JPH0477242B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は基体に装着されたＸスライダ、Ｙスラ
イダおよびＺスライダを介して直交３軸方向に移
動可能に支持された測定子をワーク表面に沿つて
接触摺動させつつワーク表面形状を電気信号とし
て検出する表面形状測定用トレーサの改良に関す
る。

〔従来の技術〕

CNC三次元測定機等に表面形状測定トレーサ
を装着し、このトレーサの測定子（触針）をワー
ク表面に接触摺動させつつワーク（測定対象物）
の表面形状を連続的に追従測定する接触式表面形
状測定装置が知られている。

従来、この種の表面形状測定用トレーサは
CNC三次元測定機等に取付固定される基体に各
軸方向にそれぞれ移動可能なＸスライダ、Ｙスラ
イダおよびＺスライダを順次装着し、その内の１
つのスライダに測定子を固定し、基体に対して測
定子が直交３軸方向に移動可能に形成されるとと
もに、ワークに非接触の場合において測定子を基
体に対する中立位置すなわちＸ、Ｙ、Ｚ原点に復
帰させるための中立位置保持手段を設け構成され
ているのが一般的である。例えば、米国特許第
3869799号に開示された表面形状測定トレーサで
は、各スライダ間を平行バネで担持し、この平行
バネによつて各スライダの各軸方向の移動を許容
し、測定力を確保し、さらに測定子を原点へ復帰
させる中立位置保持手段を形成するものとされて
いる。しかし、平行バネの組立固定時の位置精度
のバラツキ、非線形特性、変形程度により発生す
るＺ軸方向誤差が大きく測定値に方向性が出てし
まうという欠点があつた。これに対しＸ、Ｙ、Ｚ
の３軸方向に安定した測定力（接触力）あるいは
移動特性を与えまた中立位置への復帰が容易でワ
ーク表面への追従性を改良するものとして、平行
バネを除去し、各スライダを順次互いに直交方向
に摺動自在に支持するとともに中立位置保持手段
を戻しバネから形成し、その欠点を除去する構成
とした改良された表面形状測定トレーサが特開昭
61−50007で提案されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記従来の表面形状測定トレーサ、特
に改良された後者トレーサにおいてさえ小型軽量
化、高精度測定等の現今要請を満足できなくなつ
てきた。

すなわち、各スライダは順次互いに直交軸線方
向に摺動自在に組立てるいわゆる３段積重方式と
されているため大型となり接触式表面形状測定装
置に大きな負荷となるばかりかその有効測定空間
を狭小化して測定能率を悪化させ、またワークを
小さなものに限定せざるを得ないという問題があ
つた。また中立位置保持手段が各スライダ間に介
在されあるいはそれらの外周部に配設されている
ことも一層の大型化を招いた。

また、表面形状測定トレーサが大型化すること
はトレーサ自体の特性を一定以上に向上させるこ
とができないという問題がある。つまり、上記３
段積重方式の構造では最下段に配設されたスライ
ダを除く他のスライダの荷重が増大するので移動
特性に差異が生じ測定値の方向性が大きく現れ
る。また、中立位置保持手段の付勢力を大きくし
なければならず測定力の軽減が困難であり測定誤
差が生じ易いばかりかプラスチツク製品等の形状
測定ができないという問題も生じさせた。また、
各スライダ間の円滑摺動案内連結のために各部品
の仕上げ精度を高級化しなければならず、また組
立調整に過大な労力、時間を費やし経済的にも不
利を及ぼした。さらに、中立位置保持手段は一般
的に水平面内の原点復帰手段と垂直面内の原点復
帰手段とから形成されるが構造長大化のために両
手段の構造、負荷、付勢力がおのずから相違する
ので方向性バラツキを生じ、さらに固有振動等複
雑な問題を誘発させた。

