JPH0482649A - Control unit for posture of machine tool - Google Patents

Control unit for posture of machine tool

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JPH0482649A
JPH0482649A JP19847990A JP19847990A JPH0482649A JP H0482649 A JPH0482649 A JP H0482649A JP 19847990 A JP19847990 A JP 19847990A JP 19847990 A JP19847990 A JP 19847990A JP H0482649 A JPH0482649 A JP H0482649A
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head
thermal
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Yotaro Hatamura
洋太郎 畑村
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Hamai Co Ltd
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Hamai Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To fundamentally correct a microdisplacement and to enable a precise position control, by telescopically controlling a column part wall face with its heating or cooling with the control signal of a thermal actuator for the column part being output from a control part in accordance with the displacement value of the column part wall face detected by the displacement sensor. CONSTITUTION:Displacement sensors S1-S4 with a temperature compensation are fitted to the ends of both side faces of a column part 14 and the displacement quantity by the telescopic motion of the column part 14 is detected. The detected displacement quantity individually controls the current directions fed to 16 thermal actuators 21-28, 31-38 arranged at the upper and lower steps according to the displacement quantities thereof, after being input to a control part. When the wall face where the thermal actuators of the column part 14 are arranged is heated or cooled, the telescopic quantity is adequately adjusted according to the temperature thereof, the positional displacement generated on a tool 11 is corrected with the elastic deformation due to the heating of a motor 13, etc., and the work reaction force of the tool 11 being composed and the original position of the tool 11 is precisely held.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、マシニング・センタ等の工作機械におけるツ
ール駆動部等の温度上昇や、ツールの加工反力を原因と
したツールの位M変位による加工精度の悪化を防止する
とともに、さらにより精密な加工が実現できる工作機械
の姿勢制御装置に関する。
Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention is based on a tool displacement M caused by a temperature rise in a tool drive part of a machine tool such as a machining center or a machining reaction force of the tool. The present invention relates to a posture control device for a machine tool that can prevent deterioration of machining accuracy and realize even more precise machining.

(従来の技術) 従来、マシニング・センタ等の工作機械では、ワーク加
工中にツールの駆動モータやその減速機構部の発熱がヘ
ッド部およびヘッド部を支持するコラム部に伝えられ、
これら伝熱された各部はその上昇温度に応じて熱膨張す
る。また、ワークの加工中はツールに加工反力が発生し
て、ツールを支持するヘッド部およびコラム部にその反
力に応して微小な弾性変形が発生する。これら熱膨張や
弾性変形が発生すると、ツールの位置が微小に変化して
加工精度が低下する。第8図はその梯子を模式的に示し
た説明図である0図では、ツール1およびヘッド部2に
設置されたツール駆動用モータ3の発熱がヘッド部2か
らコラム部4へ伝播し、コラム部4に温度勾配を生じて
右側がより熱膨張し全体的に左側に反ってしまう、その
結果、ツール1は正規のレベルL0からレベルL、の位
置にずれて、加工精度に悪影響を与えることになる。
(Prior Art) Conventionally, in machine tools such as machining centers, heat generated by the tool's drive motor and its speed reduction mechanism is transmitted to the head and the column that supports the head while machining a workpiece.
Each part to which heat is transferred thermally expands in accordance with the increased temperature. Further, during machining of a workpiece, a machining reaction force is generated in the tool, and a minute elastic deformation occurs in the head portion and column portion that support the tool in response to the reaction force. When these thermal expansions and elastic deformations occur, the position of the tool changes minutely, reducing machining accuracy. FIG. 8 is an explanatory diagram schematically showing the ladder. In FIG. A temperature gradient is generated in the part 4, and the right side expands more thermally, causing the entire tool to warp to the left. As a result, the tool 1 shifts from the normal level L0 to the level L, which adversely affects machining accuracy. become.

これらの対策として従来は、ツール1が取付けられてい
るヘッド部2内に冷却オイルや冷却水を循環させて発熱
原因である駆動モータ3やその減速機構部等を冷却して
、熱膨張による影響を解消しようとしている。
Conventionally, as a countermeasure against these problems, cooling oil or cooling water is circulated within the head section 2 where the tool 1 is attached to cool down the drive motor 3 and its speed reduction mechanism, etc., which are the cause of heat generation, to reduce the effects of thermal expansion. I'm trying to resolve this.

また、他の解決策として、発熱の度合いに応じてヘッド
部2の座標をNC制御により補正することもある。さら
には、コラム部4の左側背面の一部にカウンターヒータ
5を設置し、コラム部4への伝熱に応じて加熱し、温度
勾配を除去することにより反りを打ち消すことが試みら
れている。
Furthermore, as another solution, the coordinates of the head section 2 may be corrected by NC control depending on the degree of heat generation. Furthermore, attempts have been made to counteract the warpage by installing a counter heater 5 on a part of the left rear surface of the column part 4 and heating it according to the heat transfer to the column part 4 to eliminate the temperature gradient.

(発明が解決しようとするam> しかしながら、これらの解決策は、稼働中の発熱により
ツールに生じた変位を正確に検出することが困難であり
、また、その検出した変位値も稼働状況により絶えず変
動するため応答性の面で劣り、常に最適な補正をするこ
とが不可能である。
(Am to be solved by the invention) However, with these solutions, it is difficult to accurately detect the displacement caused in the tool due to heat generation during operation, and the detected displacement value also changes constantly depending on the operating conditions. Since it fluctuates, the response is poor, and it is impossible to always perform optimal correction.

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
その目的とするところは、工作機械をはじめとする各種
産業機械における位置制御の際に問題になっている、熱
膨張や弾性変化を原因とした微小変位を根本的に補正す
るとともに、より精密な位置制御を可能にした工作機械
の姿勢制御装置を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above problems,
The purpose of this is to fundamentally correct minute displacements caused by thermal expansion and elastic changes, which are problems in position control in various industrial machines such as machine tools, as well as to provide more precise control. An object of the present invention is to provide a posture control device for a machine tool that enables position control.

