JPH0483133A - 三次元スキャナ - Google Patents
三次元スキャナInfo
- Publication number
- JPH0483133A JPH0483133A JP2197320A JP19732090A JPH0483133A JP H0483133 A JPH0483133 A JP H0483133A JP 2197320 A JP2197320 A JP 2197320A JP 19732090 A JP19732090 A JP 19732090A JP H0483133 A JPH0483133 A JP H0483133A
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- JP
- Japan
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- measured
- laser
- color information
- information
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、非接触で対象物体の移動量または形状を測定
する三次元スキャナに関するものである。
する三次元スキャナに関するものである。
従来の技術
従来の立体物測定装置としては、接触式の三次元測定器
が多く使用されているが、測定に時間がかかるため非接
触で高速に測定できる三次元測定器が開発されている。
が多く使用されているが、測定に時間がかかるため非接
触で高速に測定できる三次元測定器が開発されている。
非接触三次元測定器の一例として、特開昭６３−１８２
５０３号公報には、レーザ光を用いた非接触三次元測定
器が提案されている。
５０３号公報には、レーザ光を用いた非接触三次元測定
器が提案されている。
第４図に、その従来例の基本構成を示す。４０１はレー
ザ発振器、４０２はレーザ発振器４０１よシ発射された
レーザビーム、４０３は被測定物、４０４は被測定物４
０３を撮影するテレビカメラ、４０５はテレビカメラ４
０４で撮影した被測定物４０３の映像情報をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄコンバータである。
ザ発振器、４０２はレーザ発振器４０１よシ発射された
レーザビーム、４０３は被測定物、４０４は被測定物４
０３を撮影するテレビカメラ、４０５はテレビカメラ４
０４で撮影した被測定物４０３の映像情報をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄコンバータである。
４０６はＡ／Ｄ変換された画像情報の雑音成分を除去す
る雑音除去回路、４０７は画像メモリ、４０８は画像情
報の中で最大値を見つけ出し、その時のアドレス情報を
検出するアドレス検出器、４０９は画像メモリ４０７に
記憶されている画像情報の中から、アドレス検出器４０
８で検出されたアドレス情報をもとに小領域の画像情報
を抽出し、重心座標を計算する重心座標演算器である。
る雑音除去回路、４０７は画像メモリ、４０８は画像情
報の中で最大値を見つけ出し、その時のアドレス情報を
検出するアドレス検出器、４０９は画像メモリ４０７に
記憶されている画像情報の中から、アドレス検出器４０
８で検出されたアドレス情報をもとに小領域の画像情報
を抽出し、重心座標を計算する重心座標演算器である。
４１０は装置の制御を行うＣＰＵ、 ４１１はＣＰＵ
メモリ、４１２はＣＲＴコントローラ、４１３はモニタ
である。
メモリ、４１２はＣＲＴコントローラ、４１３はモニタ
である。
以下、その動作を説明する。
レーザ発振器４旧より発射されたレーザビーム４０２を
被測定物４０３に照射し、その被測定物４０３をテレビ
カメラ４０４で撮影する。テレビカメラ４０４で撮影し
た映像をＡ／Ｄコンバータ４０５でＡ／Ｄ変換し、雑音
除去回路４０６に入力され、定められた値よシ小さい画
像情報は“０”に変換された後、画像メモリ４０７に格
納される。
被測定物４０３に照射し、その被測定物４０３をテレビ
カメラ４０４で撮影する。テレビカメラ４０４で撮影し
た映像をＡ／Ｄコンバータ４０５でＡ／Ｄ変換し、雑音
除去回路４０６に入力され、定められた値よシ小さい画
像情報は“０”に変換された後、画像メモリ４０７に格
納される。
雑音除去された画像情報はアドレス検出器４０８に入力
され、画像情報が最大のときのＸおよびＹ座標をアドレ
スとして出力する。このアドレスは重心座標演算器４０
９に引き渡され、この値を中心にその周辺の小領域の画
像情報とアドレス情報により重心座標が計算され、この
重心座標により被測定物４０３まで距離を第５図に示す
