JPH0493686A - ビーム位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、シンクロトロン放射光のビーム位置を検出す
るためのビーム位置検出装置に関するものである。

［従来の技術］ シンクロトロン放射光は、輝度が高く、発散が小さく、
可視光からＸ線にわたる連続スペクトルを有するなどの
特徴をもち、リソグラフィー、化学的気相成長法、微小
領域元素分析やＸ線顕微鏡などの光源として広く用いら
れている。

しかし、シンクロトロン放射光は指向性か極めて高いた
め、該シンクロトロン放射光を利用する際には、そのビ
ーム位置を精密に検出する必要がある。

第８図はシンクロトロン放射光のビーム位置を検出する
ビーム位置検出装置の従来例の一つを示す図である。

このビーム位置検出装置では、真空中に置かれた電子蓄
積リング４０で発生されたシンクロトロン放射光をガラ
ス窓４１を通して大気中に導き、２次元配置された半導
体撮像素子（以下、ｒｃｃＤＪ　と称する。）４２に入
射させ、ＣＣＤ４２の各出力信号のうち該出力信号が最
大値を示す位置を検出回路４３で検出することにより、
前記シンクロトロン放射光のビーム位置を検出している
。

［発明か解決しようとする課題］ しかしながら、ＣＣＤ４２を用いてシンクロトロン放射
光のビーム位置を検出する上述した従来のビーム位置検
出装置では、第９図および第１０図に示すように波長が
長い成分はどその角度広かつか大きいという性質を有す
るシンクロトロン放射光の波長が長い可視光の成分のみ
を利用して、そのビーム位置を検出するため、位置検出
感度か小さいという欠点がある。

また、従来のビーム位置検出装置では、シンクロトロン
放射光の放射強度か極めて高いため、ＣＣＤ４２が温度
上昇や放射線損傷により性能劣化を起こしやすいという
欠点かある。

本発明の目的は、位置検出感度か犬きくかつ検出器の性
能劣化を伴わない、シンクロトロン放射光のビーム位置
を検出するビーム位置検出装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段］ 本発明のビーム位置検出装置は、 シンクロトロン放射光の光軸上に設けられた、該シンク
ロトロン放射光が照射されると第１および第２の蛍光Ｘ
線を前記光軸に対して対称な方向にそれぞれ放射する蛍
光Ｘ線放射体と、該蛍光Ｘ線放射体から放射される前記
第１の蛍光Ｘ線を検出する第１の検出器と、 前記シンクロトロン放射光の光軸に対して前記第１の検
出器と線対称になる位置に設けられた、前記第２の蛍光
Ｘ線を検出する第２の検出器と、前記第１および第２の
検出器の各出力信号により、前記シンクロトロン放射光
のビーム位置を求める演算回路とを有する。

ここで、前記蛍光Ｘ線放射体が、前記シンクロトロン放
射光の光軸上に角をもち、かつ該光軸に対して線対称と
なる三角形断面の棒状であってもよい。

この場合、前記雷光Ｘ線放射体の前記シンクロトロン放
射光の光軸上にある角が鋭角であり、前記第１および第
２の検出器が、前記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ
線放射体からの第１および第２の反射光の光軸と該シン
クロトロン放射光の光軸との間の空間にそれぞれ設けら
れていてもよいし、 前記蛍光Ｘ線放射体の前記シンクロトロン放射光の光軸
上にある角が鈍角であり、 前記第１および第２の検出器が、前記シンクロトロン放
射光の前記蛍光Ｘ線放射体からの第１および第２の反射
光の光軸と前記蛍光Ｘ線放射体との間の空間にそれぞれ
設けられていてもよい。

また、前記蛍光Ｘ線放射体が、中心が前記シンクロトロ
ン放射光の光軸上にある円形断面の棒状であってもよい
し、 前記蛍光Ｘ線放射体の内部に管が設けられており、肢管
に、冷却剤が循環させられていてもよい。

さらに、本発明のビーム位置検出装置は、シンクロトロ
ン放射光の光軸上に設けられた、該シンクロトロン放射
光が照射されると蛍光Ｘ線を放射する蛍光Ｘ線放射体と
、 該蛍光Ｘ線放射体から放射される前記蛍光Ｘ線を検出す
る検出器と、 前記シンクロトロン放射光の強度を検出する強度検出器
と、 前記検出器の出力信号と、前記強度検出器の出力信号に
より、前記シンクロトロン放射光のビーム位置を求める
演算回路とを有するものであってもよい。

