JPH0474592B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0474592B2 JPH0474592B2 JP59244347A JP24434784A JPH0474592B2 JP H0474592 B2 JPH0474592 B2 JP H0474592B2 JP 59244347 A JP59244347 A JP 59244347A JP 24434784 A JP24434784 A JP 24434784A JP H0474592 B2 JPH0474592 B2 JP H0474592B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- annular
- thin plate
- gate valve
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Sliding Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空用ゲートバルブ等の真空用バル
ブのシール方法に関するものである。
ブのシール方法に関するものである。
従来、真空用ゲートバルブとしては、第５図お
よび第６図に示すように、前記開口部９および後
部開口部１０を有する弁箱１１内に、表裏両側に
平滑なシール面を有する板状の仕切弁１２が移動
自在に配置され、その仕切弁１２の表裏両面と弁
箱１１における前部開口部９を囲む部分および後
部開口部１０を囲む部分との間には、それぞれ内
側ベローズ５および外側ベローズ６が配置され、
内側ベローズ５および外側ベローズ６における仕
切弁側端部は、仕切弁１２に対向する環状凹部２
を有する環状金具３に溶接により連結され、内側
ベローズ５および外側ベローズ６の他端部は弁箱
１１に溶接により固着され、前記環状金具３の仕
切弁対向面には、前記環状凹部２の開口部を塞ぐ
鏡面薄板４が溶接により固着され、かつ前記環状
金具３には、前記環状凹部２および鏡面薄板４に
より形成された環状加圧室８と各ベローズ５，６
間の環状ベローズ室７とを連通させる連通孔１３
が設けられ、前記弁箱１１には、環状ベローズ室
７に開口する流体供給口１４が設けられ、その流
体供給口１４から環状ベローズ室７に加圧流体を
供給すると共に、その加圧流体を連通孔１３から
環状加圧室８に供給することにより、各ベローズ
５，６を伸長させて鏡面薄板４を仕切弁１２のシ
ール面に押付けると共に、環状加圧室８の流体圧
力により鏡面薄板４を仕切弁１２のシール面に圧
接させるように構成したものが知られている。
よび第６図に示すように、前記開口部９および後
部開口部１０を有する弁箱１１内に、表裏両側に
平滑なシール面を有する板状の仕切弁１２が移動
自在に配置され、その仕切弁１２の表裏両面と弁
箱１１における前部開口部９を囲む部分および後
部開口部１０を囲む部分との間には、それぞれ内
側ベローズ５および外側ベローズ６が配置され、
内側ベローズ５および外側ベローズ６における仕
切弁側端部は、仕切弁１２に対向する環状凹部２
を有する環状金具３に溶接により連結され、内側
ベローズ５および外側ベローズ６の他端部は弁箱
１１に溶接により固着され、前記環状金具３の仕
切弁対向面には、前記環状凹部２の開口部を塞ぐ
鏡面薄板４が溶接により固着され、かつ前記環状
金具３には、前記環状凹部２および鏡面薄板４に
より形成された環状加圧室８と各ベローズ５，６
間の環状ベローズ室７とを連通させる連通孔１３
が設けられ、前記弁箱１１には、環状ベローズ室
７に開口する流体供給口１４が設けられ、その流
体供給口１４から環状ベローズ室７に加圧流体を
供給すると共に、その加圧流体を連通孔１３から
環状加圧室８に供給することにより、各ベローズ
５，６を伸長させて鏡面薄板４を仕切弁１２のシ
ール面に押付けると共に、環状加圧室８の流体圧
力により鏡面薄板４を仕切弁１２のシール面に圧
接させるように構成したものが知られている。
そしてこの真空用ゲートバルブにおいては、流
体供給口１４から加圧流体を供給したとき、まず