三角測量の原理を用いて計算して、被測定物４０３の形
状あるいは移動量を求めている。
され、画像情報が最大のときのＸおよびＹ座標をアドレ
スとして出力する。このアドレスは重心座標演算器４０
９に引き渡され、この値を中心にその周辺の小領域の画
像情報とアドレス情報により重心座標が計算され、この
重心座標により被測定物４０３まで距離を第５図に示す
三角測量の原理を用いて計算して、被測定物４０３の形
状あるいは移動量を求めている。
即ち、第５図は三角測量の原理を示しており、レーザビ
ーム５０１を対象物上の点Ｐ５０２に照射し、その時の
反射光５０３をテレビカメラ５０４などで撮像する。こ
のとき、被測定物の表面の凹凸により生じたテレビカメ
ラ５０４のスクリーン５０５上での像の移動量を抽出す
ることにより、基線ＡＢ ５０６と反射光５０３との交
差角θｂ及びθｄが求められ、これらの値とレーザビー
ム５０１の照射角、即ち基線ＡＢ５０６とレーザビーム
５０１との交差角θａ及びθＣと基線ＡＢ５０６の長さ
Ｌから物体表面の三次元座標情報を取得することができ
る。
ーム５０１を対象物上の点Ｐ５０２に照射し、その時の
反射光５０３をテレビカメラ５０４などで撮像する。こ
のとき、被測定物の表面の凹凸により生じたテレビカメ
ラ５０４のスクリーン５０５上での像の移動量を抽出す
ることにより、基線ＡＢ ５０６と反射光５０３との交
差角θｂ及びθｄが求められ、これらの値とレーザビー
ム５０１の照射角、即ち基線ＡＢ５０６とレーザビーム
５０１との交差角θａ及びθＣと基線ＡＢ５０６の長さ
Ｌから物体表面の三次元座標情報を取得することができ
る。
発明が解決しようとする課題
しかし、物体の形状を測定して、その物体を検査したシ
認識したシする時にその物体の表面の色情報か必要にな
る場合がある。第４図に示した従来の三次元測定器では
、被測定物の形状を非接触で測定する事はできるが、被
測定物の表面の色情報までは読み取ることはできないと
いう課題がある。以上の課題に鑑み、本発明の目的は、
被測定物の形状を非接触で測定すると同時に、被測定物
の表面の色情報までも読み取ることである。
認識したシする時にその物体の表面の色情報か必要にな
る場合がある。第４図に示した従来の三次元測定器では
、被測定物の形状を非接触で測定する事はできるが、被
測定物の表面の色情報までは読み取ることはできないと
いう課題がある。以上の課題に鑑み、本発明の目的は、
被測定物の形状を非接触で測定すると同時に、被測定物
の表面の色情報までも読み取ることである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するため本発明の技術的解決手段は、そ
れぞれ波長の異なる複数のレーザ光の光軸をひとつに合
わせたレーザ光を被計測物上に走査するレーザ光走査手
段と、前記レーザ光の走査により前記被測定物上から反
射して得られる散乱光を、集光レンズと各レーザ波長の
透過用フィルタを用いて複数の位置検出素子に集光し光
電流信号を出力する光量検出手段と、前記光量検出手段
からの光電流信号により前記被測定物までの距離情報を
演算する距離演算手段と、前記複数の光量検出手段から
の光電流信号により、反射光の色情報を出力する色情報
検出手段とから構成されている。
れぞれ波長の異なる複数のレーザ光の光軸をひとつに合
わせたレーザ光を被計測物上に走査するレーザ光走査手
段と、前記レーザ光の走査により前記被測定物上から反
射して得られる散乱光を、集光レンズと各レーザ波長の
透過用フィルタを用いて複数の位置検出素子に集光し光
電流信号を出力する光量検出手段と、前記光量検出手段
からの光電流信号により前記被測定物までの距離情報を
演算する距離演算手段と、前記複数の光量検出手段から
の光電流信号により、反射光の色情報を出力する色情報
検出手段とから構成されている。
作 用
本発明は上記構成により、それぞれ波長の異なる複数の
レーザ光の光軸をひとつに合わせたレーザ光を被計測物
上に走査し、被測定物上から反射して得られる散乱光を
集光レンズと各レーザ波長の透過用フィルタを用いて複
数の位置検出素子に集光し、光電流信号を得て、その光
電流信号により被測定物までの距離情報を演算すると同
時に、複数の光量検出手段からの光電流信号により反射
光の色情報を出力することにより、非接触で被測定物の
三次元形状を計測できると同時に、被測定物の表面の色
情報も読み取ることができ、距離情報と色情報とを１対
１に対応させて被測定物の検査や認識に利用することが
できるため、検査や認識の精度の向上に大きな効果があ
る。
レーザ光の光軸をひとつに合わせたレーザ光を被計測物
上に走査し、被測定物上から反射して得られる散乱光を
