JPH0489542A - 中空容器の気密性検査方法 - Google Patents
中空容器の気密性検査方法Info
- Publication number
- JPH0489542A JPH0489542A JP20305890A JP20305890A JPH0489542A JP H0489542 A JPH0489542 A JP H0489542A JP 20305890 A JP20305890 A JP 20305890A JP 20305890 A JP20305890 A JP 20305890A JP H0489542 A JPH0489542 A JP H0489542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- hollow container
- inspection chamber
- chamber
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば自動車の燃料タンクに代表されるよう
な中空容器の気密性検査方法に関する。
な中空容器の気密性検査方法に関する。
従来の技術
自動車用燃料タンクの気密性検査方法としては、例えば
第5図に示すように検査対象となるタンク51を水槽5
2中に水没させる一方、タンク51に例えば0 、3
kg/ am1程度の圧力をかけた上で所定時間静置さ
せ、溶接あるいはハンダ付は等による接合部に欠陥があ
る場合にはその欠陥部から気泡53が発生することから
、これを目視にて確認することで気密性の良否を判定す
るようにした方法がとられている。
第5図に示すように検査対象となるタンク51を水槽5
2中に水没させる一方、タンク51に例えば0 、3
kg/ am1程度の圧力をかけた上で所定時間静置さ
せ、溶接あるいはハンダ付は等による接合部に欠陥があ
る場合にはその欠陥部から気泡53が発生することから
、これを目視にて確認することで気密性の良否を判定す
るようにした方法がとられている。
発明が解決しようとする課題
従来のいわゆる水没式の気密性検査方法によると、気泡
53の発生を目視にて確認する方式であることから見落
としが生じやすいばかりでなく、どの程度の欠陥がある
のか定量的に把握することが困難で、検査精度の向上に
限界がある。
53の発生を目視にて確認する方式であることから見落
としが生じやすいばかりでなく、どの程度の欠陥がある
のか定量的に把握することが困難で、検査精度の向上に
限界がある。
また、例えば水槽52からのタンク51の引き上げ時に
水がたれ落ちて水槽52の周囲に飛散することから作業
環境の悪化を招くことにもなる。
水がたれ落ちて水槽52の周囲に飛散することから作業
環境の悪化を招くことにもなる。
本発明は以上のような問題点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、とりわけ検査精度の向上と作
業環境の改善を図った検査方法を提供することにある。
その目的とするところは、とりわけ検査精度の向上と作
業環境の改善を図った検査方法を提供することにある。
課題を解決するための手段
本発明の検査方法は、検査チャンバー内に検査対象とな
る中空容器を配置して密閉し、中空容器内よりも検査チ
ャンバーの内部の方が真空度が高くなるように検査チャ
ンバーと中空容器とを同時に所定の真空度まで真空引き
する工程と、所定の真空度に保たれた中空容器内に特定
のガスを供給する工程と、検査チャンバーに接続したガ
ス計測手段により中空容器から検査チャンバーへのガス
の洩れ量を計測する工程とを含んでいる。
る中空容器を配置して密閉し、中空容器内よりも検査チ
ャンバーの内部の方が真空度が高くなるように検査チャ
ンバーと中空容器とを同時に所定の真空度まで真空引き
する工程と、所定の真空度に保たれた中空容器内に特定
のガスを供給する工程と、検査チャンバーに接続したガ
ス計測手段により中空容器から検査チャンバーへのガス
の洩れ量を計測する工程とを含んでいる。
検査に使用するガスは例えばヘリウム(He)とし、そ
の場合のガス計測手段としてはヘリウムディテクターと
称される質量分析器を用い、質量分析法により中空容器
から洩れたヘリウムの有無およびその洩れ量を検出する
。
の場合のガス計測手段としてはヘリウムディテクターと
称される質量分析器を用い、質量分析法により中空容器
から洩れたヘリウムの有無およびその洩れ量を検出する