ここで、前記蛍光Ｘ線放射体が、前記シンクロトロン放
射光の光軸上にある角が鋭角でかっ該光軸に対して線対
称となる三角形断面の棒状であり、 前記検出器が、前記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ
線放射体からの反射光の光軸と該シンクロトロン放射光
の光軸との間の空間に設けられていてもよいし、 前記蛍光Ｘ線放射体が、前記シンクロトロン放射光の光
軸上にある角が鈍角でかつ該光軸に対して線対称となる
三角形断面の棒状であり、前記検出器が、前記シンクロ
トロン放射光の前記蛍光Ｘ線放射体からの反射光の光軸
と前記蛍光Ｘ線放射体との間の空間に設けられていても
よい。

また、前記蛍光Ｘ線放射体の内部に管が設けられており
、 肢管に、冷却剤が循環させられていてもよい。

［作用コ シンクロトロン放射光の角度広がりはガウス分布で近似
することができ、シンクロトロン放射光を発生する電子
蓄積リングの電子軌道半径をＲ［ｍｌ、該シンクロトロ
ン放射光の波長をλ［ｎｍ］とすると、その分散の大き
さは、 λ ３Ｘ１０−’Ｘ（−）”３　　［ｒａｄｌで表わされる
。電子軌道半径Ｒ＝２［ｍｌのときのシンクロトロン放
射光の角度分布を求めると、たとえば第９図および第１
０図に示す角度分布が得られる。その結果、発光点から
１０　［ｍｌの距離でみた場合の可視光の角度広がりは
約１００　［ｍｍ］であるのに対して、波長λが０．１
［ｎｍ］のＸ線の角度広がりは約３（ｍｍｌｕかならな
いので、短波長のＸ線を用いれば、シンクロトロン放射
光のビーム位置を容易に高い精度で検出することができ
る。

ここで、ある波長の蛍光Ｘ線を発生させることができる
のは、その波長よりも短い波長のＸ線に限られるので、
シンクロトロン放射光を蛍光Ｘ線放射体に直接照射して
も、実質的にはその短波長成分のみが有効に作用して前
記蛍光Ｘ線が発生するため、該発生した蛍光Ｘ線を検出
すれば、高い精度でシンクロトロン放射光のビーム位置
を検出することができる。

したがって、蛍光Ｘ線放射体をシンクロトロン放射光の
光軸上に設け、該蛍光Ｘ線放射体から前記光軸に対して
対称な方向にそれぞれ放射される第１および第２の蛍光
Ｘ線を、第１の検出器と、前記光軸に対して該第１の検
出器と線対称になる位置に設けられた第２の検出器とに
よりそれぞれ検出し、該２つの検出器多出力信号から演
算回路で前記シンクロトロン放射光のビーム位置を求め
ることにより、前記蛍光Ｘ線放射体は前記シンクロトロ
ン放射光の短波長のＸ線成分の作用により前記２つの蛍
光Ｘ線を放射するので、精度よく該ビーム位置を検出す
ることができる。

ここで、前記蛍光Ｘ線放射体を前記シンクロトロン放射
光の光軸上に角をもち、かつ該光軸に対して線対称とな
る三角形断面の棒状とすることにより、該蛍光Ｘ線放射
体の前記光軸上の角を形成する２つの側面を用いて、第
１および第２の蛍光Ｘ線を互いに異なる方向に放射させ
ることができる。

この場合、前記蛍光Ｘ線放射体の前記シンクロトロン放
射光の光軸上にある角を鋭角としたときには、前記シン
クロトロン放射光の前記蛍光Ｘ線放射体からの第１およ
び第２の反射光の光軸と該シンクロトロン放射光の光軸
との間の空間に、方、前記角を鈍角としたときには、前
記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ線放射体からの第
１および第２の反射光の光軸と前記蛍光Ｘ線放射体との
間の空間に、前記第１および第２の検出器をそれぞれ設
けることにより、前記２つの反射光の影響を受けること
なく前記２つの蛍光Ｘ線を検出することかできるので、
検出精度を向上することかできる。

また、前記蛍光Ｘ線放射体を、中心が前記シンクロトロ
ン放射光の光軸上にある円形断面の棒状とすることによ
り、該蛍光Ｘ線放射体が前記シンクロトロン放射光の光
軸に対して捩れて設けられた場合でも前記シンクロトロ
ン放射光のビーム位置を正しく検圧することができる。

