一温度に保ちなが
ら作動させているが、通常の容器では熱伝達が遅く、内
部が均一温度に達するまでに時間がかかる上、気泡が原
料内を通過する時間が小さいため未飽和の状態で原料ガ
スを送り出すことになる。
るため恒温槽に入れ、気化容器内を均一温度に保ちなが
ら作動させているが、通常の容器では熱伝達が遅く、内
部が均一温度に達するまでに時間がかかる上、気泡が原
料内を通過する時間が小さいため未飽和の状態で原料ガ
スを送り出すことになる。
本発明はこれに鑑み種々検討の結果、原料が短時間で設
定温度に達すると共に、原料温度が均一となり、キャリ
アガスの気泡の通過経路を長くし、キャリアガスに原料
ガスを十分に飽和させた状態で送り出すことができるバ
ブラー型原料気化容器を開発したものである。
定温度に達すると共に、原料温度が均一となり、キャリ
アガスの気泡の通過経路を長くし、キャリアガスに原料
ガスを十分に飽和させた状態で送り出すことができるバ
ブラー型原料気化容器を開発したものである。
即ち本発明は、原料を入れて恒温に保持した気化容器内
に、ディップチューブを通してキャリアガスを送入する
ことによりバブリングを行い、原料を気化させてキャリ
アガスに飽和させて送出する原料気化容器において、気
化容器内に突出する熱伝導性フィンを設けたことを特徴
とするもので、気化容器内に突出する熱伝導性フィンを
中空とし、フィン内に恒温に保持する熱媒体が入り込め
る構造とするとよい。
に、ディップチューブを通してキャリアガスを送入する
ことによりバブリングを行い、原料を気化させてキャリ
アガスに飽和させて送出する原料気化容器において、気
化容器内に突出する熱伝導性フィンを設けたことを特徴
とするもので、気化容器内に突出する熱伝導性フィンを
中空とし、フィン内に恒温に保持する熱媒体が入り込め
る構造とするとよい。
本発明は上記の如く、バブラー型原料気化容器内に突出
する熱伝導性フィンを設けることにより、容器内に充填
される原料との接触面積を増大し、原料が所定温度に達
するまでの時間を短縮する。また原料温度が均一化する
ばかりか、キャリアガスの気泡がフィンに衝突して原料
内の通過経路が長くなるため、キャリアガスに原料ガス
を充分に飽和させた状態で送り出すことができる。
する熱伝導性フィンを設けることにより、容器内に充填
される原料との接触面積を増大し、原料が所定温度に達
するまでの時間を短縮する。また原料温度が均一化する
ばかりか、キャリアガスの気泡がフィンに衝突して原料
内の通過経路が長くなるため、キャリアガスに原料ガス
を充分に飽和させた状態で送り出すことができる。
以１；本発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示すように液体又は固体原料（２）を入れて恒
温に保持した気化容器（１）内に、熱伝導性フィン（５
）を突設した。このようにしてディップチューブ（３）
にキャリアガスを送入してバブリングを行ない、原料（
２）を気化させてキャリアガスに飽和させて原料出目（
４）より送出した。
温に保持した気化容器（１）内に、熱伝導性フィン（５
）を突設した。このようにしてディップチューブ（３）
にキャリアガスを送入してバブリングを行ない、原料（
２）を気化させてキャリアガスに飽和させて原料出目（
４）より送出した。
この気化容器によれば、気化容器内の原料は恒温槽の媒
体により設定温度に保たれると共に、気化容器と気化容
器内の原料との接触面積が増大するため、原料が所定温
度に達するまでの時間を短縮することがそきる。また原
料温度が均一になるばかりか、バブリングしたキャリア
ガスの気泡がフィンに衝突し、原料内の通過経路が長く
なるため、キャリアガスは原料ガスを十分飽和した状態
とすることができる。
体により設定温度に保たれると共に、気化容器と気化容
器内の原料との接触面積が増大するため、原料が所定温
度に達するまでの時間を短縮することがそきる。また原
料温度が均一になるばかりか、バブリングしたキャリア
ガスの気泡がフィンに衝突し、原料内の通過経路が長く
なるため、キャリアガスは原料ガスを十分飽和した状態
とすることができる。
実施例２
第２図に示すように、液体又は固体原料（２）を入れて
恒温に保持した気化容器（１）内に、熱伝導性フィン（
５）を突設すると共に、該フィン（５）を中空とし、フ
ィン（５）内に恒温の熱媒体が入り込める構造とした。
恒温に保持した気化容器（１）内に、熱伝導性フィン（
５）を突設すると共に、該フィン（５）を中空とし、フ
ィン（５）内に恒温の熱媒体が入り込める構造とした。
このようにして気化容器（１）内にディップチューブ（
３）よりキャリアガスを供給してバブリングを行ない、
原料（２）を気化させてキャリアガスに飽和させて原料
出口（４）より送出した。
３）よりキャリアガスを供給してバブリングを行ない、
