JPH0496014A - レーザプリンタヘッド - Google Patents
レーザプリンタヘッドInfo
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- JPH0496014A JPH0496014A JP21389390A JP21389390A JPH0496014A JP H0496014 A JPH0496014 A JP H0496014A JP 21389390 A JP21389390 A JP 21389390A JP 21389390 A JP21389390 A JP 21389390A JP H0496014 A JPH0496014 A JP H0496014A
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- Japan
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- laser printer
- motor
- silicon
- laser
- silicon substrate
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
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Landscapes
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- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コンパクトなレーザプリンタに関するもので
ある。
ある。
レーザプリンタは現在最も高品質な印字表示を可能とす
る記録機器として多方面で活用されている。最近では半
導体レーザ、実装技術の進歩により、このレーザプリン
タの低コスト化が可能となり、普及機へもレーザプリン
タが多く使われるようになっている。しかしながらコン
パクト、コストの°点では、感熱式プリンタ、ドツトイ
ンパクトプリンタ等に劣るため。普及機クラスでは、ま
だ感熱式プリンタやドツトインパクトプリンタが主流で
ある。
る記録機器として多方面で活用されている。最近では半
導体レーザ、実装技術の進歩により、このレーザプリン
タの低コスト化が可能となり、普及機へもレーザプリン
タが多く使われるようになっている。しかしながらコン
パクト、コストの°点では、感熱式プリンタ、ドツトイ
ンパクトプリンタ等に劣るため。普及機クラスでは、ま
だ感熱式プリンタやドツトインパクトプリンタが主流で
ある。
従来のレーザプリンタは第２図に示すように、半導体レ
ーザ４０１からのレーザ光８０１をポリゴンミラー３０
２と呼ばれる正多面体ミラーで反射し感光体ドラム７０
１に照射し、このレーザ光を高速光変調素子５０１でス
イッチングさせながら、モータ２０２によりポリゴンミ
ラーを高速回転させ、感光体ドラム上を走査する事によ
り感光体ドラム上に電子像を描きこの像をトナーを媒介
にして紙面に転写する方式であった。この従来のレーザ
プリンタでは、レーザ光を走査するレーザプリンタヘッ
ドに高精度なポリゴンミラー、及び回転駆動系とレーザ
光を走査するための空間を必要としていた。
ーザ４０１からのレーザ光８０１をポリゴンミラー３０
２と呼ばれる正多面体ミラーで反射し感光体ドラム７０
１に照射し、このレーザ光を高速光変調素子５０１でス
イッチングさせながら、モータ２０２によりポリゴンミ
ラーを高速回転させ、感光体ドラム上を走査する事によ
り感光体ドラム上に電子像を描きこの像をトナーを媒介
にして紙面に転写する方式であった。この従来のレーザ
プリンタでは、レーザ光を走査するレーザプリンタヘッ
ドに高精度なポリゴンミラー、及び回転駆動系とレーザ
光を走査するための空間を必要としていた。
従来のレーザプリンタに用いられているレーザプリンタ
ヘッドは高精度なポリゴンミラー、及びその回転駆動系
等のメカニカル部分と光路を走査するための空間を必要
とし、これが低コスト化、コンパクト化への大きな障壁
となるという問題点を有していた。したがって、例えば
通常のレーザプリンタは、比較的コンパクトなものでも
縦、横、高さとも３０ｃｍ以上あり、−船釣パーソナル
コンピュータ本体より大きい。しかも価格もパーソナル
コンピュータ本体価格より高価であった。
ヘッドは高精度なポリゴンミラー、及びその回転駆動系
等のメカニカル部分と光路を走査するための空間を必要
とし、これが低コスト化、コンパクト化への大きな障壁
となるという問題点を有していた。したがって、例えば
通常のレーザプリンタは、比較的コンパクトなものでも
縦、横、高さとも３０ｃｍ以上あり、−船釣パーソナル
コンピュータ本体より大きい。しかも価格もパーソナル
コンピュータ本体価格より高価であった。
本発明の要旨とするところは、シリコン基板上に半導体
製造プロセスを用いて形成された、少なくともシリコン
及びシリコン酸化膜を構成要素とする静電駆動モータと
