JPH0494207A - Ｓａｗ共振器フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〉 本発明は、弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ　　Ａｃｏｕｓ
ｔｉｃ　　Ｗａｖｅ；５ＡＷ）を用いたＳＡＷ共振器フ
ィルタの構造に関するものである。

（従来の技術） 従来、高周波領域に使用するＳＡＷフィルタとして、例
えばＵＨＦ／ＶＨＦ帯の無線機等の通信装置に使用され
帯域幅が広帯域のフィルタについては、トランスバーサ
ル型が主に用いられている。

近年、通信装置等の小型化に伴い、フィルタの小型化が
更に要求され、特に狭帯域で安定かつ低挿入損失を有す
るＳＡＷ共振器フィルタが注目されている。そのＳＡＷ
共振器フィルタの一構成例を第２図（ａ）、（ｂ）に示
す。

第２図（ａ）、（ｂ）は、従来のＳＡＷ共振器フィルタ
を説明するための図であり、同図（ａ＞は従来の２重モ
ードＳＡＷ共振器フィルタの構成図、同図（ｂ）は同図
（ａ＞における変位分布図である。

このＳＡＷ共振器フィルタ、即ち２重モードＳＡＷ共振
器フィルタは、圧電基板１を有し、その圧電基板１上に
は、ＳＡＷ共振器２，３が形成されている。ＳＡＷ共振
器２は、電極指２ａ−１を有するインターディジタルト
ランスジューサ（以下、ＩＤＴという）２ａと反射器２
ｂ、２ｃとで構成され、ＳＡＷ共振器３は、ＳＡＷ共振
器２と同一の構成でしかもＳＡＷ共振器２に対して並列
に近接配置されるものであり、電極指３ａ−１を有する
ＩＤＴ３ａと反射器３ｂ、３ｃとで構成されている。さ
らに、ＳＡＷ共振器２のＩＤＴ２ａには、電気信号を入
力する入力端子４ａ、４ｂが接続され、ＳＡＷ共振器３
のＩＤＴ３ａには、電気信号を出力する出力端子５ａ、
５ｂが接続されている。

次に、以上のように構成されるＳＡＷ共振器フィルタの
動作を第３図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）を参照しつつ説明
する。

第３図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は、第２図中のＳＡＷ共
振器の特性を説明するための図であり、同図（ａ）は第
２図中のＳＡＷ共振器の電極構成図、同図（ｂ）は伝搬
方向の変位分布図、同図（Ｃ）は伝搬方向に直交する方
向の変位分布図である。なお、図中、ψは変位を示すパ
ラメータであるスカラーポテンシャルを表わしている。

このＳＡＷ共振器フィルタでは、入力端子４ａ。

４ｂを介してＩＤＴ２ａに電気信号が入力されると、Ｉ
ＤＴ２ａの電極指２ａ−１間に電界が生じて電極指２ａ
−１下の圧電基板１に弾性表面波（以下、ＳＡＷという
）が励振される。そのＳＡＷは、電極指２ａ−１と垂直
に圧電基板１を左右に伝搬し、反射器２ｂ、２ｃで反射
されて、その２つの反射器２ｂ及び２０間で反射を繰り
返して定在波となり、そのエネルギーが反射器２ｂ及び
２０間に閉じ込められる。

この時、ＳＡＷ共振器２の伝搬方向（縦方向）、即ち第
２図中に示したＸ方向には、キャビティが構成され、第
３図（ｂ）において（ｉ）、（酉）、（ｉｉｉ）で示す
ような１次、２次、３次の変位を有する共振モードが励
起される。また、伝搬方向に対して直交する方向（横方
向）、即ち第２図中に図示したＺ方向には、第３図（ｃ
）において（Ｉ）（ＩＩ）、（ＩＩＩ）で示すような１
次、２次、３次の変位を有するモードが励起される。こ
のＺ方向では、電極指２ａ−１が互いに交差する領域Ａ
とその両側の領域ＢとでＳＡＷの伝搬速度が異なり、領
域Ａで電極指２ａ−１による反射と摂動によりＳＡＷの
伝搬速度がその両側の領域Ｂより低下し、いわゆる弾性
波導波路を構成する。