集光レンズと各レーザ波長の透過用フィルタを用いて複
数の位置検出素子に集光し、光電流信号を得て、その光
電流信号により被測定物までの距離情報を演算すると同
時に、複数の光量検出手段からの光電流信号により反射
光の色情報を出力することにより、非接触で被測定物の
三次元形状を計測できると同時に、被測定物の表面の色
情報も読み取ることができ、距離情報と色情報とを１対
１に対応させて被測定物の検査や認識に利用することが
できるため、検査や認識の精度の向上に大きな効果があ
る。
実施例
以下、第１図を参照しながら本発明の一実施例について
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の三次元スキャナの実施例を示すブロ
ック結線図である。第１図において、１０１は３種類の
異なる波長のレーザ光を発振するレーザ発振器、１０２
はレーザ発振器１０１からのレーザ光１０３を被測定物
１０４上に走査するレーザスキャナ、１０７は被測定物
１０４上のレーザ照射点１０５からの反射光１０６を集
光する集光レンズ、１０８はハーフミラ−１０９，１１
０および１１１はそれぞれのレーザ波長を透過するフィ
ルタ、１１２ａｂ、ｃは位置検出素子、１１３．１１４
および１１５は位置検出素子１１２ ａ ＊ ｂ 、ｃ
からの位置信号、１１６ａ、ｂおよび１１７は色情報検
出手段、１１８は距離演算手段、１１９は画像メモリ、
１２０は同期信号発生回路である。
ック結線図である。第１図において、１０１は３種類の
異なる波長のレーザ光を発振するレーザ発振器、１０２
はレーザ発振器１０１からのレーザ光１０３を被測定物
１０４上に走査するレーザスキャナ、１０７は被測定物
１０４上のレーザ照射点１０５からの反射光１０６を集
光する集光レンズ、１０８はハーフミラ−１０９，１１
０および１１１はそれぞれのレーザ波長を透過するフィ
ルタ、１１２ａｂ、ｃは位置検出素子、１１３．１１４
および１１５は位置検出素子１１２ ａ ＊ ｂ 、ｃ
からの位置信号、１１６ａ、ｂおよび１１７は色情報検
出手段、１１８は距離演算手段、１１９は画像メモリ、
１２０は同期信号発生回路である。
以下、その動作を説明する。
レーザ発振器１０１から発振された３種類の異なる波長
のレーザ光１０３を、レーザスキャナ１０２により被測
定物１０４上に走査する。この時の３種類のレーザ光の
波長は、６３６．Ｏｎｍ、 ５３７．８ｎｍおよび４
４１．６ｎｍとした。被測定物１０４上のレーザ照射点
１０５からの反射光１０６を、集光レンズ１０７及びハ
ーフミラ−１０８により光学フィルタ１０９゜１１０お
よび１１１を通して位置検出素子１１２ａ、ｂ、ｃ上に
それぞれ集光する。光学フィルタ１０９．１１０および
１１１は、それぞれ各レーザ波長近傍の波長を透過する
フィルタである。
のレーザ光１０３を、レーザスキャナ１０２により被測
定物１０４上に走査する。この時の３種類のレーザ光の
波長は、６３６．Ｏｎｍ、 ５３７．８ｎｍおよび４
４１．６ｎｍとした。被測定物１０４上のレーザ照射点
１０５からの反射光１０６を、集光レンズ１０７及びハ
ーフミラ−１０８により光学フィルタ１０９゜１１０お
よび１１１を通して位置検出素子１１２ａ、ｂ、ｃ上に
それぞれ集光する。光学フィルタ１０９．１１０および
１１１は、それぞれ各レーザ波長近傍の波長を透過する
フィルタである。
位置検出素子１１２ａ、ｂ、ｃからの位置信号１１３゜
１１４および１１５は、色情報検出手段１１６ａ、ｂお
よび１１７へ出力される。
１１４および１１５は、色情報検出手段１１６ａ、ｂお
よび１１７へ出力される。
なお、上記実施例では、位置検出素子としてＰＳＤ（ポ
ジション センシティブ デテクタ；Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ ： 半導体
装置検出素子）を用いており、ＰＳＤに入射する入射位
置は、素子の両極電極に流れる電流が各電極間との距離
に反比例する特徴を利用し、後述の演算で求めている。
ジション センシティブ デテクタ；Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ ： 半導体
装置検出素子）を用いており、ＰＳＤに入射する入射位
置は、素子の両極電極に流れる電流が各電極間との距離
に反比例する特徴を利用し、後述の演算で求めている。
次に、色情報検出手段１１６ａ、ｂ、 １１７では、
それぞれの位置信号１１３〜１１５であるＩＩ、Ｉ２．
Ｉ３およびＩ４よシ、被測定物１０４上のレーザ照射点
１０５のカラー輝度データに変換する演算を行い、画像
メモリ１１９に出力する。
それぞれの位置信号１１３〜１１５であるＩＩ、Ｉ２．
