JPH0480629A - レーザの周波数雑音測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、単一縦モートで発振するレーザの周波数雑音
を測定する装置に係り、特に、フリッカ雑音やランダム
・ウオーク雑音と１１っに低周波数領域において支配的
な周波￥１雑音成分の大さぎを、簡便かつ正確に測定す
ることかできろレーザの周波数雑音測定装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕

レーザ、特に単一縦モートで発振する半導体レザは、光
ファイバの持つ数Ｔ（テラ）ｌｌｚに及ふ広い伝送帯域
を活用する光周波数多重（ＦＤＭ）通信ンステムや、高
い受信感度を有する光ヘテロダイン／ホモダイン検波型
光通信ノステム、高し）検出感度を有する種々の先セノ
サノステム等の光源として、最近、その重要性を増して
きている。しかし、上記ノステムでは、先の周波数や位
相を制御したり、あるいは、それらに情報を載せて利用
するため、レーザの周波数雑音（位相雑音とし呼ばこる
）の影響を受は易し）。しにかって、この周波ｖｌ雑音
の大きざを評価することは、工学応用上極めて重要であ
る。

発振器の周波数雑音は、周波数雑音電力スペク）・ルに
よへて、最もよく評価される。そして実在する種々の発
振器の周波数雑音電カスベクトルは、例えば、　−時と
周波数　　（Ｐ　カルタノヨフ著講該社すエノティフィ
ノク、１９８０年）に記述ざｒ、てＬ・るように、単純
ζへき級数モデルによって良く近似されることか、経験
的に知られてＬする。

例えば、半導体レーザては、緩和振動による雑音のピー
クか観測されるＩＧＨｚ以上の周波数領域を除けば、１
ＧＨｚ以下での（片側）周波数雑音大カスベクトル密度
Ｓ　（ｆ）は、 ５（ｆ）−に−、／ｆ’　＝　　ｋ−３，＃　−ｋ−、
（１）と近仰して表わされる。第４図は、　（１）式で
与えられる周波数雑音電カスベクトルを、模式化して示
してＬする。このように、レーザの周波数雑音には、少
な・くとも白色雑音、フリッカ雑音、ランダムウオ−り
雑音の３つの成分かあり、それぞれの大きさは、係数ｋ
ａ（−４≦ａ≦−２）によって評価される。

レーザ光のＦＳＫ　　（周波数７フトキーインク）やｐ
ＳＫ　　（位相ノットキーイノｈ）を利用しｎ数百〜４
ｂ／ｓ以上の高速コヒーレット光通信ノス１ムの性能は
、これらの３雑音成分のらちの白色雑音成分によって、
主に制限される。この１こめ、従来からレーザの白色周
波数雑音については精力的な研究か進められている。そ
して、その大きさ２評価は、レーザのスペクトル線幅Δ
νを用いて行なわれている。なぜならば、レーザの周波
数雑音が白色雑音成分のみであると仮定しん場合、レー
ザ出力光のフィールドスペクトルはローレノツ型となり
、その半値全幅Δνは、白色雑音成分の係数に−２と、 Δν　；　πに−〜　（２） とし）う簡単な関係を示すからである　（例えば、大粒
、菊池共著「コヒーレント光通信工学１オーム社、１９
８９年）。実際に、半導体レーザの場合には、観θりさ
れるフィールドスペクトルかほぼローレノツ型である場
合か多く、Δνの測定により簡単に係数に、を見積るこ
とか可能となっている。

しかしながら、数Ｍ　ｂ　／　ｓ以下の遅いコヒーレッ
ト光通信ノステムやあるいはフィートバック帯域か数５
ＩＨｚ以下の光周波数安定化ノステム等においては、レ
ーザ９周波数雑音のうち、フリッカ雑音成分やラノグム
ウォーク雑音成分か、そのノステムの性能を大きく制限
する要因となり得る。しにかって、レーザの低周波数領
域での周波数雑音大きさ、すなわち（１）式中の係数に
一部、に一部を評価することも、工学応用上きわめて重
要である。第９図は、半導体レーザのこのような低周波
数領域での周波数雑音の測定を行なう為の従来装置の構
成を示している　（例えば、菊池等、電気通信学会研究
会技術報告０ＱＥ８３−２３参照）。

