JPH049568B2

JPH049568B2 -

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Publication number: JPH049568B2
Application number: JP58019856A
Authority: JP
Priority date: 1983-02-10
Filing date: 1983-02-10
Publication date: 1992-02-20
Also published as: JPS59147619A

Description

【発明の詳細な説明】発明の背景本発明は混合ガスの一成分について容量で90〜
99％且つそれ以上の大きいガスの流れを大量に得
る為の方法に関する。本発明は特に、炭素分子ふ
るいを用いる圧力スイング吸着系に依り、少くと
も一成分を富化されたガスの流れを供給する為の
吸着工程に関する。更に詳しくは、本発明は窒
素、水素又はメタンの如きガスの安価な且つ大容
量のガス源を与え、低温系或は他の圧力スイング
吸着系のいづれよりも少い作動の為のエネルギー
を必要とし、猶且つ他にひけを取らない品質のガ
スを提供する為の方法に関する。

この中に用いられている如く、ガス混合物とい
う用語は空気と、異なる分子の大きさの２成分よ
り主として成る他のガス混合物を云う。富化され
たガスという用語は吸着剤を通つてガス混合物を
通過させた後に、例えば一成分に於て90％から99
％迄の予め定められた純度を満たす比較的吸着さ
れないガス混合物の一（多）成分より成るガスを
云う。薄いガス（リーンガス）という用語は、富
化されたガスに対して定められた純度の標準を満
すことが出来ない吸着ゾーンから出るそのガスを
云う。２（又はそれ以上の）塔の吸着ゾーンの場
合には薄いガスは、富化されたガスに対して定め
られた純度の標準を満すことが出来ないガスであ
るばかりではなく該ゾーンを構成する最後の塔を
通つて単独に通過するそのガスでもある。

ガス混合物は圧力スイング吸着を用いて、該混
合物の成分の中の一つ又はそれ以上の成分を吸着
出来るように選択された吸着剤の床（bed）を通
つて、高められた圧力で、該混合物を通過させる
ことにより、分別又は分離される。この選択力は
吸着剤に於ける細孔寸法分布と特別のガス成分の
吸着に対する適当な細孔寸法の細孔容積により支
配される。このように、細孔寸法よりも小さいか
又は等しい運動径をもつガスの分子は吸着剤に保
持又は吸着される。一方より大きい運動径のガス
分子は塔を通過する。実際に該吸着剤はその分子
径に従つて該ガスをふるい分ける。ガス混合物は
又、吸収剤の細孔系の中でのそれ等の成分の異つ
た拡散率により分別される。

該ガスが吸着剤の塔を通つて移動するに従つ
て、該吸着剤の細孔はガスの分子で満たされる。
カラムクロマトグラフイ系に於ける固体吸着剤を
通つて移動する液体吸着の前面（フロント）に類
似の、該塔を通つて移動する吸着の前面（フロン
ト）を想像することが出来る。ある時間後には該
塔から出て行くガスは該吸着剤の塔に入るガスと
本質的に同一組成である。之は破過点として知ら
れている。例えば、ガス混合物は吸着剤に入り、
全く同じ混合物が該吸着剤から出て行く。この破
過点の前のある時間に該吸着剤は再生されねばな
らない。選択された成分をそれから吸着するよう
該ガス混合物を処理した後に該塔を通るガス混合
物の流れは中断され、該吸着剤は、真空か又は一
般に該ガス混合物により取られる流れの反対方向
に（即ち向流に）、該塔を通つて精製された製品
の一部を成す、パージガスの流れを通過させるこ
とのいづれかにより、該吸着された成分をパージ
することに依り再生される。

圧力スイング吸着は一方の塔が再生されている
間、他方の塔が製品ガスを製造する吸着状態にあ
る、即ち塔が２つの交替する吸着ゾーンとして相
互に作用するように、通常少くとも２つの吸着剤
の塔を含む。