。
作用
上記の方法によると、中空容器から検査チャンバーへの
ガスの洩れ量をガス計測手段により計測することにより
、欠陥の有無はもちろんのこと、どの程度の欠陥である
かをガスの洩れ量から特定することができる。
ガスの洩れ量をガス計測手段により計測することにより
、欠陥の有無はもちろんのこと、どの程度の欠陥である
かをガスの洩れ量から特定することができる。
実施例
第2図および第3図は本発明を燃料タンクの気密性検査
に応用したシステム全体の概略構成を示す図である。同
図において、1は三つの検査チャンバー2が設けられた
ロータリー式のチャンバー支持体、3は検査対象となる
燃料タンク(以下、単にタンクという)4を保持するパ
レット、5はこのパレット4を検査チャンバー2に対し
て出し入れする移載装置である。
に応用したシステム全体の概略構成を示す図である。同
図において、1は三つの検査チャンバー2が設けられた
ロータリー式のチャンバー支持体、3は検査対象となる
燃料タンク(以下、単にタンクという)4を保持するパ
レット、5はこのパレット4を検査チャンバー2に対し
て出し入れする移載装置である。
また、6は真空ポンプユニット、7は制御盤、8はガス
計測手段としてのヘリウムディテクターである。
計測手段としてのヘリウムディテクターである。
検査チャンバー2は上下方向に開閉可能な構造であって
、後述するようにパレット3に支持されたタンク4がワ
ークセット工程Sにおいて移載装置5から投入されると
密閉状態となり、検査チャンバー2がチャンバー支持体
1ごと一回転して再びワークセット工程Sに戻ってくる
までの間に気密性の検査が行われる。
、後述するようにパレット3に支持されたタンク4がワ
ークセット工程Sにおいて移載装置5から投入されると
密閉状態となり、検査チャンバー2がチャンバー支持体
1ごと一回転して再びワークセット工程Sに戻ってくる
までの間に気密性の検査が行われる。
パレット3はタンク4が変形しないように拘束するため
のもので、第4図に示すように軸9を介して相互にヒン
ジ結合された上部フレーム10と下部フレーム11とか
ら構成されている。そして、パレット3が検査チャンバ
ー2内にある時にはこれら上部フレームIOと下部フレ
ーム11とでタンク4を拘束している。一方、第2図に
示すように移載装置5のプッシュプル機構12によりパ
レット3が移載装置5の手前側まで引き出された時には
、第4図に示すように移載装置5のリンク13先端のロ
ーラ14がパレット3側の溝部15に係合する。この状
態でシリンダ16によりリンク13を回転させることで
上部フレーム1oが開き、パレット3によるタンク4の
拘束が解除される。
のもので、第4図に示すように軸9を介して相互にヒン
ジ結合された上部フレーム10と下部フレーム11とか
ら構成されている。そして、パレット3が検査チャンバ
ー2内にある時にはこれら上部フレームIOと下部フレ
ーム11とでタンク4を拘束している。一方、第2図に
示すように移載装置5のプッシュプル機構12によりパ
レット3が移載装置5の手前側まで引き出された時には
、第4図に示すように移載装置5のリンク13先端のロ
ーラ14がパレット3側の溝部15に係合する。この状
態でシリンダ16によりリンク13を回転させることで
上部フレーム1oが開き、パレット3によるタンク4の
拘束が解除される。
各検査チャンバー2には第3図に示すようにヘリウム回
収回路17、ヘリウム供給回路18および燃料タンク用
真空ポンプ19のほか、清浄エアフラッシング回路20
、ヘリウムディテクター8、チャンバー粗引用真空ポン
プ21およびチャンバー本引用真空ポンプ22がそれぞ
れチャンバー支持体1内の配管を通して接続されている
。
収回路17、ヘリウム供給回路18および燃料タンク用
真空ポンプ19のほか、清浄エアフラッシング回路20
、ヘリウムディテクター8、チャンバー粗引用真空ポン
プ21およびチャンバー本引用真空ポンプ22がそれぞ
れチャンバー支持体1内の配管を通して接続されている
。
ヘリウム供給回路18はヘリウムガスボンベ23、リザ
ーバタンク24.25および真空ポンプ26を含んでい
る一方、ヘリウム回収回路17はヘリウム供給回路18
と共有するリザーバタンク24および真空ポンプ27と
を含んでおり、これらヘリウム供給回路18、ヘリウム
回収回路17および燃料タンク用真空ポンプ19は、検
査チャンバー2内にタンク4がセットされて検査チャン