ここで、第９図に示しｆ二従来装置による測定原理を、
簡単に説明する。半導体レーザ２１の光を、測定装置類
からの戻り光によって発振状態か変動することを防ぐた
めのアイル−タ２２を透過させにのちに、ファブリ・ペ
ロ・エタロン２３１こ入射する。ファブリ・ペロ・エタ
ロン２３は、第１０図に示すような周期的透過特性を示
し、透過率ピークの肩の部分を用いることにより、光周
波数弁別器として利用される。すｔわち、周波数雑音に
よる光周波数の揺らぎを、光強度の揺らぎすなわち光強
度雑音に変換する働きをする。この様子を、第１Ｉ図に
示した。このファブリ・ペロ・エタロン２３からの透過
光強度は、フォトグイオート２５て電気信号に変換され
る。従って、レーザの周波数雑音電カスベクトルは、こ
の電気信号の強度雑音電カスベクトルをスペクトラム・
アナライザ２６によって観測することにより、測定する
ことがてきる。一方、ファブリ・ペロ・エタロン２３か
らの透過光の一部はビームスプリッタ−２４て分岐され
、フォトダイオード２７によってその強度がモニターさ
れている。そして、この強度が一定となるように、レー
ザ発振周波数制御装置２８によって半導体レーザ２１の
発振周波数か制御される。

〔発明か解決しようとする課題〕

しかしなから、第９図に示しＬ従来装置を用いて、低周
波数領域でのレーザの周波数雑音型カスベクトルを測定
する場合には、以下の問題点か生しる。

スペクトラムアナライザ２６で測定されるのは、フォト
ダイオード２５へ入射される光の強度雑音型カスベクト
ルである。しｆ二かって、その測定値には、ファブリ・
ペロ・エタロン２３によって変換され１ニレーザの周波
数雑音による電カスベクトルたけてはなく、半導体レー
ザ２１の出力光自体に含まれるレーザの強度雑音や、そ
の他の測定装置構成要素の機械的変動なとによって付加
される光強度揺らぎの電カスベクトルか重量してしまう
。

しｆ二かつて、ファブリ・ペロ・エタロン２３の光周波
数弁別感度が十分大きくなければ、周波数雑音を正確に
測定することは困難である。まｒコ、測定値からに−３
といった周波数雑音スペクトル密度係数を見積るｆ二め
には、周波数雑音から強度雑音への変換係数を、あらか
しぬ測定により決定しておく必要かあり、その際の測定
誤差か測定確度に直接反映されてしまう。さらに、この
変換係数は、ファブリ・ペロ・エタロン２３の透過率特
性のみならず、レーザ光の強度自体に依存する。二の・
様子を、模式化して第１２図（ａ）に示し几。

また、被測定半導体レーザ２１２発振光周波数を、フォ
トダイオード２７およびレー枦発振周波数制御装置２８
を用いてフィードバック制御する必要かあるのも、大き
な欠へである。ニニ・制御ループは、半導体レーザ２１
の発振周波数らしくはファブリ・ペロ・エタロン２３の
透過率特性か変動して、第１２図（ｂ）に示すように所
望の光周波数弁別特性か得られなくすることを防く働き
をする。一般に、低周波数領域でのスペクトル測定には
長い測定時間か必要である。第９図に示した従来装置に
おいては、例えば１ＯＧＨｚ間隔のファブリ・ペロ・エ
タロン２３かよく利用されるか、方で、半導体レーザ２
１の発振周波数はきわめて不安定で数ＧＨｚ程度の変動
は容易に生じ得る。しにかって、上述しｔ＝フィートバ
ック制御は、実際の測定においては必要不可欠である。