Ｉ３およびＩ４よシ、被測定物１０４上のレーザ照射点
１０５のカラー輝度データに変換する演算を行い、画像
メモリ１１９に出力する。
距離演算手段１１８では、位置検出素子１１２からの位
置信号１１５であるＩｆ 、 Ｉ２ 、ＩａおよびＩ４
より、被測定物１０４上のレーザ照射点１０５までの距
離データに変換する演算を行い、画像メモリ１１９に出
力する。
置信号１１５であるＩｆ 、 Ｉ２ 、ＩａおよびＩ４
より、被測定物１０４上のレーザ照射点１０５までの距
離データに変換する演算を行い、画像メモリ１１９に出
力する。
以上の動作を繰シ返し、順次行うことにより被測定物１
０４表面のカラー輝度情報と三次元距離情報を同時に取
得することができる。この一連の動作は、同期信号発生
回路１２０からの同期信号を用いて同期を取った。
０４表面のカラー輝度情報と三次元距離情報を同時に取
得することができる。この一連の動作は、同期信号発生
回路１２０からの同期信号を用いて同期を取った。
次に、色情報検出手段１１６．１１７および距離演算手
段１１８について、第２図、第３図を用いて更に詳しく
説明する。
段１１８について、第２図、第３図を用いて更に詳しく
説明する。
第２図は、色情報検出手段１１６ａの詳細構成を示すブ
ロック結線図である。色情報検出手段１１６ａは、二次
元位置検出素子１１２ａからの位置信号１１３であゐＩ
ｆ、Ｉ２．Ｉ３およびＩ４をＡ／Ｄコンバータ２０５〜
２０８でそれぞれデジタル信号に変換する。ここで、Ｉ
ＩおよびＩ２は二次元位置検出素子のＸ方向の位置情報
を示し、Ｉ３およびＩ４は二次元位置検出素子のＸ方向
の位置情報を示している。位置信号■ｌおよびＩ２を加
算回路２０９で加算し、位置信号Ｉ３およびＩ４を加算
回路２１０で加算し、加算回路２０９および２１０の出
力値をさらに加算回路２１１で加算して輝度データ（Ｌ
ｌ）２１２を得る。輝度データ（Ｌｌ）２１２は、レー
ザ波長６３６．０ｎｍ近傍の波長を透過するフィルタ１
０９を通して得た赤色の色情報を示しており、同様に他
のレーザ波長から得た輝度データから緑色および青色の
色情報が得られる。
ロック結線図である。色情報検出手段１１６ａは、二次
元位置検出素子１１２ａからの位置信号１１３であゐＩ
ｆ、Ｉ２．Ｉ３およびＩ４をＡ／Ｄコンバータ２０５〜
２０８でそれぞれデジタル信号に変換する。ここで、Ｉ
ＩおよびＩ２は二次元位置検出素子のＸ方向の位置情報
を示し、Ｉ３およびＩ４は二次元位置検出素子のＸ方向
の位置情報を示している。位置信号■ｌおよびＩ２を加
算回路２０９で加算し、位置信号Ｉ３およびＩ４を加算
回路２１０で加算し、加算回路２０９および２１０の出
力値をさらに加算回路２１１で加算して輝度データ（Ｌ
ｌ）２１２を得る。輝度データ（Ｌｌ）２１２は、レー
ザ波長６３６．０ｎｍ近傍の波長を透過するフィルタ１
０９を通して得た赤色の色情報を示しており、同様に他
のレーザ波長から得た輝度データから緑色および青色の
色情報が得られる。
第３図は、色情報検出手段１１７の詳細構成を示すブロ
ック結線図である。色情報検出手段１１７は、二次元位
置検出素子１１２Ｃからの位置信号１１５であるＩｌ、
Ｉ２ 、 ＩａおよびＩ４をＡ／Ｄコンバータ３０５
〜３０８でそれぞれデジタル信号に変換する。
ック結線図である。色情報検出手段１１７は、二次元位
置検出素子１１２Ｃからの位置信号１１５であるＩｌ、
Ｉ２ 、 ＩａおよびＩ４をＡ／Ｄコンバータ３０５
〜３０８でそれぞれデジタル信号に変換する。
ここで、工１およびＩ２は二次元位置検出素子のＸ方向
の位置情報を示し、Ｉ３および工４は二次元位置検出素
子のＸ方向の位置情報を示している。
の位置情報を示し、Ｉ３および工４は二次元位置検出素
子のＸ方向の位置情報を示している。
位置信号■１およびＩ２を加算回路３０９で加算し、ま
た減算回路３１０で減算する。同様に、位置信号Ｉ３お
よびＩ４を加算回路３１１で加算し、また減算回路３１
２で減算する。加算回路３０９および加算回路３１１の
出力値をさらに加算回路３１３で加算して輝度データ（
Ｉ３）３１４を得、加算回路３０９゜３１１からの信号
（Ｉｌ＋ Ｉ２ ） ３１６． （Ｉ３ ＋ Ｉ４
）３１７と、減算回路３１０．３１２からの信号（工２
−１１） ３１５． （Ｉ４−１３） ３１８を距
離演算手段１１８へ出力する。
た減算回路３１０で減算する。同様に、位置信号Ｉ３お
よびＩ４を加算回路３１１で加算し、また減算回路３１
２で減算する。加算回路３０９および加算回路３１１の
出力値をさらに加算回路３１３で加算して輝度データ（
Ｉ３）３１４を得、加算回路３０９゜３１１からの信号
（Ｉｌ＋ Ｉ２ ） ３１６． （Ｉ３ ＋ Ｉ４
