JPH0490871A - バー塗布方法 - Google Patents
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感光材料や写
真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料、感圧記
録紙、感熱記録紙等、記録材料の製造において連続走行
する長尺可とう性支持体く以下、ウェブと称する)及び
半導体ウェハ、プリント基板、ガラス基板等の非連続基
板などに液状塗布組成物を塗布する、改良されたバー塗
布方法に関するものである。
真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料、感圧記
録紙、感熱記録紙等、記録材料の製造において連続走行
する長尺可とう性支持体く以下、ウェブと称する)及び
半導体ウェハ、プリント基板、ガラス基板等の非連続基
板などに液状塗布組成物を塗布する、改良されたバー塗
布方法に関するものである。
回転するバーと接触しながら走行している支持体の接触
部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給し、該
バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗布方法
において、塗布幅を支持体幅より狭くする必要がときど
き生じる。例えばウェブ状支持体において、塗布された
液がウェブの側面から広がり、塗布後にタッチするパス
ロールを汚すことを防いだり、非連続性基板において塗
布後の基板撮部のだ約基板の一部を保持するた約などで
ある。この目的に対して、バーの両端部でのバー径を中
央部のそれより細くシ(段付きバーと呼ぶ)、バーが支
持体幅の内側でのみ支持体と接触することによって、支
持体の両サイドに未塗布部分を設けることが可能である
。
部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給し、該
バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗布方法
において、塗布幅を支持体幅より狭くする必要がときど
き生じる。例えばウェブ状支持体において、塗布された
液がウェブの側面から広がり、塗布後にタッチするパス
ロールを汚すことを防いだり、非連続性基板において塗
布後の基板撮部のだ約基板の一部を保持するた約などで
ある。この目的に対して、バーの両端部でのバー径を中
央部のそれより細くシ(段付きバーと呼ぶ)、バーが支
持体幅の内側でのみ支持体と接触することによって、支
持体の両サイドに未塗布部分を設けることが可能である
。
しかしながらこのような方法で塗布を行った場合、塗布
面の幅方向両端部に塗布厚膜部が発生し、乾燥遅れを生
じたり、製品の有効幅が狭くなったりする問題がある。
面の幅方向両端部に塗布厚膜部が発生し、乾燥遅れを生
じたり、製品の有効幅が狭くなったりする問題がある。
この問題の改善方法として、特開昭60−225669
号公報及び実開昭63−63158号公報には、塗工ロ
ールの両側面についた塗液を削るためのブレードを設け
ることが開示されている。これらの方法はいずれも塗布
幅両端部の厚塗り改善に一定の効果を示すものの、必ず
しも十分ではなかった。一方特開昭62−7467号公
報には、塗布バーの端面に沿って余剰液を吸引する手段
が設けられる二とが開示されており、この方法は厚塗り
防止に対して前二者に優るものの、吸引口はバ一端面の
極近傍になければ効果が少ないため、設置に困難が生じ
たり、液の性質に依っては長時間使用時、吸引口が乾燥
した塗布液によって目詰まりを起こし易いという問題が
あった。
号公報及び実開昭63−63158号公報には、塗工ロ
ールの両側面についた塗液を削るためのブレードを設け
ることが開示されている。これらの方法はいずれも塗布
幅両端部の厚塗り改善に一定の効果を示すものの、必ず
しも十分ではなかった。一方特開昭62−7467号公
報には、塗布バーの端面に沿って余剰液を吸引する手段
が設けられる二とが開示されており、この方法は厚塗り
防止に対して前二者に優るものの、吸引口はバ一端面の
極近傍になければ効果が少ないため、設置に困難が生じ
たり、液の性質に依っては長時間使用時、吸引口が乾燥
した塗布液によって目詰まりを起こし易いという問題が
あった。
支持体の両サイドに未塗布部分を設けるバー塗布方法に
おいて、幅方向両端部に発生する塗布厚膜部の改善が比
較的容易で、かつ効果が長時間持続する方法を提供する
ことを目的とする。
おいて、幅方向両端部に発生する塗布厚膜部の改善が比
較的容易で、かつ効果が長時間持続する方法を提供する
ことを目的とする。
上記問題の発生する理由を解析した結果、バーと支持体
との接触部の直前(−次側)において形成される液だま
りの液の一部がバ一端部から外にはみ出し、バ一端面と
支持体表面でつくられるコーナーを渡って二次側にバイ
パスしてしまうことが原因であることが判った。そして
、この問題はバ一端部または端面におけるバーと支持体
の接触部に向かって、風を吹き付けることによって解決