該静電モータ上部に形成されたシリコン正多面体柱から
なるポリゴンミラーと前記シリコン基板上に形成された
半導体レーザ、光変調素子、駆動回路、から構成される
事を特徴とするレーザプリンタヘッドを提供することに
ある。
製造プロセスを用いて形成された、少なくともシリコン
及びシリコン酸化膜を構成要素とする静電駆動モータと
該静電モータ上部に形成されたシリコン正多面体柱から
なるポリゴンミラーと前記シリコン基板上に形成された
半導体レーザ、光変調素子、駆動回路、から構成される
事を特徴とするレーザプリンタヘッドを提供することに
ある。
〔作用〕
シリコンプロセスを用いて微小なメカニカル素子を（例
えばマイクロ歯車、モータ等）作製するマイクロマシー
ニング技術は研究が近年活発に行われている。ここ数年
シリコンマイクロマシーニング技術を用いて直径１００
μｍ程度の小型モータや小型ポンプ等の機械部品が試作
され、動作が確認されるようになった（例えば；藤田、
「動くシリコンへ、Ｓｉマイクロマシーニング技術」、
日経エレクトロニクス、１９８９年８月２１日号、ｎｏ
、４８０．ｐｐ１２５−１２６）。このマイクロマシー
ニング技術を用いてレーザプリンタの駆動系を作製した
結果、コンパクトなレーザプリンタの実現が可能になっ
た。ポリゴンミラーもマイクロマシーニング技術を用い
て静電駆動モータと一体形成が可能となった。必要とす
る精度も、シリコンプロセスである光りソグラフイイ技
術を用いれば十分な精度を確保できている。シリコン基
板を用いた場合このようなメカニカル素子を作製したう
えで、これを駆動する回路も一体化して形成することが
可能である。つまりＣＭＯＳ回路とメカニカル素子との
プロセスの整合が可能である。はじめにＣＭＯＳ回路を
作製し、この上部にメカニカル素子を作製する事により
各種の駆動回路を一体化したマイクロメカニカル素子が
実現している。本発明では、このようにしてＣＭＯＳ駆
動回路と一体作製されたマイクロポリゴンミラーと同一
基板上に、ヒートシンクに接着する要領で半導体レーザ
、光変調素子をハイブリッド形成することにより、メカ
ニカル駆動系、駆動回路を含め、レーザプリンタの主要
部であるプリンタヘッドを１枚の基板上に形成できた。
えばマイクロ歯車、モータ等）作製するマイクロマシー
ニング技術は研究が近年活発に行われている。ここ数年
シリコンマイクロマシーニング技術を用いて直径１００
μｍ程度の小型モータや小型ポンプ等の機械部品が試作
され、動作が確認されるようになった（例えば；藤田、
「動くシリコンへ、Ｓｉマイクロマシーニング技術」、
日経エレクトロニクス、１９８９年８月２１日号、ｎｏ
、４８０．ｐｐ１２５−１２６）。このマイクロマシー
ニング技術を用いてレーザプリンタの駆動系を作製した
結果、コンパクトなレーザプリンタの実現が可能になっ
た。ポリゴンミラーもマイクロマシーニング技術を用い
て静電駆動モータと一体形成が可能となった。必要とす
る精度も、シリコンプロセスである光りソグラフイイ技
術を用いれば十分な精度を確保できている。シリコン基
板を用いた場合このようなメカニカル素子を作製したう
えで、これを駆動する回路も一体化して形成することが
可能である。つまりＣＭＯＳ回路とメカニカル素子との
プロセスの整合が可能である。はじめにＣＭＯＳ回路を
作製し、この上部にメカニカル素子を作製する事により
各種の駆動回路を一体化したマイクロメカニカル素子が
実現している。本発明では、このようにしてＣＭＯＳ駆
動回路と一体作製されたマイクロポリゴンミラーと同一
基板上に、ヒートシンクに接着する要領で半導体レーザ
、光変調素子をハイブリッド形成することにより、メカ
ニカル駆動系、駆動回路を含め、レーザプリンタの主要
部であるプリンタヘッドを１枚の基板上に形成できた。
この結果、従来に比べ超コンパクトレーザプリンタが実
現可能となった。またこのように機械的駆動系、電気回
路系を一体化する事により従来の方法より制御性も向上
している。
現可能となった。またこのように機械的駆動系、電気回
路系を一体化する事により従来の方法より制御性も向上
している。
本発明の実施例を図面を用いて説明する。第１図は本発
明のレーザプリンタヘッドを用いて作製した光プリンタ
の構成図である。まずシリコン基板１０１上にＣＭＯ６
駆動回路６０１を作製する。この時配線材料は耐熱性に
優れ、化学的、機械的にも強いタングステンを使用した
。このシリコン基板上にシリコン静電駆動モータ（静電
モータ）２０１を作製した。モータの直径は約２００μ
ｍ、厚さは１μｍである。このモータ２０１の構造例を
第３図Ａ（平面図）、Ｂ（断面図）に示した。なお、マ
イクロポリゴンミラー３０１は図示省略した。このモー
タは静電モータであるため回転の制御性は良いものが得
られた。このモータ上部を正６角形にし壁面をミラーと
して使えるように加工した（マイクロポリゴンミラー３
０１）。この基板上に光変調素子５０１及び半導体レー
ザ４０１をハイブリッド形成した結果、極薄の駆動回路