(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、第1の発明は、ツールを把
持および駆動するヘッド部を固定台座に取付は支持する
中空状コラム部の周方向に互いに対向して1対以上配置
され、コラム部壁面を加熱または冷却して熱変位を発生
させるコラム部用熱アクチュエータと、コラム部用熱ア
クチュエータが取付けられたコラム部壁面に設置され、
温度変化、ツールの加工反力等により発生するコラム部
壁面の変位を検出する変位センサと、変位センサの検出
値にもとづいて、予め設定されているツ−ル位置を保持
するようにコラム部を伸縮させる熱アクチュエータ制御
信号を出力する制御部とを備えたことを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the first invention provides a structure in which head parts for gripping and driving tools are attached to and supported by a fixed base, and the hollow column parts face each other in the circumferential direction. one or more pairs of thermal actuators for the column section that generate thermal displacement by heating or cooling the wall surface of the column section;
A displacement sensor detects the displacement of the column wall surface caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and the column is moved to maintain a preset tool position based on the detected value of the displacement sensor. The present invention is characterized by comprising a control section that outputs a control signal for the thermal actuator to expand and contract.

第2の発明は、ツールを把持および駆動するヘッド部を
固定台座に取付は支持する中空状コラム部の周方向に互
いに対向して1対以上配置され、コラム部壁面を加熱ま
たは冷却して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュ
エータと、ヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツール
の加工反力等により発生するヘッド部壁面の変位を検出
する変位センサと、コラム部用熱アクチュエータが取付
けられたコラム部壁面に設置され、温度変化、ツールの
加工反力等により発生するコラム部壁面の変位を検出す
る変位センサと、各変位センサの検出値にもとづいて、
予め設定されているツール位置を保持するようにコラム
部を伸縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力する制
御部とを備えたことを特徴とする。
In the second invention, a head portion for gripping and driving a tool is attached to a fixed pedestal, and one or more pairs are arranged facing each other in the circumferential direction of a hollow column portion that supports the head portion, and the column portion wall surface is heated or cooled to generate heat. A thermal actuator for the column section that generates displacement, a displacement sensor installed on the wall surface of the head section to detect displacement of the wall surface of the head section caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and a thermal actuator for the column section are attached. A displacement sensor is installed on the column wall to detect displacement of the column wall caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and based on the detected values of each displacement sensor,
The present invention is characterized by comprising a control section that outputs a thermal actuator control signal for expanding and contracting the column section so as to maintain a preset tool position.

第3の発明は、ツールを把持および駆動するヘッド部の
周方向に互いに対向して1対以上配置され、・\ラド部
壁面を加熱または冷却して熱変位を発生させるヘッド部
用熱アクチュエータと、ヘッド部を固定台座に取付は支
持する中空状コラム部の周方向に互いに対向して1対以
上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却して熱変位
を発生させるコラム部用熱アクチュエータと、ヘッド部
用熱アクチュエータが取付けられたヘッド部壁面に設置
され、温度変化、ツールの加工反力等により発生するヘ
ッド部壁面の変位を検出する変位センサと、コラム部用
熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁面に設置さ
れ、温度変化、ツールの加工反力等により発生するコラ
ム部壁面の変位を検出する変位センサと、各変位センサ
の検出値にもとづいて、予め設定されているツール位置
を保持するようにコラム部およびヘッド部をそれぞれ伸
縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力する制御部と
を備えたことを特徴とする。
The third invention provides one or more pairs of head section thermal actuators that are disposed facing each other in the circumferential direction of the head section that grips and drives the tool, and that heat or cool the Rad section wall surface to generate thermal displacement. , one or more pairs of column part thermal actuators are disposed facing each other in the circumferential direction of a hollow column part which supports and attaches the head part to a fixed pedestal, and heats or cools a wall surface of the column part to generate thermal displacement; A displacement sensor is installed on the head wall surface to which the head thermal actuator is attached, and detects displacement of the head wall surface caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and a column to which the column thermal actuator is attached. A displacement sensor is installed on the column wall surface to detect displacement of the column wall surface caused by temperature changes, tool machining reaction force, etc., and a preset tool position is maintained based on the detected values of each displacement sensor. The present invention is characterized by comprising a control section that outputs a thermal actuator control signal that causes the column section and the head section to expand and contract, respectively.

(作 用) 第1の発明においては、コラム部壁面に温度変化やツー
ルの加工反力等により変位が発生するとコラム部壁面に
設置されている変位センサによりその変位が検出される
。次いで、検出された変位値に応じて制御部からコラム
部用熱アクチュエータの制御信号が出力され、コラム部
壁面がコラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷
却される。その結果、コラム部の壁面が伸縮制御されて
、ツールが所定の位置に保持される。
(Function) In the first invention, when a displacement occurs on the column wall surface due to a temperature change, a processing reaction force of a tool, etc., the displacement is detected by a displacement sensor installed on the column wall surface. Next, a control signal for the column thermal actuator is output from the control section in accordance with the detected displacement value, and the column wall surface is heated or cooled by the column thermal actuator. As a result, the wall surface of the column portion is controlled to expand and contract, and the tool is held in a predetermined position.

第2の発明においては、ヘッド部およびコラム部壁面に
温度変化やツールの加工反力等により変位が発生すると
ヘッド部およびコラム部壁面に設置されている変位セン
サによりその変位が検出される。次いで、検出された変
位値に応じて制御部からコラム部用熱アクチュエータの
制御信号が出力され、コラム部壁面がコラム部用熱アク
チュエータにより加熱または冷却される。その結果、コ
ラム部の壁面が伸縮制御されて、ツールが所定の位置に
保持される。
In the second aspect of the invention, when displacement occurs on the wall surfaces of the head and column parts due to temperature changes, processing reaction forces of tools, etc., the displacement is detected by displacement sensors installed on the wall surfaces of the head and column parts. Next, a control signal for the column thermal actuator is output from the control section in accordance with the detected displacement value, and the column wall surface is heated or cooled by the column thermal actuator. As a result, the wall surface of the column portion is controlled to expand and contract, and the tool is held in a predetermined position.

第3の発明においては、ヘッド部およびコラム部壁面に
温度変化やツールの加工反力等により変位が発生すると
ヘッド部およびコラム部壁面に設置されている変位セン
サによりその変位が検出される。次いで、検出された変
位値に応じて制御部から各熱アクチュエータの制御信号
が出力され、ヘッド部およびコラム部壁面がそれぞれの
熱アクチュエータにより加熱または冷却される。その結
果、ヘッド部およびコラム部の壁面が伸縮制御されて、
ツールが所定の位置に保持される。
In the third aspect of the invention, when displacement occurs on the wall surfaces of the head portion and column portion due to temperature change, processing reaction force of a tool, etc., the displacement is detected by displacement sensors installed on the wall surfaces of the head portion and column portion. Next, a control signal for each thermal actuator is outputted from the control section according to the detected displacement value, and the head section and column section wall surfaces are heated or cooled by the respective thermal actuators. As a result, the walls of the head and column are controlled to expand and contract.
The tool is held in place.