本発明の目的は、上記問題点を解決し、フリッカ雑音等
、レーザの低周波数領域での周波数雑音を正確かつ簡便
に測定できるように、強度雑音や強度揺らぎの影響を受
けにくく、かつフィートハック制御か不要であるレーザ
の周波数雑音測定装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、第１図に示すように、被測定レーザ光を二分
岐する光分岐手段Ａと、前記光分岐手段Ａによって分岐
された一方の分岐光の周波数を他方の分岐光の周波数に
比してシフトさせろ光周波数偏移手段Ｂと、前記一方の
分岐光に比して他方の分岐光を遅延させる遅延手段Ｃと
、前記光周波数偏移手段Ｂおよび前記遅延手段Ｃによっ
て、その周波数および伝搬時間か相対的に変化せしめら
れた両分岐光を合波する光合波手段りと、前記光合波手
段りによって合波された両分岐光間におけるビート信号
を光ヘテロゲイン検出する光電変換手段Ｅと、前記ヒー
ト信号の周波数揺らぎ分散値を測定する周波数揺らぎ分
散測定手段Ｆとを具備することを特徴としている。

〔作用〕

上記の構成によれば、被測定光の一方の分岐光の光周波
数および伝搬時間を他方の分岐光に比して相対的に変化
させ、前記他方の分岐光との間てヒート信号を光へ千ロ
ダイン検出することにより、レーザの周波数雑音を、ヒ
ート信号の周波数雑音にダウンコンバートする。ここで
ヒートＩＮ号の中心周波数は、光周波数偏移手段Ｂでの
周波数偏移量となるので、この値は、例えば数百ＭＨｚ
から数ＧＨｚに設定することができろ。つまり、レーザ
の周波数雑音は、数百ＭＨｚから散ＧＨｚを中心としｒ
ニ電気信号の周波数雑音に変換される。そして、この電
気信号の周波数をある時間間隔でて連続的に多数回測定
した場合の分散値、すなわち周波数揺らぎ分散値を計算
することにより、もとのレーザの周波数雑音スペクトル
の大きさを見積ることが可能となる。

なお、被測定光の一方の分岐光の光周波数および伝搬時
間を他方の分岐光に比して相対的に変化させてヒート信
号を光ｌ＼テロゲイン検出し、レーザの周波数雑音をヒ
ート信号？・周波数雑音にダウンコンバートして測定す
る部分は、菊池等により既に遅延自己ｌ＼テロダイン法
の名で提案されている従来技術である　（例えば既出の
　コピーしノド先通信工学　第３章９０〜９４ペーノ参
照）。この遅延自己へテログイ７法は、ヒート信号のフ
ィルトスペクトルをスペクトラ−アナライザで観測し、
その線幅ΔしＩＦからレーザの白色周波数雑音成分の大
きざに、を評価才ろｆ二めに利用されている。本発明は
、この遅延自己へテロゲイン法に、ヒート信号の周波数
揺らぎ分散値の測定を新１ニに組み合ねｔｌ！１ニ装置
とも言える。

二実絶倒７ 以下、図面を参照して、本発明の実施例について、詳細
に説明する。

第２図は、本発明の第１の実施例によるレーザの周波￥
１雑音測定装置の構成を示すブロック図である。この図
において、被測定レーザ光は、光カプラ３１に入射され
て、２分岐される。一方９分岐光は、光フアイバ遅延線
３２に導かれ、光カブラ３・１におし）て他方の・分岐
光と合波されるまでに、他ブノの分岐光に比して時間τ
ｒコけ９遅延を与えユ５れろ。ま１こ、他方の・分岐光
は、周波数ｆ　ｌ　＋’の発振器３３ａにより駆動され
た音響先学変調器（へ０＼１）３３ｂにより、その光周
波数かｆｌＦだ：＋　ノットされる。ここて、ｆｌＦは
Ｖｊ’ｉえば２５０　Ｍｔｉｚ程度に設定される。音響
光学変調器３３ｂによ【）周波数ノットされｒコ他方の
分岐光は、偏波状態制御器３８を介しに後、先カプラ３
４て一方の分岐光と合波される。合波された両先は、フ
ォトダイオド３５によって光電変換される。そして、い
２′″１ｓ″る光ヘテロダイノ検出により、中心周波数
ｆｌＦ　Ｃ″）ヒート信号か検出される。なお、光カブ
ラ３４て合波される両光において、その偏波状塾か直交
しているとヒート信号か検出されないｒコめ、偏波状態
制御器３８により極カ一致するように調整する。