各ベローズ５，６が伸長して鏡面薄板４が仕切弁
１２のシール面に押付けられたのち、環状加圧室
８内の流体圧力により鏡面薄板４が仕切弁１２の
シール面に圧接されるのが理想的であるが、実際
には、鏡面薄板４のふくらみ変形速度よりも各ベ
ローズ５，６の伸長速度が遅いので、第７図に示
すように鏡面薄板４がふくらみ変形したのち、そ
の鏡面薄板４のふくらみの頂部が仕切弁１２のシ
ール面に押付けられ、続いて各ベローズ５，６の
伸長により、鏡面薄板４が第８図に示すように扁
平に圧縮変形されることになる。
体供給口１４から加圧流体を供給したとき、まず
各ベローズ５，６が伸長して鏡面薄板４が仕切弁
１２のシール面に押付けられたのち、環状加圧室
８内の流体圧力により鏡面薄板４が仕切弁１２の
シール面に圧接されるのが理想的であるが、実際
には、鏡面薄板４のふくらみ変形速度よりも各ベ
ローズ５，６の伸長速度が遅いので、第７図に示
すように鏡面薄板４がふくらみ変形したのち、そ
の鏡面薄板４のふくらみの頂部が仕切弁１２のシ
ール面に押付けられ、続いて各ベローズ５，６の
伸長により、鏡面薄板４が第８図に示すように扁
平に圧縮変形されることになる。
しかし、このように鏡面薄板４がふくらみ変形
したのち圧縮変形されていくと、ふくらみ変形し
た鏡面薄板４が無理に圧縮させるので、第８図に
示すように鏡面薄板４の巾方向の両側部分が屈曲
変形される傾向になつて大きな曲げ応力を発生
し、このような屈曲変形が繰返して行なわれる
と、最終的には第９図に示すように鏡面薄板４の
巾方向の両側部分が折曲げられるようになり、そ
のため真空用ゲートバルブにおけるシール部が早
期に破損するという問題がある。
したのち圧縮変形されていくと、ふくらみ変形し
た鏡面薄板４が無理に圧縮させるので、第８図に
示すように鏡面薄板４の巾方向の両側部分が屈曲
変形される傾向になつて大きな曲げ応力を発生
し、このような屈曲変形が繰返して行なわれる
と、最終的には第９図に示すように鏡面薄板４の
巾方向の両側部分が折曲げられるようになり、そ
のため真空用ゲートバルブにおけるシール部が早
期に破損するという問題がある。
また他のゲートバルブとして、特開昭57−
114065号公報により公表されてているゲートバル
ブが知られている。
114065号公報により公表されてているゲートバル
ブが知られている。
このゲートバルブの場合は、弁体に外周縁部お
よび内周縁部が固着されている薄板の巾方向中間
部が、中間板のシール面またはバルブ本体のシー
ル面に圧接されるので、薄板をシール面に強力に
圧接させると、その薄板に過大な曲げ力が作用し
て、薄板が破損する恐れがある。
よび内周縁部が固着されている薄板の巾方向中間
部が、中間板のシール面またはバルブ本体のシー
ル面に圧接されるので、薄板をシール面に強力に
圧接させると、その薄板に過大な曲げ力が作用し
て、薄板が破損する恐れがある。
また前記従来のゲートバルブの場合は、弁体の
環状凹部と薄板とにより形成された薄板押付用加
圧室が、弁体移動用加圧室に導入孔を介して連通
されているので、薄板押付用加圧室内に弁体移動
用加圧室内の圧力とは無関係に任意の圧力の流体
を供給して、薄板をシール面に対し任意の圧力で
圧接されることができないという問題がある。
環状凹部と薄板とにより形成された薄板押付用加
圧室が、弁体移動用加圧室に導入孔を介して連通
されているので、薄板押付用加圧室内に弁体移動
用加圧室内の圧力とは無関係に任意の圧力の流体
を供給して、薄板をシール面に対し任意の圧力で
圧接されることができないという問題がある。
この発明は前述の問題を有利に解決できる真空
用バルブのシール方法を提供することを目的とす
るものであつて、この発明の要旨とするところ
は、シール面１に向かつて開口する環状凹部２を
有する環状金具３に、その環状凹部２を閉塞する
環状の鏡面薄板４を固着し、かつ前記環状金具３
に一端部が固定されている内側ベローズ５および
外側ベローズ６の他端部をベローズ支持部材に固
定し、前記内側ベローズ５および外側ベローズ６
の間の環状ベローズ室７内に流体を圧入して各ベ
ローズ５，６を伸長させることにより、前記鏡面