ＳＡＷ共振器２の反射器２ｂ及び２０間にＳＡＷのエネ
ルギーが閉じ込められると、ＳＡＷ共振器２及び３はそ
の間の間層が十分に小さい場合にいわゆる２重モードＳ
ＡＷ共振器として機能し、ＳＡＷ共振器２及び３間に音
響結合が生して、第２図（ｂ）に示すような２つの共振
モード、即ち対称モードと反対称モードが励起される。

一方の対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２゜３がその
中心に対して対称な変位分布を持つものであり、他方の
反対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２，３がその中心
に対して点対称な変位分布を持つものである。ＳＡＷ共
振器２及び３間に音響結合が生しると、その音響結合に
より、ＩＤＴ３ａの電極指３ａ−１間に所望の中心周波
数ｆ。を通過帯域中に含む周波数特性を有する電気信号
が励起されて出力端子５ａ、５ｂに出力される。

次に、以上のように動作するＳＡＷ共振器フィルタの特
性について解析する。

このＳＡＷ共振器フィルタについて、第２図（ａ）に示
すような５つの領域１〜■からなる弾性表面波導波路モ
デルを用いて解析すると、領域ＩＩ、　ＩＶは低速度領
域、領域Ｉ、ＩＩＩ、Ｖは高速度領域であることが分か
る。また、領域ＩＩＩは２つのＳＡＷ共振器２．３の音
響結合領域である。さらに、第２図中、各領域Ｉ、Ｖの
幅をＢ、領域ＩＩＩＶの幅をＷ、領域ＩＩＩの幅をＧと
し、ＳＡＷの伝搬方向をＸ方向、これと直交する方向を
Ｚ方向として、圧電基板１を均一な等方向性物質と仮定
すると、ＳＡＷの伝搬は、低速度領域におけるスカラー
ポテンシャルψ５、高速度領域におけるスカラーポテン
シャルψｆを用いて次式（１）、（２＞のように表わさ
れる。

・・・（１） ｋｆｗ 二こで、■３、■ｆは、各々低速度領域、高速度領域に
おけるＳＡＷの伝搬速度、ωは共振角周波数である。

（１）、（２）式での境界条件を、各境界において変位
及び応力が連続であること、及び最外端で力が加わらな
いこととし、外側の高速領域の幅Ｂが十分に広いと仮定
して、（１）、（２〉式を解くと次式（３）、（４）が
得られる。

ｋ、Ｗ＝ ・・・（３） 但し、 である。

ここで、（３）式は、領域ＩＩ、　ＩＶの変位を同一方
向とした場合、即ち対称モードに対応し、（４）式は、
領域Ｉ１．　ＩＶの変位を逆方向とした場合、即ち反対
称モードに対応する。また、各式（３）（４）中の■は
各モードにおけるＳＡＷの伝搬速度である。

以上のように解析される２重モードＳＡＷ共振器フィル
タの等価回路を第４図に示す。ここで、第４図は、第２
図中の２重モードＳＡＷ共振器フィルタの等価回祁の回
路図である。

この等価回路は、入力端子４ａ、４ｂと出力端子５ａ、
５ｂの間に等価的に設定される、対称共振モードにおけ
る共振周波数ｆｓ、等価インダクタンスＬＳ、等価キャ
パシタンスＣ３、及び等価抵抗Ｒｓと、反対称共振モー
ドにおける共振周波数ｆａ、等価インダクタンスＬａ　
、等価キャパシタンスＣａ、及び等価抵抗Ｒａとで表わ
される。

ここで、Ｌｆ　＝Ｌａであり、Ｒａ≧Ｒ３である。

また、ｃｏは各ＳＡＷ共振器２．３の並列キャパシタン
スである。この等価回路は、回路理論により第５図に示
すように等価変換される。

第５図は、第４図の等価回路から等価変換されたラダー
回路の回路図である。

このラダー回路は、入力端子４ａ、４ｂと出力端子５ａ
、５ｂの間に等価的に設定されるもので、第５図中のイ
ンダクタンス成分Ｌ１はＬ１＝ＬＳ＝Ｌａの関係を満た
し、抵抗成分Ｒ１は、Ｒ１＝Ｒ３＝Ｒａの関係を、キャ
パシタンス成分ｃｍは、１／Ｃｍ　＝１／Ｃａ−１／Ｃ
ｓの関係をそれぞれ満たすものである。このラダー回路
では、無極型のフィルタとして第６図に示すようなフィ
ルタ特性が得られる。なお、第６図は４次フィルタのス
プリアスレスポンスと対応する変位分布を併記した第５
図でのフィルタ特性図である。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記構成のＳＡＷ共振器フィルタでは、
次のような課題があった。