(実施例) 以下、図に沿って本発明の詳細な説明する。(Example) The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は第1および第2の発明をマシニング・センタに
適用した実施例の断面図であり、第2図は第1図の■−
■線上の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment in which the first and second inventions are applied to a machining center, and FIG.
■It is a cross-sectional view along the line.

図において、基台6上に固定されたコラム部14は中空
に形成され、内部にヘッド部12のバランスウェイト7
が吊り下げられている。ヘッド部12はコラム部14の
前面に形成されたガイド部により上下動自在に支持され
るとともに、コラム部14の上部に取り付けられたサー
ボモータ15、およびポールスクリュウ16により上下
方向の位置制御がおこなわれる。また、ヘッド部12の
下面光端にはツール取付は部17が配設され加工作業に
応じたツール11が着脱自在に把持される。
In the figure, the column part 14 fixed on the base 6 is formed hollow, and has a balance weight 7 of the head part 12 inside.
is suspended. The head section 12 is supported so as to be able to move up and down by a guide section formed on the front surface of the column section 14, and its position in the vertical direction is controlled by a servo motor 15 attached to the top of the column section 14 and a pole screw 16. It will be done. Further, a tool attachment part 17 is provided at the lower light end of the head part 12, and a tool 11 corresponding to a machining operation is detachably held therein.

ツール11は、へンド部12の上部に設置されているモ
ータ13により、図示しない減速機構を介して駆動され
る。
The tool 11 is driven by a motor 13 installed above the hand portion 12 via a speed reduction mechanism (not shown).

ワークWはテーブル18上に固定され、駆動機構部8に
よりテーブル18がX、 Y方向に移動されながらツー
ル11により加工される。
The workpiece W is fixed on a table 18, and is processed by the tool 11 while the table 18 is moved in the X and Y directions by the drive mechanism section 8.

また、コラム部14は、中空の角柱状に形成され内部周
方向にリブが一定間隔で形成されており、リブにより区
分された区画部のうち下方基台6よりに形成されている
2段の区画部の内周面に熱アクチュエータ21〜28.
31〜3Bが設置される。二〇熱アクチュエータは電子
冷却・加熱が可能な熱半導体素子により構成され、電流
方向を変えることにより壁面との接触面を加熱、冷却の
何れにも変更できる。さらに、熱アクチュエータ21〜
28.31〜38がそれぞれ設置されている区画の境界
およびその上下のリブが形成されている位置のコラム部
14の部材中の周方向に流路19.29.39が形成さ
れ、区画間を熱絶縁するために所定温度のオイルが循環
される。また、第2図の上・下両辺に相当するコラム部
14の両側面の端部には、それぞれ歪みゲージ等からな
る温度補償付きの変位センサS1〜S4が取付けられ、
コラム部14の伸縮による変位量を検出する。検出され
た変位量は、図示しない制御部に入力された後、その変
位量に応じて、上下段に配設された16個の熱アクチュ
エータ21〜28.31〜38に供給する電流方向を個
別に制御する。なお、第2の発明の場合、後述する第3
の発明の実施例におけるヘッド部12における変位セン
サS5〜S10が検出した変位量についても、制御部に
入力され、その変位量も加味して熱アクチュエータ21
〜28.31〜38の動作を制御する。このようにして
、コラム部14の熱アクチュエータが設置されている壁
面が加熱または冷却されると、その温度に応じて伸縮量
が適宜調整され、モータ13等の発熱およびツール11
の加工反力による弾性変形が合成されて、ツール11に
発生する位置変位が補正される。その結果、ツール11
は、本来の位置を精密に保持されることになり、従来に
増した精度で加工をおこなうことができる。
The column part 14 is formed in a hollow prismatic shape, and ribs are formed at regular intervals in the internal circumferential direction. Thermal actuators 21 to 28.
31 to 3B are installed. 20 The thermal actuator is composed of a thermal semiconductor element capable of electronic cooling and heating, and by changing the direction of current, the contact surface with the wall surface can be changed to either heating or cooling. Furthermore, the thermal actuators 21~
A flow path 19.29.39 is formed in the circumferential direction of the member of the column part 14 at the boundary of the compartment where 28.31 to 38 are installed and the ribs above and below the boundary, and the flow path 19.29. Oil at a predetermined temperature is circulated for thermal insulation. Furthermore, temperature-compensated displacement sensors S1 to S4 each consisting of a strain gauge or the like are attached to the ends of both side surfaces of the column part 14 corresponding to both the upper and lower sides of FIG.
The amount of displacement due to expansion and contraction of the column portion 14 is detected. The detected amount of displacement is input to a control unit (not shown), and then the direction of current supplied to the 16 thermal actuators 21 to 28 and 31 to 38 arranged in the upper and lower stages is individually determined according to the amount of displacement. control. In addition, in the case of the second invention, the third invention described later
The displacement amount detected by the displacement sensors S5 to S10 in the head section 12 in the embodiment of the invention is also input to the control section, and the thermal actuator 21 is
~28. Controls the operations of 31 to 38. In this way, when the wall surface on which the thermal actuator of the column part 14 is installed is heated or cooled, the amount of expansion and contraction is adjusted appropriately according to the temperature, and the heat generation of the motor 13 and the like and the tool 11
The elastic deformations caused by the processing reaction forces are combined, and the positional displacement occurring in the tool 11 is corrected. As a result, tool 11
The original position will be held precisely, and processing can be performed with greater precision than before.

第3図は第3の発明をマシニング・センタに適用した実
施例の要部の外観図であり、第4図は第3図の横断面図
であり、第5図は第4図のV −V線上の断面図である
FIG. 3 is an external view of main parts of an embodiment in which the third invention is applied to a machining center, FIG. 4 is a cross-sectional view of FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG. It is a sectional view on the V line.