バー2が密閉されると図示しないコネクタにより検査チ
ャンバー2内のタンク4と接続されることになる。そし
て、各真空ポンプ19.21.22および26.27を
集約することにより第2図の真空ポンプユニット6が形
成されている。
ーバタンク24.25および真空ポンプ26を含んでい
る一方、ヘリウム回収回路17はヘリウム供給回路18
と共有するリザーバタンク24および真空ポンプ27と
を含んでおり、これらヘリウム供給回路18、ヘリウム
回収回路17および燃料タンク用真空ポンプ19は、検
査チャンバー2内にタンク4がセットされて検査チャン
バー2が密閉されると図示しないコネクタにより検査チ
ャンバー2内のタンク4と接続されることになる。そし
て、各真空ポンプ19.21.22および26.27を
集約することにより第2図の真空ポンプユニット6が形
成されている。
なお、清浄エアフラッシング回路2oは、検査終了後に
検査チャンバー2を開く前に検査チャンバー2内のヘリ
ウムを掃出するために使用される。
検査チャンバー2を開く前に検査チャンバー2内のヘリ
ウムを掃出するために使用される。
次に上記のような検査装置を用いた気密性検査の手順に
ついて説明する。
ついて説明する。
第2図および第3図のほか第1図に示すように、移載装
置5上においてパレット3で拘束したタンク4をプッシ
ュプル機構12によりワーク七・ット工程Sの検査チャ
ンバー2に送り込んだ上、検査チャンバー2を密閉する
と、前述したようにヘリウム供給回路18、ヘリウム回
収回路17および燃料タンク用真空ポンプ19が検査チ
ャンバー2内のタンク4と接続される。
置5上においてパレット3で拘束したタンク4をプッシ
ュプル機構12によりワーク七・ット工程Sの検査チャ
ンバー2に送り込んだ上、検査チャンバー2を密閉する
と、前述したようにヘリウム供給回路18、ヘリウム回
収回路17および燃料タンク用真空ポンプ19が検査チ
ャンバー2内のタンク4と接続される。
検査チャンバー2が密閉されるとチャンバー粗引用真空
ポンプ21が起動して検査チャンバー2内の真空引きを
開始し、同時に燃料タンク用真空ポンプ19が起動して
タンク4内の真空引きが開始される。
ポンプ21が起動して検査チャンバー2内の真空引きを
開始し、同時に燃料タンク用真空ポンプ19が起動して
タンク4内の真空引きが開始される。
タンク4内の真空度が200トル(torr)になった
時点で燃料タンク用真空ポンプ19の運転を一旦停止さ
せ、その真空度のもとて第1段階の気密性(洩れ)検査
として差圧テストを行う。
時点で燃料タンク用真空ポンプ19の運転を一旦停止さ
せ、その真空度のもとて第1段階の気密性(洩れ)検査
として差圧テストを行う。
すなわち、タンク4に洩れ欠陥がないときにはタンク4
内の圧力は200トルのまま一定に保たれるが、洩れ欠
陥が大きいときにはタンク4から検査チャンバー2への
空気の洩れ出しを生じ、タンク4内の圧力は200トル
よりも真空度が高くなる。
内の圧力は200トルのまま一定に保たれるが、洩れ欠
陥が大きいときにはタンク4から検査チャンバー2への
空気の洩れ出しを生じ、タンク4内の圧力は200トル
よりも真空度が高くなる。
そこで、上記のような圧力変化をタンク4の圧力制御系
で検出し、洩れ欠陥が認められなかったタンク4につい
てのみ次の検査に移行し、そうでない場合には気密性不
良として以降の検査を中止する。
で検出し、洩れ欠陥が認められなかったタンク4につい
てのみ次の検査に移行し、そうでない場合には気密性不
良として以降の検査を中止する。
この時、タンク4のへこみを防止するために、検査チャ
ンバー2内の圧力は常にその真空度がタンク4内の真空
度よりも大きくなるようにチャンバー粗引用真空ポンプ
21により継続して真空引きがなされており、検査チャ
ンバー2内の圧力が20トルになると検査チャンバー粗
引用真空ポンプ21から検査チャンバー本引用真空ポン
プ22の運転に切り換えられてなおも継続して真空引き
が行われる。
ンバー2内の圧力は常にその真空度がタンク4内の真空
度よりも大きくなるようにチャンバー粗引用真空ポンプ
21により継続して真空引きがなされており、検査チャ
ンバー2内の圧力が20トルになると検査チャンバー粗
引用真空ポンプ21から検査チャンバー本引用真空ポン
プ22の運転に切り換えられてなおも継続して真空引き
が行われる。
続いて、タンク4内を0.5トルまで減圧し、0.5ト
