JPH0485720U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0485720U JPH0485720U JP12660990U JP12660990U JPH0485720U JP H0485720 U JPH0485720 U JP H0485720U JP 12660990 U JP12660990 U JP 12660990U JP 12660990 U JP12660990 U JP 12660990U JP H0485720 U JPH0485720 U JP H0485720U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- photo sensor
- cap
- detection device
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す図
で、第１図はチユーブ着床検出装置の構成を示す
図、第２図はフオトセンサとドグとの関係を示す
斜視図、第３図及び第４図は従来例の説明に使用
した図で、第３図は半導体製造装置の一部の構成
を示す図、第４図はチユーブ着床検出装置の構成
を示す図である。 １５……スカベンジヤーキヤツプ（キヤツプ）
、２９……石英チユーブ（チユーブ）、１０１…
…フオトセンサ、１０９……ドグ。
で、第１図はチユーブ着床検出装置の構成を示す
図、第２図はフオトセンサとドグとの関係を示す
斜視図、第３図及び第４図は従来例の説明に使用
した図で、第３図は半導体製造装置の一部の構成
を示す図、第４図はチユーブ着床検出装置の構成
を示す図である。 １５……スカベンジヤーキヤツプ（キヤツプ）
、２９……石英チユーブ（チユーブ）、１０１…
…フオトセンサ、１０９……ドグ。
Claims (1)
- チユーブとキヤツプを相対的に接近させてチユ
ーブをキヤツプに着床させる際その着床を検出す
る半導体製造装置のチユーブ着床検出装置におい
て、チユーブ側又はキヤツプ側の一方に取付けら
れたフオトセンサと、他方に取付けられ上記フオ
トセンサに対して光を遮蔽する遮蔽体として機能
するドグと、を具備したことを特徴とする半導体
製造装置のチユーブ着床検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12660990U JPH0485720U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12660990U JPH0485720U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485720U true JPH0485720U (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=31874154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12660990U Pending JPH0485720U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0485720U (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP12660990U patent/JPH0485720U/ja active Pending