本発明は上記事情に鑑みさなれたもので、その
目的とするところは小型軽量で方向性、応答性の
優れた表面形状測定トレーサを提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記従来の問題点が３段積重方式によ
る各スライダ構造に起因していることに着目し、
２つのスライダを基体に摺動案内、位置規制させ
て直接的に支持させる構造とし上記欠点を解消す
るものである。

これがため、測定装置の可動体に固定される基
体に装着されたＸスライダと、Ｙスライダおよび
Ｚスライダを介して直交３軸方向に移動可能に支
持された測定子をワーク表面に沿つて接触摺動さ
せつつワーク表面形状を電気信号として検出する
表面形状測定用トレーサにおいて、前記基体はＺ
軸方向に離隔した平行面で囲まれた中空部とＸ軸
方向に離隔した平行側面とを有して形成され、前
記Ｙスライダをその一部が前記中空部内に嵌装す
るとともにＹ軸方向には移動可能かつＸ軸および
Ｚ軸方向には移動不能に設け、前記Ｘスライダを
その一部が前記中空部内に嵌装しかつ前記Ｙスラ
イダに係合してＸ軸方向には移動可能かつＺ軸方
向には移動不能に設け、測定子を備えたＺ軸スラ
イダを前記ＸスライダにＺ軸方向に移動可能に支
持する構成とし前記目的を達成する。

〔作用〕

このような構成による本発明では、Ｘスライダ
にＺ軸方向移動可能に装着されたＺスライダすな
わち、Ｚスライダに固定された測定子をワークに
接触させて基体とワークとを相対移動させれば、
基体に直接的に支持されたＸスライダおよびＹス
ライダがＺ軸方向に位置規制されつつＸ軸方向お
よびＹ軸方向に摺動するので、測定子を基体に対
して３軸方向に円滑摺動させることができる。

〔実施例〕

本発明に係る形状測定トレーサの好適な実施例
を第１図、第２図および第３〜７図に基づいて説
明する。

本実施例の形状測定トレーサは、大別して基体
１０、Ｘスライダ２０、Ｙスライダ４０、Ｚスラ
イダ５０、中立位置保持手段６０および変位検出
手段８０から構成され、Ｘスライダ２０およびＹ
スライダ４０を基体１０に直接的に支持させ、Ｚ
スライダ５０をＸスライダ２０に支持させた２段
積重方式とするとともに中立位置保持手段６０を
各スライダ内に収容させた形状とし軽量小型化を
達成している。

以下、各構成要素を分説する。

第１〜４図に示すように、基体１０は、図示し
ない接触式表面形状測定装置の可動体に固定され
るもので、上板１１、側板１９ｌ，１９ｒおよび
下板１７とで構成されている。基体１０にはその
長手方向（Ｙ軸）に直交する方向（Ｘ軸）に基体
１０を水平に貫通する断面矩形の中空部１５が形
成されている。

すなわち、中空部１５は上板１１の案内面１６
ｕと下板１７の案内面１６ｄとの上下（Ｚ軸）方
向に離隔した平行面で囲まれ、Ｘスライダ２０の
一部であるスライド部材３１とＹスライダ４０の
一部であるスライド部材４６ｌ，４６ｒとを嵌装
するためのものである。また、上板１１の起立部
１３の外面側には第２図で示す如く、Ｘ軸方向に
離隔した平行側面である案内面１４ｌ，１４ｒが
形成され、この案内面１４ｌ，１４ｒとＹスライ
ダ４０の摺動面４３ｌ，４３ｒとを当接させてＹ
スライダ４０のＸ軸方向移動を規制するものであ
る。したがつて、従来の如くＸスライダ２０にＹ
スライダ４０を移動可能に支持しまたはこの逆に
Ｙスライダ４０にＸスライダ２０を移動可能に支
持させる形態でなく、基体１０（しかも同一水平
面）に両スライダ２０，４０が直接的に摺動案内
されるので少なくともＺ軸方向の短小化が図られ
る。また、上板１１の中央部には雌ネジ１２が設
けられ、かつ、下板１７の中央部には貫通孔１８
が設けられている。なお、第４図中の符号Ｂは、
中空部１５のＹ軸およびＺ軸方向の中心を示す基
準線であり、符号Ａは、基体１０のＸ軸およびＹ
軸方向の中心を示す基準線でありＺ軸の軸線であ
る。

