JPH047665U - - Google Patents
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- JPH047665U JPH047665U JP4860790U JP4860790U JPH047665U JP H047665 U JPH047665 U JP H047665U JP 4860790 U JP4860790 U JP 4860790U JP 4860790 U JP4860790 U JP 4860790U JP H047665 U JPH047665 U JP H047665U
- Authority
- JP
- Japan
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- single crystal
- raw material
- material melt
- addition tube
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一装置例を示す概略断面図、
第２図は第１図の要部を示す斜視図である。 図中、２……ルツボ、３……原料融液、４……
単結晶、８……添加チユーブ、１２……遮蔽板で
ある。
第２図は第１図の要部を示す斜視図である。 図中、２……ルツボ、３……原料融液、４……
単結晶、８……添加チユーブ、１２……遮蔽板で
ある。
Claims (1)
- ルツボ内の原料融液から単結晶を引き上げなが
ら添加チユーブから添加物を原料融液に供給する
単結晶の製造装置において、上記添加チユーブ先
端の単結晶側に、添加物による単結晶側の飛散を
防止するための遮蔽板を設けたことを特徴とする
単結晶の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4860790U JPH047665U (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4860790U JPH047665U (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047665U true JPH047665U (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=31565570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4860790U Pending JPH047665U (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047665U (ja) |
-
1990
- 1990-05-11 JP JP4860790U patent/JPH047665U/ja active Pending
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