できることが判った。本発明は上記知見に基づいてなさ
れたのである。
との接触部の直前(−次側)において形成される液だま
りの液の一部がバ一端部から外にはみ出し、バ一端面と
支持体表面でつくられるコーナーを渡って二次側にバイ
パスしてしまうことが原因であることが判った。そして
、この問題はバ一端部または端面におけるバーと支持体
の接触部に向かって、風を吹き付けることによって解決
できることが判った。本発明は上記知見に基づいてなさ
れたのである。
すなわち、本発明は、回転するバーよ接触しながら走行
している支持体の接触部の直前に液溜りが形成される様
に塗布液を供給し、該バーにより前記支持体に塗布液を
塗布するバー塗布方法において、該バーの両端部のバー
径を中央部のそれより細くすることによって、支持体の
両サイドに未塗布部分を設け、かつ塗布部におけるバー
と支持体との接触部の端部に風を吹き付けることを特徴
とするバー塗布方法を提供する。
している支持体の接触部の直前に液溜りが形成される様
に塗布液を供給し、該バーにより前記支持体に塗布液を
塗布するバー塗布方法において、該バーの両端部のバー
径を中央部のそれより細くすることによって、支持体の
両サイドに未塗布部分を設け、かつ塗布部におけるバー
と支持体との接触部の端部に風を吹き付けることを特徴
とするバー塗布方法を提供する。
次に、本発明の実施態様について図面を用いて説明する
。
。
第1図は本発明のバー塗布方法を示す概略図であって、
非連続基板に塗布する場合を示す図であり、第2図は第
1図のバー塗布装置の拡大断面図である。
非連続基板に塗布する場合を示す図であり、第2図は第
1図のバー塗布装置の拡大断面図である。
バー2は、その全長または一部にわたりバー支持部材6
によって水平かつ回転可能に支持され、バー2の一端に
は図示されていない回転駆動手段が接続されている。
によって水平かつ回転可能に支持され、バー2の一端に
は図示されていない回転駆動手段が接続されている。
バー支持部材6は、堰部材5及び5′によって囲まれ、
該堰部材5の一部に設けられた給液口4より供給された
塗布液3が、バー支持部材6と堰部材5との間に液貯蔵
部8を形成するように構成する。また、塗布部における
バーと支持体との接触部の端部に向けて空気を吹き出す
ためのエアー吹き出しノズル21が設けられている。こ
こから空気や窒素などを吹き出して風を送り出す。
該堰部材5の一部に設けられた給液口4より供給された
塗布液3が、バー支持部材6と堰部材5との間に液貯蔵
部8を形成するように構成する。また、塗布部における
バーと支持体との接触部の端部に向けて空気を吹き出す
ためのエアー吹き出しノズル21が設けられている。こ
こから空気や窒素などを吹き出して風を送り出す。
塗布されるべき基板1は、バスロール14と抑圧ロール
15によりバー2の回転方向に向かって基板1の下面が
バー2の頂点に接するように水平に搬送される。
15によりバー2の回転方向に向かって基板1の下面が
バー2の頂点に接するように水平に搬送される。
第2図は、回転するバー2が液貯蔵部8から塗布液3を
汲み上げ、基板1の下面との接触点に形成された液溜り
9を介して塗布液3を基板1の下面に転移させ、同時に
計量掻き落しを行い(バー2の作用による)所定膜厚の
塗膜7を形成させる様子を示している。
汲み上げ、基板1の下面との接触点に形成された液溜り
9を介して塗布液3を基板1の下面に転移させ、同時に
計量掻き落しを行い(バー2の作用による)所定膜厚の
塗膜7を形成させる様子を示している。
本発明において塗布を均一に行うためには、基板1とバ
ー2とを全幅に渡って密着させることが重要である。第
1図の方法の場合、バスロール14と押圧ロール15に
より基板1を搬送する方式を示している。この方式では
、バスロール14は基板1の下面にできるだけ接触しな
いようにエッヂロールを用いることが望ましい。抑えロ
ール15は表面にゴムのような弾性体を設けたものを用
いると、全幅に渡って基板1と段付き/<−16とを密
着させる上で好適である。
ー2とを全幅に渡って密着させることが重要である。第
1図の方法の場合、バスロール14と押圧ロール15に
より基板1を搬送する方式を示している。この方式では
、バスロール14は基板1の下面にできるだけ接触しな
いようにエッヂロールを用いることが望ましい。抑えロ
ール15は表面にゴムのような弾性体を設けたものを用
いると、全幅に渡って基板1と段付き/<−16とを密
着させる上で好適である。
本発明では第3図に示すように、バーの両端部のバー径
を中央部のそれよりも細くしたバーを使用する。このよ
うにすることによって、塗布ノく−の塗工面の幅が支持
体の幅よりも狭くなっているのである。本発明ではバー
の両端部に未塗布部が形成される限り、バー両端部と中
央部とのバー径の差を任意とすることができるが、1.
5 mm以上細くするのが好ましい。
を中央部のそれよりも細くしたバーを使用する。このよ
うにすることによって、塗布ノく−の塗工面の幅が支持
体の幅よりも狭くなっているのである。本発明ではバー
の両端部に未塗布部が形成される限り、バー両端部と中
央部とのバー径の差を任意とすることができるが、1.