第3の発明の実施例が第1の発明の実施例と異なる部分
は、ヘッド部12にも熱アクチュエータおよび断熱部を
設置するとともに、コラム部14およびヘッド部12に
設置する熱アクチュエータを電熱ヒータとオイルジャケ
ットの組合せにより構成したことである。具体的には、
第1図の実施例と同様にコラム部14において一定間隔
で形成されたリブにより区分された下方基台6よりの下
段の区画部の外周面に冷却用の熱アクチュエータ41a
〜48aが、同じく上段に冷却用の熱アクチュエータ5
1a〜58aがそれぞれ設置される。
The difference between the embodiment of the third invention and the embodiment of the first invention is that a thermal actuator and a heat insulating section are also installed in the head section 12, and the thermal actuators installed in the column section 14 and the head section 12 are replaced with an electric heater. It is constructed by a combination of an oil jacket and an oil jacket. in particular,
Similar to the embodiment shown in FIG. 1, a thermal actuator 41a for cooling is installed on the outer circumferential surface of the lower division from the lower base 6, which is divided by ribs formed at regular intervals in the column part 14.
~48a is also a cooling thermal actuator 5 on the upper stage.
1a to 58a are installed respectively.

これら各段の熱アクチュエータ41a〜48a51a〜
58aはオイルジャケットにより形成され、図示されな
い別置きのオイルクーラから供給される低温のオイルが
循環されて、熱アクチュエータ41a〜48a、51a
 〜58aが低温となり、これらと接触するコラム部1
4の壁面を冷却する。また、これらの熱アクチュエータ
41a〜48a、51a〜58aに相対してコラム部1
4の内周面には加熱用の熱アクチュエータ41b〜48
b、51b〜58bが下段、上段にそれぞれ設置される
。これらの熱アクチュエータ41b〜48b、51b〜
58bは、面状の電熱ヒータにより形成され、電流が供
給されることにより、熱アクチュエータ41b〜48b
、51b〜58bが発熱して高温となり接触するコラム
部14の壁面を加熱する。
Thermal actuators 41a to 48a51a in each of these stages
Reference numeral 58a is formed by an oil jacket, through which low-temperature oil supplied from a separate oil cooler (not shown) is circulated to connect the thermal actuators 41a to 48a, 51a.
~58a becomes low temperature, and the column part 1 in contact with these
Cool the wall of 4. Moreover, the column part 1 is located opposite to these thermal actuators 41a to 48a and 51a to 58a.
Thermal actuators 41b to 48 for heating are provided on the inner peripheral surface of 4.
b, 51b to 58b are installed in the lower and upper stages, respectively. These thermal actuators 41b to 48b, 51b to
58b is formed by a planar electric heater, and by supplying current, thermal actuators 41b to 48b
, 51b to 58b generate heat and reach a high temperature, heating the wall surface of the column portion 14 with which they come into contact.

これらのそれぞれ対をなす加熱または冷却用の熱アクチ
ュエータ41a、4 l b 〜58a、58bは動作
の際、内外面の何れか一方が動作して取付けられている
ブロックを冷却または加熱する。
When these pairs of heating or cooling thermal actuators 41a, 41b to 58a, 58b are operated, one of the inner and outer surfaces operates to cool or heat the block to which they are attached.

さらにコラム部14の両側面の端部には、第4図に示す
ように、変位センサS1〜S4が取付けられ、コラム部
14の軸方向の変位量を検出する。
Furthermore, as shown in FIG. 4, displacement sensors S1 to S4 are attached to the ends of both side surfaces of the column section 14 to detect the amount of displacement of the column section 14 in the axial direction.

また、ヘッド部12は中空のフレームにより形成され、
フレームの上下2段外周部に冷却用の熱アクチュエータ
62a〜57a、72a〜77aがそれぞれ設置され、
同時に、フレーム内周4面の上下2段に加熱用の熱°ア
クチュエータ61b〜68b、71b〜78bがそれぞ
れ設置されている。さらにコラム部14よりのフレーム
部材の内部に、ヘッド部12とコラム部14とを熱絶縁
するため、冷却オイル循環用の流路69が水平方向に等
間隔に形成されている。
Further, the head portion 12 is formed by a hollow frame,
Cooling thermal actuators 62a to 57a and 72a to 77a are respectively installed on the upper and lower outer peripheries of the frame.
At the same time, thermal actuators 61b to 68b and 71b to 78b for heating are installed in upper and lower two stages on the inner periphery of the frame, respectively. Further, inside the frame member from the column part 14, passages 69 for cooling oil circulation are formed at equal intervals in the horizontal direction in order to thermally insulate the head part 12 and the column part 14.

これら冷却用の熱アクチュエータ62a〜67a、72
a〜77aも、コラム部14と同様にオイルジャケット
により形成され、また、加熱用の熱アクチュエータ61
b〜68b、71b〜78bも同様に面状の電熱ヒータ
により形成され、それぞれ低温オイルまたは電流が供給
されることにより、接触するヘッド部12の各ブロック
を冷却または加熱する。さらに、第3図に示されるヘッ
ド部12の側面に配置された熱アクチュエータ66a、
67a、76a、77a相互の中心位置、および上下端
に、それぞれ水平方向に配置された歪みゲージ等からな
る温度補償付きの変位センサS5〜S7が取付けられ、
同様に図示しない後面にも同位置に変位センサS8〜S
IOが取付けられてヘッド部12に発生する変位量を検
出する。
These cooling thermal actuators 62a to 67a, 72
a to 77a are also formed of an oil jacket like the column part 14, and are also provided with a heating thermal actuator 61.
b to 68b and 71b to 78b are similarly formed by planar electric heaters, and are supplied with low temperature oil or electric current to cool or heat each block of the head portion 12 that comes into contact with them. Furthermore, a thermal actuator 66a disposed on the side surface of the head section 12 shown in FIG.
Temperature-compensated displacement sensors S5 to S7, which are horizontally arranged strain gauges, are installed at the center positions of 67a, 76a, and 77a, and at the upper and lower ends, respectively.
Similarly, displacement sensors S8 to S are placed at the same position on the rear surface (not shown).
The IO is attached to detect the amount of displacement that occurs in the head section 12.