薄板４をその全面にわたつてシール面１に押付け
たのち、前記環状凹部２と鏡面薄板４との間の環
状加圧室８内に流体供給管２１から流体を圧入し
て、その流体圧力により鏡面薄板４を前記シール
面１に強圧することを特徴とする真空用バルブの
シール方法にある。
用バルブのシール方法を提供することを目的とす
るものであつて、この発明の要旨とするところ
は、シール面１に向かつて開口する環状凹部２を
有する環状金具３に、その環状凹部２を閉塞する
環状の鏡面薄板４を固着し、かつ前記環状金具３
に一端部が固定されている内側ベローズ５および
外側ベローズ６の他端部をベローズ支持部材に固
定し、前記内側ベローズ５および外側ベローズ６
の間の環状ベローズ室７内に流体を圧入して各ベ
ローズ５，６を伸長させることにより、前記鏡面
薄板４をその全面にわたつてシール面１に押付け
たのち、前記環状凹部２と鏡面薄板４との間の環
状加圧室８内に流体供給管２１から流体を圧入し
て、その流体圧力により鏡面薄板４を前記シール
面１に強圧することを特徴とする真空用バルブの
シール方法にある。
次にこの発明を図示の例によつて詳細に説明す
る。
る。
第１図ないし第３図はこの発明を真空用ゲート
バルブに実施した一実施例を示すものであつて、
前部開口部９および後部開口部１０を有する弁箱
１１の下部に排気ポンプ接続用フランジ金具１５
が設けられ、前部開口部９および後部開口部１０
は真空機器や真空容器等の配管系に対し溶接によ
り接続される。
バルブに実施した一実施例を示すものであつて、
前部開口部９および後部開口部１０を有する弁箱
１１の下部に排気ポンプ接続用フランジ金具１５
が設けられ、前部開口部９および後部開口部１０
は真空機器や真空容器等の配管系に対し溶接によ
り接続される。
流体圧シリンダ（図示を省略した）により操作
杆１６を介して昇降移動される板状の仕切弁１２
が弁箱１１内に配置され、その仕切弁１２の表裏
両側には鏡面仕上げによる平滑なシール面１が設
けられ、かつ仕切弁１２の左右両側部分は弁箱１
１に設けられたガイド溝（図示を省略した）に嵌
合され、また前記操作杆１６の下側部分を囲むシ
ール用ベローズ１８の下端部は弁箱１１に固定さ
れ、そのベローズ１８の上端部は操作杆１６に固
着されたフランジ（図示を省略した）に固定され
ている。
杆１６を介して昇降移動される板状の仕切弁１２
が弁箱１１内に配置され、その仕切弁１２の表裏
両側には鏡面仕上げによる平滑なシール面１が設
けられ、かつ仕切弁１２の左右両側部分は弁箱１
１に設けられたガイド溝（図示を省略した）に嵌
合され、また前記操作杆１６の下側部分を囲むシ
ール用ベローズ１８の下端部は弁箱１１に固定さ
れ、そのベローズ１８の上端部は操作杆１６に固
着されたフランジ（図示を省略した）に固定され
ている。
前記仕切弁１２の先端部に楔形端部１９が形成
され、弁箱１１内の一端部には仕切弁１２の楔形
端部１９に対向する楔形ガイド溝２０が設けら
れ、前記流体圧シリンダの伸長により仕切弁１２
を弁箱１１の一端部に向かつて移動して、仕切弁
１２の楔形端部１９を弁箱１１の楔形ガイド溝２
０に嵌合させると、仕切弁１２が弁箱１１内の空
間の中心位置に保持される。
され、弁箱１１内の一端部には仕切弁１２の楔形
端部１９に対向する楔形ガイド溝２０が設けら
れ、前記流体圧シリンダの伸長により仕切弁１２
を弁箱１１の一端部に向かつて移動して、仕切弁
１２の楔形端部１９を弁箱１１の楔形ガイド溝２
０に嵌合させると、仕切弁１２が弁箱１１内の空
間の中心位置に保持される。
前記仕切弁１２の表面および裏面と弁箱１１内
における前記前部開口部９を囲む部分および後部
開口部１０を囲む部分との間には、それぞれ筒状
の内側ベローズ５および外側ベローズ６が配置さ
れ、内側ベローズ５および外側ベローズ６におけ
る仕切弁側端部は、仕切弁１２のシール面１に対
向する浅い環状凹部２を有する環状金具３に対し
溶接により固着され、かつ厚さ0.1mmのアルミ合
金の薄板からなる環状の鏡面薄板４の内周および
外周に厚肉部が連設され、その鏡面薄板４が、環
状金具３における環状凹部２を塞ぐようにかつ前