さらに、前記蛍光Ｘ線放射体の内部に管を設け、拡管に
冷却剤を循環させることにより、前記シンクロトロン放
射光が照射される前記蛍光Ｘ線放射体を積極的に冷却し
て、該蛍光Ｘ線放射体の温度上昇による変形や溶解など
の損傷を防止することができる。

本発明のビーム位置検出装置は、前記２つの蛍光Ｘ線を
検出する必要は必ずしもなく、シンクロトロン放射光の
光軸上に設けられた蛍光Ｘ線放射体から放射される蛍光
Ｘ線を検出器で検出し、前記シンクロトロン放射光の強
度を強度検出器で検出して、これらの検出結果より演算
回路て前記シンクロトロン放射光のビーム位置を求めて
も、同様にして精度よく前記ビーム位置を検出すること
かてきる。

この場合でも、前記蛍光Ｘ線放射体を前記シンクロトロ
ン放射光の光軸上に角をもち、かつ該光軸に対して線対
称となる三角形断面の棒状とするときには、前記検出器
を次のように設けることにより、前記シンクロトロン放
射光の反射光の影響を受けることなく前記蛍光Ｘ線を検
出させて、検出精度を向上することができる。すなわち
、前記蛍光Ｘ線放射体の前記光軸上の角か鋭角であると
きには、前記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ線放射
体からの反射光の光軸と該シンクロトロン放射光の光軸
と間の空間に、一方、前記蛍光Ｘ線放射体の前記光軸上
の角が鈍角であるときには、前記シンクロトロン放射光
の前記蛍光Ｘ線放射体からの反射光の光軸と前記蛍光Ｘ
線放射体との間の空間に、前記検出器を設ける。

また、前記蛍光Ｘ線放射体の内部に管を設け、拡管に冷
却剤を循環させることにより、シンクロトロン放射光が
照射される前記蛍光Ｘ線放射体を積極的に冷却して、該
蛍光Ｘ線放射体の温度上昇による変形や溶解などの損傷
を防止することもできる。

［実施例］ 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明のビーム位置検出装置の第１の実施例を
示す概略構成図である。

このビーム位置検出装置は、第１図に実線で示すシンク
ロトロン放射光の光軸上に設けられた、該シンクロトロ
ン放射光が照射されると第１および第２の蛍光Ｘ線（同
図に一点鎖線で示す）を前記光軸に対して対称な方向に
それぞれ放射する蛍光Ｘ線放射体である銅棒１と、銅棒
１から放射される前記第１の蛍光Ｘ線を検出する第１の
検出器２と、前記シンクロトロン放射光の光軸に対して
第１の検出器２と線対称になる位置に設けられた、前記
第２の蛍光Ｘ線を検出する第２の検出器３と、前記２つ
の検出器２．３の各出力信号により、前記シンクロトロ
ン放射光のビーム位置を求める演算回路４とを有する。

ここで、前記シンクロトロン放射光は、不図示の電子蓄
積リングにより発生される。また、演算回路４は、前記
２つの検出器２．３の各出力信号ａ、ｂの差ａ−ｂと該
多出力信号ａ、ｂの和ａ＋ｂとの比、すなわち −ｂ ａ＋ｂ を求めるものである。

さらに、蛍光Ｘ線放射体である銅棒１は、第２図に示す
ように前記シンクロトロン放射光の光軸上に角をもち、
かつ該光軸に対して線対称となる三角形断面の棒状の形
状を有するとともに、前記光軸上の角が鋭角なものであ
り、第１および第２の検出器２，３が、同図に実線で示
す前記シンクロトロン放射光の銅棒ｌからの第１および
第２の反射光（同図に実線で示す）の光軸と該シンクロ
トロン放射光の光軸との間の空間にそれぞれ設けられて
いる。

このビーム位置検出装置では、前記シンクロトロン放射
光が位置ずれを起こさずに正しく銅棒１を照射した場合
には、該シンクロトロン放射光は銅棒１の三角形断面の
前記光軸上の角に照射される。このとき、シンクロトロ
ン放射光の可視光成分を含むそのほとんどの成分は、銅
棒１の前記光軸上の角を形成する２つの側面で反射され
て第１および第２の反射光となるが、所定の短波長のＸ
線成分は、前記２つの側面で吸収されて、第１および第
２の蛍光Ｘ線が同じ量だけ前記シンクロトロン放射光の
光軸に対して対称にかつ互いに相反する方向にそれぞれ
放射される。したがって、この場合には第１および第２
の検出器２゜３で検出される第１および第２の蛍光Ｘ線
の量は同じであるため、該２つの検出器２．３の各出力
信号ａ、ｂは互いに等しくなり（ａ＝ｂ）、演算回路４
における演算結果は、 となる。

