JPH049464B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH049464B2
JPH049464B2 JP59090048A JP9004884A JPH049464B2 JP H049464 B2 JPH049464 B2 JP H049464B2 JP 59090048 A JP59090048 A JP 59090048A JP 9004884 A JP9004884 A JP 9004884A JP H049464 B2 JPH049464 B2 JP H049464B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detector
light
small hole
background screen
grid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP59090048A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6017340A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JPS6017340A publication Critical patent/JPS6017340A/ja
Publication of JPH049464B2 publication Critical patent/JPH049464B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86Investigating moving sheets
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86Investigating moving sheets
    • G01N2021/8663Paper, e.g. gloss, moisture content
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G01N21/474Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/12Circuits of general importance; Signal processing
    • G01N2201/127Calibration; base line adjustment; drift compensation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、本体と、該本体の内側に取り付けら
れた背景スクリーンと、光源と、背景スクリーン
または背景スクリーン上に載置された紙のサンプ
ル上で光を焦点あわせするレンズと、反射光と透
過光の強さを測定する検出器と、散乱光を処理す
るアツセンブリと、散乱光の強さを測定する検出
器とより成る紙の光学的特性を測定する装置に関
する。
現在、もつとも一般的に測定されている紙の光
学的特性として、色、白さ、光沢のごとき外観を
表わすフアクターと、乳白度、透明度のごとき印
刷用紙にとつて重要なフアクターを挙げることが
できる。しかし、現在使用に供されている装置の
較正が不便であり、誤差が日常的に生じているこ
とが問題視されている。そのほか、色彩座標を決
定するにさいし、一般に3つのフイルターを使用
することと、別々の波長に対応した値を読み取る
ことが必要である。フイルターを使用する目的
は、フイルターと検出器の出力曲線の一般的な形
状をC.I.E.標準のXとYとZの曲線の形状にでき
るだけ正確に合致させ、測定結果にもとづいて標
準的な係数により最終的なXとYとZの成分を求
めることである。しかし、色を限定するには可視
波長範囲全体を解析することが必要であるので、
このような従来の装置を用いて得られた結果は実
際と正確には合致しない。
したがつて、本発明の目的は、称の光学的特性
を測定する従来の装置に付随する欠点が解消され
た装置を提供することである。本発明の他の目的
は、較正と使用が容易な装置を提供することであ
る。本発明のいま1つの目的は、サンプルから放
射された光の全スペクトルを測定することができ
る装置を提供することである。
上記の目的を達成するため、特許請求の範囲の
各項に限定されている構成を特徴とする装置が本
発明に従がつて提案されたのである。
本発明によれば、光源から到来した光が焦点あ
わせされる背景スクリーンは装置本体に関し移動
可能であつて、光学的特性を測定するとともに本
装置を較正する手段を備えている。散乱光を処理
するアツセンブリはグリツドと少なくとも1つの
リミツターとから構成されており、該リミツター
は検出器とグリツドとの間で検出器のすぐ近傍に
取り付けられていて、スペクトルの範囲内で検出
器といつしよに移動するようになつている。検出
器は光のスペクトルのうち所要の幅をもつた区画
の強さを段階的に測定するよう構成されている。
このように構成された装置は容易に較正すること
ができ、また紙の光学的特性を簡単に測定するこ
とができる。本装置は、測定した結果がC.I.E.標
準にできるだけ正確にマツチするよう光のスペク
トルの範囲にわたつて分散光のいろいろな波長の
強さの値を測定するために使用される。
本発明によれば、スペクトルを焦点あわせする
レンズがグリツドと検出器の間に配置されている
ことが好ましい。したがつて、いろいろな波長に
対応した焦点が焦点面に設けられている。検出器
は焦点面の近傍で焦点面上を移動し、いろいろな
波長で到来した一群の波長の焦点列(スペクト
ル)の値を測定する。検出器のリミツターはでき
るだけ狭い所要幅をもつたギヤツプを備えてい