Ｘスライダ２０は前述のように基体１０に支持
されており、第１，２，６図および第７図の一部
に示すように、角柱状の本体２１と、この本体２
１の上部側にボルト固定されＸスライダ２０の一
部であるスライド部材３１と、本体２１の下部側
にボルト固定された蓋部材３５から構成されてい
る。スライド部材３１は、第４図と６図の同一基
準線Ａ，Ｂが示すように、基体１０の中空部１５
に嵌装され、その摺動面３２ｕは基体１０の案内
面１６ｕに密接され、かつ摺動面３２ｄは案内面
１６ｄに密接される。したがつて、基体１０に取
付けられた空気管９０から両案内面１６ｕ，１６
ｄに圧搾空気を供給して空気軸受を形成すれば、
スライド部材３１（Ｘスライダ２０）はＺ軸方向
に移動不能とされかつＸ軸方向に移動可能とな
る。なお、スライド部材３１はＹスライダ４０と
の関係でＹ軸方向にも移動可能である。

第１，２，６図に示すように、本体２１にはそ
の中央部、すなわちＺ軸軸線Ａ上に貫通する角形
中空部２３が設けられ、その四方内面は案内面２
４ａ〜ｄを形成するとともに、これらの案内面２
４ａ〜ｄには空気配管９１から圧搾空気が噴出供
給される。また、第１および７図の一部に示すよ
うに、本体２１の下部にボルト固定された蓋部材
３５の中央部には上方に延びる円筒部３６が立設
されている。

Ｙスライダ４０は前述のように基体１０に支持
されており、第１，２，５図に示すように、基体
１０をＸ軸方向に挟み対向配設される一対の上板
４１ｌ，４１ｒと、一対の下板４９ｌ，４９ｒ
と、これら上板と下板とを連結する側板４５ｌ，
４５ｒ（基体１０をＸ軸方向に挟む一対からなる）
とからなり、正面視略角パイプ、かつ側面視略Ｈ
字に組立てられている。そして、側板４５ｌ（４
５ｌ）間には第１，５図に見られるように、基体
１０の中空部１５をＸ軸方向に貫通嵌装されるス
ライド部材４６ｌが設けられ、かつ側板４５ｒ
（４５ｒ）間には同様にスライド部材４６ｒが設
けられている。これらスライド部材４６ｌ，４６
ｒはＸスライダ２０のスライド部材３１とＺ軸方
向の寸法が同一とされ、かつスライド部材３１を
Ｙ軸方向に空気配管９１からの供給による空気軸
受を介し挟むものとされている。各スライド部材
４６ｌ，４６ｒの上部側には摺動面４７ｕ，４７
ｕが、下部側には摺動面４７ｄ，４７ｄがそれぞ
れ形成されている。したがつて、空気配管９０か
ら基体１０の案内面１６ｕ，１６ｄに圧搾空気が
供給され空気軸受が形成されると、Ｙスライダ４
０はＺ軸方向移動不能でＹ軸方向に低摩擦で移動
できる。

なお、Ｙスライダ４０のＸ軸方向の位置規制は
基体１０の起立部１３，１３の各外側に設けられ
た案内面１４ｌ，１４ｒと、上板４１ｌ，４１ｒ
の摺動面４３ｌ，４３ｒとの協働により達成され
Ｘ軸方向に移動不能とされている。また、案内面
１４ｌ，１４ｒには空気軸受が形成されＹスライ
ダ４０のＹ軸方向の円滑移動を許容する。また、
第４図と第５図の基準線Ａ，Ｂは同一基準線であ
る。