）３１７と、減算回路３１０．３１２からの信号（工２
−１１） ３１５． （Ｉ４−１３） ３１８を距
離演算手段１１８へ出力する。
そして、距離演算手段１１８では、色情報検出手段１１
７からの信号（Ｉｌ＋Ｉ２）、 （Ｉ３＋Ｉ４）。
７からの信号（Ｉｌ＋Ｉ２）、 （Ｉ３＋Ｉ４）。
（Ｉ２− ＩＩ ）および（Ｉ４−Ｉ３）より第（１）
式および第（２）式を用いて二次元位置検出素子上の位
置を計算し、第５図に示す三角測量の原理に基づいて被
測定物上のレーザ照射点までの距離データに変換する演
算を行い、画像メモリに出力する。
式および第（２）式を用いて二次元位置検出素子上の位
置を計算し、第５図に示す三角測量の原理に基づいて被
測定物上のレーザ照射点までの距離データに変換する演
算を行い、画像メモリに出力する。
なお、Ｋ１およびに２は、正規化するだめの係数である
。
。
位置検出素子上の位置（ｘ、ｙ）としてＸ＝に１１１（
Ｉ２−Ｉｆ ）／（Ｉｆ ＋ Ｉ２） ・・・（１）
Ｙ＝に２・ （Ｉ４−Ｉａ ） ／（Ｉａ ＋ Ｉ４）
・・・（２）なお本実施例では、３種類の異なる波
長のレーザ光を発振するレーザ発振器を用いたが、１種
類の波長のレーザ光を発振するレーザ発振器で、しかも
それぞれ波長の異なる発振器を複数個設け、反射ミラー
を用いてそれぞれのレーザ光の光軸をひとつに合わせて
も良く、同様の効果が得られる。
Ｉ２−Ｉｆ ）／（Ｉｆ ＋ Ｉ２） ・・・（１）
Ｙ＝に２・ （Ｉ４−Ｉａ ） ／（Ｉａ ＋ Ｉ４）
・・・（２）なお本実施例では、３種類の異なる波
長のレーザ光を発振するレーザ発振器を用いたが、１種
類の波長のレーザ光を発振するレーザ発振器で、しかも
それぞれ波長の異なる発振器を複数個設け、反射ミラー
を用いてそれぞれのレーザ光の光軸をひとつに合わせて
も良く、同様の効果が得られる。
発明の効果
以上の実施例で明らかなように、それぞれ波長の異なる
複数のレーザ光の光軸をひとつに合わせだレーザ光を被
計測物上に走査し、被測定物上から反射して得られる散
乱光を集光レンズと各レーザ波長の透過用フィルタを用
いて複数の位置検出素子に集光し、光電流信号を得て、
その光電流信号により被測定物までの距離情報を演算す
ると同時に、複数の光量検出手段からの光電流信号によ
り反射光の色情報を出力することにより、非接触で被測
定物の三次元形状を計測できると同時に、被測定物の表
面の色情報も読み取ることができ、距離情報と色情報と
を１対１に対応させて被測定物の検査や認識に利用する
ことができるため、検査や認識の精度の向上に大きな効
果がある。
複数のレーザ光の光軸をひとつに合わせだレーザ光を被
計測物上に走査し、被測定物上から反射して得られる散
乱光を集光レンズと各レーザ波長の透過用フィルタを用
いて複数の位置検出素子に集光し、光電流信号を得て、
その光電流信号により被測定物までの距離情報を演算す
ると同時に、複数の光量検出手段からの光電流信号によ
り反射光の色情報を出力することにより、非接触で被測
定物の三次元形状を計測できると同時に、被測定物の表
面の色情報も読み取ることができ、距離情報と色情報と
を１対１に対応させて被測定物の検査や認識に利用する
ことができるため、検査や認識の精度の向上に大きな効
果がある。
第１図は本発明の一実施例における三次元スキャナのブ
ロック結線図、第２図、第３図は同要部の詳細ブロック
結線図、第４図は従来の三次元スキャナのブロック結線
図、第５図は三角測量の原理を示す幾何学的配置図であ
る。 １０１・・・レーザ発振器、１０２・・・レーザスキャ
ナ、１０４・・・被測定物、１０７−・・集光レンズ、
１０８・・・ハーフミラ−１０９〜１１１・・・光学フ
ィルタ、１１２・・・位置検出素子、１１６〜１１７・
・・色情報検出手段、１１８・・・距離演算手段、１１
９・・・画像メモリ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ム 第 図 と ；
ロック結線図、第２図、第３図は同要部の詳細ブロック
結線図、第４図は従来の三次元スキャナのブロック結線
図、第５図は三角測量の原理を示す幾何学的配置図であ
る。 １０１・・・レーザ発振器、１０２・・・レーザスキャ
ナ、１０４・・・被測定物、１０７−・・集光レンズ、
１０８・・・ハーフミラ−１０９〜１１１・・・光学フ
ィルタ、１１２・・・位置検出素子、１１６〜１１７・
・・色情報検出手段、１１８・・・距離演算手段、１１
９・・・画像メモリ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ム 第 図 と ；
Claims (1)
- それぞれ波長の異なる複数のレーザ光の光軸をひとつに