フォトダイオード３５によって検出され１こヒート信号
は、増幅器３９て適当なしｔ＼ルにまで増幅され、電気
信号の周波数揺らぎ分散測定器３６に加えられる。周波
数揺らぎ分散測定器３６としては、例えは、横河・ヒユ
ーレットバッカー１〜社製の周波数・タイム・インター
バル・アナライザＨＰ５３７１Ａを使用する。

次に、上記構成のし・−ザ周波数雑音測定装置の知ｊ作
、二ついて説明ずろ。

まず始めに、周波数揺らぎ分散値と周ｅ、数稚音電カス
ベクトルとの一般的ζ関係について説明する。周波数揺
らぎ分岐値σ２（τ）は、時間間隔τての平均周波数の
測定を、空き時間なして連続して＼回行なうことにより
、 σ’（ｒ）−Σ（Ｊ＋＋、　−ｒｔ）’／　２い−Ｄ　
−（３）と計算される。ここで、ｆｌは１番目に測定さ
れた平均周波数である。Ｎを無限大とすれば、σ２（τ
）はよく知られｆ二周波数揺らぎの尺度、アラン分散σ
ン′（τ）と、し。を平均周波数として、σ　２（τ　
）−し　。′　σ　ｙ’（τ　）　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　（４）とＬ・う簡単な
関係を示す５すなわち、周波数揺らぎ分散σ２（τ）は
、正規化していないアラン分散こ相当する。従って、Ｎ
無限大でのσ２（τ）は、周波数雑音量カスベクトル密
度Ｓ　（ｆ）から次式により計算される（例えば、既出
の７時と周波数−２２ページ参照）。

例えば、半導体レーザの場合には、上式に（１）式を代
入することにより、 となる。これを、模式化して第３図に示しｆニ。周波数
雑音電カスベクトルを模式化して示した第４図と比較し
て判るように、低周波数頌域の周波数雑音成分は、τを
大きく設定して周波数揺らぎ分散値σ２（τ）を測定す
ることにより、評価することかできれる。特に、フリッ
カ周波数雑音成分の大きさに一部は、τに依存しない周
波数揺らぎ分散値σ２を測定することにより、 に−＊＝　ａ　’／　２１ｎ２　　　　　　　　　　　
−−　　　（７）と容易に評価することか可能である。

なお、実際の周波数揺らぎ分散の測定において５は宵限
回となるか、＼〉１０てあれば、Ｎ無限大でのσに対す
る測定値の標準偏差はに＼−１″（但しＫは一桁の定数
９となることか知られている（例えば、既出の時と周波
数−２４ページ参照）。しにか−で、例えば、＼＝１０
００とすれば、有限の５によって生じるσの測定誤差は
、１０％以下とすることかできる。

次に、第２図に示す本発明の第１の実施例において測定
されるビート信号の周波数揺らぎと、被測定レーザの周
波数雑音との関係を導く。２分岐光の間ての伝搬時間差
をτｄとし１こ場合、フォトダイオード３５によって検
出されるヒート信号の周波数雑音電カスベクトルの密度
Ｓ　ＩＦ（ｒ）は、レーザの周波数雑音電カスベクトル
の密度Ｓ　（ｆ）を用いて、 ５ＩＦ（ｆ）＝２３（ｆ）・　（１−ｃｏｓ２ｒｆｒｄ
　　）て与えられる。したかつて、ヒート信号７周洩数
揺式ぎ分散値σＩＦ’（τ）は、（８）式を、５ノ式中
ＪＳ（ｒ’）１”代フつりに代入する二とにより、計ｖ
Ｊご７−７、。白色、フトノカ、ランゲニ、ウオーク［
＾、芸数雑音成分による周波数揺らき分散値Ωン゛ｐ結
果を、第５図（ａ）　、　（ｂ：＋　、　（ｃ）にそり
−ぞれ￥線で示。