次に、下端側に鍔５７を介して測定子５８（触
針５９を有する）が取付けられたＺスライダ５０
は、前述のようにＸスライダ２０に支持され、第
１，２，７図に示すように、断面円形の中空筒部
５５が設けられた角柱状の本体５１から形成さ
れ、上部側には上部開口部５３が設けられてい
る。本体５１の四方側周面はＸスライダ２０の案
内面２４ａ〜２４ｄに対応する摺動面５２ａ〜５
２ｄを形成する。すなわち、Ｚスライダ５０はＸ
スライダ２０に嵌装され、空気配管９１から供給
された圧搾空気による空気軸受を介しＺ軸方向に
低摩擦移動できる。また、Ｘスライダ２０の角形
中空部２３とこれに嵌装される角柱状の本体５１
とは、Ｘスライダ２０に対するＺスライダ５０の
Ｚ軸線Ａを中心とする廻り止め機能を発揮する。
このようにＸスライダ２０とＹスライダ４０とは
基体１０に直接的に案内支持され、Ｚスライダ５
０はＸスライダ２０に案内支持されているので、
測定子５８にワークからの形状変化に伴う押圧力
が加われば測定子５８は３軸方向に移動変位し、
その移動変位量は各スライダの当該移動量として
検出される。このために設けられた変位検出手段
８０は、Ｘセンサ、ＹセンサおよびＺセンサから
形成されている。Ｘセンサは、第１図に示すよう
に基体１０に取付けられたスケール８２とＸスラ
イダ２０の突出部２６に固定された検出器８３と
からなる。Ｙセンサは、第２図に示すようにＹス
ライダ４０の起立部４２に取付けられたスケール
８５と基体１０の起立部１３に固定された検出器
８６とからなり、またＺセンサは、第１図に示す
ようにＸスライダ２０に一体的に取付けられたス
ケール８８とＸスライダ２０の開口部２５を内側
から外側に貫通する支持部材５６を介し、Ｚスラ
イダ５０に固定された検出器８９とから形成され
ており、いずれのセンサも光電方式である。

次に、中立位置保持手段６０は、第１，２図に
示すように測定子５８（触針５９）にワークから
の押圧力が加わらない非接触状態において、基体
１０に対する測定子５８の姿勢を常に一定に保持
する手段であつて、この実施例では測定子５８の
XY平面内の原点へ復帰保持するためのXY原点
復帰手段６１と、Ｚ軸線上の原点復帰保持するた
めのＺ原点復帰手段７１とから構成されている。
まずXY原点復帰手段６１はロツト状のいわゆる
線バネ６３から形成され、その基端６４は雌ネジ
１２にＺ軸方向位置調整可能に螺合されたナツト
部材６２を介して基体１０に固定され、その先端
６５にはＸスライダ２０の中空円筒部３７にＺ軸
方向摺動可能とされたボール６６が取付けられて
いる。なお、これとは逆に基端６４を基体１０に
対しＺ軸方向に摺動可能とし、先端６５をＸスラ
イダ２０またはＺスライダ５０に固定させても実
施できる。Ｘスライダ２０（中空円筒部３７）と
ボール６６とはＸおよびＹ軸方向にガタをなくす
るために十分な形状とされており、その摺動抵抗
を一段と軽減する（ダンパー効果を除去する）た
めにＸスライダ２０の蓋部材３５には空気孔３９
が設けられている。また、XY平面上のいずれの
方向にも均一な測定力と復帰力と確保するために
無負荷状態において線バネ６３はＺ軸線と同一と
なるようされている。これがため基体１０の貫通
孔１８、Ｘスライダ２０の貫通孔３３、Ｚスライ
ダ５０の上部開口部５３、Ｘスライダ２０の円筒
部３６（中空円筒部３７）および測定子５８（触
針５９）とは同心加工組立されている。したがつ
て、触針５９にＸ軸方向および／またはＹ軸方向
の外力が加わると線バネ６３の付勢力に抗しＸス
ライダ２０とＹスライダ４０とは当該軸方向に円
滑摺動できる。一方、線バネ６３は両スライダ２
０，４０の摺動を許容しながらその外力が除去さ
れたときには両スライダ２０，４０を基体１０に
対して元位置（原点）へ復帰させることができ
る。これら両スライダ２０，４０の移動時には、
ボール６６が円筒部３６の摺動面３８をＺ軸方向
に摺動するので触針５９のＺ軸方向の位置は一定
に保持される。また、線バネ６３の付勢力はワー
クに対する触針５９の当接力すなわち測定力とな
るが、線バネ６３の全方向変形力は均一につき
XY平面上のいずれの方向においても測定力を一
定とすることができる。なお、測定力はナツト部
材６２を回動し、線バネ６３の有効長（ボール６
６のＺ軸方向位置）を変更することによつて増減
調整することができる。