１つ以上の塔が吸着ゾーンに使用され得る。１
つ以上の塔がこのようなゾーンを構成するときに
は、該塔は直列又は並列のいづれかの配列で連結
される。吸着剤の塔が直列に連結されるときに
は、ゾーンの一方の塔を出るガスは該ゾーンを構
成するその次の塔の入口端に入る。並列の配列で
は、該ガス混合物はゾーンを構成するすべての塔
の入口端に入る。一般に直列の配列は高度の精製
に対して好ましい。一方並列の配列は、短時間の
サイクルに於ける大量の製品ガスを供給する。こ
の中で用いられている如く、吸着ゾーンと云う用
語は、単一の塔のゾーン又は直列に配列された２
塔のゾーンのいづれにも当てはまると理解され
る。いづれの場合に於ても各吸着ゾーンは入口端
を持つ。例えば単一塔のゾーンの入口はその１塔
の入口端であり、２塔のゾーン（直列に配列され
た）に対しては、該入口端は該ゾーンに於ける第
一塔の入口にある。各吸着ゾーンに対応する出口
端を有する。該２塔のゾーンに対しては之は該ゾ
ーンを構成する第二塔の出口端にある。２つの吸
着ゾーンを用いるときには、之等の吸着ゾーン間
をサイクルする（交互させる）ことにより、製品
ガスは連続的に得られる。

空気から富化された窒素を製造する為の炭素分
子ふるいの使用は良く知られた工程である。例え
ば、ベスターダルによる、米国特許第2556859号
とミユンツナーその他による米国特許第3960522
号を見よ。之等のふるいは酸素の該運動径に匹敵
する大きさを持つ細孔構造を有する。もし圧力ス
イング吸着系に用いられるときは、之等のふるい
は混合ガスから酸素を選択的に吸着し、その他の
成分特に窒素ガスが通過することを許容する。

４塔の圧力スイング吸着ユニツトは炭酸ガス、
水そして軽質の脂肪族炭化水素と水素の混合物か
らの水素ガスの分離に首尾よく用いられてきた。
例えば、ワグナーによる米国特許第3430418号を
見よ。

圧力スイング吸着に依る他の２成分のガス混合
物の分別も又知られている。例えばゼオライト
13Xを用いる水素と一酸化炭素の混合物から一酸
化炭素の分別、そして木炭、アルミナ又はシリカ
を用いる、燃料ガスと炭酸ガスとの混合物から炭
酸ガスの分別はよく知られている。シモネツトに
よる米国特許第3884661号を見よ。

アルゴンと酸素又はヘリウムとメタンの２成分
ガス混合物は圧力スイング吸着工程に於ける、部
分的に酸化された炭素の吸着剤によつて分離され
た。ドイツ公報第2045200号を見よ。

現在の圧力スイング吸着と炭素分子ふるいの技
術に於ける代表的な問題は、製品ガスの低い収
率、要求される分子ふるいの大量とエネルギーの
能率の上がらない再生方法を含む。

発明の開示一連の工程より成る、富化されたガスの流れを
発生する為の吸着方法が、かくの如く与えられ
る。そしてその一連の工程は、本明細書中で吸着
圧力として言及される3.0バール（約3.059Kg／
cm²）から8.0バール（約8.158Kg／cm²）の範囲から
選択された一つの圧力で、１又は２塔より成る１
つの吸着ゾーンを通してガス混合物を通過させ、
破過の前に、富化されたガスを生産し、この第一
の吸着ゾーン（２塔のゾーンに於てはその最後の
塔）を通つて、単独に該ガス混合物を通過させ、
之により薄いガス（リーンガス）を製造し且つ前
記第一の吸着ゾーンの出口端から、１塔又は２塔
のいづれかより成る第二吸着ゾーンの入口端に、
該選択された吸着圧力の70％乃至120％の範囲に、
該第二吸着ゾーンを加圧する為に、前記薄いガス
を通過させ、２塔の吸着ゾーンの場合には前記ゾ
ーンの第一塔を該系から切り離し（締め切り）、
またただ１塔のゾーンの場合には前記１塔を切り
離し、そして第二の吸着ゾーンが、その中で炭素
に依る自然吸着が圧力降下を引き起すよう、時間
おくれにより減圧することを許容し、一方同時に
該第一吸着ゾーンの切り離された塔を大気圧まで
通気し、且つ２塔のゾーンの場合には向流に該第
一吸着ゾーンの第二塔を通気し、前記通気された
ガスを該ゾーンの予め通気され且つ切り離された
塔を向流にパージする為に用い、その後に70トー
ル（70mmHg）乃至250トール（250mmHg）の範囲
で、該ゾーンの入口端に適用される真空を用いる
ことにより、該第一吸着ゾーンの全体を再生する
間、富化されたガスを生産する為に、該選択され
た吸着圧力に加圧された第二吸着ゾーンを通つて
該ガス混合物を通過させ、そして富化されたガス
流中のそれまでは吸着されていた（望まれない）
成分が望ましくないレベルに到達すると同時に即
ち破過に先だつて該サイクルを繰り返すことによ
り構成される。

