JPH0484713A - 光学式エンコーダの目盛ディスク - Google Patents
光学式エンコーダの目盛ディスクInfo
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- JPH0484713A JPH0484713A JP19782490A JP19782490A JPH0484713A JP H0484713 A JPH0484713 A JP H0484713A JP 19782490 A JP19782490 A JP 19782490A JP 19782490 A JP19782490 A JP 19782490A JP H0484713 A JPH0484713 A JP H0484713A
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- grating
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Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、被測定体の移動量を測定するのに用いられる
光学式エンコーダの目盛板に関する。
光学式エンコーダの目盛板に関する。
（従来の技術）
従来エンコーダの目盛板として、バイナリ振幅格子とバ
イナリ位相格子が用いられている。
イナリ位相格子が用いられている。
バイナリ位相格子は振幅が一定で、位相分布が二値のも
のをいい、その振幅透過率分布は、で与えられる。
のをいい、その振幅透過率分布は、で与えられる。
上式において５ｉｎ−＝１すなわち、θ−πでなければ
ならない。
ならない。
バイナリ位相格子には、反射型と透過型とがあり、反射
型の方が透過型に比べて分解能が高い。
型の方が透過型に比べて分解能が高い。
反射型位相格子において、四部と凸部の光路長差は、２
Ｘｄ （但し、ｄは格子高さ）、この光路長差に対応す
る光の角度をθとすると、１次回折光において最大回折
効率を得るには、前述のようにθ−πであるから、最大
効率を得λ 、’、 ｄ−一 ・・・（４）（４）式から明
らかなように最大回折効率が得られる格子高さｄは、光
の波長λの１／４である。
Ｘｄ （但し、ｄは格子高さ）、この光路長差に対応す
る光の角度をθとすると、１次回折光において最大回折
効率を得るには、前述のようにθ−πであるから、最大
効率を得λ 、’、 ｄ−一 ・・・（４）（４）式から明
らかなように最大回折効率が得られる格子高さｄは、光
の波長λの１／４である。
したがって半導体レーザ（λ−０．８６μ）では、反射
型位相格子の格子高さすなわち、格子形成用金属膜厚さ
を０．２１５μに選定する。
型位相格子の格子高さすなわち、格子形成用金属膜厚さ
を０．２１５μに選定する。
（発明が解決しようとする課題）
基板上に形成する格子形成用金属膜厚さは、薄いほど密
着性に優れ、剥れ難いが、回折効率をよくするために、
前述のように０．２μ以上にすると、剥れ易いという課
題があった。また反射膜は一般にアルミニウム膜を用い
ており、傷つき易いという課題もあった。
着性に優れ、剥れ難いが、回折効率をよくするために、
前述のように０．２μ以上にすると、剥れ易いという課
題があった。また反射膜は一般にアルミニウム膜を用い
ており、傷つき易いという課題もあった。
本発明は、従来のこのような課題を解決することをその
目的とするものである。
目的とするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記目的を達成するために、基板上にフォト
レジスト法により位相格子形成用突起が一定ピッチに形
成され、この位相格子形成用突起が形成された領域上に
金属反射膜が蒸着され、この金属反射膜上に屈折率が空
気よりも高い透明な接着剤層を介して透明ガラスが接着
されたことを特徴とする。
レジスト法により位相格子形成用突起が一定ピッチに形
成され、この位相格子形成用突起が形成された領域上に
金属反射膜が蒸着され、この金属反射膜上に屈折率が空
気よりも高い透明な接着剤層を介して透明ガラスが接着
されたことを特徴とする。
（作 用）
位相格子形成用突起の高さは、凹部は接着剤で満される
ので、その屈折率△ｎ＞１の接着剤する。また反射面が
表面ガラスで覆われるので、反射面が保護される。
ので、その屈折率△ｎ＞１の接着剤する。また反射面が
表面ガラスで覆われるので、反射面が保護される。
（実施例）
以下本発明の実施例を図面につき説明する。
第１図は、ロータリエンコーダに使用される本発明の一
実施例の目盛ディスクを示す。
実施例の目盛ディスクを示す。
同図において、１はガラス基板で、このガラス基板１の
上にクロムの突起２が平行に且つ同一ピッチで形成され
、この突起２の上面及び突起２間のガラス基板１の上に
反射鏡として、アルミニウム蒸着膜３が被着され、この
アルミニウム蒸着膜３上に屈折率△ｎ−１，５の透明な
例えば紫外線硬化型接着剤層４を介して透明ガラス５が
被覆されている。この反射型回折格子で−０，８６７４
、ｄ−０，１４μとなる。故に、クロムの厚さ（位相格