また、Ｚ原点復帰手段７１は、上端７３がＺス
ライダ５０に係止されかつ下端７４が円筒部３６
に被嵌係止（Ｘスライダ２０に係止）されたコイ
ルバネ７２から構成され、Ｚスライダ５０内に収
容配設されている。この点からも、従来トレーサ
の如く各スライダの周囲に複数の吊バネを設ける
必要がないので簡単構造となり、小型軽量化を達
成すると理解される。しかもコイルバネ７２はＺ
スライダ５０と測定子５８との重量を保持するだ
けでよいから、比較的弱い付勢力とすることがで
き測定力を小さくできる。また、短寸なものとす
ることができるので変形による特性バラツキを小
さくできる構成とされている。

次に作用を説明する。

測定子５８，５９がワークに非接触の常態にお
いては、XY原点復帰手段６１を形成する線バネ
６３がＺ軸線と合致しているのでＸスライダ２０
およびＹスライダ４０は基体１０に対し所定の位
置に静止されている。また、Ｚスライダ５０はＺ
原点復帰手段７１を形成するコイルバネ７２によ
つてウエイトバランスされているので、Ｘスライ
ダ２０すなわち基体１０に対するＺ軸方向の所定
位置に静止されている。したがつて、Ｚスライダ
５０に取付けわれた測定子５８（触針５９）は
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の一つの交点である原点に保持され
ている。

ここに、触針５９を図示省略のワーク表面に接
触させつつ相対移動させると、触針５９に対する
Ｘ軸方向の押圧力によつてＸスライダ２０はＺス
ライダ５０を保持したままＸ軸方向に移動する。
スライド部材３１は基体１０の中空部１５内に嵌
装されているから、それ自体がＺ軸方向には移動
しないで空気軸受を介し円滑移動する。この場合
の測定力は、XY原点復帰手段６１を形成する線
バネ６３の復元力と等しい。また、触針５９にＹ
軸方向の押圧力が加わるとＹスライダ４０はＺス
ライダ５０、Ｘスライダ２０を介してＹ軸方向に
移動する。このＹスライダ４０のスライド部材４
６ｌ，４６ｒも基体１０の中空部１５に嵌装さ
れ、かつ摺動面４３ｌ，４３ｒが基体１０の案内
面１４ｌ，１４ｒに係合されているのでＹスライ
ダ４０はＺ軸方向およびＸ軸方向には移動不能で
ある。この場合、本発明においてはＸスライダ２
０とＹスライダ４０とを段積することなく基本１
０に直接的に支持させることからＸスライダ２０
はＹスライダ４０と一体的にＹ軸方向にも移動す
る。Ｙ軸方向の測定力もXY原点復帰手段６１の
線バネ６３の復元力に等しい。次に、触針５９に
Ｚ軸方向の押圧力が加わると、Ｚスライダ５０は
Ｘスライダ２０内をＺ原点復帰手段７１たるコイ
ルバネ７２を圧縮しつつＺ軸方向に移動する。両
スライダ２０，５０はそれ自体の角形状により廻
り止めされ、かつＸスライダ２０およびＹスライ
ダ４０が基体１０に対しその平行面内でＺ軸方向
に移動不能と支持されているからＺスライダ５０
はＺ軸方向のみに移動する。