また、シンクロトロン放射光が位置ずれを起こし、その
中心が銅棒１の第１の検出器２側にずれた場合には、第
１の検出器２の出力信号ａは第２の検出器３の出力信号
すよりも大きくなる（ｍｏｂ）ため、演算回路４におけ
る演算結果は、 となる。

一方、シンクロトロン放射光の中心が銅棒１の第２の検
出器３側にずれた場合には、第１の検出器２の出力信号
ａは第２の検出器３の出力信号すよりも小さくなる（ａ
＜ｂ）ため、演算回路４における演算結果は、 となる。

したがって、演算回路４の出力信号とシンクロトロン放
射光のビーム位置との関係は、たとえば第３図に示すよ
うになるため、演算回路４の出力信号を監視することに
より、前記シンクロトロン放射光のビーム位置を精度よ
く検出することができる。

本実施例では、シンクロトロン放射光に比べて強度の小
さい、銅棒１により放射される第１および第２の蛍光Ｘ
線を第１および第２の検圧器２゜３で検出するため、該
各検出器２．３の温度上昇や放射線損傷による性能劣化
を防止することができる。

本実施例では、蛍光Ｘ線放射体として銅棒１を用いたが
、たとえばタングステン棒や金棒などのように短波長の
蛍光Ｘ線を放射するものを用いてもよい。ただし、いず
れを用いても波長が異なる複数の蛍光Ｘ線が放射される
ので、検出精度の低下を防ぐために、できるだけ波長の
短い蛍光Ｘ線を検出するように留意すべきである。すな
わち、たとえば銅棒１を用いた場合、放射される蛍光Ｘ
線は波長が０．１５［ｎｍ］であるに線のほが、波長が
１、３　［ｎｍｌのＬ線や波長が１７［ｎｍ］のＭ線な
どもあるため、第１および第２の検出器２，３の前に、
Ｋ線は約５０％透過するがＬ線およびＭ線などは７桁以
上減衰させる厚さ５０［μｍ］のアルミニウムのフィル
タをそれぞれ設けることにより、波長の短いに線のみを
第１および第２の検出器２．３で検出するようにすれば
よい。ただし、第１および第２の検圧器２，３として、
リチウムドリフト型シリコン検出器やリチウムドリフト
型ゲルマニウム検出器などのような光子検出型の半導体
検出器、または比例計数管のように波長分解能を有する
ものを用いる場合には、出力パルスの大きさで容易に弁
別できるため、前記フィルタは必ずしも必要ではない。

また、前記２つの検出器２．３の設置位置は、第１図に
示した位置に限らず、シンクロトロン放射光の光軸と銅
棒１との間の空間であればどこでもよい。その理由は、
前記２つの蛍光Ｘ線がその等方性により銅棒１の前記２
つの側面から同じ強度で前方のあらゆる方向に放射され
るためである。ただし、前記２つの反射光の影響を軽減
させるためには、本実施例のように蛍光Ｘ線放射体であ
る銅棒１の前記シンクロトロン放射光の光軸上にある角
が鋭角である場合には、前記２つの検出器２，３は、前
記シンクロトロン放射光の銅棒１からの第１および第２
の反射光の光軸と該シンクロトロン放射光の光軸との間
の広い空間にそれぞれ設けられていたほうがよい。

さらに、シンクロトロン放射光が照射される銅棒１の前
記光軸上の角の角度を大きくして、該銅棒１から放射さ
れる第１および第２の蛍光Ｘ線の放射方向を変えてもよ
いが、銅棒１の前記光軸上の角の角度を鈍角にする場合
には、第４図に示すようにシンクロトロン放射光の銅棒
１．からの第１および第２の反射光の光軸と銅棒１１と
の間の空間に、第１および第２の検出器２□、３．をそ
れぞれ設けたほうがよい。その理由は、前記２つの検出
器２．．３．を第２図の場合と同様にして設けると、該
２つの検出器２□、３１が第１および第２の蛍光Ｘ線を
ともに検出する可能性があるためである。