る。このギヤツプはバンド・パス・フイルターと
して使用される。したがつて、ギヤツプが小さく
なるにしたがつて、バンドパスは狭くなる。
本発明の好適した実施態様によれば、本装置は
2つのギヤツプ付きプレートを備えていて、該ギ
ヤツプ付きプレートはグリツドと検出器との間で
該検出器の近傍に配置されていて、リミツターと
して機能するようになつている。同じ幅をもつた
2つのギヤツプを直列にセツトすることによりフ
イルターのエツジ・シヤープネスを改善すること
ができる。なお、このエツジ・シヤープネスは、
前記ギヤツプの間の間隔に左右される。このタイ
プの装置では検出器とプレートは焦点面に従がい
湾曲した経路に沿つて移動するようになつてい
る。
本発明装置は散乱光を収束して焦点あわせする
レンズと小孔デイスクまたは小孔マスクを備えて
いて、該小孔デイスクの小孔がレンズの焦点と位
置が合うよう前記小孔デイスクが位置ぎめされて
いる。紙のサンプルから散乱状態で放射された光
のスペクトルを正確に組み立てるため、被測定光
はターゲツト全体の照明領域からできるだけ正確
に集光されレンズを用いてできるだけ小さい点に
再焦点あわせされる。この点が小さくなればなる
ほど、スペルトルは正確に測定される。レンズに
より形成された光点と一列に位置合わせされた小
孔デイスクの小孔はターゲツトを表わす再構成さ
れた光源を形成し、したがつてすべての光線は同
じ焦点面から放射されることになる。このことは
のちほど光を処理するうえから重要なことであ
る。光を収束し、再焦点あわせするこのような光
学系は光の強さの効率の点から使用することが非
常に望ましい。そのほか、被測定光はターゲツト
(紙)の面に関し直角に集光される。この角度で
直接反射される光の割合は非常に小さい。
本発明装置はコリメーターを備えていることが
好ましい。このコリメーターは、該コリメーター
の焦点が小孔デイスクの小孔と位置が合うよう位
置ぎめされていて、小孔を通つて放射された光を
平行な光として前記グリツドに向かつて進ませる
ようになつている。光学グリツドに到達した光は
グリツドの全使用領域にわたつて正確に平行でな
ければならない。コリメーターは小孔を通つて放
射された光を集光し、平行な光線としてグリツド
に導びく。
以下、本発明の一実施例を図解した添付図面を
参照しながら本発明を詳細に説明する。
第1図に示されている装置は本体1を備えてい
て、測定、較正ならびにモニターを行なう装置が
本体1の内側に取り付けられている。本体1は本
装置に紙を出し入れする開口を備えている。コン
ベア装置により本装置の中に紙のサンプルを搬入
することができるが、試験設備の一構成要素とし
て本発明装置を使用してもよい。後者の場合、こ
の試験設置のコンベアにより紙が移送される。本
発明装置の機能はコンピユーターを用いて従来公
知の手段により自動的にモニターされ、モニター
の結果は本発明自身の出力ユニツトまたは試験設
備の出力ユニツトにより表示される。
本装置は、本体1に関し移動可能な背景スクリ
ーン2と、光源3と、背景スクリーン2と光源3
の間に配置されたレンズ4,5とを備えている。
ランプの電気アークの放射中心は収束レンズ4の
焦点に合致するよう位置ぎめされている。収束さ
れた光線はレンズ4のうしろでは平行に延在し
て、レンズ5により受光される。該レンズ5は背
景スクリーンまたは紙のサンプルの上に光線を焦
点あわせする。背景スクリーンまたは紙のサンプ
ルに当たつた光は反射、拡散するとともに、紙の
サンプルを透過する。反射光を測定するため、本
発明装置は2つの側方検出器6と7を備えてい
て、このうち1つ6は光源の45°の固有反射角に
位置ぎめされているとともに、他方の側方検出器
7は紙面に関し45°の反射角から横へ90°角度に位
置ぎめされている。両方の光ダイオードとも検出
器の入射角を選択するために使用される小孔チユ
ーブを備えている。
背景スクリーン2はシヤフト24上に取り付け
られた円板であつて、モーター25により回転さ
れる。背景スクリーン2は該背景スクリーン2か
ら等距離のところに鏡17と、黒いベース区画1
8と、背景スクリーンを貫通して延在した小孔1
9と、白いベース区画20と、背景スクリーンを
貫通して延在した黒壁の小孔21を備えており、
これらの諸部材較正兼測定手段と使用される。紙
を透過する光の強さを測定する検出器8が小孔1
9の底に取り付けられている。本装置が測定位置
または較正位置にセツトされているとき、較正要
素または測定要素が鏡5の焦点と正しく、位置あ
わせされるよう背景スクリーン2が配置されてい
る。背景スクリーンの動作についてはのちほど詳
しく説明する。
散乱光を集めて焦点あわせするため、本装置は
レンズ9と10を備えていて、該レンズ9と10
はレンズ5の焦点上に位置ぎめされている。レン
ズ9は被測定光を収束するために使用されるもの
であり、レンズ9のうしろでは光は平行に延在し
ている。レンズ10は光を受光して、焦点に受光
した光を焦点あわせする。本装置は小孔デイスク
11を備えていて、該小孔デイスク11の小孔2
3がレンズ10の焦点とあうよう小孔デイスク1
1が位置ぎめされている。小孔23の直径は約1
mmである。
小孔23を通過する光を集光するため、本装置
は2組の2重対物レンズを前後に並べた一連のコ
リメーシヨン・レンズより成るコリメーター12
を備えている。コリメーター12は平行な光線と
して光をグリツド13に向かつて進ませる。グリ
ツド13はコリメーター光学系に隣接して位置ぎ
めされている。光波フロントはグリツド13に直
角に当たるようになつている。グリツド13のう
しろではいろいろな波長の入射光がいろいろな角
度で反射する。言いかえれば、光はスペクトル容
素の中で分散する。
本装置はさらに対物レンズ14を備えていて、