方１．屯線は、し−呼先自身二・周波数揺らご８勺ｆ（
、’、　ｆａｔ“・９２倍をプロットしに０ので還る。

して乃・Ｊ日ｊｌ　−７７１なように、τ（τｄてあれ
ば、第２図に承−Ａ″未発明の第１の実施例９装置によ
−・て測定５〕−ろ周波数揺らぎ分散値：よ、レーザの
周波数揺らさ゛分散イｌ′１の２倍に一致する。ここで
２倍とζるニ：」、Ｕ延自己ヘテロダイン法で２分岐さ
ｒ′、ｆニ先の周波数和音か足し合わされることに対ｒ
、−する。

しｆ二かって、光フアイバ遅延線３２による遅延τｄと
、周波数揺らぎθり定時の時間間隔丁とを適当な値に設
定することにより、本発明の装置を用いて時間間隔τて
支配的ｔレーザ９周波数雑音成分の大きさを測定するこ
とか出来る。例えば、延＆２０ｋｍの先ファイバを遅延
線として用いれ：」、τｄ〜１００μｓとなるので、τ
≦５０μｓでの周波数揺らぎ分散値か、測定結果を０５
倍するという簡単な補正たけて、十分正確に測定するこ
とかできる。そして、さらに（６）式で与えられる関係
により、周波数雑音の大きさｋａか評価できる。

τは、例えば既出の周波数・タイム・インターバル・ア
ナライザＨＰ　５３７１　Ａを周波数揺らぎ分散測定器
３６として用いれば、τ−６００ｎｓ〜８ｓの間で任意
に設定できる。このアナライザは周波数を多数回測定し
、アラノ分散等を求める処理機能を有しているため、周
波数揺らぎ分散測定器３６として用いることかできる。

一方、例えば半導体レーザの周波数雑音を測定する場合
、典型的な白色及びフリッカ周波数雑音成分の大きさは
、それぞれ線幅ムシ−３０ＭＨｚ、τに依存しない周波
数揺らぎ分散値σ’−（Ｉ　Ｍ　Ｈｚ）’程度である。

この場合、（２）式および（７）式を用いれば、第３図
に示すモデル図において、白色とフリッカ両成分の交点
は５μｓ程度と計算される。したがって、τｄ＝　ｌ　
ＯＯμｓ１τ−５０μｓに設定すれば、本実施例の装置
によって、半導体レーザのフリッカ周波数雑音成分の大
きさか、簡単に評価する二とかてきる。まに、τ〈τｄ
をａにす複数のτての周波数揺らぎの分散値を測定オろ
ことにより、そのτ依存性を利用して周波数雑音成分の
種類を特定し１ニリ、複数の周波数雑音成分の・太さ５
を評価する二とＯ可能である。

以上、第２図を参叩して説明しノ二本発明・−・第１の
実施例によれば、周波ｖ！Ｊ、揺らぎ分散測定器３６に
おいて電気信号の周波数揺らぎを測定器るｆ二め、カウ
ンタ等のディノタル回路を＋Ｉｌ用し１−コ・て、本質
的に強度雑音に影響されない周波数雑音の測定かできる
。また、遅延自己ｌ＼テロダイノ法を用いて光の周波数
雑音を直接電気の周波数雑音−＼変換しているため、従
来装置にみられるような光周波数弁別感度といったパラ
メータか介在せす、確度の高い測定を容易に実現するこ
とか可能である。