従来のＳＡＷ共振器フィルタでは、第６図のフィルタ特
性図から分かるようにフィルタ通過帯域の両側にスプリ
アスが存在する。第２図（ａ）の構造のＳＡＷ共振器フ
ィルタにおいて、このスプリアスの状態を調べてみると
、従来のＳＡＷ共振器フィルタでは、ＳＡＷの伝搬のみ
を利用しているが、バルク波の振動も電極下に閉じ込め
られるため、バルク波によるスプリアスが顕著に表われ
、フィルタの特性に多大な悪影響を及ぼしている。

また、Ｚ方向及びＸ方向のＳＡＷの伝搬について注目し
、スプリアスの状態を調べると、２方向については、２
次モード以外の偶数次モードは、■ＤＴ電極電極量荷の
相殺が起こりレスポンスは表れない。また、高次モード
は次数の増加と共にその共振周波数が上昇する。一方、
Ｘ方向の高次共振モードでは、次数が増加するに従って
その共振周波数は低下する。

このように、従来のＳＡＷ共振器フィルタでは、−船釣
に一枚の圧電基板上にＩＤＴと反射器からなるＳＡＷ共
振器を複数個設けてエネルギー閉じ込め形のフィルタを
実現しているため、バルク波モードによるスプリアス、
Ｚ方向伝搬の高次スプリアスモード、Ｘ方向伝搬による
高次スプリアスモードの各スプリアスにより減衰域にお
ける減衰特性に劣化が生じてしまう。

本発明は、バルク波モードによるスプリアスによりスプ
リアス特性に劣化が生じ、Ｘ方向及びＺ方向伝搬の高次
スプリアスモードが重なってフィルタ特性が大幅に劣化
してしまう点について解決したＳＡＷ共振器フィルタを
提供するものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は、前記課題を解決するなめに、−枚の圧電基板
と、前記圧電基板上に並列配置された少なくとも入力用
及び出力用を含む複数個のＳＡＷ共振器とを備え、前記
ＳＡＷ共振器がインターディジタルトランスジューサ及
び反射器で構成され、特定の通過帯域を有するＳＡＷ共
振器フィルタにおいて、前記ＳＡＷ共振器間における前
記圧電基板の所定位置に、前記通過帯域外のスプリアス
に応じて該所定位置における圧電基板の厚みを設定する
スリットを設けて構成したものである。

（作用〉 本発明によれば、以上のようにＳＡＷ共振器フィルタを
構成したので、スリットは、該スリットを設けた所定位
置における圧電基板の厚みを他の部分の圧電基板の厚み
よりも薄く設定して、該スリットを通過するバルク波の
エネルギーを減衰させるように働く。即ち、圧電基板を
伝搬するバルク波は、通常該圧電基板の板厚、形状等に
よりその伝搬特性が決定され、複数のＳＡＷ共振器の各
々と同一の振動を行いながら伝搬していく。ところが、
そのバルク波が前記スリットを通過すると、そのスリッ
トでは、前記所定位置の形状に応じて前記圧電基板の板
厚が実質的に変化しているため、構造的にバルク波の伝
搬が阻止されると共に、バルク波の伝搬特性が変化する
。したがって、スリット自体によってバルク波のエネル
ギーが減衰すると共に、スリットを通過することでバル
ク波の伝搬特性が変化するために伝搬特性が異なるバル
ク波同志の打ち消し合いが生じたり、あるいは伝搬した
先のＳＡＷ共振器と振動状態が異なってろ波されたりし
て、出力用のＳＡＷ共振器へ前記バルク波が到達するの
が防止される。

また、前記スリットは、バルク波の伝搬を抑止すると共
に、バルク波の場合とほぼ同様にしてスリットに達する
ＳＡＷの高次スプリアスモードを減衰させるように働く
。

したがって、前記課題を解決できるのである。

（実施例） 第１図（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施例を示すＳＡＷ
共振器フィルタの構成図であり、同図（ａ＞は平面図、
同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図である。