該対物レンズ14は、分散光のスペクトルを検出
器スクリーンの面上で像の形に焦点あわせするた
め、グリツド13と検出器16の間に取り付けら
れている。したがつて、いろいろな角度で到来し
た一群の波長の焦点(スペクトル)を結ぶ線がコ
リメーター光学系の焦点面上に形成される。
本装置はさらにホルダー26上に取り付けられ
た検出器16と、該検出器16のすぐ近傍に配置
されたギヤツプ付きリミツター15と備えてい
る。ホルダー26はモーター28により移動可能
な基板27に固定されている。スペクトル検出器
16はホルダー上に取り付けられたベース要素と
感光面要素とから構成されている。図示の実施例
においては、感光面要素は約0.6mmの幅をもつギ
ヤツプを中心に設けたリミツターとして機能する
デイスクを頂部に備えている。前記検出器の面要
素は焦点あわせされたスペクトルの高さより高く
位置ぎめされている。ホルダー26はスペクトル
検出器16といつしよにスペクトルの全可視範囲
にわたり前記焦点面のすぐ近傍で段階的に移動
し、所要の光度でスペクトルの強さを測定する。
可視スペクトルの範囲に加えて、検出器は、該検
出器の位置を較正するため、スペクトルの赤外線
領域の範囲内で移動することができるようになつ
ている。
一使用例について説明された本装置は、紙の
色、白さ、乳白度、光沢、透明度のごとき紙の光
学的特性を測定するために使用することができ
る。紙の色は、たとえば、BaSO4の塗付した板
である背景スクリーンの白いベース区画20に光
を当て、分折波長それぞれについて相対的強さ
Irefを測定することにより判定される。この操作
に続いて、サンプルにもとづいて対等した相対強
度Ipapを測定する。比Ipap/Irefは各波長につい
て紙から放射された相対的な光のエネルギーに対
応している。紙の色の3つの成分XとYとZは、
C.I.E.の3成分曲線を使用し、正しい波長でこの
曲線から得られた加重値フアクターを使用するこ
とにより計算される。かくして、サンプルから放
射された光のC.I.E.の色彩座標XとYとZを決定
することが可能であり、計算後、所要の形で紙の
色を表示することができる。
紙の白さは本装置の中で紙を移動させることに
より連続的に測定されるが、457mmの波長の強さ
を同じ波長で基準表面(白)について得られた強
さと比較するために前記スペクトル検出器16が
使用される。
乳白度は固定された紙の測定結果から計算され
る。測定検出器は側方検出器7である。乳白度は
Ipap(黒い背景)とIpap(白い背景)の比で表わ
される。
紙の光沢は2つの方法で移動する紙から計算さ
れる。すなわち、第1の方法では、光沢はIpap
(検出器6)とImirror(検出器)の比により表示
される。第2の方法では、光沢I−Ipap(検出器
7)とIpap(検出器6)の比で表示されている。
透明度は、以下の要領で透過検出器8と側方検
出器7の結果から計算される。すなわち、第1の
方法では透明度はIpap(検出器)とIpap(検出器
7)の比により表示される。第2の方法では透明
度はIpap(検出器8)とImirror(検出器7)の比
で表示される。
本発明が上述の実施例にのみ限定されるもので
はなく、特許請求の範囲により限定された範囲を
逸脱しない限り本発明に適宜変更を加えてさしつ
かえないことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例に従がつて構成さ
れた装置を部分的に切断した側面図。第2図は、
本発明装置に使用される背景スクリーンの平面
図。第3図は、第1図の−線で切断した本発
明装置の横断面図。 1……本体、2……背景スクリーン、3……光
源、4,5……レンズ、6,7……側方検出器、
8……検出器、9,10……レンズ、12……コ
リメーター、13……レンズ、14……対物レン
ズ、15……リミツター、16……検出器、17
……鏡、18……黒いベース区画、19……小
孔、20……白いベース区画、21……黒壁の小
孔、23……小孔、24……シヤフト、25……
モーター、26……ホルダー、27……基板、2
8……モーター。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 本体1と、該本体1の内側に取り付けられた
    背景スクリーン2と、光源3と、背景スクリーン
    または背景スクリーン上に載置された紙のサンプ
    ル上で光を焦点あわせするレンズ4,5と、反射
    光と透過光の強さを測定する検出器6,7,8
    と、散乱光を処理するアツセンブリ9−15と、
    散乱光の強さを測定する検出器16とより成る紙
    の光学的特性を測定する装置であつて、前記背景
    スクリーン2が本体に関し移動可能であつて、光
    学的特性を測定するとともに、本装置を較正する
    要素17−21を備えていることと、散乱光を処
    理する前記アツセンブリがグリツド13と少なく
    とも1つのリミツター15とより成り、該リミツ
    ター15が検出器16のすぐ近傍で該検出器16
    と前記グリツド13の間に位置ぎめされていて、
    スペクトルの範囲内で検出器16といつしよに移
    動可能であり、検出器16が所要の光度で光のス
    ペクトルのうち所要の幅をもつた区画の強さを段
    階的に測定するようになつていることを特徴とす
    る装置。 2 本装置がグリツド13とスペクトルを焦点あ
    わせする検出器との間に取付けられたレンズ14
    を備えていて、いろいろな波長に対応した焦点が
    焦点面に設けられていることと、検出器16が焦
    点面のすぐ近傍で該焦点面上を移動可能であるこ
    ととを特徴とする特許請求の範囲の第1項記載の