ルになった時点でヘリウムディテクター8のオートゼロ
調整を行ったのちヘリウム供給回路18からタンク4内
にヘリウムを供給して第2段階の検査すなわちリークテ
ストに移行する。この時、検査チャンバー2内はタンク
4内の圧力よりも真空度が高い0.03)ル程度まで減
圧されている。
ルになった時点でヘリウムディテクター8のオートゼロ
調整を行ったのちヘリウム供給回路18からタンク4内
にヘリウムを供給して第2段階の検査すなわちリークテ
ストに移行する。この時、検査チャンバー2内はタンク
4内の圧力よりも真空度が高い0.03)ル程度まで減
圧されている。
タンク4内へのヘリウムの供給によりタンク4内の圧力
が90トルになった時点で第2段階の洩れ検査を行い、
タンク4から検査チャンバー2へのヘリウムの洩れがあ
る場合にはヘリウムディテクター8が反応してその洩れ
量がヘリウムディテクター8によって検出される。そし
て、この第2段階の洩れ検査で洩れ欠陥が認められなか
った場合のみ次の第3段階の検査に移行する。
が90トルになった時点で第2段階の洩れ検査を行い、
タンク4から検査チャンバー2へのヘリウムの洩れがあ
る場合にはヘリウムディテクター8が反応してその洩れ
量がヘリウムディテクター8によって検出される。そし
て、この第2段階の洩れ検査で洩れ欠陥が認められなか
った場合のみ次の第3段階の検査に移行する。
第3段階の検査ではヘリウムの供給によりタンク4内の
圧力を230トルにおさえて洩れ検査を行う。この場合
にもタンク4からのヘリウムの洩れがあるとその洩れ量
がヘリウムディテクター8によって検出される。
圧力を230トルにおさえて洩れ検査を行う。この場合
にもタンク4からのヘリウムの洩れがあるとその洩れ量
がヘリウムディテクター8によって検出される。
このように第1段階から第3段階の検査の全てにおいて
洩れ欠陥が認められなかったもののみが最終的に気密性
性能「合格」と判定される。
洩れ欠陥が認められなかったもののみが最終的に気密性
性能「合格」と判定される。
ここで、3段階に分けて検査を行っているのは、ヘリウ
ム分子がディテクター回路に過度に付着するのを回避し
てヘリウムディテクター8の劣化を防止し、併せて途中
で洩れ欠陥が発見された場合のタンク内掃気時間の短縮
化を図るとともにディテクター検出レベルの向上を図る
ためである。
ム分子がディテクター回路に過度に付着するのを回避し
てヘリウムディテクター8の劣化を防止し、併せて途中
で洩れ欠陥が発見された場合のタンク内掃気時間の短縮
化を図るとともにディテクター検出レベルの向上を図る
ためである。
第3段階の検査終了後、タンク4内のヘリウムをヘリウ
ム回収回路17によって回収する一方、検査チャンバー
2およびタンク4内を復圧させ、第2図に示すように移
載装置5によりタンク4の入れ換えを行うことで1サイ
クルが終了する。
ム回収回路17によって回収する一方、検査チャンバー
2およびタンク4内を復圧させ、第2図に示すように移
載装置5によりタンク4の入れ換えを行うことで1サイ
クルが終了する。
発明の効果
以上のように本発明によれば、検査対象となる中空容器
を検査チャンバー内に配置した上、中空容器よりも検査
チャンバーの方が真空度が高くなるように中空容器およ
び検査チャンバーを所定の真空度まで真空引きし、その
中空容器に特定のガスを供給して、中空容器から検査チ
ャンバーへのガスの洩れ量を検査チャンバーに接続した
ガス計測手段により計測するようにしたことにより、従
来の目視検査と異なりガスの洩れ量により洩れ欠陥の程
度を定量的に把握することができるとともに洩れ欠陥の
見落としがなく、検査精度そのものが向上するとともに
検査結果の信頼性が向上する。
を検査チャンバー内に配置した上、中空容器よりも検査
チャンバーの方が真空度が高くなるように中空容器およ
び検査チャンバーを所定の真空度まで真空引きし、その
中空容器に特定のガスを供給して、中空容器から検査チ
ャンバーへのガスの洩れ量を検査チャンバーに接続した
ガス計測手段により計測するようにしたことにより、従
来の目視検査と異なりガスの洩れ量により洩れ欠陥の程
度を定量的に把握することができるとともに洩れ欠陥の
見落としがなく、検査精度そのものが向上するとともに
検査結果の信頼性が向上する。
加えて、従来のように水を使用することもなく、また密
閉された検査チャンバーのなかで検査で行うので、周囲
の汚染等のおそれがなく作業環境を改善できる。