5 mm以上細くするのが好ましい。
本発明では、このような塗布バーを用いるとともに、エ
アー吹き出しノズルを用いて支持体の幅方向両端部に形
成される塗布厚膜部を改善する。
アー吹き出しノズルを用いて支持体の幅方向両端部に形
成される塗布厚膜部を改善する。
この態様を第4図により詳しく説明する。
第4図中、ノズル21から吹き出した風はバー端面にお
けるバーと支持体の接触部に向かって吹き付けられる。
けるバーと支持体の接触部に向かって吹き付けられる。
本発明における空気吹きつけ作用は■1次側液だまりの
液がバ一端部に広がるのを抑える、■1次側バ一端部か
ら外にはみ出して来る液を押しとどめる、■はみ出した
液を2次側へバイパスさせず、バ一端面の方へ逃す、の
3つである。第4図に示す態様における作用は、■■で
あり、特に■の効果を高めることと、塗布後の膜面を風
によって乱さないために、空気をバ一端面に向かって直
角に吹きつけるよりも2次側から1次側に向かって多少
傾けた方がよい。傾ける角度は0〜60°、望ましくは
、15〜45°とするのがよい。また吹き出しノズルは
細い方がよく、内径2 mm1J内、望ましくは1mm
以内がよい。ノズルの先端は塗布液がノズルに付着しな
い範囲でできるだけバ一端面から近い方がよく、実際的
には1.5〜20mm、望ましくは2〜10mmがよい
。これら(細い内径とノズル位置)は少ない風量で効果
的に風の作用を引き出すと共に、風が広がって液の飛散
や塗布面乱れを引き起こさないので好ましい。風速は塗
布条件(塗布液粘度、塗布速度等)によって適切に調整
する必要があるが、5〜30m/secの範囲とするの
がよい。本発明における吹き畠しノズルとしてパイプを
用いることはもちろん可能であるが、操作性、位置設定
再現性をよくするた約第5図に示すように内部に風穴を
開けたブロック22を用い、コータの所定の位置に再現
よく設定できるようにすることが望ましい。本発明の効
果を高めるため、バーの端面は略同心円状の窪みを有す
ることが望ましい。これは風に吹かれた液がバ一端面に
逃げ易くする(即ち作用■の効果を高める)ためである
。この方法によれば、ノズルの中を液が通らなし)ため
、ノズルの目詰まりを生ずることがなく、また風の吹き
出し口もバ一端面と密接させる必要はないので、ノズル
の設置に自由度がある。
液がバ一端部に広がるのを抑える、■1次側バ一端部か
ら外にはみ出して来る液を押しとどめる、■はみ出した
液を2次側へバイパスさせず、バ一端面の方へ逃す、の
3つである。第4図に示す態様における作用は、■■で
あり、特に■の効果を高めることと、塗布後の膜面を風
によって乱さないために、空気をバ一端面に向かって直
角に吹きつけるよりも2次側から1次側に向かって多少
傾けた方がよい。傾ける角度は0〜60°、望ましくは
、15〜45°とするのがよい。また吹き出しノズルは
細い方がよく、内径2 mm1J内、望ましくは1mm
以内がよい。ノズルの先端は塗布液がノズルに付着しな
い範囲でできるだけバ一端面から近い方がよく、実際的
には1.5〜20mm、望ましくは2〜10mmがよい
。これら(細い内径とノズル位置)は少ない風量で効果
的に風の作用を引き出すと共に、風が広がって液の飛散
や塗布面乱れを引き起こさないので好ましい。風速は塗
布条件(塗布液粘度、塗布速度等)によって適切に調整
する必要があるが、5〜30m/secの範囲とするの
がよい。本発明における吹き畠しノズルとしてパイプを
用いることはもちろん可能であるが、操作性、位置設定
再現性をよくするた約第5図に示すように内部に風穴を
開けたブロック22を用い、コータの所定の位置に再現
よく設定できるようにすることが望ましい。本発明の効
果を高めるため、バーの端面は略同心円状の窪みを有す
ることが望ましい。これは風に吹かれた液がバ一端面に
逃げ易くする(即ち作用■の効果を高める)ためである
。この方法によれば、ノズルの中を液が通らなし)ため
、ノズルの目詰まりを生ずることがなく、また風の吹き
出し口もバ一端面と密接させる必要はないので、ノズル
の設置に自由度がある。
第6図には本発明の別の実施態様を示す。図中、バーの
端部には特開昭60−225669に開示されているよ
うにバーの表面の一邪に接触するブレード23が設けで
ある他、バ一端部において一定幅(望ましくは2〜15
mm)にわたってワイヤ−の溝をつぶしである。これは
ブレードによるバー表面の液のかき落とし効果を高め、
バーの1次側に液だまりが出来ることを抑制する働きを
する。
端部には特開昭60−225669に開示されているよ
うにバーの表面の一邪に接触するブレード23が設けで
ある他、バ一端部において一定幅(望ましくは2〜15
mm)にわたってワイヤ−の溝をつぶしである。これは
ブレードによるバー表面の液のかき落とし効果を高め、
バーの1次側に液だまりが出来ることを抑制する働きを
する。
ワイヤの溝をつぶす方法としては、みぞを半田で詰める
方法、あらかじめ所定の部分のロッド径をワイヤー巻の
部分のロッド径よりワイヤー径の2倍分だけ大きくして
おく方法、ワイヤーバーのかわりに溝切りバーを用いて
所定部分だけ溝を切らない方法など公知の方法を用いる
こきができる。
方法、あらかじめ所定の部分のロッド径をワイヤー巻の
部分のロッド径よりワイヤー径の2倍分だけ大きくして
おく方法、ワイヤーバーのかわりに溝切りバーを用いて
所定部分だけ溝を切らない方法など公知の方法を用いる
こきができる。
本発明にもとづく第6図の実施態様においてはさらにバ
ーの端部においてノズル21が設置されバーと支持体の
接触部に向けて空気を吹きかれている。本図において風
の吹き付けがない場合バ一端部のブレード設置部分は支
持体の塗布開始直後は1次側液だまりがなく非常に薄型
になるかまたは全く塗布されないが、しばらくたつとバ
ー中央部1次側の液だまりより毛管現象によってバ一端
部にまで塗布液が押し寄せ、結局その液がバ一端面に回
り厚塗りを発生させてしまう。本図における風の作用は
バー中央部における1次側液だまりの液がバ一端部に広
がるのを防ぐ効果であり、前述の作用■に相当する。本
方式において風の作用を高めるためには、風は外側から
内側に向かって吹くことが良いように考えられるが、実
際そのような方向に風を吹くと1次側液だまりの液を乱
し、塗布面の乱れを引き起こし易いことが判った。よっ
て風の方向はバーに直角方向より多少外向きの方が望ま
しい。具体的には10°〜70°、より具体的には30
°〜60°が望ましい。また吹き出しノズルは第4図同
様細い方がよく、内径2mm以内、望ましくは1mm以
内がよい。ノズルの先端の位置も同様、塗布液がノズル
に付着しない範囲でできるだけバ一端面から近い方がよ
く、実際的には1〜10mm、望ましくは1.5〜5m
mがよい。
ーの端部においてノズル21が設置されバーと支持体の
接触部に向けて空気を吹きかれている。本図において風
の吹き付けがない場合バ一端部のブレード設置部分は支
持体の塗布開始直後は1次側液だまりがなく非常に薄型
になるかまたは全く塗布されないが、しばらくたつとバ
ー中央部1次側の液だまりより毛管現象によってバ一端
部にまで塗布液が押し寄せ、結局その液がバ一端面に回
り厚塗りを発生させてしまう。本図における風の作用は
バー中央部における1次側液だまりの液がバ一端部に広
がるのを防ぐ効果であり、前述の作用■に相当する。本
方式において風の作用を高めるためには、風は外側から
内側に向かって吹くことが良いように考えられるが、実
際そのような方向に風を吹くと1次側液だまりの液を乱
し、塗布面の乱れを引き起こし易いことが判った。よっ
て風の方向はバーに直角方向より多少外向きの方が望ま
しい。具体的には10°〜70°、より具体的には30
°〜60°が望ましい。また吹き出しノズルは第4図同
様細い方がよく、内径2mm以内、望ましくは1mm以
内がよい。ノズルの先端の位置も同様、塗布液がノズル