変位センサS5〜S10が検出した変位量は、図示しな
い制御部に入力された後、その変位量に応して各熱アク
チュエータ62a〜67a、72a〜77a、61b 
〜68b、71b 〜78bの加熱または冷却を制御し
て、熱アクチュエータが設置されているヘッド部12の
各面をブロックごとに加熱または冷却することにより伸
縮量を適宜調整してツール11の先端に発生する変位を
補正し、ツール11の本来の位置を保持して加工をおこ
なうことができる。
The displacement amounts detected by the displacement sensors S5 to S10 are input to a control section (not shown), and then the thermal actuators 62a to 67a, 72a to 77a, and 61b are activated according to the displacement amounts.
~68b, 71b~78b are heated or cooled block by block to heat or cool each surface of the head section 12 where the thermal actuator is installed, thereby adjusting the amount of expansion and contraction as appropriate to the tip of the tool 11. The generated displacement can be corrected and the original position of the tool 11 can be maintained during processing.

第6図は、上述した第1または第2の発明の実施例にお
いて、コラム部14の各熱アクチュエータの動作を組合
せた制御モードの代表的な例を示すものである0図中、
“C”と表示したアクチュエータは冷却中を、′H″と
表示したアクチュエータは加熱中を表す。
FIG. 6 shows a typical example of a control mode in which the operations of the respective thermal actuators of the column section 14 are combined in the embodiment of the first or second invention described above.
Actuators labeled "C" indicate that they are being cooled, and actuators labeled 'H' indicate that they are being heated.

図aは上下段ともヘッド部側の右側を“C”と表示した
ように冷却し、左側を“H”と表示したように加熱した
モードであり、コラム部14が右側に角度θI傾斜する
ことを示す。
Figure a shows a mode in which the right side of the head side of both the upper and lower rows is cooled as indicated by "C", and the left side is heated as indicated by "H", and the column section 14 is tilted to the right at an angle θI. shows.

図すは上下段ともヘッド部側の右側を加熱し、左側を冷
却したモードであり、コラム部14が左側に角度θ2傾
斜することを示す。
The figure shows a mode in which the right side on the head side is heated and the left side is cooled in both the upper and lower stages, and the column part 14 is tilted to the left at an angle θ2.

図Cは上段の右側を加熱、左側を冷却し、下段の右側を
冷却、左側を加熱したモードであり、コラム部14が右
側にほぼ平行に距離lI移動することを示す。
Figure C shows a mode in which the right side of the upper stage is heated and the left side is cooled, and the right side of the lower stage is cooled and the left side is heated, and the column section 14 moves approximately parallel to the right side a distance lI.

図dは上段の右側を冷却、左側を加熱し、下段の右側を
加熱、左側を冷却したモードであり、コラム部14が左
側へほぼ平行に距離it移動することを示す。
FIG. d shows a mode in which the right side of the upper stage is cooled and the left side is heated, and the right side of the lower stage is heated and the left side is cooled, and the column part 14 moves a distance it to the left almost in parallel.

なお、上記の4例の制御モードは、図面手前側と背面側
との間で対応する熱アクチュエータの加熱、冷却を同一
にした例である。これらの組合せモード以外に、コラム
部14における熱アクチュエータの設置数が16個であ
ることから、各熱アクチュエータの加熱・冷却の組合せ
は多数となり、変位センサ5l−34の検出値、または
変位センサS1〜S4の検出値および変位センサS5〜
S10の検出値に応じ、きめ細かい制御が可能になる。
Note that the four control modes described above are examples in which the heating and cooling of the corresponding thermal actuators are the same between the front side and the back side of the drawing. In addition to these combination modes, since the number of thermal actuators installed in the column section 14 is 16, there are many combinations of heating and cooling of each thermal actuator, and the detected value of the displacement sensor 5l-34 or the displacement sensor S1 ~Detection value of S4 and displacement sensor S5~
Fine control becomes possible according to the detected value in S10.

第7図は、同様に第3の発明の実施例に取り付けられた
ヘッド部12における熱アクチュエータの動作を組合せ
た制御モードの代表的な例を示すものである。
FIG. 7 similarly shows a typical example of a control mode that combines the operations of the thermal actuators in the head section 12 attached to the embodiment of the third invention.

図aはヘッド部12の上段側の熱アクチュエータを両方
冷却し、下側を両方加熱したモードであり、ヘッド部1
2が反時計方向に角度θ、傾斜することを示す。
Figure a shows a mode in which both the upper thermal actuators of the head section 12 are cooled and both the lower sections are heated;
2 indicates that the angle θ is tilted counterclockwise.

図すは上段側の熱アクチュエータを両方加熱し、下側を
両方冷却したモードであり、ヘッド部12が時計方向に
角度θ4傾斜することを示す。
The figure shows a mode in which both the upper thermal actuators are heated and both the lower thermal actuators are cooled, and the head portion 12 is tilted clockwise at an angle θ4.

図Cは上段左側と下段右側を冷却し、上段右側と下段左
側を加熱したモードであり、ツール取付け部17の下端
が上方へほぼ平行に距離2.移動することを示す。
Figure C shows a mode in which the upper left side and the lower right side are cooled, and the upper right side and lower left side are heated, and the lower end of the tool attachment part 17 is raised upward in a distance of 2. Indicates movement.

図dは上段左側と下段右側を加熱し、上段右側と下段左
側を冷却したモードであり、ツール取付は部17の下端
が下方へほぼ平行に距* i 4移動することを示す。
FIG. d shows a mode in which the upper left side and the lower right side are heated and the upper right side and the lower left side are cooled, and the tool attachment shows that the lower end of the part 17 moves downward by a distance * i 4 substantially in parallel.

なお、上記の4例の制御モードは、図面手前側と背面側
との間で対応する熱アクチュエータの加熱、冷却を同一
にした例である。これらの組合せモード以外に、ヘッド
部12における熱アクチュエータの設置数が16個であ
ることから、各熱アクチュエータの加熱・冷却の組合せ
は多数となり、変位センサS5〜310の検出値に応じ
、きめ細かい制御が可能になる。
Note that the four control modes described above are examples in which the heating and cooling of the corresponding thermal actuators are the same between the front side and the back side of the drawing. In addition to these combination modes, since the number of thermal actuators installed in the head section 12 is 16, there are many combinations of heating and cooling of each thermal actuator, and fine control is possible according to the detected values of displacement sensors S5 to 310. becomes possible.

