JPH0480044U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0480044U JPH0480044U JP12564290U JP12564290U JPH0480044U JP H0480044 U JPH0480044 U JP H0480044U JP 12564290 U JP12564290 U JP 12564290U JP 12564290 U JP12564290 U JP 12564290U JP H0480044 U JPH0480044 U JP H0480044U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- groove
- silicon wafer
- depositing
- side walls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例によるサセプター
を示す断面側面図、第２図はこの考案の一実施例
によるサセプターを示す正面図、第３図は従来の
サセプターを示す断面側面図、第４図は従来のサ
セプターを示す正面図である。 図において、１はシリコンウエハ、４は一度堆
積したＣＶＤ膜、５はサセプターである。なお、
各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
を示す断面側面図、第２図はこの考案の一実施例
によるサセプターを示す正面図、第３図は従来の
サセプターを示す断面側面図、第４図は従来のサ
セプターを示す正面図である。 図において、１はシリコンウエハ、４は一度堆
積したＣＶＤ膜、５はサセプターである。なお、
各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- ＢＰＳＧ膜、またはＰＳＧ膜を常圧下で堆積さ
せる装置において、シリコンウエハと同じ形状の
溝を有し、なおかつ溝の側壁にテーパーをつけた
ことを特徴とするサセプター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12564290U JPH0480044U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12564290U JPH0480044U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480044U true JPH0480044U (ja) | 1992-07-13 |
Family
ID=31873233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12564290U Pending JPH0480044U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0480044U (ja) |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP12564290U patent/JPH0480044U/ja active Pending