JPH0481644A - 螢光ｘ線分析装置におけるゴニオメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、螢光Ｘ線分析装置におけるゴニオメータの改
良に関する。

［従来の技術］ 第２図は螢光Ｘ線分析装置の概略構成を示す図であり、
１はＸ線管球で、これにより発生した一次Ｘ線Ｘが試料
２の表面に照射される。このＸ線照射により発生した螢
光Ｘ線Ｘ１はソーラスリット３を通して平行ビームにさ
れ、分光結晶４に入射する。この分光結晶で分光された
Ｘ線はソーラスリット５を通してＸ線検出器６に入射し
、検出される。このとき、分光されたＸ線を検出するに
あたってブラッグの回折条件を満足させるために分光結
晶４とＸ線検出器６（ソーラスリット５）とを１：２の
比で回動させるためのゴニオメータが使用される。

かかるゴニオメータの駆動機構としては、分光結晶を回
転させるための第１の回転軸の周りにＸ線検出器を回転
させるための中空状の第２の回転軸を同心状に配置し、
この第２の回転軸をウオーム歯車及びウオームを介して
モータに連結すると共に、第２と第１の回転軸との間に
減速機構を介在させるように構成した構造が広く使用さ
れている。

［発明が解決しようとする課題］ このようにウオーム歯車とウオームを使用した構造では
、以下のような問題があった。

■　駆動時にウオーム歯車とウオーム間に非常に大きな
摩擦力が発生するため、オイルやグリース等の潤滑剤が
必要となるため、潤滑剤飛散防止用のカバーが必要にな
ると共に、これらを定期的に補給しなければならす、取
扱か非常に面倒である。

■　ウオーム歯車の噛合い部にバックラッシュか発生す
るため、バックラッシュ防止用のバネを組み込まなけれ
ばならず、構造が複雑となる。

■　歯車の音や振動を防止する必要がある。

■　歯車比（１／３６０）が大きくなるため、分光結晶
やＸ線検出器を早送りする場合に、回転速度に限界があ
る。

■　構造上、モータかゴニオメータ本体外に出てしまい
、装置全体か大型化する。

そこで、本発明はかかる不都合を解決できる装置を提供
することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明の螢光Ｘ線分析装置に
おけるゴニオメータは、Ｘ線照射により試料から発生す
る螢光Ｘ線を分光する分光結晶と、該分光結晶で分光さ
れたＸ線を検出するためのＸ線検出器と、前記分光結晶
を回転させるための回転軸と、前記Ｘ線検出器を直接回
転させるためにその回転中心が該回転軸と一致するよう
に配置されたモータと、該モータに対する回転軸の回転
比が１／２となるようにモータと回転軸とを連結するた
めの減速手段とを備えたことを特徴とするものである。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第２図
と同一番号のものは同一構成要素を示す。

図中、７はゴニオメータ本体である。８はこの本体上に
固定され、かつ密閉された円筒状の真空容器で、内部中
央部に分光結晶４が置かれている。

この分光結晶は真空容器８の側壁を貫通した回転軸９の
一端に保持されている。この回転軸はフランジ９及び保
持体１１に夫々軸受１２ａ、１２ｂを介して回転可能に
支持されており、また、回転軸とフランジとの間には例
えばオイルシールやＯリングバッキングあるいはテフロ
ンシール等の真空シール１３が設けである。前記フラン
ジ１０は気密を保って真空容器８に固定されている。

１４は例えば誘導モータで、このモータは前記フランジ
１０に固定されかつ前記回転軸９と同心状に配置された
円筒状の固定部１５と、この固定部の外周にクロスロー
ラベアリング１６を介して回転可能に配置された有底状
の回転体１７と、固定部に固定されステータコア１８及
び回転体に固定されたロータコア１９とから構成されて
いる。

前記回転体の底部中心には開口２０が形成しである。尚
、図示しないが前記回転体の開口部２０に設けた筒体２
１に回転体の位置決めや回転速を制御するための位置検
出用のロータリエンコーダが組み込まれている。