この発明の目的は吸着剤として分子ふるい炭素
を含んでいる２吸着ゾーンの圧力スイング吸着系
の為に再加圧の新しい方法を与えることにある。
この方法は該吸着剤の再生の際のエネルギー消費
に関する先行技術の問題を克服することに加え
て、富化されたガスの良い収率を与えるものであ
る。

実施例による説明本発明の新しい再加圧技術を用いる為の系は、
本発明に従つて、ガス混合物を分別し得る２つの
圧力スイング吸着ユニツトを示す添付図面を参照
することにより更に良く理解され得る。本発明は
２つの好適な実施例に関して記述され且つ図解さ
れているけれども、修正と変化が本発明の精神か
らはずれることなしに用いられることは理解され
るべきである。例えば、空気（窒素と酸素）、メ
タンと炭酸ガス又は水素と一酸化炭素を含み、し
かしそれに限定されない如何なるガス混合物も、
満足させるであろう。

図１を詳細に説明すると、２つの圧力に耐える
塔ＡとＢが示される。そして各塔は空気からの窒
素の分別に適した炭素分子ふるいで満たされる。
この方法の為の代表的な有効な炭素分子ふるい
は、ミントゲン其の他に依る米国特許出願第
4412529号に記述されている。塔Ａは第一の吸着
ゾーン（ゾーン−１）を構成し、一方塔Ｂは第二
の吸着ゾーン（ゾーン−２）を構成する。各ゾー
ンは入口端と出口端を持つ。

圧力に耐える塔に連結される一連の弁は図１に
示される番号により定義され且つ之の第一の快適
配列で果される機能により記述される。

図−１関係 (a) 弁０と１６−主たる空気流入弁 (b) 弁１と８−ゾーン１と２への入口空気弁 (c) 弁３と１０−ゾーン１と２の為の真空ライン
にある再生用弁 (d) 弁２と９−通気弁−ゾーン１と２から圧力を
放出する弁 (e) 弁７と１４−ゾーン１と２から流れる製品
（富化）ガス用弁 (f) 弁１７，５と１２−パージの為のゾーン１と
２への富化ガス連結弁 (g) 弁１６，１５，１１と１３，１５，４−再加
圧の為のゾーン１と２間の薄いガス連結弁ハウジングＡとＢは垂直の位置に示されている
が、それ等は、運転方法に対する逆効果なしに、
水平又は垂直のいづれの位置にも据付けられ得
る。

外気は圧縮され、乾燥されそして弁０又は弁１
６のいづれかを経由して該系に導入される。吸着
に先だつて、外気は、40％以下の相対湿度が望ま
しいので、過剰な湿度を取り除く為に凝縮器を通
してそれを通過させることにより、修正され得
る。そして又、過器又はスクラバーは炭酸ガ
ス、亜硫酸ガス又は窒素酸化物の如き他のガスを
取り除く為に用いられ得る。之等の段階は該富化
されたガス流の純度を改良し、且つ非常に純粋な
富化ガス（例えば窒素）の為の仕様書が、このよ
うな予めの除去を指定するときに用いられる。し
かしながら之等は本発明の成功した運転に対し補
助的であり且つ必須のものではない。

空気は、該吸着圧力に於て、酸素を選択的にふ
るい分ける為に弁０と弁１又は弁８のいづれかを
経由して、ゾーン−１又はゾーン−２に入れられ
る。そして該供給空気は該吸着ゾーンを通つて押
し進められる。富化された製品窒素ガスは弁７又
は弁１４のいづれかを経由して夫々ゾーン−１又
はゾーン−２から排出される。

製品窒素ガスの流れは製品ガス溜めの圧力を一
定に保つ為に、該吸着圧力以下の圧力で該ガス溜
めから排出される。瞬間的な窒素の流量は質量流
量計で測定される。そして富化されたガスの酸素
含有量は該製品ガス溜の上流で分析される。

一方の吸着ゾーンが富化されたガスを発生して
いる時には、他方のゾーンは弁３又は弁１０を経
由して適用された真空により、再生されている。
このように、ゾーン−１が、開放された弁０，１
そして７を経由して富化されたガスを製造してい
る間、ゾーン−２は開放された弁１０を経由し
て、70トール（70mmHg）乃至250トール（250mm
Hg）の範囲の真空により再生されている。