記仕切弁１２のシール面に対向するように配置さ
れ、さらに鏡面薄板４の内周および外周の厚肉部
は環状金具３に対し溶接により気密に固着され、
前記環状凹部２と鏡面薄板４とにより環状加圧室
８が構成されている。
における前記前部開口部９を囲む部分および後部
開口部１０を囲む部分との間には、それぞれ筒状
の内側ベローズ５および外側ベローズ６が配置さ
れ、内側ベローズ５および外側ベローズ６におけ
る仕切弁側端部は、仕切弁１２のシール面１に対
向する浅い環状凹部２を有する環状金具３に対し
溶接により固着され、かつ厚さ0.1mmのアルミ合
金の薄板からなる環状の鏡面薄板４の内周および
外周に厚肉部が連設され、その鏡面薄板４が、環
状金具３における環状凹部２を塞ぐようにかつ前
記仕切弁１２のシール面に対向するように配置さ
れ、さらに鏡面薄板４の内周および外周の厚肉部
は環状金具３に対し溶接により気密に固着され、
前記環状凹部２と鏡面薄板４とにより環状加圧室
８が構成されている。
前記各ベローズ５，６の他端部は、ベローズ支
持部材を兼ねる弁箱１１に対し溶接により気密に
固着され、前記各ベローズ５，６と環状金具３と
弁箱１１とにより環状ベローズ室７が構成されて
いる。また弁箱１１に流体供給口１４が設けら
れ、かつ環状金具３に一端が挿通固定されている
金属製流体供給管２１は、環状ベローズ室７内を
通つて弁箱１１に対し気密に貫通固定され、さら
に流体供給管２１には環状ベローズ室７内におい
て伸縮を許容するための波形部分２２が設けら
れ、前記流体供給口１４は管路および開閉弁を介
して空気または液体等の加圧流体供給源に接続さ
れ、また前記流体供給管２１も開閉弁を介して加
圧流体供給源に接続される。
持部材を兼ねる弁箱１１に対し溶接により気密に
固着され、前記各ベローズ５，６と環状金具３と
弁箱１１とにより環状ベローズ室７が構成されて
いる。また弁箱１１に流体供給口１４が設けら
れ、かつ環状金具３に一端が挿通固定されている
金属製流体供給管２１は、環状ベローズ室７内を
通つて弁箱１１に対し気密に貫通固定され、さら
に流体供給管２１には環状ベローズ室７内におい
て伸縮を許容するための波形部分２２が設けら
れ、前記流体供給口１４は管路および開閉弁を介
して空気または液体等の加圧流体供給源に接続さ
れ、また前記流体供給管２１も開閉弁を介して加
圧流体供給源に接続される。
第１図および第２図に示す状態から鏡面薄板４
を仕切弁１２に圧接させてシールする場合は、ま
ず流体供給口１４から環状ベローズ室７内に圧縮
空気または加圧流体等の加圧流体を供給して、各
ベローズ５，６を伸長させることにより、第３図
に示すように鏡面薄板４を仕切弁１２のシール面
１に押付ける。次いで流体供給管２１から環状加
圧室８内に加圧流体を供給することにより、その
加圧流体の圧力によつて鏡面薄板４をその全面に
わたつて仕切弁１２のシール面に対し強力に圧接
させる。
を仕切弁１２に圧接させてシールする場合は、ま
ず流体供給口１４から環状ベローズ室７内に圧縮
空気または加圧流体等の加圧流体を供給して、各
ベローズ５，６を伸長させることにより、第３図
に示すように鏡面薄板４を仕切弁１２のシール面
１に押付ける。次いで流体供給管２１から環状加
圧室８内に加圧流体を供給することにより、その
加圧流体の圧力によつて鏡面薄板４をその全面に
わたつて仕切弁１２のシール面に対し強力に圧接
させる。
また仕切弁１２と鏡面薄板４とのシールを解放
する場合は、まず環状加圧室８内の圧力を解除し
たのち、環状ベローズ室７内の圧力を解除して各
ベローズ５，６を短縮させることにより、鏡面薄
板４を第１図および第２図に示す位置まで仕切弁
１２から離反移動させる。
する場合は、まず環状加圧室８内の圧力を解除し
たのち、環状ベローズ室７内の圧力を解除して各
ベローズ５，６を短縮させることにより、鏡面薄
板４を第１図および第２図に示す位置まで仕切弁
１２から離反移動させる。
この発明を実施する場合、第４図に示すよう
に、流体供給管２１に伸縮用螺旋部分２３を形成
してもよい。またこの発明は真空用ゲートバルブ
以外の真空用バルブのシール部にも実施すること
ができる。