なお、この第3の発明の実施例に示したマシニング・セ
ンタは、ヘッド部12が駆動用のモータ13やその減速
機構部の発熱によるヘッド部12の熱変形、およびワー
クWの加工にともないツール1工に発生する加工反力に
よる不規則な弾性変形も合わせてセンサS5〜SIOに
より総合的に検出し、これらの変位量に応して各熱アク
チュエータの加熱・冷却を制御し、リアルタイムで変位
を補正・制御しながらワークWの加工を進めることが可
能になる。
In addition, in the machining center shown in the embodiment of the third invention, the head section 12 is thermally deformed due to heat generated by the drive motor 13 and its deceleration mechanism section, and the tool deforms due to the machining of the workpiece W. Sensors S5 to SIO comprehensively detect irregular elastic deformations due to machining reaction forces generated in one machining process, and control heating and cooling of each thermal actuator according to the amount of displacement to measure displacement in real time. It becomes possible to proceed with the machining of the workpiece W while correcting and controlling.

また、ヘッド部12のコラム部14側には、冷却オイル
循環用の流路69が設置されて、雰囲気温度より若干低
温度の冷却オイルが常時供給される。それにより、ヘッ
ド部12の発熱がコラム部14への伝達が抑制され、コ
ラム部14におけるヘッド部12からの伝熱にもとづく
熱膨張および反りが防止される。
Further, a flow path 69 for circulating cooling oil is installed on the column portion 14 side of the head portion 12, and cooling oil having a temperature slightly lower than the ambient temperature is constantly supplied. As a result, heat generation from the head portion 12 is suppressed from being transmitted to the column portion 14, and thermal expansion and warping of the column portion 14 due to heat transfer from the head portion 12 is prevented.

また、ヘッド部12だけの制御で矯正できない変位や、
ヘッド部12全体の変位、さらにはコラム部14自体に
変位を生じるような場合は、コラム部14自体でも同様
にセンサS1〜S4、さらにはセンサS5〜S10の検
出値に応じて変位補正のための制御がおこなれる。この
とき、ヘッド部12とコラム部14との変位制御が組み
合わせられてツールの位置制御がおこなわれ、より高精
度な加工を実現することができる。
In addition, displacements that cannot be corrected by controlling only the head section 12,
If displacement occurs in the entire head section 12 or even in the column section 14 itself, the column section 14 itself can also be corrected for displacement according to the detected values of sensors S1 to S4 and furthermore sensors S5 to S10. can be controlled. At this time, the displacement control of the head section 12 and the column section 14 is combined to control the position of the tool, making it possible to realize higher precision machining.

本出願人の寞験によると、第1図に示したマシニング・
センタの実施例において、雰囲気温度35度、熱アクチ
ュエータの加熱温度を45度、冷却温度を25度の条件
で、各熱アクチュエータの動作を制御した結果、ツール
11の先端位置を約30μmの範囲で制御できることが
確認できた。
According to the applicant's experience, the machining process shown in Figure 1
In the example of the center, as a result of controlling the operation of each thermal actuator under the conditions of an ambient temperature of 35 degrees, a heating temperature of the thermal actuator of 45 degrees, and a cooling temperature of 25 degrees, the tip position of the tool 11 was adjusted within a range of about 30 μm. It was confirmed that it could be controlled.

なお、上記各実施例では、各熱アクチュエータの動作を
加熱または冷却だけとしたが、熱アクチュエータの位置
によっては加熱も冷却もしない中間の放!状態としたり
、また熱アクチュエータの設定温度を加熱部の高温度と
冷却部の冷温度の2点設定だけでなく連続的な中間温度
に設定して、より高精度の制御をおこなうことができる
In each of the above embodiments, the operation of each thermal actuator is only heating or cooling. In addition, more precise control can be achieved by setting the temperature of the thermal actuator not only at two points, the high temperature of the heating section and the cold temperature of the cooling section, but also at a continuous intermediate temperature.

また、実施例では主にツールモータ30の発熱による熱
変形や加工反力による弾性変形を原因とする位置ずれを
、各熱アクチュエータにより補正する制御について説明
したが、さらに、上述したように加工時の各熱アクチュ
エータの動作を積極的に制御することにより、ツールの
位置制御をより精密に実行することもできる0例えば、
マシニング・センタで金型等を加工する場合に、この姿
勢制御装置を利用すると、従来列置不可能であったミク
ロンオーダの超精密な加工を実現することができる。
In addition, in the embodiment, control was explained in which each thermal actuator corrects positional deviation caused mainly by thermal deformation due to heat generation of the tool motor 30 and elastic deformation due to machining reaction force. By actively controlling the operation of each thermal actuator, tool position control can also be performed more precisely, e.g.
When machining molds and the like using a machining center, using this attitude control device makes it possible to achieve ultra-precise machining on the micron order, which was previously impossible.

さらには、上記各実施例では、コラム部14、ヘッド部
12の各面に2個2段にしてそれぞれ4個の熱アクチュ
エータを設置しているが、各面1個2段にすることも可
能であり、また、設置される面の位置に応じても、熱ア
クチュエータの設置段数や設置個数を任意に組み合わせ
て制御することができる。
Furthermore, in each of the above embodiments, four thermal actuators are installed on each surface of the column section 14 and the head section 12, with two thermal actuators in two stages, but it is also possible to install one thermal actuator on each surface and two stages. Furthermore, depending on the position of the surface on which the thermal actuators are installed, the number of installed stages and the number of installed thermal actuators can be arbitrarily combined and controlled.

またさらには、工作機械を構成する主たる構造フレーム
の各部に温度センサを配設し、検出した全体の温度分布
にもとづく熱変位をも加味して各熱アクチュエータの制
御を実行することも可能であり、その場合、各熱アクチ
ュエータおよびそれに付属するセンサごとに個々に制御
する場合に比べてより精度が向上する。
Furthermore, by installing temperature sensors in each part of the main structural frame that makes up the machine tool, it is also possible to control each thermal actuator by taking into account thermal displacement based on the detected overall temperature distribution. In that case, accuracy is improved compared to the case where each thermal actuator and its attached sensor are individually controlled.

また、熱アクチュエータを中空構造物の壁面に設置し熱
変位を生じさせて構造物の姿勢を制御するこれら発明は
、マシニング・センタ以外の各種工作機械の構造部にも
適用可能であり、同様に適用される各種工作機械の加工
精度をより向上させることができる。
Furthermore, these inventions, in which a thermal actuator is installed on the wall of a hollow structure to generate thermal displacement to control the posture of the structure, can also be applied to the structures of various machine tools other than machining centers. It is possible to further improve the machining accuracy of various applied machine tools.