該富化された窒素ガスの酸素含有量の分析が、
望ましくない酸素のレベル、例えば１％から10％
までよりも大きいレベルに到達したことを示すと
きは、弁０，１と７又は弁０，８と１４は閉じら
れる。このように該製造ラインは閉じられる。そ
の時供給空気は、弁１６と１又は弁１６と８を経
由して、夫々ゾーン−１又はゾーン−２（塔Ｂ）
に入れられる。該塔から排出される薄いガスは弁
６，１５と１１又は弁１３，１５と４のいづれか
を通つて、ゾーン−２又はゾーン−１の入口端に
流れる。該薄いガスは該吸着圧力の70％乃至120
％、好ましくは80％乃至105％の範囲迄他方のゾ
ーンを加圧する為に用いられる。この過度の加圧
を成し遂げる為に用いられた該ゾーンは、次いで
該系から切り離される（締め切られる）。この段
階の後に、該過度に加圧されたゾーンは、時間遅
れ作用に依り、そして又該分子ふるい炭素による
ガス分子の自然吸着により減圧すことを許容され
る。一般にこの圧力降下は約１乃至60秒の間に起
る。この時間の間に、該切り離された吸着ゾーン
は弁２又は９のいづれかを通つて通気されること
により、大気圧に戻される。該時間遅れを経験し
た該吸着ゾーンは今弁０と弁８又は弁１のいづれ
かを通つて供給空気を受け入れる。そして製品ガ
スは弁１４又は７を経由して放出される。一方の
吸着ゾーンが富化された窒素ガスを製造している
間、他方の吸着ゾーンは弁３又は弁１０を経由し
て70トール（70mmHg）乃至250トール（250mm
Hg）の範囲の真空の適用により再生されている。
該サイクルは該第二吸着ゾーンからの製品ガスの
酸素含有量が再び望ましくないレベルに到達する
ときに繰り返される。

図２を詳細に説明すると、４つの圧力に耐える
塔Ｃ，ＤとＥとＦが示されている。そして之等の
塔のおのおのには空気からの窒素の分別に適して
いる炭素分子ふるいの床（bed）で満たされてい
る。塔ＣとＤは第一の吸着ゾーン（ゾーン−１）
を構成し、一方塔ＥとＦは第二の吸着ゾーン（ゾ
ーン−２）を構成する。各ゾーンは入口端（ゾー
ン１＝塔Ｄ、ゾーン＝塔Ｆ）と出口端（ゾーン−
１＝塔Ｄ、ゾーン−２＝塔Ｆ）を持つている。

圧力に耐える塔に連結される一連の弁は図２に
示される番号により定義され且つ之の第二の好適
配列で果される機能により記述される。

(a) 弁０′と１′−主たる空気流入弁 (b) 弁２′，７′と１１′，１６′−塔Ｃ、ＤとＥ，
Ｆへの夫々の流入弁 (c) 弁３′と１２′−再生弁−ゾーン−１と２の為
の真空ポンプ (d) 弁４′と１３′−パージ弁−ゾーン１と２の為
の塔圧力放出 (e) 弁１０′と１９′−吸着ゾーン１と２からの製
品流入弁 (f) 弁９′，１４′，１５′と５′，６′，１８−第
一吸着ゾーンの出口と第二吸着ゾーンの入口間
の排出（薄い）ガス連結弁 (g) 弁６′と１５′−ゾーンのパージ連結弁−ゾー
ンの第一の半分をパージする為に用いられる第
二の半分からのガスを通す弁塔Ｃ，Ｄ，ＥとＦは垂直の位置に示されている
が、運転の方法に対する逆効果なしに、垂平又は
垂直のいづれの位置にも据付けられ得る。

外気は乾燥され、圧縮され、そして弁０′又は
弁１′のいづれかを経由して該系に導入される。
吸着に先立つて、外気は、40％以下の相対湿度が
好ましいので、過剰な湿度を除去する為に凝縮器
を通つてそれを通過させることに依り修正され得
る。そして又、過器又はスクラバーは炭酸ガ
ス、亜硫酸ガス又は窒素酸化物の如き、他のガス
を取り除く為に用いられ得る。之等の段階は排出
するガス流の純度を改良し、且つ非常に純粋な富
化ガス（例えば窒素）の為の仕様書がこのような
予めの除去を指定するときに用いられる。しかし
ながら之等は本発明の成功した運転に対し補助的
であり且つ必須のものではない。

