JPH048495U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048495U JPH048495U JP4783690U JP4783690U JPH048495U JP H048495 U JPH048495 U JP H048495U JP 4783690 U JP4783690 U JP 4783690U JP 4783690 U JP4783690 U JP 4783690U JP H048495 U JPH048495 U JP H048495U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- outer box
- inner box
- supply port
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案に係るクリーン磁場シールドボ
ツクスの実施例を示す断面図、第２図は電子顕微
鏡用の本考案に係るクリーン磁場シールドボツク
スの実施例を示す斜視図、第３図は従来のクリー
ン磁場シールドボツクスの実施例を示す断面図で
ある。 １０……磁場シールドボツクス、１４……フア
ン、１６……高性能フイルタ、２０……精密測定
機器、２４……除振免震台、３０……排気口、３
６……内側ボツクス、３８……通気孔、４０……
排気孔、４２……通風路。
ツクスの実施例を示す断面図、第２図は電子顕微
鏡用の本考案に係るクリーン磁場シールドボツク
スの実施例を示す斜視図、第３図は従来のクリー
ン磁場シールドボツクスの実施例を示す断面図で
ある。 １０……磁場シールドボツクス、１４……フア
ン、１６……高性能フイルタ、２０……精密測定
機器、２４……除振免震台、３０……排気口、３
６……内側ボツクス、３８……通気孔、４０……
排気孔、４２……通風路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 外側ボツクスと、 外側ボツクスの上面に開口され、クリーンエア
を外側ボツクス内に供給する給気口と、 外側ボツクスの内部に設けられ、除振免震台上
に載置された嫌振機器を収納する内側ボツクスと
、 内側ボツクスの上面に開口され、前記給気口か
らのクリーンエアを嫌振機器に向けて吹き出さな
いように形成された通気口と、 内側ボツクスの側面に開口され、内側ボツクス
と外側ボツクスとの間の通風路に内側ボツクス内
のエアを排気する排気口と、 から成ることを特徴とするクリーン磁場シールド
ボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783690U JPH0747918Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | クリーン磁場シールドボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783690U JPH0747918Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | クリーン磁場シールドボックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048495U true JPH048495U (ja) | 1992-01-27 |
| JPH0747918Y2 JPH0747918Y2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=31564120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4783690U Expired - Lifetime JPH0747918Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | クリーン磁場シールドボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747918Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP4783690U patent/JPH0747918Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0747918Y2 (ja) | 1995-11-01 |
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