に付着しない範囲でできるだけバ一端面から近い方がよ
く、実際的には1〜10mm、望ましくは1.5〜5m
mがよい。
風速も第4図同様塗布条件によって適正に調整される必
要があるが、5〜30 m/ secの範囲が好ましい
。
要があるが、5〜30 m/ secの範囲が好ましい
。
本発明に用いられるバー2の材質は、強度および耐薬品
性の面で金属(特にステンレス8)が多くの場合望まし
いが、それに限定されることなくナイロン等のプラスチ
ックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製やプラ
スチック製の溝付きバーも用いられる。
性の面で金属(特にステンレス8)が多くの場合望まし
いが、それに限定されることなくナイロン等のプラスチ
ックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製やプラ
スチック製の溝付きバーも用いられる。
ワイヤーバーとしては、この他に巻かれたワイヤーの外
周表面を平に研磨して基板工との接触面積を増したラッ
ピングバーも用いることができる。
周表面を平に研磨して基板工との接触面積を増したラッ
ピングバーも用いることができる。
バー2の径は6.0〜30.0 mm、更に好ましくは
6.0〜20.0 mmの範囲が良く、これ以上では塗
膜に縦スジ状の不均一を生じやすく、これ以下では制作
が困難になる。
6.0〜20.0 mmの範囲が良く、これ以上では塗
膜に縦スジ状の不均一を生じやすく、これ以下では制作
が困難になる。
バー2がワイヤーバーの場合、良好な塗布面状を得るた
於には、ワイヤー径の範囲は好ましくは0、 C15〜
1.0mm、更に好ましくは0.05〜0.7 mmの
範囲がよい。
於には、ワイヤー径の範囲は好ましくは0、 C15〜
1.0mm、更に好ましくは0.05〜0.7 mmの
範囲がよい。
これらの知見を基にしたバー形状の選択により、湿潤塗
布量が4 cc / m’の薄層塗布から約70cc/
m2程度の厚膜塗布まで安定に塗布することができる。
布量が4 cc / m’の薄層塗布から約70cc/
m2程度の厚膜塗布まで安定に塗布することができる。
本発明において塗布されるウェブ又は基板は特に限定さ
れず、例えば、紙、プラスチックフィルム、レジンコー
ト紙、金属板、硝子板などがあげられ、その厚さも限定
されないが、0.1〜10mm程度のものが好適に使用
される。
れず、例えば、紙、プラスチックフィルム、レジンコー
ト紙、金属板、硝子板などがあげられ、その厚さも限定
されないが、0.1〜10mm程度のものが好適に使用
される。
本発明における基板1のサイズは特に限定されない。一
般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の平
面性が悪くなりがちであるが、第1図に示した抑えロー
ル15の表面に弾性体を設けたものを用いることにより
、1mx1m(厚さ2mm)の方形ガラス板でも充分に
均一に塗布できることが確認されている。尚、基板1の
形状は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能であ
り、形状は特に限定されるものではない。
般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の平
面性が悪くなりがちであるが、第1図に示した抑えロー
ル15の表面に弾性体を設けたものを用いることにより
、1mx1m(厚さ2mm)の方形ガラス板でも充分に
均一に塗布できることが確認されている。尚、基板1の
形状は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能であ
り、形状は特に限定されるものではない。
本発明の方法により種々の液を連続基板又は非連続性基
板に塗布できる。塗布液の組成及び物性は特に限定され
ないが、粘度100 cpJU下、特に50cp以下の
ものが好適に塗布される。
板に塗布できる。塗布液の組成及び物性は特に限定され
ないが、粘度100 cpJU下、特に50cp以下の
ものが好適に塗布される。
本発明の方法により好適にカラーフィルターを製造する
ことができる。通常、撮像装置や表示装置においてカラ
ー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して取
り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て電
気エネルギーを光に、変換し、対応する色光に戻し、色
光を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般に
は、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にB(青)
、G(縁)、R(赤)の3つの波長に分割して扱ってお
り、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのような表示
装置はそのためのフィルターを必要とし、これをカラー
フィルターと呼んでいる。
ことができる。通常、撮像装置や表示装置においてカラ
ー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して取
り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て電
気エネルギーを光に、変換し、対応する色光に戻し、色
光を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般に
は、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にB(青)
、G(縁)、R(赤)の3つの波長に分割して扱ってお
り、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのような表示
装置はそのためのフィルターを必要とし、これをカラー
フィルターと呼んでいる。
カラーフィルターの製造に使用される、顔料によって着
色された感光性組成物は、米国特許第3、549.36
7号明細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマ
ー、光重合開始剤およびバインダーからなる光重合性感
光性組成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和二
重結合残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用である
。
色された感光性組成物は、米国特許第3、549.36
7号明細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマ
ー、光重合開始剤およびバインダーからなる光重合性感
光性組成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和二
重結合残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用である
。
該光重合性感光性組成物中の付加重合性不飽和千ツマ−
は、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和
基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。
は、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和
基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。