(発明の効果) 以上述べたように、第1の発明によれば、工作機械のコ
ラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により変位
が発生した場合でも、その変位に応じてコラム部壁面が
コラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷却され
てコラム部が伸縮制御される。その結果、ツールが所定
の位置に保持され従来の工作機械に比べ加工精度が著し
く向上する。
(Effects of the Invention) As described above, according to the first invention, even if displacement occurs on the wall surface of the column part of a machine tool due to temperature change, processing reaction force of a tool, etc., the column part The wall surface is heated or cooled by the column thermal actuator to control expansion and contraction of the column. As a result, the tool is held in place and machining accuracy is significantly improved compared to conventional machine tools.

また、第2の発明によれば、工作機械のヘッド部および
コラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により変
位が発生した場合でも、それらの変位に応じてコラム部
壁面がコラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷
却されてコラム部が伸縮制御され、ツールが所定の位置
に保持される。
Further, according to the second invention, even if displacement occurs in the head section and the column wall surface of the machine tool due to temperature change, tool machining reaction force, etc., the column section wall surface is adjusted according to the displacement. A thermal actuator heats or cools the column to control expansion and contraction, holding the tool in place.

その結果、従来の工作機械に比べ加工精度が著しく向上
する。
As a result, machining accuracy is significantly improved compared to conventional machine tools.

さらに、第3の発明によれば、工作機械のヘッド部およ
びコラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により
変位が発生した場合でも、それらの変位に応してヘッド
部およびコラム部壁面がそれぞれの熱アクチュエータに
より加熱または冷却されてヘッド部およびコラム部が伸
縮制御され、ツールが所定の位置に保持される。その結
果、従来の工作機械に比べ加工精度が著しく向上する。
Furthermore, according to the third invention, even if displacement occurs in the head and column wall surfaces of the machine tool due to temperature changes, tool machining reaction forces, etc., the head and column wall surfaces are adjusted according to the displacement. are heated or cooled by their respective thermal actuators to control the expansion and contraction of the head and column sections to hold the tool in place. As a result, machining accuracy is significantly improved compared to conventional machine tools.