空気は要求された吸着圧力、例えば７バール
（約7.138Kg／cm²）の圧力で、弁０′と弁２′と６′
又は弁１１′と１５′を経由して、酸素を選択的に
ふるい分ける為にゾーン−１又はゾーン−２に入
れられる。そして該供給空気は該吸着ゾーンを通
つて押し進められる。富化された製品窒素ガスは
弁１０′又は弁１９′のいづれかを経由して夫々ゾ
ーン−１又はゾーン−２から排出される。瞬間的
な富化された窒素の流量は質量流量計に依り測定
され、そして該富化されたガスの酸素含有量は該
製品のガス溜めの上流で分析される。富化された
製品窒素ガスの流れは製品ガス溜めの圧力を一定
に保つ為に該吸着圧力以下の圧力で該製品ガス溜
めから排出される。

一方の吸着ゾーンが富化されたガスを発生して
いるときに、他方のゾーンは弁３′又は１２′を経
由して適用される真空により、再生されている。
かくの如く、ゾーン−１が開放された弁０′，
２′，６′と１０′を経由して窒素を製造している
間、ゾーン−２は開放された弁１２を経由して70
トール（70mmHg）乃至250トール（250mmHg）の
範囲の真空により再生されている。

該富化された製品窒素ガスの酸素含有量の分析
が、望ましくない酸素のレベル例えば１％乃至10
％よりも大きいレベルに到達した場合には弁０′，
２′，６′と１０′又は弁０′，１１′，１５′と１
９′は閉じられる。その時該吸着ゾーンの第一塔
（塔Ｃ又はＥ）は該系から切り離される（締め切
られる）。次いで空気は弁１′と７′又は１′と１
６′を経由して夫々ゾーン−１の第二塔（塔Ｄ）
又はゾーン−２の第二塔（塔Ｆ）に単独に入る。
この塔から排出される薄いガスは弁９′，１４′と
１５′又は弁１８′，５′と６′のいずれかを通つて
ゾーン−２又はゾーン−１の入口端に流される。
この薄いガスは該吸着圧の70％乃至120％、好ま
しくは80％乃至105％の範囲迄、他方のゾーンを
加圧する為に用いられる。この段階の後に、該ゾ
ーンは時間遅れにより、減圧することを許容され
る。該圧力降下は炭素分子ふるいによる該ガス分
子のあるものの自然吸着に依り起る。一般にこの
圧力降下は約２乃至60秒の間に起る。この時間の
間に、該第一吸着ゾーンの切り離された塔は弁
４′又は１３′を通つて通気されることにより、大
気圧に戻される。再加圧段階が完了すると、該吸
着ゾーンの第二塔（即ち塔Ｄ又は塔Ｆ）は弁６′
又は弁１５′を経由して向流に減圧される。そし
て予め通気され且つ切り離された塔（即ち塔Ｃ又
は塔Ｅ）は該ゾーンの第二塔からの残留ガスでパ
ージされる。該時間遅れの工程の間に減圧した吸
着ゾーンは今弁０′と弁１１′，１５′又は弁２′，
６′のいづれかを経由して、供給ガスを受け入れ
る。そして富化された製品ガスは弁１９′又は１
０′を経由して放出される。一方の吸着ゾーンが
富化された窒素ガスを製造している間、他方の吸
着ゾーンは弁３′又は弁１２′を経由して70トール
（70mmHg）乃至250トール（250mmHg）の範囲の
真空の適用に依り再生されている。該サイクル
は、第二吸着ゾーンからの富化された製品ガスの
酸素含有量が予め定められた望ましくないレベル
に再び到着する時に繰り返される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこゝに述べる新しい再加圧方法に使用
し得る単一塔の吸着ゾーンの装置の略図である。
第２図はこゝに述べられている新しい再加圧方法
に使用し得る２対の塔の吸着ゾーンの装置の略図
である。〔主要部分の符号の説明〕、第１吸着ゾーン…
…Ａ又はＣ，Ｄ、第２吸着ゾーン……Ｂ又はＥ，
Ｆ。