２２は前記真空容器８外周の分光結晶４と対向する部分
に設けられた例えばポリエステルフィルムからなるＸ線
窓で、このＸ線窓は真空容器外周の円周方向に沿って形
成しである。２３はこのＸ線窓の大気側に接近して配置
されたＸ線検出器６（ソーラスリット５）を前記回転体
１７に固定するためのアーム２３である。尚、ソーラス
リット５については、必しも外部にて回動させる必要な
く真空容器８内で回動させても良い。つまり筒体２１を
真空容器８内まで気密を保って貫通させ、その先端にソ
ーラスリットを固定すれば良い。

２４は前記モータの回転体１７と回転軸との間に介在さ
れた減速機構で、回転軸９に固定された歯車２５と１回
転体１７に固定された歯車２６と。

この各歯車２５と２６とを連結するための互いに一体化
された中間歯車２７．２８とから構成されている。ここ
で、前記歯車２５の直径（歯数）を中間歯車２７の直径
（歯数）の２倍の大きさに形成すると共に、歯車２６と
中間歯車２８との直径を夫々同一の大きさに形成し、モ
ータに対して回転軸か１／２の減速比で回転するように
構成されている。

かかる構成において、図示外のモータ制御系により回転
体１７を回転させれば、アーム２３を介してＸ線検出器
６かこの回転体と一体に回転すると同時に、減速機構２
４を介して回転軸９が同方向に回転する。このとき、こ
の減速機構２４は減速比が１／２に設定しであるため、
回転体１７の回転に伴って分光結晶４とＸ線検出器６と
が１：２の割合で回転するので、ブラッグの回折条件を
満たしながら分光結晶で分光されたＸ線をＸ線検出器で
検出することかできる。

尚、図示しないかモータへの通電を停止したとき、分光
結晶及びＸ線検出器の動きをロックするための電磁ブレ
ーキが設けであることは言うまでもない。

［効果〕 以上詳述したように本発明によれば、ゴニオメータの駆
動機構として従来のようにウオーム歯車とウオームを使
用することなく直接モータで回転するように構成しであ
るため、潤滑剤が不要となると共に、補給のメンテナン
スやカバーをする必要がなくなるので、取扱か非常に容
易となる。また、バックラッシュ用のバネが不要となる
ため、構造の簡略化ができると共に、機械的な伝達精度
が向上し、分析精度の向上が図れる。さらに、回転速度
も任意に調節することができるため、分光結晶やＸ線検
出器の早送り等を容易に行うことができる。さらに、騒
音や振動の対策を行う必要かなくなり、しかもモータを
ゴニオメータ本体内に組み込むことかできるため、装置
全体の小型化を図ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するための断面図、第
２図は螢光Ｘ線分析装置の概略構成を示す図である。 １：Ｘ線管　　　　　　２．試料 ３．５：ソーラスリット ４：分光結晶　　　　　６：Ｘ線検出器７：ゴニオメー
タ本体　８：真空室 ９：回転軸　　　　　１０．フランジ １］：保持体 １２ａ、１２ｂ：軸受　１３：真空シール１４：誘導モ
ータ　　　１５：固定部 １６：クロスローラベアリング １７；回転体 １８：ステータコア　　１９：ロータコア２０：開口　
　　　　　２１：筒体 ２２：Ｘ線窓　　　　　２３：アーム ２４：減速機構　　　　２５．２６：歯車２７．２８：
中間歯車 〜　　　　＼

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ線照射により試料から発生する螢光Ｘ線を分光する分
   光結晶と、該分光結晶で分光されたＸ線を検出するため
   のＸ線検出器と、前記分光結晶を回転させるための回転
   軸と、前記Ｘ線検出器を直接回転させるためにその回転
   中心が該回転軸と一致するように配置されたモータと、
   該モータに対する回転軸の回転比が１／２となるように
   モータと回転軸とを連結するための減速手段とを備えた
   ことを特徴とする螢光Ｘ線分析装置におけるゴニオメー
   タ。