JPH049570Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 イ 産業上の利用分野 本考案は、膜状試料に光線を入射させるための
プリズム作用を利用した光照射装置に関する。

ロ 従来技術 膜状試料の光学的特性を測定する場合には、第
４図に示したように平行平板状の光透過材の端面
を45°程度の一定角度に研磨してなる試料載置台
Ａを用い、これの表面に試料Ｓを密着させた状態
で、一方の光学的平面ａから赤外線等の分析用光
ビームＬを入射させて、他方の光学的平面ｂから
放出される光ビームのスペクトル変化を分光計で
検出する手法が採用されている。

このような手法においては、試料Ｓの厚み方向
におけるデータを得る場合には、試料載置台Ａ内
での光ビームの進行角を変えることが行なわれる
が、入射角が光学的平面ａ，ｂの法線からズレる
ためL′、光学的平面ａ，ｂで反射される量が大き
くなつて分光計に入射する光量が少なくなるとい
う問題があつた。

ハ 目的 本考案はこのような問題に鑑みてなされたもの
であつて、その目的とするところは、常に法線方
向に一致させて光ビームを入出射させることがで
きる分析用光照射装置を提供することにある。

ニ 考案の概要 すなわち本考案の特徴とするところは、平行平
板状の光透過材両側の光学的平面を一側から他側
に向けて角度を連続的に変化させた試料載置台を
用いた点にある。

ホ 実施例 そこで、本考案の詳細を図示した実施例に基づ
いて説明する。

第１図は、本考案の一実施例を示す装置の斜視
図であつて、図中符号１は、本考案が特徴とする
試料載置台で、第２図に示したようにゲルマニウ
ムやシリコン等の赤外線透過結晶材を平行平板状
に切出した本体１０の対向する両側面を、一側か
ら他側に向けて研磨等により表面１４に対する角
度を連続的（α〜Ｂ）に変化させた光学的平面１
１，１２に形成して構成され、図示しない駆動装
置により上下方向に移動可能な基台２に立設され
ている。試料載置台１の入射側の光学的平面１１
には、一定方向から入射した光を面１１の法線方
向に反射させるように反射面を軸方向に連続的に
捩つた軸外し凹面鏡４が、また出射側の光学的平
面１２には、これから出た光を一定方向に反射さ
せる同様の軸外し凹面鏡５が基台２に立設されて
いる。なお図中符号６，７は、それぞれ軸外し凹
面鏡４，５と光学的に対向して分析光学系に光を
導く反射鏡を示す。

この実施例において、試料載置台１に試料Ｓを
密着させて（第３図）、各軸外し凹面鏡４，５の
光路を分光計の光源部と受光部を結ぶ光路L₁に
対向させる。

このような状態において、基台２を移動させて
表面に対して例えば角度60°の光学的平面１１，
１２の部分を選択すると（第３図）、光源から
の光は軸外し凹面鏡４により反射されて、この選
択された光学的平面１１部の法線方向から試料載
置台１に入射する。

この入射した光は、入射角θ₁＝60°でもつて平
行な表面１３，１４間で反射を繰返して他方の光
学的平面１２に向けて進行する。

この過程において、表面から一部洩光した光
は、試料載置台１に設けられた試料Ｓの特性に応
じたスペクトル成分が、反射を繰返すごとに吸収
される。このようにして他方の光学的平面１２ま
で進行すると表面１４で60°の角度で反射され、
表面１４に対して60°の角度を持つ部分の光学的
平面１２の法線に一致して出射し、軸外し凹面鏡
５により一定方向に反射されて分光計の受光部に
入射する。

一方、試料Ｓへの入射角を変更すべく基台２を
上方に移動させると、分光計の光源部と受光部を
結ぶ光路に対する試料載置台１の光学的平面１１
の角度が表面１４に対して連続的に変化してい
く。このようにして、例えば30°の角度を持つ部
分の光学的平面１１が光路L₃に位置するまで基
台２を移動させると（同図）、分光計からの光
は、軸外し凹面鏡４によつて光学的平面１１の法
線に一致する方向に反射されて試料載置台１に入
射する。試料載置台１に入射した光は、２つの表
面１３，１４間において反射角θ₂を30°に保持し
ながら反射を繰返す。云うまでもなく、表面１
３，１４間での反射角が前回の場合と異なつてい
るので、試料への入射角も変更されることにな
り、この光は同一試料Ｓにおける厚さ方向におけ
る特性に基づいたスペクトル吸収を受ける。

このようにして、他方の光学的平面１２まで進
行すると表面１４で30°の角度で反射され、平面
１４に対して30°の角度を持つ部分の光学的平面
１２の法線に一致して出射し、軸外し凹面鏡５に
より一定方向に反射されて分光計の受光部に入射
する。

云うまでもなく、光学的平面に入射する光、及
び光学的平面１１，１２から出射する光は、試料
載置台１での光の進行角の変化に関わりなく光学
的平面１１，１２の法線に一致しているため、光
学的平面１１，１２での反射は極めて小さい。

なお、この実施例においては、説明を簡明にす
るため、試料載置台での光の進行角を個々独立に
設定する場合に例を採つて説明したが、試料載置
台を分析光学路に対して連続的に移動させること
により、厚さ方向のデータを一連の動作で得るこ
とができ、また光学的平面の長手方向に発光素子
と受光素子を複数個配設することにより試料の厚
さ方向のデータを同時に得ることが可能となる。

また、この実施例においては、試料載置台を上
下方向に移動させるようにしているが、分析光路
に対して光学的平面の角度が変化する方向に移動
させればよいことは明らかである。

さらに、この実施例においては、赤外分析に例
を採つて説明したが、可視光や紫外光分析に対し
ても同様に適用できることは云うまでもない。

ヘ 効果 以上、説明したように本考案によれば、平行平
板状光学部材の両側を一側から他側に向けて角度
を連続的に変える光学的平面に形成するととも
に、これらの平面に軸外し凹面鏡を対向配設した
ので、試料載置台での光の進行角の変化に関わり
なくその光学的平面の法線に一致させて分析光を
入出射させることができて、分析光の減衰を可及
的に小さくすることができ、また試料載置台を固
定した基台を直線運動させるでけで、試料厚さ方
向の連続的に得ることができ、分析時間の短縮を
図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図イ、ロはそれぞれ同上装置の要部を示す斜視図
と側面図、第３図は同上装置の動作を示す説明
図、及び第４図は従来の照射装置の一例を示す断
面図である。 １……試料載置台、２……基台、１１，１２…
…光学的平面、４，５……軸外し凹面鏡、Ｓ……
試料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 膜状試料を密着させる平行平板状の光学部材の
   対向する側面に、一端から他端に向けて連続的に
   角度を変化させた光学的平面を形成してなる試料
   載置台と、一定方向の光路を前記光学的平面の法
   線に一致させる軸外し反射鏡とを、分析光路に対
   して相対的に移動可能な基台に配設してなる膜状
   試料分析用光照射装置。