Claims

【特許請求の範囲】１予め定められた純度の富化されたガスの流れ
を製造する為の圧力スイング吸着方法であつて、 (a) 3.0バール（約3.059Kg／cm²）から8.0バール
（約8.158Kg／cm²）までの範囲から選択された吸
着圧力に於いて、炭素分子ふるいを充填した１
つの塔より成る第一の吸着ゾーンを通してガス
混合物を通過させ、これにより富化されたガス
を生産し、生産されたガスを製品ガス溜に通過
させる工程； (b) 前記富化されたガスの純度が、前記予め定め
られた純度より１％乃至10％だけ下がり、それ
により薄いガスとなつたとき、前記第一吸着ゾ
ーンの出口端から炭素分子ふるいを充填した１
つの塔より成る第二吸着ゾーンの入口端に前記
薄いガスを通過させ、これにより前記吸着圧力
の約70％乃至120％の範囲に前記第二吸着ゾー
ンを加圧し、その後に前記薄いガスの流れを停
止し、そして前記第一吸着ゾーンを切り離す工
程； (c) 前記切り離された第一吸着ゾーンをその入口
端を通して大気に開放する間、これと併行して
時間遅れ工程により前記第二吸着ゾーンが減圧
することを許容する工程； (d) その後に、70トール（70mmHg）から250トー
ル（250mmHg）までの範囲で前記第一吸着ゾー
ンの入口端に真空を適用することにより、前記
切り離され且つ大気開放された第一吸着ゾーン
を再生する間、該吸着圧力に於いて、前記加圧
された第二吸着ゾーンを通して前記混合ガスを
通過させこれにより、富化されたガスを生産す
る工程；ならびに (e) 該富化されたガスの純度が、前記予め定めら
れた純度より１％乃至10％だけ下つたとき、前
記第二吸着ゾーンを前記第一吸着ゾーンの如く
扱つて前記工程(b)に戻り、かくして上記工程を
くり返すことより成ることを特徴とする吸着方法。２該ガス混合物が空気であり且つ該富化された
ガスが90％から99％の窒素である特許請求の範囲
第１項記載の吸着方法。３該薄いガスで該吸着圧力の約105％迄該第二
吸着ゾーンを加圧する特許請求の範囲第１項記載
の吸着方法。４該薄いガスが前記予め定められた純度より５
％以上低下した純度のガスである特許請求の範囲
第１項記載の吸着方法。５予め定められた純度の富化されたガスの流れ
を製造する為の圧力スイング吸着方法であつて、 (a) 3.0バール（約3.059Kg／cm²）から8.0バール
（約8.158Kg／cm²）までの範囲から選択された吸
着圧力に於いて、直列に配列された炭素分子ふ
るいを充填した最初の塔より成る第一吸着ゾー
ンを通してガス混合物を通過させ、これにより
富化されたガスを生産し、生産されたガスを製
品ガス溜に通過させる工程； (b) 前記富化されたガスの純度が、前記予め定め
られた純度より１％乃至10％だけ下がつたと
き、前記第一吸着ゾーンの最後の塔を単独に通
して該ガス混合物を通過させ、それにより薄い
ガスを製造し、前記第一吸着ゾーンの出口端か
ら直列に配列された炭素分子ふるいを充填した
最初の塔と最後の塔より成る第二吸着ゾーンの
入口端に前記薄いガスを通過させ、これにより
前記吸着圧力の約70％乃至120％の範囲に前記
第二吸着ゾーンを加圧し、その後に前記薄いガ
ス流を停止し、そして前記第一吸着ゾーンの前
記最初の吸着塔を切り離す工程； (c) 前記第一吸着ゾーンの前記最初の塔をその入
口端を通して大気圧に開放し、これと併行して
時間遅れ工程により前記第二吸着ゾーンが減圧
することを許容し、そして前記第一吸着ゾーン
の最後の塔を向流に通気し、この通気ガスを用
いて大気開放され且つ切り離された信号第一吸
着ゾーンの最初の塔を向流にパージする工程； (d) その後に、70トール（70mmHg）乃至250トー
ル（250mmHg）までの範囲で前記第一吸着ゾー
ンの入口端に真空を適用することにより、前記
第一吸着ゾーンを再生する間、該吸着圧力に
て、前記第二吸着ゾーンを通して前記ガス混合
物を通過させ、これにより富化されたガスを生
産する工程；ならびに (e) 該富化されたガスの純度が、前記予め定めら
れた純度より１％乃至10％だけ下がつたとき、
前記第二吸着ゾーンを前記第一吸着ゾーンの如
く扱つて前記工程(b)に戻り、かくして上記工程
をくり返すことより成ることを特徴とする吸着方法。６該ガス混合物が空気であり且つ該富化された
ガスが90％から99％の窒素である特許請求の範囲
第５項記載の吸着方法。７該薄いガスで該吸着圧力の約105％迄該第二
吸着ゾーンを加圧する特許請求の範囲第５項記載
の吸着方法。８該薄いガスが前記予め定められた純度より５
％以上低下した純度のガスである特許請求の範囲
第５項記載の吸着方法。