このＳＡＷ共振器フィルタは、例えば水晶からなる一枚
の圧電基板１１を有している。圧電基板１１上には、入
力用のＳＡＷ共振器１２と、ＳＡＷ共振器１２に対して
ギャップＧ１隔てたＳＡＷ共振器１３と、ＳＡＷ共振器
１３に対してギャップＧ２隔てたＳＡＷ共振共振器上４
ＳＡＷ共振器１４に対してギャップＧ３隔てた出力用の
ＳＡＷ共振器１５とが、それぞれ２方向に沿って並列配
置されている。ＳＡＷ共振器１２は、ＩＤＴ１２ａと、
その両側にＸ方向に沿って配置された反射器１２ｂ、１
２ｃとで構成されており、ＳＡＷ共振器１３，１４．１
５についても同様に、ＳＡＷ共振器１３がＩＤＴ１３ａ
及び反射器１３ｂ、１３ｃで、ＳＡＷ共振器１４がＩＤ
Ｔ１４ａ及び反射器１４ｂ、１４ｃで、ＳＡＷ共振器１
５がＩＤＴ１５ａ及び反射器１５ｂ、１５ｃでそれぞれ
構成されている。

ＳＡＷ共振器１３及び１４間のギャップＧ２には、本実
施例の特徴であるスリット１６が設けられている。この
スリット１６は、圧電基板１１をその表面から深さ方向
に圧電基板１１の厚み（板厚）の１重２程度ダイシング
して直線状に構成されている。

さらに、入力用のＳＡＷ共振器１２のＩＤＴｌ２ａは、
入力端子１７ａ、１７ｂにワイヤボンディングされ、出
力用のＳＡＷ共振器１５のＩＤＴ１５ａは、出力端子１
８ａ、１８ｂにワイヤボンディングされており、またＳ
ＡＷ共振器１３及び１４間は、例えばワイヤボンディン
グにより接続されている。なお、アース系については説
明を省略している。

以上のように構成されるＳＡＷ共振器フィルタは、例え
ば次のようにして複数個同時に製造される。

先ず、ウェハ状の圧電基板１１表面にＡｆＪ等の金属膜
を蒸着あるいはスパッタ等により堆積した後、その金属
膜上にレジストを被着する。そして、レジストを露光、
現像してレジストパターンを形成し、そのレジストパタ
ーンをマスクにしてエツチング液で金属膜をエツチング
し、所定形状の■ＤＴ１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ
及び反射器１２ｂ　　１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１４ｂ
、１４ｃ、１５ｂ、１５ｃをそれぞれ複数個分形成する
。

その後、不要なレジストパターンの除去を行い、ウェハ
状の圧電基板１１をチップ単位にカッティングすれば、
単体のＳＡＷ共振器フィルタが製造される力板このカッ
ティングの際にＳＡＷ共振器１３及び１４間における圧
電基板１１をその圧電基板１１の板厚の１重７２程度の
深さダイシングして各スリット１６を形成する。その後
配線等を行えば、ＳＡＷ共振器フィルタの製造が終了す
る。

以上のようなＳＡＷ共振器フィルタは、次のように動作
する。

入力端子１７ａ、１７ｂを介してＳＡＷ共振器フィルタ
に入力された電気信号は、入力用のＳＡＷ共振器１２の
ＩＤＴ１２ａに入力される。すると、その電気信号は、
ＩＤＴ１２ａにより、圧電基板１１に励起されるＳＡＷ
に変換される。このＳＡＷは、両方向性であるため、Ｉ
ＤＴ１２ａの左右をＸ方向に伝搬し、反射器１２ｂ、１
２ｃへ到達する。反射器１２ｂ、１２ｃへ到達したＳＡ
Ｗは、圧電基板１１を水晶等の圧電材料で構成したため
の摂動により、反射器１２ｂ、１２ｃにより反射されて
、反射器１２ｂ、ＩＤＴ１２ａ、及び反射器１２ｃの間
に閉じ込められる。したがって、圧電基板１１上に並列
配置されたＳＡＷ共振器１２．１３，１４．１５は、２
重モードＳＡＷ共振器として機部する。