に、流体供給管２１に伸縮用螺旋部分２３を形成
してもよい。またこの発明は真空用ゲートバルブ
以外の真空用バルブのシール部にも実施すること
ができる。
この発明によれば、シール面１に向かつて開口
する環状凹部２を有する環状金具３に、その環状
金具２を閉塞する環状の鏡面薄板４を固着し、か
つ前記環状金具３に一端部が固定されている内側
ベローズ５および外側ベローズ６の他端部をベロ
ーズ支持部材に固定し、前記内側ベローズ５およ
び外側ベローズ６の間の環状ベローズ室７内に流
体を圧入して各ベローズ５，６を伸長させること
により、前記鏡面薄板４をその全面にわたつてシ
ール面１に押付けたのち、前記環状凹部２と鏡面
薄板４との間の環状加圧室８内に流体を圧入し
て、その流体圧力により鏡面薄板４を前記シール
面１に強圧するので、環状加圧室８内の高圧の流
体を圧入しても、鏡面薄板４に過大な曲げ応力が
作用して、その鏡面薄板４が破損することはな
く、さらに流体供給管２１から環状加圧室８内に
流体を圧入するので、環状ベローズ室７内の流体
圧力とは無関係に高圧の流体を環状加圧室８内に
供給して、鏡面薄板４を前記シール面１に強力に
圧接させることができ、そのため確実にシールす
ることができる効果が得られる。
する環状凹部２を有する環状金具３に、その環状
金具２を閉塞する環状の鏡面薄板４を固着し、か
つ前記環状金具３に一端部が固定されている内側
ベローズ５および外側ベローズ６の他端部をベロ
ーズ支持部材に固定し、前記内側ベローズ５およ
び外側ベローズ６の間の環状ベローズ室７内に流
体を圧入して各ベローズ５，６を伸長させること
により、前記鏡面薄板４をその全面にわたつてシ
ール面１に押付けたのち、前記環状凹部２と鏡面
薄板４との間の環状加圧室８内に流体を圧入し
て、その流体圧力により鏡面薄板４を前記シール
面１に強圧するので、環状加圧室８内の高圧の流
体を圧入しても、鏡面薄板４に過大な曲げ応力が
作用して、その鏡面薄板４が破損することはな
く、さらに流体供給管２１から環状加圧室８内に
流体を圧入するので、環状ベローズ室７内の流体
圧力とは無関係に高圧の流体を環状加圧室８内に
供給して、鏡面薄板４を前記シール面１に強力に
圧接させることができ、そのため確実にシールす
ることができる効果が得られる。
第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示
すものであつて、第１図はシール部が開放されて
いる真空用ゲートバルブの縦断側面図、第２図は
第１図におけるシール部を拡大して示す縦断側面
図、第３図はシール部がシールされている状態を
示す縦断側面図である。第４図は流体供給管に伸
縮用螺旋状部分を形成した状態を示す縦断側面図
である。第５図は従来の真空用ゲートバルブを示
す縦断側面図、第６図はそのゲートバルブにおけ
るシール部の拡大縦断側面図、第７図および第８
図は従来のゲートバルブにおける鏡面薄板が仕切
弁に圧接されるときの順序を示す縦断側面図、第
９図は従来のゲートバルブにおける鏡面薄板が曲
げ変形された状態を示す縦断側面図である。 図において、１はシール面、２は環状凹部、３
は環状金具、４は鏡面薄板、５は内側ベローズ、
６は外側ベローズ、７は環状ベローズ室、８は環
状加圧室、９は前部開口部、１０は後部開口部、
１１は弁箱、１２は仕切弁、１４は流体供給口、
２１は流体供給管、２２は波形部分である。
すものであつて、第１図はシール部が開放されて
いる真空用ゲートバルブの縦断側面図、第２図は
第１図におけるシール部を拡大して示す縦断側面
図、第３図はシール部がシールされている状態を
示す縦断側面図である。第４図は流体供給管に伸
縮用螺旋状部分を形成した状態を示す縦断側面図
である。第５図は従来の真空用ゲートバルブを示
す縦断側面図、第６図はそのゲートバルブにおけ
るシール部の拡大縦断側面図、第７図および第８
図は従来のゲートバルブにおける鏡面薄板が仕切
弁に圧接されるときの順序を示す縦断側面図、第
９図は従来のゲートバルブにおける鏡面薄板が曲
げ変形された状態を示す縦断側面図である。 図において、１はシール面、２は環状凹部、３