さらには、第1および第2、第3の発明は、コラム部壁
面等に設置した熱アクチュエータを用い、ツール位置に
予め微小変位を発生させて加工することができるので、
従来の工作機械では実現できなかった超精密な加工が可
能になる。
Furthermore, in the first, second, and third inventions, processing can be performed by generating a minute displacement in advance at the tool position using a thermal actuator installed on the wall surface of the column part, etc.
This enables ultra-precise machining that could not be achieved with conventional machine tools.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は第1および第2の発明をマシニング・センタに
適用した実施例の断面図、第2図は第1図の■−■線上
における断面図、第3図は第3の発明の実施例の要部の
外観図、第4図は第3図の横断面図、第5図は第4図の
V−■線上における断面図、第6図はコラム部の制御モ
ード例を示す説明図、第7図はヘッド部の制御モード例
を示す説明図、第8図は従来例における熱変位発生の説
明図である。 12・・・ヘッド部 13・・・モータ 14・・・コ
ラム部 17・・・ツール取付は部 19・・・流路2
9・・・流路 39・・・流路 69川流路21〜28
・・・熱アクチュエータ 31〜38・・・熱アクチュエータ 41a〜48a・・・冷却用の熱アクチュエータ41b
〜48b・・・加熱用の熱アクチュエータ51a〜58
a・・・冷却用の熱アクチュエータ51b〜58b・・
・加熱用の熱アクチュエータ61b〜68b・・・加熱
用の熱アクチュエータ62a〜67a・・・冷却用の熱
アクチュエータ71b〜78b・・・加熱用の熱アクチ
ュエータ72a〜77a・・・冷却用の熱アクチュエー
タ81〜SIO・・・温度補償付きの変位センサ第1図 代 理 人 弁理士  森 1)雄 −とに 第 図 第 図 (aン (b)
Fig. 1 is a sectional view of an embodiment in which the first and second inventions are applied to a machining center, Fig. 2 is a sectional view taken along the line ■-■ in Fig. 1, and Fig. 3 is an embodiment of the third invention. Fig. 4 is a cross-sectional view of Fig. 3, Fig. 5 is a sectional view taken along line V-■ in Fig. 4, and Fig. 6 is an explanatory diagram showing an example of the control mode of the column section. , FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of the control mode of the head section, and FIG. 8 is an explanatory diagram of the occurrence of thermal displacement in a conventional example. 12...Head part 13...Motor 14...Column part 17...Tool mounting part 19...Flow path 2
9... Channel 39... Channel 69 River channel 21-28
...Thermal actuators 31-38...Thermal actuators 41a-48a...Thermal actuator 41b for cooling
~48b...Heating thermal actuators 51a~58
a... Cooling thermal actuators 51b to 58b...
- Thermal actuators for heating 61b to 68b... Thermal actuators for heating 62a to 67a... Thermal actuators for cooling 71b to 78b... Thermal actuators for heating 72a to 77a... Thermal actuators for cooling 81~SIO...Displacement sensor with temperature compensation Fig. 1 Agent Patent attorney Mori 1) Male - Toni Fig. Fig. 1 (a)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ツールを把持および駆動するヘッド部を固定台座
に取付け支持する中空状コラム部の周方向に互いに対向
して1対以上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却
して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュエータと
、 コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、 変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されている
ツール位置を保持するようにコラム部を伸縮させる熱ア
クチュエータ制御信号を出力する制御部と、 を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。
(1) At least one pair of hollow columns are arranged facing each other in the circumferential direction of a hollow column section that supports the head section that grips and drives the tool by attaching it to a fixed base, and generates thermal displacement by heating or cooling the wall surface of the column section. A thermal actuator for the column, a displacement sensor that is installed on the wall of the column to which the thermal actuator is attached, and that detects displacement of the column wall caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc.; An attitude control device for a machine tool, comprising: a control section that outputs a thermal actuator control signal that expands and contracts a column section based on a detected value so as to maintain a preset tool position.
(2)ツールを把持および駆動するヘッド部を固定台座
に取付け支持する中空状コラム部の周方向に互いに対向
して1対以上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却
して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュエータと
、 ヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツールの加工反力
等により発生するヘッド部壁面の変位を検出する変位セ
ンサと、 コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、 各変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されてい
るツール位置を保持するようにコラム部を伸縮させる熱
アクチュエータ制御信号を出力する制御部と、 を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。
(2) At least one pair of hollow columns are arranged facing each other in the circumferential direction of a hollow column section that supports the head section that grips and drives the tool by attaching it to a fixed pedestal, and generates thermal displacement by heating or cooling the wall surface of the column section. A thermal actuator for the column, a displacement sensor installed on the wall of the head that detects displacement of the wall of the head caused by temperature changes, tool processing reaction forces, etc., and a wall of the column to which the thermal actuator for the column is attached. A displacement sensor is installed in the column to detect displacement of the column wall surface caused by temperature changes, tool machining reaction force, etc., and a preset tool position is maintained based on the detected value of each displacement sensor. An attitude control device for a machine tool, comprising: a control section that outputs a thermal actuator control signal for expanding and contracting a column section;
(3)ツールを把持および駆動するヘッド部の周方向に
互いに対向して1対以上配置され、ヘッド部壁面を加熱
または冷却して熱変位を発生させるヘッド部用熱アクチ
ュエータと、 ヘッド部を固定台座に取付け支持する中空状コラム部の
周方向に互いに対向して1対以上配置され、コラム部壁
面を加熱または冷却して熱変位を発生させるコラム部用
熱アクチュエータと、ヘッド部用熱アクチュエータが取
付けられたヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツール
の加工反力等により発生するヘッド部壁面の変位を検出
する変位センサと、 コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、 各変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されてい
るツール位置を保持するようにコラム部およびヘッド部
をそれぞれ伸縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力
する制御部と、 を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。
(3) At least one pair of thermal actuators for the head are arranged facing each other in the circumferential direction of the head that grips and drives the tool, and generate thermal displacement by heating or cooling the wall surface of the head, and the head is fixed. One or more pairs of column thermal actuators and head thermal actuators are disposed facing each other in the circumferential direction of a hollow column that is attached to and supported by a pedestal, and heat or cool the column wall surface to generate thermal displacement. A displacement sensor is installed on the wall of the attached head to detect displacement of the head wall caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and a displacement sensor is installed on the wall of the column to which the thermal actuator for the column is attached. A displacement sensor detects the displacement of the column wall surface caused by temperature changes, tool machining reaction forces, etc., and the column and head are arranged to maintain preset tool positions based on the detected values of each displacement sensor. An attitude control device for a machine tool, comprising: a control section that outputs a thermal actuator control signal for expanding and contracting each section;
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06114677A (en) * 1992-10-02 1994-04-26 Takamatsu Kikai Kogyo Kk Thermal deformation suppressing method for machine tool
JPH0919841A (en) * 1995-05-05 1997-01-21 Giddings & Lewis Inc Machine centering compensation actuator system
JPH11216643A (en) * 1998-02-02 1999-08-10 Disco Abrasive Syst Ltd Method of preventing displacement of action element and cutting device
WO2008078519A1 (en) * 2006-12-26 2008-07-03 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Spindle tilting detection device and machine tool provided with this
JP2008296312A (en) * 2007-05-30 2008-12-11 Utsunomiya Univ Machine tool bed structure
CN105234739A (en) * 2015-11-02 2016-01-13 北京工研精机股份有限公司 Heat balance method and system for frictional heating of machine tool guide rail for precision type horizontal machining center
JP2016016497A (en) * 2014-07-10 2016-02-01 株式会社ジェイテクト Machine tool and control method thereof
US20170001277A1 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 National Chung Hsing University Machine tool capable of reducing thermal error
JP2020066081A (en) * 2018-10-23 2020-04-30 ファナック株式会社 Machine Tools
JP2023169626A (en) * 2022-05-17 2023-11-30 トーヨーエイテック株式会社 Wire saw and workpiece processing method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5182466A (en) * 1975-01-17 1976-07-20 Niigata Engineering Co Ltd Kosakukikainiokeru netsuheni no hoshohoho
JPS608177A (en) * 1983-06-29 1985-01-17 本田技研工業株式会社 Windscreen support structure for non-canopy vehicles

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5182466A (en) * 1975-01-17 1976-07-20 Niigata Engineering Co Ltd Kosakukikainiokeru netsuheni no hoshohoho
JPS608177A (en) * 1983-06-29 1985-01-17 本田技研工業株式会社 Windscreen support structure for non-canopy vehicles

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06114677A (en) * 1992-10-02 1994-04-26 Takamatsu Kikai Kogyo Kk Thermal deformation suppressing method for machine tool
JPH0919841A (en) * 1995-05-05 1997-01-21 Giddings & Lewis Inc Machine centering compensation actuator system
US5829932A (en) * 1995-05-05 1998-11-03 Giddings & Lewis, Inc. Machine alignment compensation actuator system
JPH11216643A (en) * 1998-02-02 1999-08-10 Disco Abrasive Syst Ltd Method of preventing displacement of action element and cutting device
US8545145B2 (en) 2006-12-26 2013-10-01 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Spindle inclination detector and machine tool including the same
WO2008078519A1 (en) * 2006-12-26 2008-07-03 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Spindle tilting detection device and machine tool provided with this
JP2008296312A (en) * 2007-05-30 2008-12-11 Utsunomiya Univ Machine tool bed structure
JP2016016497A (en) * 2014-07-10 2016-02-01 株式会社ジェイテクト Machine tool and control method thereof
US20170001277A1 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 National Chung Hsing University Machine tool capable of reducing thermal error
CN105234739A (en) * 2015-11-02 2016-01-13 北京工研精机股份有限公司 Heat balance method and system for frictional heating of machine tool guide rail for precision type horizontal machining center
CN105234739B (en) * 2015-11-02 2018-04-13 北京工研精机股份有限公司 The heat balance method and system of precise horizontal machining center machine tool guideway frictional heating
JP2020066081A (en) * 2018-10-23 2020-04-30 ファナック株式会社 Machine Tools
JP2023169626A (en) * 2022-05-17 2023-11-30 トーヨーエイテック株式会社 Wire saw and workpiece processing method

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