ＳＡＷ共振器１２にＳＡＷのエネルギーが閉じ込められ
ると、そのＳＡＷはギャップＧ１を介して隣り合ったＳ
ＡＷ共振器１３と音響結合をする。

この音響結合により、ＳＡＷ共振器１３のＩＤＴ１３ａ
に電気信号が生じ、その電気信号はワイヤボンディング
によってＳＡＷ共振器１４のＩＤＴ１４ａに伝わる。す
ると、ＩＤＴ１４ａ下の圧電基板１１にＳＡＷが励起さ
れ、そのＳＡＷのエネルギーがＳＡＷ共振器１４に閉じ
込められて、そのＳＡＷによってＳＡＷ共振器１４及び
１５間に音響結合が生じる。これにより、ＳＡＷ共振器
１５のＩＤＴ１５ａに所定の中心周波数ｆ。を含む特定
の通過帯域の周波数を有する電気信号が励起されその電
気信号が出力端子１８ａ、１８ｂへ出力される。ここで
、このＳＡＷ共振器フィルタでは、Ｚ方向伝搬の波は２
重モード以外の偶数次は伝搬しないが、Ｘ方向伝搬の波
は、一般に低域側に多くのスプリアスが発生する。とこ
ろが、このＸ方向伝搬のスプリアスは、そのＸ方向伝搬
の波がスリット１６を通過する際に除去される。さらに
、Ｚ方向伝搬での高次スプリアスモードについてもスリ
ット１６により除去される。

また、圧電基板１１上に形成されたＩＤＴ１２ａ、１３
ａ等の電極下には、ＳＡＷの他にバルク波が発生する。

このバルク波は、圧電基板１１の板厚や形状等により決
まる伝搬特性を持っている。

ＳＡＷ共振器１２．１３の音響結合に付随して生じたバ
ルク波は、スリット１６に達すると、先ずスリット１６
自体によりエネルギーが減衰する。

さらに、スリット１６を通過したバルク波は、スリット
１６で圧電基板１１の厚みが他の部分での厚みの１／２
程度になっているために、その伝搬特性が変化する。こ
の伝搬特性が変化したバルク波はＳＡＷ共振器１４．１
５と振動状態が合わなくなり、ＳＡＷ共振器１４．１５
と同一の振動で伝搬することができず、また、ＳＡＷ共
振器１４゜１５の音響結合で生じるバルク波との間の伝
搬特性の違いにより双方が打ち消し合い、エネルギーが
さらに減衰する。

本実施例では、次のような利点を有している。

（Ａ＞本実施例のＳＡＷ共振器フィルタでは、スリット
１６を設けたことにより、ＳＡＷ共振器１２．１３の電
極によるバルク波がスリット１６を通過する際にそのエ
ネルギーが減衰されたり、通過後バルク波振動が抑圧さ
れたりするため、出力用のＳＡＷ共振器１５に到達する
バルク波のエネルギーが大幅に低減される。また、スリ
７１−１６によりＳＡＷの高次モードのスプリアスが除
去される。従って、本実施例のＳＡＷ共振器フィルタで
は、通過帯域外の減衰域におけるスプリアスを除去する
ことができ、減衰域の減衰量を向上させることができる
。本実施例の構成によれば、そのＳＡＷ共振器フィルタ
のフィルタ特性として第７図に示すものが得られる。な
お、第７図は、第１図のＳＡＷ共振器フィルタでのフィ
ルタ特性図である。この図から分かるように、従来の第
６図に示したフィルタ特性を有するＳＡＷ共振器フィル
タに比べて、本実施例のＳＡＷ共振器フィルタでは、通
過帯域外の減衰域におけるスプリアスが除去され、減衰
特性を著しく向上させることができる。

（Ｂ）本実施例では、スリット１６を挟んで両側のＳＡ
Ｗ共振器１２．１３とＳＡＷ共振器１４゜１５とが対称
的な構造となるようにスリット１６の配置を設定してい
るので、安定した周波数特性を得やすく、さらにはその
周波数特性の調整が容易になるなどの利点が得られる。

（Ｃ）本実施例では、スリット１６の深さを圧電基板１
１の厚みの１／２程度に設定した。そのため、圧電基板
１１をベースとしたＳＡＷ共振器フィルタの構造上の機
械的強度を確保しつつ、バルク波モード、及びＳＡＷの
高次スプリアスモードを可能な限り効果的に除去してス
プリアス特性を改善する上で最適な効果が得られる。さ
らには、ダイシング等の加工がしやすく加工性に優れ、
また機械的強度が確保されることにより、組み立てが行
いやすくなると共に、実装構造の自由度が大きくなると
いう相乗効果も得られる。

なお、本発明は、図示の実施例に限定されず、種々の変
形が可能である。その変形例としては、例えば次のよう
なものがある。

（Ｉ＞上記実施例のＳＡＷ共振器フィルタにおいては、
圧電基板１１、ＳＡＷ共振器１２〜１５、及びスリット
１６等の構造、材質、設計寸法、及び製造方法等の変更
が可能である。