は環状金具、４は鏡面薄板、５は内側ベローズ、
６は外側ベローズ、７は環状ベローズ室、８は環
状加圧室、９は前部開口部、１０は後部開口部、
１１は弁箱、１２は仕切弁、１４は流体供給口、
２１は流体供給管、２２は波形部分である。
Claims (1)
- １ シール面１に向かつて開口する環状凹部２を
有する環状金具３に、その環状凹部２を閉塞する
環状の鏡面薄板４を固着し、かつ前記環状金具３
に一端部が固定されている内側ベローズ５および
外側ベローズ６の他端部をベローズ支持部材に固
定し、前記内側ベローズ５および外側ベローズ６
の間の環状ベローズ室７内に流体を圧入して各ベ
ローズ５，６を伸長させることにより、前記鏡面
薄板４をその全面にわたつてシール面１に押付け
たのち、前記環状凹部２と鏡面薄板４との間の環
状加圧室８内に流体供給管２１から流体を圧入し
て、その流体圧力により鏡面薄板４を前記シール
面１に強圧することを特徴とする真空用バルブの
シール方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24434784A JPS61124778A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 真空用バルブのシ−ル方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24434784A JPS61124778A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 真空用バルブのシ−ル方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124778A JPS61124778A (ja) | 1986-06-12 |
| JPH0474592B2 true JPH0474592B2 (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=17117345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24434784A Granted JPS61124778A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 真空用バルブのシ−ル方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61124778A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101650320B1 (ko) | 2008-08-28 | 2016-08-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 오링을 이동하는 대응 부분에 커플링시키기 위한 슬롯이 형성된 ｔｓｓｌ 도어 |
| KR101425811B1 (ko) * | 2013-02-15 | 2014-08-05 | (주)시스콤 | 고속 압력제어와 파티클 발생을 극소화한 구조를 지닌 역압대응 진자식 게이트 밸브 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57114065A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-15 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | Gate valve |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP24434784A patent/JPS61124778A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61124778A (ja) | 1986-06-12 |
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