JPH0488040U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0488040U JPH0488040U JP40349990U JP40349990U JPH0488040U JP H0488040 U JPH0488040 U JP H0488040U JP 40349990 U JP40349990 U JP 40349990U JP 40349990 U JP40349990 U JP 40349990U JP H0488040 U JPH0488040 U JP H0488040U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air spring
- spring section
- support leg
- compressor
- magnetic fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第1図は本考案の防振装置の実施例を示す縦断
面図、第2図はその動作原理説明図、第3図は磁
性流体の印加磁界と粘度との関係を示すグラフ、
第4図は本考案の装置の支持脚下端部変形例斜視
図、第5図、第6図、第7図、第8図、第9図は
、それぞれ本考案の他の実施例を示す縦断面図で
ある。 1……定盤、2……支持脚、3……空気ばね部
、4……コンプレツサ、5……磁性流体、6……
電磁石、7……床面、8……架台、9……加圧ガ
ス、10……容器、11……ベローズ。
面図、第2図はその動作原理説明図、第3図は磁
性流体の印加磁界と粘度との関係を示すグラフ、
第4図は本考案の装置の支持脚下端部変形例斜視
図、第5図、第6図、第7図、第8図、第9図は
、それぞれ本考案の他の実施例を示す縦断面図で
ある。 1……定盤、2……支持脚、3……空気ばね部
、4……コンプレツサ、5……磁性流体、6……
電磁石、7……床面、8……架台、9……加圧ガ
ス、10……容器、11……ベローズ。
Claims (1)
- 定盤を支持する支持脚下端部を気密に収容する
空気ばね部と、当該空気ばね部に加圧ガスを供給
するコンプレツサと、前記空気ばね部の底部に収
容され、前記支持脚下端部を浸漬する磁性流体と
、当該磁性流体に磁界を印加する磁石とから成る
ことを特徴とする防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40349990U JPH0488040U (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40349990U JPH0488040U (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0488040U true JPH0488040U (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=31881267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40349990U Pending JPH0488040U (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0488040U (ja) |
-
1990
- 1990-12-17 JP JP40349990U patent/JPH0488040U/ja active Pending