■　圧電基板１１は、水晶以外にも、例えばタンタル酸
リチウム（Ｌ　ｉ　Ｔ　ａ　０３　＞やニオブ酸リチウ
ム（Ｌ　ｉ　ＮｂＯ３＞などの圧電材料により構成して
もよく、その場合にも上記実施例と同様の作用、効果が
得られる。

■　ＳＡＷ共振器１２−＞１５は、その平面形状、ある
いはＩＤＴ１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ及び反射器
１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１４ｂ、１４ｃ、１
５ｂ、１５ｃの構成の変形が可能である。また、上記実
施例では４個のＳＡＷ共振器１２〜１５を用いて構成し
たが、その数はすくなくとも入力用及び出力用を含むも
のであれば、フィルタ特性や挿入損失等を考慮し、用途
に応じて適宜変更が可能である。

■　スリット１６は、深さ、形成位置、平面形状、断面
形状、個数、及び形成方法等の変更が可能である。例え
ばその深さは、圧電基板１１の強度の低下を招かず、か
つ通過帯域外のスプリアスが最も減衰するものであれば
よく、スリット１６の設計条件等に応じて適宜変更可能
である。その形成位置は、上記実施例ではＳＡＷ共振器
１２〜１５と同一面側に形成する構成にしたが、例えば
ＳＡＷ共振器１２〜１５と反対面側のＳＡＷ共振器１２
〜１５間の所定位置に設ける構成にしてもよい。その平
面形状は、必ずしも直線状である必要はない。その断面
形状は、深さがスリット１６の長手方向に変化する構成
でもよい。その個数は、複数でもよく、例えばギャップ
Ｇ１及び０３等にも設ける構成にしてもよいしまた必要
に応じ機械的強度の劣化等が生じないようにして圧電基
板１１の両面の所定位置に設ける構成にしてもよい。

その形成方法は、上記実施例のものに限定されるもので
はなく、例えばダイシング以外の方法で形成してもよい
。

（ＴＩ）上記実施例のＳＡＷ共振器フィルタは、通信装
置を含む種々の装置に幅広く適用が可能である。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば、圧電基板
上に並列配置されたＳＡＷ共振器間ｔこおける前記圧電
基板の一部にスリットを設けたことにより、バルク波振
動の伝搬を抑止できると共に、ＳＡＷの高次のスズリア
スモードを削除でき、容易にかつ低コストでスプリアス
特性にｆｆ′ｈたＳＡＷ共振器フィルタを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例を示すＳＡＷ共
振器フィルタの構成図であり、同図（ａ＞は平面図、同
図（ｂ）は同図（ａ＞の側面図、第２図（ａ＞、（ｂ＞
は従来のＳＡＷ共振器フィルタを説明するための図であ
り、同図（ａ）は従来の２重モードＳＡＷ共振器フィル
タの構成図、同図（ｂ）は同図（ａ＞における変位分布
図、第３図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は第２図中のＳＡＷ
共振器の特性を説明するための図であり、同図（ａ＞は
第２図中のＳＡＷ共振器の電極構成図、同図（ｂ）は伝
搬方向の変位分布図、同図（Ｃ）は伝搬方向に直交する
方向の変位分布図、第４図は第２図中の２重モードＳＡ
Ｗ共振器フィルタの等価回路の回路図、第５図は第４図
の等価回路から等価変換されたラダー回路の回路図、第
６図は第５図でのフィルタ特性図、第７図は第１図での
フィルタ特性図である。 １１・・・圧電基板、１２〜１５・・・ＳＡＷ共振器、
１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ・−・ＩＩ）Ｔ、１２
ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１４ｂ　　１４ｃ１ヲｂ
、１５ｃ・・・反射器、１６・・・スリット。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　一枚の圧電基板と、前記圧電基板上に並列配置された
   少なくとも入力用及び出力用を含む複数個のＳＡＷ共振
   器とを備え、 前記ＳＡＷ共振器がインターディジタルトランスジュー
   サ及び反射器で構成され、特定の通過帯域を有するＳＡ
   Ｗ共振器フィルタにおいて、前記ＳＡＷ共振器間におけ
   る前記圧電基板の所定位置に、前記通過帯域外のスプリ
   アスに応じて該所定位置における圧電基板の厚みを設定
   するスリットを設けたことを特徴とするＳＡＷ共振器フ
   ィルタ。