JPH0486539A - 光ビーム径の測定装置 - Google Patents
光ビーム径の測定装置Info
- Publication number
- JPH0486539A JPH0486539A JP20190090A JP20190090A JPH0486539A JP H0486539 A JPH0486539 A JP H0486539A JP 20190090 A JP20190090 A JP 20190090A JP 20190090 A JP20190090 A JP 20190090A JP H0486539 A JPH0486539 A JP H0486539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light beam
- measuring device
- diameter
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lenses (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、光学素子たとえばＦθレンズを通過した光ビ
ームの径を測定する光ビーム径の測定装置に関する。
ームの径を測定する光ビーム径の測定装置に関する。
（従来の技術）
Ｆθレンズなどの光学素子の特性を調べる場合、たとえ
ば、半導体レーザがら光ビームを発振させ、この光ビー
ムを回転多面鏡で上記Ｆθレンズに走査し、このＦθレ
ンズを通過した光ビームを光ビーム測定器で受光してそ
の径を測定することにより、上記Ｆθレンズの特性を調
べるようにしている。
ば、半導体レーザがら光ビームを発振させ、この光ビー
ムを回転多面鏡で上記Ｆθレンズに走査し、このＦθレ
ンズを通過した光ビームを光ビーム測定器で受光してそ
の径を測定することにより、上記Ｆθレンズの特性を調
べるようにしている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、従来においては、上記Ｆθレンズを固定
した状態で測定していたため、Ｆθレンズの一定の部位
にしか光ビームを走査することができない。したがって
、Ｆθレンズの全体に対して光ビームを走査することが
できず、Ｆθレンズの全体的な特性を調べることはでき
ないという問題があった。
した状態で測定していたため、Ｆθレンズの一定の部位
にしか光ビームを走査することができない。したがって
、Ｆθレンズの全体に対して光ビームを走査することが
できず、Ｆθレンズの全体的な特性を調べることはでき
ないという問題があった。
そこで、本発明は光学素子の全体に対し光ビームを走査
し光ビームの径を測定できるようにした光ビーム径の測
定装置を提供することを目的とする。
し光ビームの径を測定できるようにした光ビーム径の測
定装置を提供することを目的とする。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題を解決するため、光ビームを発生させ
る光源と、この光源から発生された光ビームを光学素子
に走査する走査手段と、この走査手段により走査され上
記光学素子を通過した光ビームを受光してその径を測定
する測定器と、上記光学素子および測定器を光ビームの
走査方向と直交する方向に一体的に移動させる移動手段
とを具備してなるものである。
る光源と、この光源から発生された光ビームを光学素子
に走査する走査手段と、この走査手段により走査され上
記光学素子を通過した光ビームを受光してその径を測定
する測定器と、上記光学素子および測定器を光ビームの
走査方向と直交する方向に一体的に移動させる移動手段
とを具備してなるものである。
（作 用）
上記光学素子および測定器を光ビームの走査方向と直交
する方向に一体的に移動させることにより、光学素子の
全体的に対し光ビームを走査することができるようにし
た。
する方向に一体的に移動させることにより、光学素子の
全体的に対し光ビームを走査することができるようにし
た。
（実施例）
以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して説明する
。
。
第１図は本装置を全体的に示す斜視図で、図中１は取付
はベースである。
はベースである。
前記取付はベース１上には支持機構２を介して光源とし
ての半導体レーザ３が設けられている。
ての半導体レーザ３が設けられている。
上記支持機構２には操作部４が設けられ、この操作部４
を回動操作することにより、上記半導体レーザ３を上下
動（Ｚ方向）できるようになっている。
を回動操作することにより、上記半導体レーザ３を上下
動（Ｚ方向）できるようになっている。
また、上記半導体レーザ３の近傍には走査手段としての