第５図は本発明のビーム位置検出装置の第２の実施例を
示す概略構成図である。

本実施例のビーム位置検出装置は、蛍光Ｘ線放射体とし
て三角形断面の銅棒１の代わりに円形断面の銅棒１１を
用いている点が、第１図に示した第１の実施例のものと
異なる。

ここで、円形断面の銅棒１１の太さは、第１および第２
の検出器１２．１３で検出される第１および第２の蛍光
Ｘ線を発生させるシンクロトロン放射光の角度広がりと
同程度かそれより細いことが望ましい。すなわち、たと
えば軌道半径２［ｍ］の電子蓄積リングで発生されるシ
ンクロトロン放射光を発光点から１０［ｍ］離れた銅棒
１１に照射して、銅棒１１から放射される蛍光Ｘ線であ
る波長が０．１５［ｎｍ］のに線を検出する場合には、
銅棒１１の太さとしては約３　［ｍｍ］が適当である。

また、第１および第２の蛍光Ｘ線を前記シンクロトロン
放射光の光軸に対して対称な方向にそれぞれ放射させる
ため、銅棒１１の円形断面の中心か前記光軸上にくるよ
うにする。

第１図に示した第１の実施例のように三角形断面の銅棒
１を用いた場合、銅棒１がシンクロトロン放射光の光軸
に対して捩れて設けられると、前記シンクロトロン放射
光の位置ずれが起きていないときでも第１および第２の
検出器２．３の各出力信号ａ、ｂが等しくなら・ず、前
記シンクロトロン放射光のビーム位置の検出を正しく行
うことができなくなる。しかし、本実施例のように円形
断面の銅棒１１を用いれば、たとえ銅棒１１がシンクロ
トロン放射光の光軸に対して捩れて設けられても、前記
シンクロトロン放射光の位置ずれが起きていないときの
第１および第２の検出器１２゜１３の各出力信号ａ、ｂ
は等しくなるため、前記ビーム位置の検圧を正しく行う
ことができる。

第６図は本発明のビーム位置検出装置の第３の実施例を
示す概略構成図である。

本実施例のビーム位置検出装置は、蛍光Ｘ線放射体とし
て三角形断面の銅棒１の代わりに矩形断面の銅棒２１を
用いている点、および銅棒２１の内部に冷却水用管２５
が設けられており、冷却水用管２５に冷却剤である冷却
水を循環させている点が第１図に示した第１の実施例の
ものと異なる。

すなわち、本実施例ては、強度が大きいシンクロトロン
放射光が矩形断面の銅棒２１に照射されると、そのエネ
ルギーの大部分は熱になり、温度上昇による変形や溶解
などの損傷が銅棒２１に生じる場合があるので、このよ
うな損傷を防止するため、銅棒２１の内部に冷却水用管
２５を設けて、銅棒２１を前記冷却水で積極的に冷却し
ている。

以上の説明では、各演算回路４．１４．２４は第１の検
出器２，１２．２２の出力信号ａと第２の検出器３，１
３．２３の出力信号すとを用いて、両者の差ａ−ｂと両
者の和ａ＋ｂとの比、すなわち、 −ｂ ａ＋ｂ を求めたが、前記各出力信号ａ、ｂのいずれか一方と該
多出力信号ａ、ｂの和ａ＋ｂとの比、すなわち、 を求めてもよい。

また、第１の検出器２．１２．２２と第２の検出器３，
１３．２３との感度に差があるときには、感度補正係数
ａ、βを予め求めておき、次に示すいずれかの比を求め
てよい。

第１の検出器２．１２．２２および第２の検出器３，１
３．２３としては、前述した半導体検圧器や比例計数管
のほかに、光電子増倍管などを用いてもよい。

第７図は本発明のビーム位置検出装置の第４の実施例を
示す概略構成図である。

このビーム位置検出装置は、シンクロトロン放射光の光
軸上に設けられた、該シンクロトロン放射光が照射され
ると蛍光Ｘ線を放射する蛍光Ｘ線放射体である銅棒３１
と、銅棒３１から放射される前記蛍光Ｘ線を検出する検
出器３２と、前記シンクロトロン放射光の強度をシンク
ロトロン電子ビーム電流値より検出する、不図示の電子
蓄積リングと接続された強度検出器３５と、検出器３２
の出力信号ａと強度検出器３５の出力信号Ｉとにより、
前記シンクロトロン放射光のビーム位置を求める演算回
路３４とを有する。