    装置。 3 本装置がグリツド13と検出器16との間で
    該検出器16の近傍に取り付けられていて、リミ
    ツターとして機能する2つのギヤツプ付きデイス
    クを備えていて、前記検出器とデイスクが焦点面
    に従がい湾曲した経路に沿つて移動するようにな
    つていることを特徴とする特許請求の範囲の第1
    項または第2項記載の装置。 4 本装置が小孔デイスク11を備えていて、該
    小孔デイスク11の小孔23がレンズ10の焦点
    と位置が合うよう前記小孔デイスクが位置ぎめさ
    れていることを特徴とする散乱光を収束して焦点
    あわせするレンズ9,10を備えている特許請求
    の範囲第1項より第3項までのいずれか1項記載
    の装置。 5 本装置がコリメーター12を備えていて、該
    コリメーター12の焦点が小孔デイスク11の小
    孔23と位置が合うようコリメーター12が位置
    ぎめされているとともに、前記小孔を通つて放出
    された光を平行な光として前記グリツド13に進
    ませるようにされていることを特徴とする特許請
    求の範囲第4項記載の装置。 6 前記背景スクリーン2がスクリーン中心から
    等距離のところに鏡17と、黒いベース区画18
    と、背景スクリーンを貫通して延在した小孔19
    と、白いベース区画20と、背景スクリーンを貫
    通して延在した黒壁の小孔21とを備えており、
    これらの要素がすべて較正兼測定要素として使用
    されることを特徴とする特許請求の範囲の第1項
    より第5項までのいずれか1項記載の装置。
JP59090048A 1983-05-05 1984-05-04 紙の光学的な特性を測定する装置 Granted JPS6017340A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI831543 1983-05-05
FI831543A FI831543A0 (fi) 1983-05-05 1983-05-05 Metod och anordning foer automatisk bestaemning av papprets optiska egenskaper

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6017340A JPS6017340A (ja) 1985-01-29
JPH049464B2 true JPH049464B2 (ja) 1992-02-20

Family

ID=8517150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59090048A Granted JPS6017340A (ja) 1983-05-05 1984-05-04 紙の光学的な特性を測定する装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4678325A (ja)
JP (1) JPS6017340A (ja)
CA (1) CA1225534A (ja)
FI (1) FI831543A0 (ja)
SE (1) SE8402227L (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61203347U (ja) * 1985-06-10 1986-12-20
US4886355A (en) * 1988-03-28 1989-12-12 Keane Thomas J Combined gloss and color measuring instrument
US4944594A (en) * 1988-04-28 1990-07-31 Process Automation Business, Inc. Apparatus and method for measuring dark and bright reflectances of sheet material
DE3843876A1 (de) * 1988-12-24 1990-07-12 Leitz Wild Gmbh Spektralmikroskop mit einem photometer
JPH0372347U (ja) * 1989-11-20 1991-07-22
JPH0372346U (ja) * 1989-11-20 1991-07-22
US5082529A (en) * 1990-03-27 1992-01-21 Abb Process Automation Inc. Color measurement and control of a sheet material
US5305093A (en) * 1991-10-31 1994-04-19 Miles Inc. Spectrometer for conducting turbidimetric and colormetric measurements
US5377000A (en) * 1993-04-29 1994-12-27 Color And Appearance Technology, Inc. Portable appearance measuring apparatus
FI112975B (fi) 1997-09-15 2004-02-13 Metso Automation Oy Menetelmä ja laitteisto paperin laatuominaisuuksien mittaamiseksi liikkuvasta paperiradasta paperikoneella