六角形状の回転多面鏡５が設けられている。この回転多
面鏡５は第２図に示すように、パルスモータ６によって
回転駆動される。
六角形状の回転多面鏡５が設けられている。この回転多
面鏡５は第２図に示すように、パルスモータ６によって
回転駆動される。
また、上記回転多面鏡４の前方には光学素子としてのＦ
θレンズ７が設けられている。
θレンズ７が設けられている。
さらに、上記Ｆθレンズ７の前方部には移動ステージ８
が設けられている。この移動ステージ８の上面部には取
付はベース９が設けられている。
が設けられている。この移動ステージ８の上面部には取
付はベース９が設けられている。
この取付はベース９の上面部には取付装置１０を介して
光学素子としてのＦθレンズ１１が取り付けられている
。
光学素子としてのＦθレンズ１１が取り付けられている
。
また、上記取付はベース８の上面部には移動機構１２か
設けられ、この移動機構１２の上面部にはＸ方向に移動
するスライダ１３を介して第１および第２の受光素子１
４．１５が取り付けられているとともに、光ビームの径
を測定する測定器１６が設けられている。
設けられ、この移動機構１２の上面部にはＸ方向に移動
するスライダ１３を介して第１および第２の受光素子１
４．１５が取り付けられているとともに、光ビームの径
を測定する測定器１６が設けられている。
上記第１の受光素子１４としてはたとえば差動フォトダ
イオードが使用され、上記半導体レーザ３から発振した
光ビーム２９を受光することによりそのＺ方向の位置を
上記移動ステージ８の読取部（図示しない）によって読
み取らせるようになっている。
イオードが使用され、上記半導体レーザ３から発振した
光ビーム２９を受光することによりそのＺ方向の位置を
上記移動ステージ８の読取部（図示しない）によって読
み取らせるようになっている。
上記第２の受光素子１５としてはたとえば、フォトダイ
オードが使用され、上記光ビーム２９を受光することに
よりそのＸ方向の位置を読取装置１８によって読み取ら
せるようになっている。
オードが使用され、上記光ビーム２９を受光することに
よりそのＸ方向の位置を読取装置１８によって読み取ら
せるようになっている。
上記読取装置１８はレール】７に沿って走行されるよう
になっている。
になっている。
また、上記取付はベース９は操作部２８の回転操作によ
りＺ方向（上下方向）に移動されるようになっている。
りＺ方向（上下方向）に移動されるようになっている。
上記第１および第２の受光器１４．１５には信号ケーブ
ル２１を介して制御部２２が接続され、この制御部２２
には信号ケーブル２７を介して上記パルスモータ６が接
続されている。
ル２１を介して制御部２２が接続され、この制御部２２
には信号ケーブル２７を介して上記パルスモータ６が接
続されている。
上記測定器１６には信号ケーブル２３を介して表示器２
４が接続され、この表示器２４により測定された光ビー
ム径が表示されるようになっている。
４が接続され、この表示器２４により測定された光ビー
ム径が表示されるようになっている。
さらに、上記読取器１８には信号ケーブル２５を介して
光ビーム径のＸ方向の位置を表示する位置表示器２６が
接続されている。
光ビーム径のＸ方向の位置を表示する位置表示器２６が
接続されている。
一方、上記Ｆθレンズ７は取付装置３１に取り付けられ
、この取付装置３１は第３図に示すように構成されてい
る。
、この取付装置３１は第３図に示すように構成されてい
る。
すなわち、図中３２は治具本体で、この治具本体３２の
上面中央部には溝３３が形成され、上面両側部には取付
孔３４．３４が穿設されている。
上面中央部には溝３３が形成され、上面両側部には取付
孔３４．３４が穿設されている。
また、３６はノブで、このノブ３６の両端部にはばね性
を有する係止片３７．３７が設けられている。
を有する係止片３７．３７が設けられている。
上記Ｆθレンズ７を取り付ける場合には、第３図（ａ）
に示す状態からＦθレンズ７の下タボ７ａを第３図（ｂ
）に示すように、治具本体３２の溝３３に嵌合させる。
に示す状態からＦθレンズ７の下タボ７ａを第３図（ｂ
）に示すように、治具本体３２の溝３３に嵌合させる。
ついて、ノブ３６の係止片３７．３７を治具本体３２の
取付孔３４．３４に挿入して取り付ける。これにより、
第３図（ｃ）に示すように、ノブ３６がＦθレンズ７の
上ダボ７ｂに当接し、Ｆθレンズ７を固定する。
取付孔３４．３４に挿入して取り付ける。これにより、
第３図（ｃ）に示すように、ノブ３６がＦθレンズ７の
上ダボ７ｂに当接し、Ｆθレンズ７を固定する。
また、上記Ｆθレンズ１１を取り付ける取付装置１０は
第４図に示すように構成されている。
第４図に示すように構成されている。