ここに、Ｘスライダ２０の移動量はＸセンサ８
２，８３、Ｙスライダ４０の移動量はＹセンサ８
５，８６およびＺスライダ５０の移動量はＺセン
サ８８，８９によつて検出され、その結果、変位
検出手段８０としては触針５９の接触するワーク
表面形状を電気信号として検出することができ
る。

そして、Ｚ軸方向の押圧力が除去されるとＺス
ライダ５０はコイルバネ７２（Ｚ原点復帰手段７
１）の復元力によつてＺ軸方向（図で下方側）に
戻され触針５９（測定子５８）はＺ原点に復帰す
る。同様にＸ軸方向の押圧力から開放たれるとＸ
スライダ２０は線バネ６３（XY原点復帰手段６
１）の復元力によつて基体１０の中空部１５内を
移動しＸ原点に復帰し、Ｙ軸方向の押圧力から開
放されたＹスライダ４０はＹ原点に復帰する。こ
のようにして、測定子５８（触針５９）は中立位
置保持手段６０の機能により直交３軸方向に移動
されＸ、Ｙ、Ｚ原点に復帰保持される。

然して、この実施例によれば、Ｘスライダ２０
とＹスライダ４０とは３段積重方式でなく、基体
１０のＺ軸方向に離隔配設された平行面１６ｕ，
１６ｄで囲まれた中空部１５内に嵌装して直接的
に支持されているので、Ｚ軸方向の寸法を大幅に
短小化（小型化）することができる。また、両ス
ライダ２０，４０は同一面１６ｕ，１６ｄ上を摺
動し、かつＺ軸方向の位置規制が行われているの
で干渉が少なく、高精度かつ方向性均一化を図る
ことができる。このことはスライダおよびこれら
の移動構造の加工・組立が容易であることをも意
味するものである。

また、Ｘスライダ２０、Ｙスライダ４０を基体
１０に直接的に支持させた安定構造であるから、
Ｚスライダ５０を安定かつ追従性よくＸスライダ
２０に支持させることができ、またＺスライダ５
０のＺ軸方向移動がＸスライダ２０または／およ
びＹスライダ４０に姿勢変化を及ぼすことがな
い。この点からも高精度とすることができる。

また、Ｚ原点復帰手段７１はＺスライダ５０内
に収容配設されているので、各スライダ２０，４
０，５０の外側に設ける従来構造に比較してＸ軸
方向およびＹ軸方向の寸法の短小化（小型化）が
達成され、前記Ｚ軸方向の短小化と相俟つて極め
て小型軽量化することができる。とともにこの手
段７１を形成するコイルバネ７２は、Ｚスライダ
５０および測定子５８の負荷を保持するだけでよ
いから弱い付勢力となり、測定力の軽減化を図る
ことができる。しかも、コイルバネ７２はＺ軸線
に配設される一本のバネ構造であるから、Ｚ軸方
向の移動に際しＸ軸方向およびＹ軸方向に偏位誤
差等を生じさせないので、トレーサ全体としての
高精度化を一段と向上させることができる。

さらに、Ｘスライダ２０、Ｙスライダ４０の基
体１０への直接的支持構造に基づき、XY原点復
帰手段６１を形成する線バネ６３を短小化できる
ので、バネ変形に伴う特性バラツキを軽減できる
ばかりか両スライダ２０，４０の移動用復元力を
小さくし測定力を小さく設定することができる。
この点からも小型軽量かつ特性安定・高精度を達
成することができる。プラスチツク製品等軟弱物
のトレースも可能となる。