合わせたレーザ光を被測定物上に走査するレーザ光走査
手段と、前記レーザ光の走査により前記被測定物上から
反射して得られる散乱光を、集光レンズと各レーザ波長
の透過用フィルタを用いて複数の位置検出素子に集光し
光電流信号を出力する光量検出手段と、前記光量検出手
段からの光電流信号により前記被測定物までの距離情報
を演算する距離演算手段と、前記複数の光量検出手段か
らの光電流信号により、反射光の色情報を出力する色情
報検出手段とから構成されている三次元スキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197320A JPH0483133A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 三次元スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197320A JPH0483133A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 三次元スキャナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483133A true JPH0483133A (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=16372499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2197320A Pending JPH0483133A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 三次元スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0483133A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518726A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Kubota Corp | カラー三次元画像入力装置 |
| US5668631A (en) * | 1993-12-20 | 1997-09-16 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6049385A (en) * | 1996-06-05 | 2000-04-11 | Minolta Co., Ltd. | Three dimensional measurement system and pickup apparatus |
| US6141105A (en) * | 1995-11-17 | 2000-10-31 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring device and three-dimensional measuring method |
| US6151118A (en) * | 1996-11-19 | 2000-11-21 | Minolta Co., Ltd | Three-dimensional measuring system and method of measuring the shape of an object |
| US6292263B1 (en) | 1998-02-18 | 2001-09-18 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring apparatus |
| US6346949B1 (en) | 1995-11-14 | 2002-02-12 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional form data processor retaining information on color boundaries of an object when thinning coordinate data |
| US6407817B1 (en) | 1993-12-20 | 2002-06-18 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| KR100641401B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2006-10-31 | 주식회사 포디컬쳐 | 멀티 헤드형 삼차원 레이저 스캐너 시스템 및 영상신호처리방법 |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2197320A patent/JPH0483133A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518726A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Kubota Corp | カラー三次元画像入力装置 |