ここで、演算回路３４は、検出器３２の出力信号ａと強
度検出器３Ｓの出力信号Ｉとの比、すなわち、 ■ を求めるものである。

さらに、蛍光Ｘ線放射体である銅棒３１は三角形断面の
棒状の形状を有するとともに、第７図に示すように前記
シンクロトロン放射光の光軸上の角が鋭角なものてあり
、検圧器３２が、同図に実線で示す前記シンクロトロン
放射光の銅棒３１からの反射光（同図に実線で示す）の
光軸と該シンクロトロン放射光の光軸との間の空間に設
けられている。

このビーム位置検出装置は、第１図に示したもものと比
べて、前記蛍光Ｘ線を検圧するための検圧器が１個あれ
ばよいという利点がある。

本実施例においても、銅棒３１の前記光軸上の角を鈍角
としてもよいが、この場合には、検圧器３２の設定位置
は、第４図に示したものと同様にシンクロトロン放射光
の銅棒３１からの反射光の光軸と銅棒３１との間の空間
にしたほうがよい。

また、三角形断面の銅棒３１の代わりに、第５図に示し
たような円形断面の銅棒、あるいは第６図に示したよう
な矩形断面の銅棒２１を用いても、同様の効果が得られ
る。さらに、第６図に示したように、銅棒３１の内部に
冷却水用管を設け、該冷却水用管に冷却剤である冷却水
を循環させてもよい。

さらに、本実施例の場合には、前記蛍光Ｘ線は一方向に
放射されればよいので、蛍光Ｘ線放射体として、第７図
に示した三角形断面の銅棒３１の検出器３２側の側面と
同じ位置に置かれた銅板を用いてもよい。

本発明のビーム位置検出装置の他の実施例として、第１
図に示した２つの検出器２，３の各出力信号の差とシン
クロトロン放射光の強度との比を演算回路で演算するこ
とにより、前記シンクロトロン放射光のビーム位置を検
出するものなどが考えられる。

［発明の効果］ 本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏する。

シンクロトロン放射光が照射されると第１および第２の
蛍光Ｘ線を放射する蛍光Ｘ線放射体を該シンクロトロン
放射光の光軸上に設け、該蛍光Ｘ線放射体から放射され
る前記第１および第２の蛍光Ｘ線を第１および第２の検
出器でそれぞれ検出し、該２つの検出器の各出力信号か
ら演算回路で前記シンクロトロン放射光のビーム位置を
求めることにより、該シンクロトロン放射光中の角度広
がりが小さい短波長成分のみで前記ビーム位置を検出す
ることができるので、その位置検出感度を大きくするこ
とができるという効果がある。また、蛍光Ｘ線はシンク
ロトロン放射光に比べ強度が小さいので、検出器の性能
劣化も防止することができるという効果がある。

また、前記蛍光Ｘ線放射体の内部に管を設け、拡管に冷
却剤を循環させることにより、シンクロトロン放射光が
照射される前記蛍光Ｘ線放射体を積極的に冷却して、該
蛍光Ｘ線放射体の温度上昇による変形や溶解などの損傷
を防止することがてきるといつ効果がある。