原料（２）を気化させてキャリアガスに飽和させて原料
出口（４）より送出した。
この気化容器によれば、気化容器内の原料は恒温槽の媒
体により設定温度に保たれると共に、気化容器と気化容
器内の原料との接触面積が更に増大するため、原料が所
定温度に達する時間を一層短縮することができる。また
原料温度が均一になるばかりか、バブリングしたキャリ
アガスの気泡がフィンに衝突し、原料内の通過経路が長
くなるため、キャリアガスは原料ガスを十分飽和した状
態とすることができる。
体により設定温度に保たれると共に、気化容器と気化容
器内の原料との接触面積が更に増大するため、原料が所
定温度に達する時間を一層短縮することができる。また
原料温度が均一になるばかりか、バブリングしたキャリ
アガスの気泡がフィンに衝突し、原料内の通過経路が長
くなるため、キャリアガスは原料ガスを十分飽和した状
態とすることができる。
このように本発明によれば、恒温槽内に気化容器を入れ
ると短時間で充填原料が設定温度に達し、原料温度が均
一になり、キャリアガスに原料ガスを十分に飽和させた
状態で送り出すことができる等工業上顕著な効果を奏す
るものである。
ると短時間で充填原料が設定温度に達し、原料温度が均
一になり、キャリアガスに原料ガスを十分に飽和させた
状態で送り出すことができる等工業上顕著な効果を奏す
るものである。
第１図は本発明気化容器の一実施例を示す側断面図、第
２図は本発明気化容器の他の実施例を示す斜視図、第３
図は従来気化容器の一例を示す側断面図である。 ■・・・容 器 ２・・・原 料 ３・・・ディップチューブ ４・・・原料出口 ５・・・フィン 第１図 第２図
２図は本発明気化容器の他の実施例を示す斜視図、第３
図は従来気化容器の一例を示す側断面図である。 ■・・・容 器 ２・・・原 料 ３・・・ディップチューブ ４・・・原料出口 ５・・・フィン 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）原料を入れて恒温に保持した気化容器内に、ディ
ップチューブを通してキャリアガスを送入することによ
りバブリングを行い、原料を気化させてキャリアガスに
飽和させて送出する原料気化容器において、気化容器内
に突出する熱伝導性フィンを設けたことを特徴とするバ
ブラー型原料気化容器。 - （２）気化容器内に突出する熱伝導性フィンを中空とし
、フィン内に恒温に保持する熱媒体が入り込める構造と
する請求項（１）記載のバブラー型原料気化容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18920490A JPH0474523A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | バブラー型原料気化容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18920490A JPH0474523A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | バブラー型原料気化容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474523A true JPH0474523A (ja) | 1992-03-09 |
Family
ID=16237275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18920490A Pending JPH0474523A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | バブラー型原料気化容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474523A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002359238A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 固体原料気化装置および固体原料気化方法 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP18920490A patent/JPH0474523A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002359238A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 固体原料気化装置および固体原料気化方法 |
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