例えば、ポリエチレングリコールモノ (メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールモノ (メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等
の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリプロ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルエタントリ (メタ)アクリレート、ネオベンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ (メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ (メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メ
タ)アクリレート、メリメチロールプロパントリ (ア
クリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ (アクリ
ロイロキシエチル)インシアヌレート、グリセリンやト
リメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオ
キサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ
)アクリレート化したもの、特公昭4841708号、
特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各
公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、
特開昭48−64183号、特公昭49−43191号
、特公昭5230490号各公報に記載されているポリ
エステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アク
リル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の
多官能のアクリレートやメタアクリレートをあげること
が出来る。更に、日本接着協会誌Vow、 20、Nn
7.300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマ
ーとして紹介されているものも使用できる。使用量は、
5〜50wt%(以下%と省略する)好ましくは、10
〜40%である。
レート、ポリプロピレングリコールモノ (メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等
の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリプロ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルエタントリ (メタ)アクリレート、ネオベンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ (メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ (メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メ
タ)アクリレート、メリメチロールプロパントリ (ア
クリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ (アクリ
ロイロキシエチル)インシアヌレート、グリセリンやト
リメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオ
キサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ
)アクリレート化したもの、特公昭4841708号、
特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各
公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、
特開昭48−64183号、特公昭49−43191号
、特公昭5230490号各公報に記載されているポリ
エステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アク
リル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の
多官能のアクリレートやメタアクリレートをあげること
が出来る。更に、日本接着協会誌Vow、 20、Nn
7.300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマ
ーとして紹介されているものも使用できる。使用量は、
5〜50wt%(以下%と省略する)好ましくは、10
〜40%である。
光重合開始剤としては、米国特許第2.367、660
号明細書に開示されているビシナールポリケトアルドニ
ル化合物、米国特許第2.367.661号および第2
.367.670号明細書に開示されているαカルボニ
ル化合物、米国特許第2.448.828号明細書に開
示されているアシロインエーテル、米国特許第2,72
2.512号明細書に開示されているα−炭化水素で置
換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3.04
6.127号および第2.951.758号明細書に開
示されている多核キノン化合物、米国特許第3.549
.367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾ
ールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特
公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチ
アゾール系化合物/トリハロメチ−ルーS−トリアジン
系化合物、特願昭61−186238号公報に記載され
ている感光性5−)IJアジン化合物、米国特許第4,
239,850号明細書に開示されているトリハロメチ
ル=S−)リアジン系化合物、米国特許第4.212.
976号明細書に記載されているオキサジアゾール化合
物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
%、好ましくは0.5〜15%である。
号明細書に開示されているビシナールポリケトアルドニ
ル化合物、米国特許第2.367.661号および第2
.367.670号明細書に開示されているαカルボニ
ル化合物、米国特許第2.448.828号明細書に開
示されているアシロインエーテル、米国特許第2,72
2.512号明細書に開示されているα−炭化水素で置
換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3.04
6.127号および第2.951.758号明細書に開
示されている多核キノン化合物、米国特許第3.549
.367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾ
ールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特
公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチ
アゾール系化合物/トリハロメチ−ルーS−トリアジン
系化合物、特願昭61−186238号公報に記載され
ている感光性5−)IJアジン化合物、米国特許第4,
239,850号明細書に開示されているトリハロメチ
ル=S−)リアジン系化合物、米国特許第4.212.