US8139220B2 (en) 2008-09-16 2012-03-20 X-Rite, Inc. Point-of purchase (POP) spectrophotometer for open-view measurement of a color sample
EP2478771B1 (en) * 2011-01-25 2015-04-08 GEA Food Solutions Bakel B.V. Food production line

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3762817A (en) * 1972-02-23 1973-10-02 Minnesota Mining & Mfg Spectral densitometer
US3936189A (en) * 1974-03-13 1976-02-03 Sentrol Systems Ltd. On-line system for monitoring the color, opacity and brightness of a moving web
US4015904A (en) * 1974-03-13 1977-04-05 Sentrol Systems Ltd. Optical shoe assembly for use with a multi-sensor optical head
US4084906A (en) * 1975-02-06 1978-04-18 Honeywell Inc. Multigas digital correlation spectrometer
DE2651086B2 (de) * 1976-11-09 1978-11-09 Hewlett-Packard Gmbh, 7030 Boeblingen Photometer
US4243319A (en) * 1977-01-24 1981-01-06 Nekoosa Papers, Inc. Optical property measurement system and method
US4222064A (en) * 1977-03-07 1980-09-09 Nekoosa Papers Inc. Optical property measurement system and method
US4439038A (en) * 1981-03-03 1984-03-27 Sentrol Systems Ltd. Method and apparatus for measuring and controlling the color of a moving web
US4565444A (en) * 1982-11-01 1986-01-21 Sentrol Systems Ltd. Electronically scanned spectrometer color, brightness and opacity measurement and control system

Also Published As

Publication number Publication date
SE8402227D0 (sv) 1984-04-24
CA1225534A (en) 1987-08-18
JPS6017340A (ja) 1985-01-29
FI831543A0 (fi) 1983-05-05
US4678325A (en) 1987-07-07
SE8402227L (sv) 1984-11-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4377107B2 (ja) 反射体の特性を決定する装置及びその方法
US4429225A (en) Infrared thickness measuring device
JP2022541364A (ja) スペクトル共焦点測定装置及び測定方法
JPS628729B2 (ja)
JPH049464B2 (ja)
US4728196A (en) Arrangement for determining a surface structure, especially for roughness
US3022704A (en) Spectrophotometer
CN107561042A (zh) 一种用于荧光分析仪的光斑整形光学系统
US3965356A (en) Apparatus for measuring a predetermined characteristic of a material using two or more wavelengths of radiation
JPH07509315A (ja) レンゾメータ用の分光計
JPS6233541B2 (ja)
US7321423B2 (en) Real-time goniospectrophotometer
JPS61292043A (ja) 分光測色計の光検出プロ−ブ
CN109030360A (zh) 光路调试方法
EP0059836B1 (en) Optical beam splitter
JP7486178B2 (ja) 分光分析装置
KR840002359B1 (ko) 적외선 필름 두께 측정기
JPH0515976B2 (ja)
JP3871415B2 (ja) 分光透過率測定装置
CN117571613A (zh) 光学检测设备及光路校准方法
JPH06241897A (ja) 分光装置
JPS6336134A (ja) 分光分析によるガス測定装置
JP3106521B2 (ja) 透明基板の光学的検査装置
KR101326204B1 (ko) 박막 두께 측정장치 및 방법
WO1991014935A1 (en) A method and an apparatus for cleaning control