さらに、長い測定時間を必要とする低周波数領域での周
波数雑音測定の際ても、被θ１１定レーザへのフィード
バック制御か不要で、簡便に測定することか可能となる
。

なお、第２図に示しｆ二装置においては、光フアイバ遅
延線３２と、音響先学変調器３３ｂおよび偏波状態制御
器３８とか異なる分岐光経路に設置されているか、何等
これに限定されるしのではな（、上述し几説明により明
らかζように、ともらの経路に、まｆ二とのような順番
で設置してしよい。

ま几、複数の音響光学変調器を用いて周波数ｒの設定の
自由度を増やしてもよい。また光カプラ３１．３４のか
わりに、ハーフミラ−等の光分岐・合波手段を用いても
勿論構わない。まに、偏波保持ファイバに基づく光学配
線系を用いて光カブラ３４ての合波時に常に両光の偏波
状態か直交せぬようにすることにより、偏波状態制御器
３８を省略してしよい。

また、周波数揺らぎ分散測定器３６として、既出のＨＰ
５３７１Ａのようなカウンタに基づいた装置のかわりに
、電気の周波数弁別器と、強度揺らぎ分散測定装置を組
み合わせて構成してらよい。

この場合、強度雑音に本質的に影響されないという利点
か失うか、電気領域においては９峻かつ安定な周波数弁
別特性を容易に実現できる１こめ、弁別感度を高めて強
度雑音の影響か十分無視てきるように設定することかで
きる。この場合、従来技術と異なり、例えば両分岐光間
での偏波状態の変動ｒＪとによる付加的を強度揺らぎか
測定に更″、影響を及ぼすか、これはＡＧＣ（自動利得
調整型）増幅器を用いることで解決できる。このような
Ｉ？ｌＩ波数揺らぎ分散測定器３６の構成を示すブロッ
ク図を、第６Ｖに示しに。ＡＩ、Ｃ制御は、第９図を用
いて説明した従来装置におけるフィードバック制御に相
当する制御ではめるか、従来技術ではフィートバッグル
ープに光か介在しているのに対して、第６図に示しｆ二
回路では電気領域で閉じており、容易に高い安定度を実
現することかてきる。

次に、第７図は、本発明の第２の実施例の構成を示すブ
ロック図である。この第２の実施例の特徴とするところ
は、前述した第１の実施例において、光合波手段である
光カプラ３４の出力を光ヘテロダイン検波する際に、単
一のフォトダイオード３５を用いたのに代えて、バラン
スド・フォトダイオード４５を用いる構成としｒ二！″
５．ｌこある。この場合、光カプラ３４の分岐比を、２
つの出力ホトからの出射光パワーか等しくなるように設
定する。上記以外の構成は第２図に示し１こ第１の実施
例と全く同様であるのて、対応部分に同一符号を付して
その説明を省略する。

このようにバランスド・フォトダイオード４５て光ヘテ
ロゲイン検波することにより、先カプラ３４により合波
された両分岐光か全て光電変換に利用されるため、測定
に必要な被測定レーザ光のパワーを低減することが可能
になる。また、音響光学変調器３３ｂや先ファイバ遅延
線３２といっｒこ、分岐された先経路内に設置された回
路により生しる付加的な光強度揺らぎの影響をキャンセ
ルすることができるにめ、第６図を用いて説明したよう
な周波数揺らぎ分散測定器３６を利用する場合に、強度
雑音の影響を軽減することかできるという利屯し有する
。このような実施例□による測定装置においても、第１
の実施例て説明したこの発明の特徴は、全て当てはまる
。

次に、第８図は、この発明の第３の実施例の構成を示す
ブロック図である。この第３の実施例の特徴とするとこ
ろは、光フアイバ遅延線３２ての光損失を補償するため
に、光増幅器４９を用いる構成にある。上記以外の構成
は、第２図に示しｆコ第１の実施例と全く同様であるの
で、対応部分？同一符号を付してその説明を省略する。

