JPH047667U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH047667U JPH047667U JP4768590U JP4768590U JPH047667U JP H047667 U JPH047667 U JP H047667U JP 4768590 U JP4768590 U JP 4768590U JP 4768590 U JP4768590 U JP 4768590U JP H047667 U JPH047667 U JP H047667U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- cooling panel
- cooling
- refrigerant
- hole
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、冷媒を冷却パネル本体から得る場合
の本考案の一実施例を示すそれぞれ斜視断面図と
側面図である。第２図は、冷媒を保守点検用フラ
ンジから供給する場合の本考案の他の実施例を示
す側面図である。 １……冷却パネル本体、１ａ〜１ｄ……穴、２
ａ〜２ｄ……プレート、３ａ〜３ｆ……接手、４
，４ａ，５，５ａ……パイプ、６ａ，６ｂ……フ
ランジ、８……チヤンバー本体。
の本考案の一実施例を示すそれぞれ斜視断面図と
側面図である。第２図は、冷媒を保守点検用フラ
ンジから供給する場合の本考案の他の実施例を示
す側面図である。 １……冷却パネル本体、１ａ〜１ｄ……穴、２
ａ〜２ｄ……プレート、３ａ〜３ｆ……接手、４
，４ａ，５，５ａ……パイプ、６ａ，６ｂ……フ
ランジ、８……チヤンバー本体。
Claims (1)
- 冷却パネル本体に設けた穴の近傍に冷媒を供給
する配管を設け、この配管を介して前記穴をふさ
ぐような冷却パネルを配したことを特徴とするＭ
ＢＥ装置用冷却プレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4768590U JPH047667U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4768590U JPH047667U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047667U true JPH047667U (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=31563834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4768590U Pending JPH047667U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047667U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962869U (ja) * | 1972-09-12 | 1974-06-03 |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP4768590U patent/JPH047667U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962869U (ja) * | 1972-09-12 | 1974-06-03 |