すなわち、図中４１は治具本体で、この治具本体４１に
は位置決め部材４２が設けられ、この位置決め部材４２
には保持部材４３が離間対向して設けられている。この
保持部材４３はゴムボール４４の回動操作により、上記
位置決め部材４２に対し接離する方向に移動されるよう
になっている。
は位置決め部材４２が設けられ、この位置決め部材４２
には保持部材４３が離間対向して設けられている。この
保持部材４３はゴムボール４４の回動操作により、上記
位置決め部材４２に対し接離する方向に移動されるよう
になっている。
また、４５は回動自在に設けられたクランパで、その両
端部にはノブ４６．４６が設けられている。
端部にはノブ４６．４６が設けられている。
上記Ｆθレンズ１１を取り付ける場合には、第４図（ａ
）に示す状態から位置決め部材４２と保持部材４３との
間にＦθレンズ１１を挿入する。
）に示す状態から位置決め部材４２と保持部材４３との
間にＦθレンズ１１を挿入する。
ついで、第４図（ｂ）に示すように、ゴムボール４４を
矢印方向に引くと、保持部材４３が位置決め部材４２側
に移動し、Ｆθレンズ１１を挟圧保持する。しかるのち
、第４図（Ｃ）に示すように、クランパー４５を上方へ
回動させてノブ４６゜４６を固定し、Ｆθレンズ１１を
クランプする。
矢印方向に引くと、保持部材４３が位置決め部材４２側
に移動し、Ｆθレンズ１１を挟圧保持する。しかるのち
、第４図（Ｃ）に示すように、クランパー４５を上方へ
回動させてノブ４６゜４６を固定し、Ｆθレンズ１１を
クランプする。
しかして、上述した構成において、半導体レザ３から光
ビーム２９を発振させるとともに、回転多面鏡５をパル
スモータ６よって回転させると、これにより、光ビーム
２９は回転多面鏡５よって直線移動に変換されて走査さ
れる。この光ビーム２９はＦθレンズ７およびＦθレン
ズ１１を通過して第１および第２の受光素子１４．１５
により受光されるとともに、光ビーム径測定器１６に受
光される。前記測定器１６により光ビーム２９が受光さ
れることにより、その径が測定され表示器２４に表示さ
れる。
ビーム２９を発振させるとともに、回転多面鏡５をパル
スモータ６よって回転させると、これにより、光ビーム
２９は回転多面鏡５よって直線移動に変換されて走査さ
れる。この光ビーム２９はＦθレンズ７およびＦθレン
ズ１１を通過して第１および第２の受光素子１４．１５
により受光されるとともに、光ビーム径測定器１６に受
光される。前記測定器１６により光ビーム２９が受光さ
れることにより、その径が測定され表示器２４に表示さ
れる。
また、このとき、光ビームのＸ方向の位置が読取装置１
８に読み取られ表示器２６によって表示される。
８に読み取られ表示器２６によって表示される。
なお、制御部２２により、パルスモータ６を制御して回
転多面鏡５を高精度に回転停止させることかでき、受光
素子１５と連動して任意の位置へ光ビーム２９を移動さ
せることができる。
転多面鏡５を高精度に回転停止させることかでき、受光
素子１５と連動して任意の位置へ光ビーム２９を移動さ
せることができる。
上記したように、光ビーム２９をＸ方向に走査しその径
を読み取ったのちは、取付はテーブル９をＺ方向に移動
させることにより、Ｆθレンズ１１、受光素子１４．１
５および測定器１６をＺ方向に移動させて再び上記した
と同様にして光ビーム２９を走査してその径を測定する
。
を読み取ったのちは、取付はテーブル９をＺ方向に移動
させることにより、Ｆθレンズ１１、受光素子１４．１
５および測定器１６をＺ方向に移動させて再び上記した
と同様にして光ビーム２９を走査してその径を測定する
。
上述したように、Ｆθレンズ１１および測定器１６を上
下動自在とするため、回転多面鏡５により走査される光
ビーム２９をＦθレンズ１１の全面に走査して通過させ
ることができ、Ｆθレンズ１１の特性を全体的に測定す
ることが可能となる。
下動自在とするため、回転多面鏡５により走査される光
ビーム２９をＦθレンズ１１の全面に走査して通過させ
ることができ、Ｆθレンズ１１の特性を全体的に測定す
ることが可能となる。
また、Ｆθレンズ１１を取付装置１０にワンタッチで着
脱でき、その交換作業も容易である。
脱でき、その交換作業も容易である。
［発明の効果］
本発明は以上説明したように、光ビームの走査方向と直
交する方向に光学素子を移動させるから、光学素子に対
し全面的に光ビームを走査してその径を測定でき、光学
素子の特性を高精度に測定することができるという効果
を奏する。
交する方向に光学素子を移動させるから、光学素子に対
し全面的に光ビームを走査してその径を測定でき、光学
素子の特性を高精度に測定することができるという効果
を奏する。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は光ビー