般に光ファイバの損失は例えば０　、２　ｄＢ／　ｋｍ
と極島で小さいか、遅延時間をτｄ−１ｍｓと大きく設
定するｒこめには２００ｋｍの遅延ファイバが必要とな
り、先ファイバ遅延線３２ての損失が４０ｄＢと大きく
なってしまう。τの大きい値での周波数揺らぎ分散値を
測定する際には、τｄｌ、大きく設定しなければならな
いので、この場合には、大きなレーザ光パワーか必要と
なってしまう。しかし、第８図に示すように光増幅器４
９を用いることにより、この要求条件は緩和され、大き
なτての測定も可能となる。

まｆこ、この第３の実施例においても、第２の実絶倒に
おいて説明したのと類似の構成で、より高い検出感度を
実現することか可能である。

：発明の効果〕 以上詳述した様に、本発明によれば、レーザの低周波数
領域ての周波数雑音、すなわちフリッカ周波数雑音成分
やランダムウオーク周波数雑音成分の大きさの評価を、
被測定レーザへのフィードバック制御による安定化を行
なう事なく、極めて簡便に行なうことかでき、さらに、
電気信号の周波数を測定するたぬ、従来のように光周波
数弁別感度に依存する事なく、また、被測定レーザの強
度雑音や他の光部品に起因する強度揺らぎの影響か著し
く軽減され、正確な周波数雑音の測定か可能となるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理構成を示すブロック図、第２図は
本発明の第１の実施例の構成を示すブロック図、 第３図はレーザの周波数揺らぎ分散のモデルを説明する
ためのグラフ、 第４図はレーザの周波数雑音電力スベクトルニモデルを
説明するためのグラフ、 第５図（ａ）〜（ｃ）は本発明の第１の実施例をＨ！Ｌ
・て４１１定される周波数揺ろぎ分散値の計算例を示セ
゛グラフ、 第６図は本発明の第１′：″）実施例の周ｅ、数揺らぎ
分散測定器３６の一構成例を示セーブロ２・“しζ、第
７図は本発明の第２の実施例の構成を示セーブロック図
、 第８図は本発明の第３の実施例の構成を示すブロック図
、 第９図は従来のレーザ周波数雑音測定装置の構成例を示
すブロック図、 第１Ｏ図は従来のレーザ周波数雑音測定装置のファブリ
・ヘロ・エタロン２３の光周波数弁別特性を示すグラフ
、 第１＋図は弁別特性による周波数雑音の強度雑音への変
換を説明するためのグラフ、 第１２図（ａ）および（ｂ）は光強度変動による光周波
数弁別感度の変化および光周波数弁別特性の変化を説明
するためのグラフである。 ３２　・ ３ａ ３ｂ ３５　・・ ３６　・・ ３８　・ ３９　・ 光カプラ、 光フアイバ遅延線、 発振器、 音響光学変調器、 先カプラ、 ・フォトダイオード、 ・・・周波数揺らぎ分散測定器、 偏波状態制御器、 ・増幅器。 Ｓ （ｆ） 第４図 ｄ２（τ） ０９τ 第３図 誘８尤強厖 透Ｓ光強思 第１２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被測定レーザ光を二分岐する光分岐手段と、前記光分岐
   手段によって分岐された一方の分岐光の周波数を他方の
   分岐光の周波数に比してシフトさせる光周波数偏移手段
   と、 前記一方の分岐光に比して他方の分岐光を遅延させる遅
   延手段と、 前記光周波数偏移手段および前記遅延手段によって、そ
   の周波数および伝搬時間が相対的に変化せしめられた両
   分岐光を合波する光合波手段と、前記光合波手段によっ
   て合波された両分岐光間におけるビート信号を光ヘテロ
   ダイン検出する光電変換手段と、 前記ビート信号の周波数揺らぎ分散値を測定する周波数
   揺らぎ分散測定手段と、 を具備することを特徴とするレーザの周波数雑音測定装
   置。