JPH0479036U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0479036U JPH0479036U JP12240490U JP12240490U JPH0479036U JP H0479036 U JPH0479036 U JP H0479036U JP 12240490 U JP12240490 U JP 12240490U JP 12240490 U JP12240490 U JP 12240490U JP H0479036 U JPH0479036 U JP H0479036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- base body
- groove portion
- exhaust hole
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図から第４図迄は、本考案による基板吸着
固定治具を示すためのもので、第１図は第２図の
Ａ−Ａ線による断面図、第２図は第１図の側面図
、第３図は第２図の底面図、第４Ａ図は吸着状態
を示す拡大断面図、第４Ｂ図はＯリング装着前の
溝部を示す断面図、第５図は従来の基板吸着固定
治具を示す要部の拡大断面図である。 １は基体、１ａは端面、３は排気孔、４は開口
凹部、１０はＯリング、１０ａは外端である。
固定治具を示すためのもので、第１図は第２図の
Ａ−Ａ線による断面図、第２図は第１図の側面図
、第３図は第２図の底面図、第４Ａ図は吸着状態
を示す拡大断面図、第４Ｂ図はＯリング装着前の
溝部を示す断面図、第５図は従来の基板吸着固定
治具を示す要部の拡大断面図である。 １は基体、１ａは端面、３は排気孔、４は開口
凹部、１０はＯリング、１０ａは外端である。
Claims (1)
- 排気するための排気孔３と溝部４を有する基体
１と、前記溝部４に設けられたＯリング１０とを
有し、前記Ｏリング１０の外端１０ａは、前記基
体１の端面１ａよりも突出して構成されているこ
とを特徴とする基板吸着固定治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12240490U JPH0479036U (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12240490U JPH0479036U (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479036U true JPH0479036U (ja) | 1992-07-09 |
Family
ID=31870187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12240490U Pending JPH0479036U (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0479036U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9081549B2 (en) | 2012-10-31 | 2015-07-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Supporting apparatus, support member, and electronic device |
-
1990
- 1990-11-26 JP JP12240490U patent/JPH0479036U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9081549B2 (en) | 2012-10-31 | 2015-07-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Supporting apparatus, support member, and electronic device |