子の高さ）を０，１４μに設定する。
上にクロムの突起２が平行に且つ同一ピッチで形成され
、この突起２の上面及び突起２間のガラス基板１の上に
反射鏡として、アルミニウム蒸着膜３が被着され、この
アルミニウム蒸着膜３上に屈折率△ｎ−１，５の透明な
例えば紫外線硬化型接着剤層４を介して透明ガラス５が
被覆されている。この反射型回折格子で−０，８６７４
、ｄ−０，１４μとなる。故に、クロムの厚さ（位相格
子の高さ）を０，１４μに設定する。
この目盛ディスクは、次のように製造される。
すなわち、第２図（Ａ）に示すように、ガラス基板１上
に先ず０．１−０．２μの膜厚のクロム膜２人を蒸着す
る。次いで第２図（Ｂ）に示すように、クロム膜２Ａ上
にポジ型レジスト６を形成し、その上に一定ピッチで光
透過部７と光非透過部８とが連続的に形成されている原
板９を密着させる。そして紫外線を原板９の上から照射
させて、光透過部７に対応したレジスト部分を露光させ
る。それから、原板９を取り外し、これを現像液で処理
して紫外線非露光部（光非透過部８）に対応する部分を
第２図（Ｃ）に示すように取り除き、レジスト６を一定
ピッチで残す。次いで、第２図（Ｄ）に示すように、レ
ジスト６側をエツチング液で処理し、露呈するクロム膜
２人を取り除き、第２図（Ｅ）で示すようにレジスト６
を除去し、アルミニウムを蒸着（３）する。アルミニウ
ム蒸着膜３の上には第２図（Ｆ）で示すように、紫外線
硬化型接着剤４（透明）を使って透明ガラス５を接着し
、反射面を覆う。
に先ず０．１−０．２μの膜厚のクロム膜２人を蒸着す
る。次いで第２図（Ｂ）に示すように、クロム膜２Ａ上
にポジ型レジスト６を形成し、その上に一定ピッチで光
透過部７と光非透過部８とが連続的に形成されている原
板９を密着させる。そして紫外線を原板９の上から照射
させて、光透過部７に対応したレジスト部分を露光させ
る。それから、原板９を取り外し、これを現像液で処理
して紫外線非露光部（光非透過部８）に対応する部分を
第２図（Ｃ）に示すように取り除き、レジスト６を一定
ピッチで残す。次いで、第２図（Ｄ）に示すように、レ
ジスト６側をエツチング液で処理し、露呈するクロム膜
２人を取り除き、第２図（Ｅ）で示すようにレジスト６
を除去し、アルミニウムを蒸着（３）する。アルミニウ
ム蒸着膜３の上には第２図（Ｆ）で示すように、紫外線
硬化型接着剤４（透明）を使って透明ガラス５を接着し
、反射面を覆う。
第３図は、本発明目盛ディスクを用いた光学式ロータリ
ーエンコーダの光路構成を示す。
ーエンコーダの光路構成を示す。
同図において、１０は目盛ディスクで、これはレーザ１
１の前方を横切るように移動自在である。
１の前方を横切るように移動自在である。
レーザ１１の放射するレーザ光はビームスプリッタ１２
で２つに分けられミラー１３１１３２を介して各々目盛
ディスクＩＯ上に投射される。目盛ディスク１０で反射
することにより形成された＋１次回折光１４ 及び−
１次回折光１４゜は各々ミラー１５ 及び１５２とミ
ラー１６及びビームスプリッタ１７を介して受光素子１
８で受光するようになって３・・・アルミニウム蒸着膜 ５・・・透明ガラス ４・・・接着剤層 おり、受光素子１８の出力パルスをカウントすることに
より目盛ディスク１０の回転量が測定される。
で２つに分けられミラー１３１１３２を介して各々目盛
ディスクＩＯ上に投射される。目盛ディスク１０で反射
することにより形成された＋１次回折光１４ 及び−
１次回折光１４゜は各々ミラー１５ 及び１５２とミ
ラー１６及びビームスプリッタ１７を介して受光素子１
８で受光するようになって３・・・アルミニウム蒸着膜 ５・・・透明ガラス ４・・・接着剤層 おり、受光素子１８の出力パルスをカウントすることに
より目盛ディスク１０の回転量が測定される。
（発明の効果）
本発明は、上述の通り構成されているから、目盛ディス
クを構成する反射型回折格子の突起の高さが従来のもの
より低くでき、そのた−め、基板への密着性が増大する
。また反射面が表面ガラスで覆われるので、反射面が保
護される等の効果を有する。
クを構成する反射型回折格子の突起の高さが従来のもの
より低くでき、そのた−め、基板への密着性が増大する
。また反射面が表面ガラスで覆われるので、反射面が保
護される等の効果を有する。
第１図は、ロータリエンコーダに適用される本発明の一
実施例の要部の断面図、第２図（Ａ）〜（Ｐ）は、その
製作過程を示す断面図、第３図は本発明の目盛ディスク
を用いたロータリエンコーダの光路構成図である。 １・・・ガラス基板 ２・・・クロムの突起
株式会社 第１ 図
実施例の要部の断面図、第２図（Ａ）〜（Ｐ）は、その
製作過程を示す断面図、第３図は本発明の目盛ディスク
を用いたロータリエンコーダの光路構成図である。 １・・・ガラス基板 ２・・・クロムの突起
株式会社 第１ 図
Claims (1)
- 基板上にフォトレジスト法により位相格子形成用突起が
一定ピッチに形成され、この位相格子形成用突起が形成
された領域上に金属反射膜が蒸着され、この金属反射膜
上に屈折率が空気よりも高い透明な接着剤層を介して透