さらに、シンクロトロン放射光の光軸上に設けられた蛍
光Ｘ線放射体から放射される蛍光Ｘ線を検出器で検出し
、前記シンクロトロン放射光の強度を強度検圧器で検出
して、これらの検出結果より演算回路で前記シンクロト
ロン放射光のビーム位置を求めても、同様にして精度よ
く前記ビーム位置を検圧することができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のビーム位置検出装置の第１の実施例を
示す概略構成図、第２図は第１図に示した２つの検出器
の設定位置を示す図、第３図は演算回路の出力信号とシ
ンクロトロン放射光のビーム位置との関係の一例を示す
グラフ、第４図はシンクロトロン放射光が照射される銅
棒の三角断面の角の角度が鈍角である場合の２つの検出
器の設定位置を示す図、第５図は本発明のビーム位置検
出装置の第２の実施例を示す概略構成図、第６図は本発
明のビーム位置検出装置の第３の実施例を示す概略構成
図、第７図は本発明のビーム位置検出装置の第４の実施
例を示す概略構成図、第８図はシンクロトロン放射光の
ビーム位置を検出するビーム位置検出装置の従来例の一
つを示す図、第９図は可視光の角度広がりの一例を示す
グラフ、第１０図はＸ線の角度広がりの一例を示すグラ
フである。 １．１．．１１．２１．３１　　・・・　銅棒、２．２
１．１２．２２　　・・・　第１の検出器、３．３．．
１３．２３　　・・・　第２の検出器、４．１４．２４
．３４　　・・・　演算回路、２５　・・・　冷却水用
管、 ３２　・・・　検出器、 ３５　・・・　強度検出器、 ａ、ｂ、Ｉ　　・・・　出力信号、 λ　・・・　波長。 特許出願人　　キャノン株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、シンクロトロン放射光の光軸上に設けられた、該シ
   ンクロトロン放射光が照射されると第１および第２の蛍
   光Ｘ線を前記光軸に対して対称な方向にそれぞれ放射す
   る蛍光Ｘ線放射体と、該蛍光Ｘ線放射体から放射される
   前記第１の蛍光Ｘ線を検出する第１の検出器と、 前記シンクロトロン放射光の光軸に対して前記第１の検
   出器と線対称になる位置に設けられた、前記第２の蛍光
   Ｘ線を検出する第２の検出器と、前記第１および第２の
   検出器の各出力信号により、前記シンクロトロン放射光
   のビーム位置を求める演算回路とを有するビーム位置検
   出装置。 ２、蛍光Ｘ線放射体が、シンクロトロン放射光の光軸上
   に角をもち、かつ該光軸に対して線対称となる三角形断
   面の棒状であることを特徴とする請求項第１項記載のビ
   ーム位置検出装置。 ３、蛍光Ｘ線放射体のシンクロトロン放射光の光軸上に
   ある角が鋭角であり、 第１および第２の検出器が、前記シンクロトロン放射光
   の前記蛍光Ｘ線放射体からの第１および第２の反射光の
   光軸と該シンクロトロン放射光の光軸との間の空間にそ
   れぞれ設けられていることを特徴とする請求項第２項記
   載のビーム位置検出装置。 ４、蛍光Ｘ線放射体のシンクロトロン放射光の光軸上に
   ある角が鈍角であり、 第１および第２の検出器が、前記シンクロトロン放射光
   の前記蛍光Ｘ線放射体からの第１および第２の反射光の
   光軸と前記蛍光Ｘ線放射体との間の空間にそれぞれ設け
   られていることを特徴とする請求項第２項記載のビーム
   位置検出装置。 ５、蛍光Ｘ線放射体が、中心がシンクロトロン放射光の
   光軸上にある円形断面の棒状であることを特徴とする請
   求項第１項記載のビーム位置検出装置。 ６、蛍光Ｘ線放射体の内部に管が設けられており、 該管に、冷却剤が循環させられていることを特徴とする
   請求項第１項乃至第５項いずれかに記載のビーム位置検
   出装置。 ７、シンクロトロン放射光の光軸上に設けられた、該シ
   ンクロトロン放射光が照射されると蛍光Ｘ線を放射する
   蛍光Ｘ線放射体と、 該蛍光Ｘ線放射体から放射される前記蛍光Ｘ線を検出す
   る検出器と、 前記シンクロトロン放射光の強度を検出する強度検出器
   と、 前記検出器の出力信号と前記強度検出器の出力信号とに
   より、前記シンクロトロン放射光のビーム位置を求める
   演算回路とを有するビーム位置検出装置。 ８、蛍光Ｘ線放射体が、シンクロトロン放射光の光軸上
   にある角が鋭角でかつ該光軸に対して線対称となる三角
   形断面の棒状であり、 検出器が、前記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ線放
   射体からの反射光の光軸と該シンクロトロン放射光の光
   軸との間の空間に設けられていることを特徴とする請求
   項第７項記載のビーム位置検出装置。 ９、蛍光Ｘ線放射体が、シンクロトロン放射光の光軸上
   にある角が鈍角でかつ該光軸に対して線対称となる三角
   形断面の棒状であり、 検出器が、前記シンクロトロン放射光の前記蛍光Ｘ線放
   射体からの反射光の光軸と前記蛍光Ｘ線放射体との間の
   空間に設けられていることを特徴とする請求項第７項記
   載のビーム位置検出装置。 １０、蛍光Ｘ線放射体の内部に管が設けられており、 該管に、冷却剤が循環させられていることを特徴とする
   請求項第７項乃至第９項いずれかに記載のビーム位置検
   出装置。