閉された検査チャンバーのなかで検査で行うので、周囲
の汚染等のおそれがなく作業環境を改善できる。
第1図は本発明の一実施例を示す図で検査チャンバーお
よび燃料タンクの圧力変化を示す説明図、第2図は検査
装置全体の概略説明図、第3図は真空引きおよびヘリウ
ム供給系の回路図、第4図はパレットの斜視図、第5図
は従来の気密性検査方法の一例を示す説明図である。 2・・・検査チャンバー、4・・・燃料タンク(中空容
器)、8・・・ヘリウムディテクター(ガス計測手段)
、18・・・ヘリウム供給回路、19・・・燃料タンク
用真空ポンプ、21・・・チャンバー粗引用真空ポンプ
、22・・・チャンバー本引用真空ポンプ。 第2図 第3図 聯’tffi賜/ハ 畑利フンフ ヘリウJAγ不テフフ ヘリウムイ六十汗同f■ か乙米叶フッ7出貴1シ且ノア 5ソバ−1■引用其″2ポ/フ゛ hソハ−ホづ1用燕皇ボ7ブ
よび燃料タンクの圧力変化を示す説明図、第2図は検査
装置全体の概略説明図、第3図は真空引きおよびヘリウ
ム供給系の回路図、第4図はパレットの斜視図、第5図
は従来の気密性検査方法の一例を示す説明図である。 2・・・検査チャンバー、4・・・燃料タンク(中空容
器)、8・・・ヘリウムディテクター(ガス計測手段)
、18・・・ヘリウム供給回路、19・・・燃料タンク
用真空ポンプ、21・・・チャンバー粗引用真空ポンプ
、22・・・チャンバー本引用真空ポンプ。 第2図 第3図 聯’tffi賜/ハ 畑利フンフ ヘリウJAγ不テフフ ヘリウムイ六十汗同f■ か乙米叶フッ7出貴1シ且ノア 5ソバ−1■引用其″2ポ/フ゛ hソハ−ホづ1用燕皇ボ7ブ
Claims (1)
- (1)検査チャンバー内に検査対象となる中空容器を配
置して密閉し、中空容器内よりも検査チャンバーの内部
の方が真空度が高くなるように検査チャンバーと中空容
器とを同時に所定の真空度まで真空引きする工程と、 所定の真空度に保たれた中空容器内に特定のガスを供給
する工程と、 検査チャンバーに接続したガス計測手段により中空容器
から検査チャンバーへのガスの洩れ量を計測する工程、 とを含むことを特徴とする中空容器の気密性検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20305890A JPH0489542A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 中空容器の気密性検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20305890A JPH0489542A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 中空容器の気密性検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489542A true JPH0489542A (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=16467643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20305890A Pending JPH0489542A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 中空容器の気密性検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0489542A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002267565A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
| JP2003106930A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | リーク検出装置 |
| JP2015017846A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 株式会社アルバック | 漏洩検知装置 |