ム径の測定装置を示す斜視図、第２図は光ビームの走査
を示す説明図、第３図は第１のＦθレンズの取り付は方
法を示す説明図、第４図は第２のＦθレンズの取り付は
方法を示す説明図である。 ３・・・半導体レーザ（光源）、５・・・回転多面鏡（
走査手段） ８・・・移動ステージ （移動手段） １ ・・・Ｆ θレンズ ９・・・光ビーム。 （光学素子） ６・・・測定器、
ム径の測定装置を示す斜視図、第２図は光ビームの走査
を示す説明図、第３図は第１のＦθレンズの取り付は方
法を示す説明図、第４図は第２のＦθレンズの取り付は
方法を示す説明図である。 ３・・・半導体レーザ（光源）、５・・・回転多面鏡（
走査手段） ８・・・移動ステージ （移動手段） １ ・・・Ｆ θレンズ ９・・・光ビーム。 （光学素子） ６・・・測定器、
Claims (3)
- （１）光ビームを発生させる光源と、 この光源から発生された光ビームを光学素子に走査する
走査手段と、 この走査手段により走査され上記光学素子を通過した光
ビームを受光してその径を測定する測定器と、 上記光学素子および測定器を上記光ビームの走査方向と
直交する方向に一体的に移動させる移動手段とを具備し
てなることを特徴とする光ビーム径の測定装置。 - （２）光源が光ビームの走査方向と直交する方向に移動
自在である請求項（１）記載の光ビーム径の測定装置。 - （３）光学素子を通過した光ビームを受光し、その位置
を読み取る読取手段を備えた請求項（１）または（２）
記載の光ビーム径の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20190090A JPH0486539A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 光ビーム径の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20190090A JPH0486539A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 光ビーム径の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0486539A true JPH0486539A (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=16448686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20190090A Pending JPH0486539A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 光ビーム径の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0486539A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000283886A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系の光スポット測定装置 |
| JP2007033364A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Alt Kk | 走査レーザビーム径測定装置 |
| JP2008026076A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Fuji Xerox Co Ltd | レーザ光学系の検査装置 |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP20190090A patent/JPH0486539A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000283886A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系の光スポット測定装置 |
| JP2007033364A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Alt Kk | 走査レーザビーム径測定装置 |
| JP2008026076A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Fuji Xerox Co Ltd | レーザ光学系の検査装置 |
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