976号明細書に記載されているオキサジアゾール化合
物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
%、好ましくは0.5〜15%である。
バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有機
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー
、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−3
4327号、特公昭58−12577号、特公昭54−
25957、号、特開昭59−53836号、特開昭5
9−71048号明細書に記載されているようなメ゛タ
クリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共
重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部
分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に
側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある
。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加さ
せたものなども有用である。特にこれらのなかでベンジ
ル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体
やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸
/および他の千ツマ−との多元共重合体が好適である。
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー
、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−3
4327号、特公昭58−12577号、特公昭54−
25957、号、特開昭59−53836号、特開昭5
9−71048号明細書に記載されているようなメ゛タ
クリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共
重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部
分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に
側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある
。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加さ
せたものなども有用である。特にこれらのなかでベンジ
ル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体
やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸
/および他の千ツマ−との多元共重合体が好適である。
この他に水溶性ポリマーとじて、ポリビニールピロリド
ンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール
等も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにア
ルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロ
キシフェニル)−フロパンとエピクロルヒドリンのポリ
エーテルなども有用である。これらのポリマーは任意な
量を混合させることができるが、90%を越えることは
形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。
ンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール
等も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにア
ルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロ
キシフェニル)−フロパンとエピクロルヒドリンのポリ
エーテルなども有用である。これらのポリマーは任意な
量を混合させることができるが、90%を越えることは
形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。
好ましくは30〜85%である。
以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好
ましく、例えば、ハイドロキノン、p −メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾ牛ノン、4.4’
−チオビス(3−メチル6−t−ブチルフェノール)、
2.2’ −メチレンビス(4−メチル−6−t−プチ
ルフエノル)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が
有用である。
ましく、例えば、ハイドロキノン、p −メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾ牛ノン、4.4’
−チオビス(3−メチル6−t−ブチルフェノール)、
2.2’ −メチレンビス(4−メチル−6−t−プチ
ルフエノル)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が
有用である。
通常市販の千ツマー中には、適量の熱重合防止剤が添加
されている。
されている。
光架橋型フォトポリマーとしては、例えば、特開昭51
−96696号に開示されているポリエステル化合物、
英国特許第1.112.277号、同第1.313.3
90号、同第1.341.004号、同第1,377.
747号、特開昭55−23941号等の各明細書に記
載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーなどが
含まれる。
−96696号に開示されているポリエステル化合物、
英国特許第1.112.277号、同第1.313.3
90号、同第1.341.004号、同第1,377.
747号、特開昭55−23941号等の各明細書に記
載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーなどが
含まれる。
該感光性組成物の有用な有機溶剤は、グリコールエーテ
ル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピル
セロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、プ
ロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルおよびそのアセテート系、すなわ
ち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、プロピルセロソルブアセテート、プロピレン
グリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリ
コールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルプロビルエーテルアセテートが有用である。また酢酸
エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテート
、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン系
では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、
アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリドン
、T−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であり、そ
れぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性体でも
よい。
ル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピル
セロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、プ
ロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルおよびそのアセテート系、すなわ
ち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、プロピルセロソルブアセテート、プロピレン
グリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリ
コールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルプロビルエーテルアセテートが有用である。また酢酸
エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテート
、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン系
では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、
アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリドン
、T−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であり、そ
れぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性体でも
よい。
溶液濃度は、3〜70%の範囲で利用できるが、より好
ましい範囲は、15〜50%である。
ましい範囲は、15〜50%である。
また色材は、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キサ
ンチン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン
系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロシ
アニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリレ
ン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例えば、
フタロシアニンブルー(C,I、ピグメントブルー15
:6またはC,I、ピグメントブルー15:3:例えば
、東洋インキ製造■製のリオノールブルーES、チバガ
イギー 社mのクロモブルーA3R)、フタロシアニン
グリーン(C,I。ピグメントグリーン7.36、また
は[,1,ピグメントグリーン37:例えば、東洋イン
キ製造■製のリオノールグリーン2YS)、ペリレン系
顔料(c、1.ピグメントレッド155、アントラキノ
ン系U料(C,I、ピグメントレッド177:例えば、
東洋インキ製造■製のリオノーゲンレッドGD、チバガ
イギー社製のクロモフタルレッドBRN)等が有用であ
り、更に色補正のためにC1I、ピグメントエロー83
、C61,ピグメントエロ−154:例えば、東洋イン
キ製造■製のりオノーゲンエロー30SC,1,ピグメ
ントバイオレット23:例えば、東洋インキ製造■製の
りオノーゲンバイオレッ)RL等が特に好ましい。該色
材は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感光性
組成物を製造する。
ンチン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン
系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロシ
アニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリレ
ン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例えば、
フタロシアニンブルー(C,I、ピグメントブルー15
:6またはC,I、ピグメントブルー15:3:例えば
、東洋インキ製造■製のリオノールブルーES、チバガ
イギー 社mのクロモブルーA3R)、フタロシアニン
グリーン(C,I。ピグメントグリーン7.36、また
は[,1,ピグメントグリーン37:例えば、東洋イン
キ製造■製のリオノールグリーン2YS)、ペリレン系
顔料(c、1.ピグメントレッド155、アントラキノ
ン系U料(C,I、ピグメントレッド177:例えば、
東洋インキ製造■製のリオノーゲンレッドGD、チバガ
イギー社製のクロモフタルレッドBRN)等が有用であ
り、更に色補正のためにC1I、ピグメントエロー83
、C61,ピグメントエロ−154:例えば、東洋イン
キ製造■製のりオノーゲンエロー30SC,1,ピグメ
ントバイオレット23:例えば、東洋インキ製造■製の
りオノーゲンバイオレッ)RL等が特に好ましい。該色
材は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感光性
組成物を製造する。
感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で5〜90
%であり、より好ましくは10〜60%である。
%であり、より好ましくは10〜60%である。
本発明の塗布方法によれば、支持体の幅方向両端部に発
生する塗布厚膜部の厚みを薄くでき、塗布膜の厚みを均
一化することができる。従って、本発明の方法によれば
極めて効率的に塗布ウェブ又は基板を生産することがで
きる。
生する塗布厚膜部の厚みを薄くでき、塗布膜の厚みを均
一化することができる。従って、本発明の方法によれば
極めて効率的に塗布ウェブ又は基板を生産することがで
きる。
よって、本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感光
材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料
、感圧記録紙、感熱記録紙等を効率的に製造できる。ま
た、半導体ウェハあるいはその製造に用いられるフォト
マスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダー
レジスト塗布あるいはガラス基板塗布等において、大サ
イズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても均一塗布
が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経済的にも
優れた塗布方法が提供される。
材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料
、感圧記録紙、感熱記録紙等を効率的に製造できる。ま
た、半導体ウェハあるいはその製造に用いられるフォト
マスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダー
レジスト塗布あるいはガラス基板塗布等において、大サ
イズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても均一塗布
が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経済的にも
優れた塗布方法が提供される。
又、本発明の方法をカラーフィルターの製造方法に適用
すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積に
ムラ無く塗布することができる。
すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積に
ムラ無く塗布することができる。
従って、本発明の方法によって、液晶カラーデイスプレ
ー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメージ
センサ−などが安価に且つ容易に製造できる。
ー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメージ
センサ−などが安価に且つ容易に製造できる。
次に実施例により本発明を説明する。
実施例1
第1図に示すバー塗布装置を用い、大きさ45cm X
45 cms厚さ1.1 mmのガラス基板上にフォ
トレジスト液を塗布した。バー2は12I[1I11径
のステンレス鋼に0.175mmの径のステンレスワイ
ヤーを巻き、端面は第5図に示すように同心円状のくぼ
みを45°の角度で設けたものを選んだ。尚、段の高さ
を2闘とした。基板の搬送速度およびワイヤーバーの回
転速度はいずれも3m/分とした。
45 cms厚さ1.1 mmのガラス基板上にフォ
トレジスト液を塗布した。バー2は12I[1I11径
のステンレス鋼に0.175mmの径のステンレスワイ
ヤーを巻き、端面は第5図に示すように同心円状のくぼ
みを45°の角度で設けたものを選んだ。尚、段の高さ
を2闘とした。基板の搬送速度およびワイヤーバーの回
転速度はいずれも3m/分とした。
この際、第4図に示すようにバ一端面におけるバーとガ
ラス板の接触部に向かってノズルより風を吹き付けた。
ラス板の接触部に向かってノズルより風を吹き付けた。
吹き出しノズルは内径0.9 mのパイプ、吹き出し方
向は2次側から1次側に向かって45°傾け、ノズルの
先端はバ一端面から約5ル離れるように設定した。風速
はノズル出口で15m/secとなるように風量を設定
した。塗布面の幅方向両端部はやはり第8図に示すよう
な厚塗りが発生したが、塗布エツジ部分の最大膜厚すは
中央部平均膜厚aの約3倍、平均膜厚の5%以内にはい
るための距n1は約10闘と改善された。
向は2次側から1次側に向かって45°傾け、ノズルの
先端はバ一端面から約5ル離れるように設定した。風速
はノズル出口で15m/secとなるように風量を設定
した。塗布面の幅方向両端部はやはり第8図に示すよう
な厚塗りが発生したが、塗布エツジ部分の最大膜厚すは
中央部平均膜厚aの約3倍、平均膜厚の5%以内にはい
るための距n1は約10闘と改善された。
実施例2
エツジ部分5田山の幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第6図に示すように、パーエツジ品分10乱
にわたってブレードを接触させながら、バーの端部にお
いてバーとガラス板の接触部に向かってノズルより風を
吹きつけた。吹き出しノズルは内径0.9 mmのバイ
ブ、吹き出し方向は45°外向き、ノズルの先端はバー
表面から約2、5 mm離れるように設定した。風速は
ノズル出口で15 m/secとなるように風量を設定
した。尚、これ以外の条件は実施例1と同様である。こ
のようにして塗布を行った結果塗布面の幅方向両端部に
はやはり第8図に示すような厚塗りが発生したが、塗布
エツジ部分の最大膜厚すは中央部平均膜厚aの約2倍、