| JP2017106738A (ja) * | 2015-12-07 | 2017-06-15 | トヨタ自動車株式会社 | タンクの気密検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494586A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-16 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP20305890A patent/JPH0489542A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494586A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-16 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002267565A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
| JP2003106930A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | リーク検出装置 |
| JP2015017846A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 株式会社アルバック | 漏洩検知装置 |
| JP2017106738A (ja) * | 2015-12-07 | 2017-06-15 | トヨタ自動車株式会社 | タンクの気密検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6314794B1 (en) | Method and apparatus for detecting leaks in heat exchangers for motor vehicles | |
| JP3203528B2 (ja) | 気密検査方法及びその装置 | |
| JPH10300626A (ja) | リーク検査方法及びその装置 | |
| CN106979847A (zh) | 在柔性测试容器上进行完整性测试的方法和装置 | |
| JP2500488B2 (ja) | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 | |
| TWI689715B (zh) | 閥等壓力機器的耐壓檢查方法及其耐壓檢查裝置與壓力機器 | |
| CN113514197A (zh) | 一种基于累积测试的车用电池pack包检漏系统和检测方法 | |
| JPH0489542A (ja) | 中空容器の気密性検査方法 | |
| RU2368881C1 (ru) | Стенд для испытания на герметичность сварных изделий | |
| JP2001033343A (ja) | 漏洩試験方法および漏洩試験装置 | |
| JPH0440334A (ja) | Lngタンクの欠陥検知方法 | |
| JP3075020B2 (ja) | 密閉タンクのリークテスト方法およびリークテスト装置 | |
| JP3897860B2 (ja) | 密閉品のリークテスト方法 | |
| CN207634983U (zh) | 一种混合气体配制系统 | |
| JP2025018968A (ja) | 燃料集合体の損傷判定方法および損傷判定装置 | |
| JP3238242B2 (ja) | 気密検査方法及びその装置 | |
| JP5766057B2 (ja) | ガス式漏洩検査方法 | |
| JP3203526B2 (ja) | 気密検査方法及びその装置 | |
| JPH0493737A (ja) | 気密試験装置 | |
| JP2002267565A (ja) | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 | |
| JP3087532B2 (ja) | 中空容器の気密性検査方法 | |
| JP3348489B2 (ja) | 漏洩試験方法 | |
| JPH0915082A (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JP2003139645A (ja) | リークテスト用前処理装置 | |
| JP2000002615A (ja) | 高圧ガス容器の気密検査方法およびその装置 |