| US6407817B1 (en) | 1993-12-20 | 2002-06-18 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6775010B2 (en) | 1993-12-20 | 2004-08-10 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6674534B2 (en) | 1993-12-20 | 2004-01-06 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6522412B2 (en) | 1993-12-20 | 2003-02-18 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6243165B1 (en) | 1993-12-20 | 2001-06-05 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US5668631A (en) * | 1993-12-20 | 1997-09-16 | Minolta Co., Ltd. | Measuring system with improved method of reading image data of an object |
| US6346949B1 (en) | 1995-11-14 | 2002-02-12 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional form data processor retaining information on color boundaries of an object when thinning coordinate data |
| US6529280B1 (en) | 1995-11-17 | 2003-03-04 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring device and three-dimensional measuring method |
| US6141105A (en) * | 1995-11-17 | 2000-10-31 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring device and three-dimensional measuring method |
| US6172755B1 (en) | 1996-06-05 | 2001-01-09 | Minolta Company, Ltd. | Three dimensional measurement system and pickup apparatus |
| US6049385A (en) * | 1996-06-05 | 2000-04-11 | Minolta Co., Ltd. | Three dimensional measurement system and pickup apparatus |
| US6151118A (en) * | 1996-11-19 | 2000-11-21 | Minolta Co., Ltd | Three-dimensional measuring system and method of measuring the shape of an object |
| US6292263B1 (en) | 1998-02-18 | 2001-09-18 | Minolta Co., Ltd. | Three-dimensional measuring apparatus |
| KR100641401B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2006-10-31 | 주식회사 포디컬쳐 | 멀티 헤드형 삼차원 레이저 스캐너 시스템 및 영상신호처리방법 |
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