さらに、XY原点復帰手段６１とＺ原点復帰手
段７１とはこれら付勢力等が接近し、ともに小寸
法形態となるので両者のアンバランスによる固有
振動問題発生が少なく、しかもトレーサ自体の固
有振動数は小型軽量化に基づき大きくできるので
三次元測定機等の振動に共振して発生する誤差を
排除できる。また摺動開始点等均一化を図る場合
には粘性液体や機械的摩擦手段による導入をし易
いという効果もある。中立位置保持手段６０全体
の簡素化と安定動作が保障される。

さらにまた、Ｚスライダ５０のＸスライダ１０
への摺動案内およびＸ、Ｙスライダ２０，４０の
基体１０への摺動案内は空気軸受を介し行われる
ので摺動抵抗を極めて小さくできる。しかも、空
気配管は２本９０，９１でよい。

なお、以上の実施例では、基体１０に対しＺス
ライダ５０を最下位に設けたが、要はＸスライダ
２０とＹスライダ４０とをＺ軸方向に離隔した平
行面内で囲まれた中空部１５内に嵌装して２段積
重方式とすればよいから、便宜的に基体１０を２
分割しＺスライダ５０を最上位に設け、Ｘスライ
ダ２０およびＹスライダ４０をそのＺスライダ５
０に２分割された第２の基体を通して支持させて
実施することも本発明に包含される。但し、上記
実施例の如き構造とすればＺ原点復帰手段７１を
小型化できる。

また、Ｚスライダ５０は、Ｘスライダ２０に支
持させるものとしたが、Ｙスライダ４０に支持さ
せてもよい。同様にXY原点復帰手段６１を形成
する線バネ６３の先端６５（ボール６６）はＸス
ライダ２０に係合させるものとしたが、Ｚスライ
ダ５０に直接係合させる構造としても実施するこ
とができる。

また、変位検出手段８０は光電式でなく電磁
式、静電式等他の型としてもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかの通り、Ｘスライダおよ
びＹスライダを基体に直接的に支持させ同一面内
で摺動させる構造としたので、小型軽量で方向
性、応答性の優れた表面形状測定トレーサを提供
できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明に係る表面形状測定トレーサの一実
施例を示し、第１図は断面正面図、第２図は第１
図の矢視線−に基づく断面側面図、第３図は
全体平面図、第４〜７図は表面形状測定トレーサ
の各要素の概略分解斜視図であり、第４図は基
体、第５図はＹスライダ、第６図はＸスライダ、
第７図はＺスライダとＸスライダの一部とをそれ
ぞれ示す。 １０……基体、１４ｌ，１４ｒ……平行側面を
形成する案内面、１５……中空部、１６ｕ，１６
ｄ……平行面を形成する案内面、２０……Ｘスラ
イダ、３１……Ｘスライダの一部であるスライド
部材、４０……Ｙスライダ、４６ｌ，４６ｒ……
Ｙスライダの一部であるスライド部材、５０……
Ｚスライダ、５８……測定子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定装置の可動体に固定される基体に装着さ
   れたＸスライダと、ＹスライダおよびＺスライダ
   を介して直交３軸方向に移動可能に支持された測
   定子をワーク表面に沿つて接触摺動させつつワー
   ク表面形状を電気信号として検出する表面形状測
   定用トレーサにおいて、 前記基体はＺ軸方向に離隔した平行面で囲まれ
   た中空部とＸ軸方向に離隔した平行側面とを有し
   て形成され、 前記Ｙスライダをその一部が前記中空部内に嵌
   装するとともにＹ軸方向には移動可能かつＸ軸お
   よびＺ軸方向には移動不能に設け、 前記Ｘスライダをその一部が前記中空部内に嵌
   装しかつ前記Ｙスライダに係合してＸ軸方向には
   移動可能かつＺ軸方向には移動不能に設け、 測定子を備えたＺ軸スライダを前記Ｘスライダ
   にＺ軸方向に移動可能に支持したことを特徴とす
   る表面形状測定用トレーサ。