平均膜厚の5%以内にはいるだめの距離1は約5m+n
と改善された。
ーを用い、第6図に示すように、パーエツジ品分10乱
にわたってブレードを接触させながら、バーの端部にお
いてバーとガラス板の接触部に向かってノズルより風を
吹きつけた。吹き出しノズルは内径0.9 mmのバイ
ブ、吹き出し方向は45°外向き、ノズルの先端はバー
表面から約2、5 mm離れるように設定した。風速は
ノズル出口で15 m/secとなるように風量を設定
した。尚、これ以外の条件は実施例1と同様である。こ
のようにして塗布を行った結果塗布面の幅方向両端部に
はやはり第8図に示すような厚塗りが発生したが、塗布
エツジ部分の最大膜厚すは中央部平均膜厚aの約2倍、
平均膜厚の5%以内にはいるだめの距離1は約5m+n
と改善された。
比較例1
第7図に示すようにエツジ部分になんらの対策も施さな
い方式を採用しない以外は実施例1と同様にして塗布を
おこなったところ、塗布面の幅方向両端部に第8図に示
すような厚塗りが発生し、塗布エツジ部分の最大膜厚す
は中央部平均膜厚aの約5倍、平均膜厚の5%以内には
いるための距離1は約25mmとなった。
い方式を採用しない以外は実施例1と同様にして塗布を
おこなったところ、塗布面の幅方向両端部に第8図に示
すような厚塗りが発生し、塗布エツジ部分の最大膜厚す
は中央部平均膜厚aの約5倍、平均膜厚の5%以内には
いるための距離1は約25mmとなった。
比較例2
エツジ部分5mmの幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第9図に示すように、バーエツジ部分10m
mにわたってブレードを接触させる方式を採用した以外
は実施例1と同様にして塗布を行ったところ、ブレード
によるバー表面液かきおとし効果により基板先端から約
30闘は塗布面の幅方向両端部には厚塗りが発生しない
が、それ以降徐々に厚塗りが発生し基板先端から50m
m以降では塗布エツジ部分での最大膜厚すは中央部平均
膜厚aの約4倍、平均膜厚の5%以内にはいるための距
離1は約15mmとなった。
ーを用い、第9図に示すように、バーエツジ部分10m
mにわたってブレードを接触させる方式を採用した以外
は実施例1と同様にして塗布を行ったところ、ブレード
によるバー表面液かきおとし効果により基板先端から約
30闘は塗布面の幅方向両端部には厚塗りが発生しない
が、それ以降徐々に厚塗りが発生し基板先端から50m
m以降では塗布エツジ部分での最大膜厚すは中央部平均
膜厚aの約4倍、平均膜厚の5%以内にはいるための距
離1は約15mmとなった。
第1図は本発明のバー塗布方法の概略図、第2図は第1
図の塗布装置の一部拡大断面図、第3図は段付きバーの
斜視図、第4rl!Jは別の形態の段付きバーの断面図
、第5図及び第6図は本発明の塗布方法を示す概略図、
第7図及び第9図は比較用の塗布方法を示す図、第8図
は塗布によって形成される膜厚分布を示す。 1・・・・基板、 2・・・・バー3・・・・
塗布液、 4・・・・給液孔、5・・・・堰部材
、 6・・・・バー支持部材、7・・・・塗膜
、 8・・・・液貯蔵部、9・・・・液溜り
、 10・・・・バー塗布装置、14・・・・バス
ロール、 15・・・・押圧ロール、16・・・・段
付きバー 21・・・・風吹き出しノズル、 22・・・・風吹き出しブロック、 23・・・・ブレード。 第4図 第6図 第7図 第9図 第5図 (A) (B) 第8図 (A) 手 続 補 正 書 (方式) 3、補正をする者 事件との関係 出 願 人 名 称 冨士写真フィルム株式会社 4、代 理 人 5、補正命令の日付 平成2年10月30日
図の塗布装置の一部拡大断面図、第3図は段付きバーの
斜視図、第4rl!Jは別の形態の段付きバーの断面図
、第5図及び第6図は本発明の塗布方法を示す概略図、
第7図及び第9図は比較用の塗布方法を示す図、第8図
は塗布によって形成される膜厚分布を示す。 1・・・・基板、 2・・・・バー3・・・・
塗布液、 4・・・・給液孔、5・・・・堰部材
、 6・・・・バー支持部材、7・・・・塗膜
、 8・・・・液貯蔵部、9・・・・液溜り
、 10・・・・バー塗布装置、14・・・・バス
ロール、 15・・・・押圧ロール、16・・・・段
付きバー 21・・・・風吹き出しノズル、 22・・・・風吹き出しブロック、 23・・・・ブレード。 第4図 第6図 第7図 第9図 第5図 (A) (B) 第8図 (A) 手 続 補 正 書 (方式) 3、補正をする者 事件との関係 出 願 人 名 称 冨士写真フィルム株式会社 4、代 理 人 5、補正命令の日付 平成2年10月30日
Claims (3)
- (1)回転するバーと接触しながら走行している支持体
の接触部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給
し、該バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗
布方法において、該バーの両端部のバー径を中央部のそ
れより細くすることによって、支持体の両サイドに未塗
布部分を設け、かつ塗布部におけるバーと支持体との接
触部の端部に風を吹き付けることを特徴とするバー塗布
方法。 - (2)塗布バーの有効塗布幅の両端部に、バーの表面の
1部に接触するブレードを設けて、両端部におけるバー
と支持体の接触部の直前の液溜り量を中央部のそれより
減らすことを特徴とする請求項(1)記載のバー塗布方
法。 - (3)塗布バーの両端面が略同心円状の窪みを有するこ
とを特徴とする請求項(1)記載のバー塗布方法。
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|---|---|---|---|
| JP20582490A JP2622895B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | バー塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP20582490A JP2622895B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | バー塗布方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0490871A true JPH0490871A (ja) | 1992-03-24 |
| JP2622895B2 JP2622895B2 (ja) | 1997-06-25 |
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ID=16513315
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|---|---|---|---|
| JP20582490A Expired - Fee Related JP2622895B2 (ja) | 1990-08-02 | 1990-08-02 | バー塗布方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2622895B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012238529A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Toyota Motor Corp | 塗工方法、及び塗液用ローラ |
| JP2018167197A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 富士フイルム株式会社 | バー塗布方法 |
| WO2022029861A1 (ja) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | 株式会社 東芝 | 塗布装置及び塗布方法 |
| WO2022054673A3 (ja) * | 2020-09-14 | 2022-05-05 | 正文 松永 | 塗布方法、燃料電池の製造方法または燃料電池、2次電池の製造方法または2次電池、全固体電池の製造方法または全固体電池 |
-
1990
- 1990-08-02 JP JP20582490A patent/JP2622895B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2022029861A1 (ja) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | 株式会社 東芝 | 塗布装置及び塗布方法 |
| JPWO2022029861A1 (ja) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | ||
| US12233432B2 (en) | 2020-08-04 | 2025-02-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Coating apparatus and coating method |
| WO2022054673A3 (ja) * | 2020-09-14 | 2022-05-05 | 正文 松永 | 塗布方法、燃料電池の製造方法または燃料電池、2次電池の製造方法または2次電池、全固体電池の製造方法または全固体電池 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2622895B2 (ja) | 1997-06-25 |
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