明ガラスが接着されたことを特徴とする光学式エンコー
ダの目盛ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19782490A JP2958654B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 光学式エンコーダの目盛ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19782490A JP2958654B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 光学式エンコーダの目盛ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0484713A true JPH0484713A (ja) | 1992-03-18 |
| JP2958654B2 JP2958654B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=16380951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19782490A Expired - Fee Related JP2958654B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 光学式エンコーダの目盛ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2958654B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006178312A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Canon Inc | 表面反射型位相格子 |
| US20110259422A1 (en) * | 2010-04-29 | 2011-10-27 | Skyline Solar, Inc. | Thin film reflective coating pinning arrangement |
| JP2016021057A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | 複数の光学機能面を有する光学素子、分光装置およびその製造方法 |
| JP2019120499A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社ミツトヨ | スケールおよびその製造方法 |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP19782490A patent/JP2958654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006178312A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Canon Inc | 表面反射型位相格子 |
| US20110259422A1 (en) * | 2010-04-29 | 2011-10-27 | Skyline Solar, Inc. | Thin film reflective coating pinning arrangement |
| US8083362B2 (en) * | 2010-04-29 | 2011-12-27 | Skyline Solar, Inc. | Thin film reflective coating pinning arrangement |
| JP2016021057A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | 複数の光学機能面を有する光学素子、分光装置およびその製造方法 |
| JP2017207775A (ja) * | 2014-06-19 | 2017-11-24 | キヤノン株式会社 | 複数の光学機能面を有する光学素子、分光装置およびその製造方法 |
| US11624862B2 (en) | 2014-06-19 | 2023-04-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element, spectroscopic apparatus, and method for manufacturing the same |
| JP2019120499A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社ミツトヨ | スケールおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2958654B2 (ja) | 1999-10-06 |
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