一体止したレーザプリンタヘッドが作製できた。レーザ
プリンタヘッドのサイズは５ｍｍＸ １０ｍｍ、厚さは
基板厚に等しい１ｍｍ以下と従来（標準的なもので５ｃ
ｍＸ１０ｃｍ、厚さ３ｃｍ程度）に比べ非常にコンパク
トなものができな。このユニットを約１０ｃｍの感光ド
ラムを有するレーザプリンタに組み込んだ結果、きわめ
てコンパクトなレーザプリンタが作製できた。高品質印
字も実現でき、解像度は６００ｄｐｉが得られた。この
結果ハンディタイプの高品質印字表示の可能なプリンタ
が実現できた。なお、ＣＭＯ３駆動回路、光変調素子、
半導体レーザは従来からあるものを利用できるので、こ
れらの説明は省略した。
明のレーザプリンタヘッドを用いて作製した光プリンタ
の構成図である。まずシリコン基板１０１上にＣＭＯ６
駆動回路６０１を作製する。この時配線材料は耐熱性に
優れ、化学的、機械的にも強いタングステンを使用した
。このシリコン基板上にシリコン静電駆動モータ（静電
モータ）２０１を作製した。モータの直径は約２００μ
ｍ、厚さは１μｍである。このモータ２０１の構造例を
第３図Ａ（平面図）、Ｂ（断面図）に示した。なお、マ
イクロポリゴンミラー３０１は図示省略した。このモー
タは静電モータであるため回転の制御性は良いものが得
られた。このモータ上部を正６角形にし壁面をミラーと
して使えるように加工した（マイクロポリゴンミラー３
０１）。この基板上に光変調素子５０１及び半導体レー
ザ４０１をハイブリッド形成した結果、極薄の駆動回路
一体止したレーザプリンタヘッドが作製できた。レーザ
プリンタヘッドのサイズは５ｍｍＸ １０ｍｍ、厚さは
基板厚に等しい１ｍｍ以下と従来（標準的なもので５ｃ
ｍＸ１０ｃｍ、厚さ３ｃｍ程度）に比べ非常にコンパク
トなものができな。このユニットを約１０ｃｍの感光ド
ラムを有するレーザプリンタに組み込んだ結果、きわめ
てコンパクトなレーザプリンタが作製できた。高品質印
字も実現でき、解像度は６００ｄｐｉが得られた。この
結果ハンディタイプの高品質印字表示の可能なプリンタ
が実現できた。なお、ＣＭＯ３駆動回路、光変調素子、
半導体レーザは従来からあるものを利用できるので、こ
れらの説明は省略した。
以上説明したように、本発明によればコンパクトなレー
ザプリンタが実現できハンプタイプで高品質な印字表示
のできるプリンタが実現となった。
ザプリンタが実現できハンプタイプで高品質な印字表示
のできるプリンタが実現となった。
１０１・・・シリコン基板、２０１・・・静電モータ、
２０２・・・モータ、３０１・・・マイクロポリゴンミ
ラー、３０２・・・ポリゴンミラー、４０１ 中手導体
レーザ、５０１・・・光変調素子、６０１・・・駆動回
路、７０１・・・感光ドラム、８０１・・・レーザ光。
２０２・・・モータ、３０１・・・マイクロポリゴンミ
ラー、３０２・・・ポリゴンミラー、４０１ 中手導体
レーザ、５０１・・・光変調素子、６０１・・・駆動回
路、７０１・・・感光ドラム、８０１・・・レーザ光。
Claims (1)
- シリコン正多面体柱からなるポリゴンミラーがロータ上
部に形成されたシリコン静電モータと、半導体レーザと
、光変調素子と、駆動回路とを１つのシリコン基板上に
形成したレーザプリンタヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21389390A JPH0496014A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | レーザプリンタヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21389390A JPH0496014A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | レーザプリンタヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0496014A true JPH0496014A (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=16646762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21389390A Pending JPH0496014A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | レーザプリンタヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0496014A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04156508A (ja) * | 1990-10-20 | 1992-05-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光偏向器および光ビーム走査装置 |
| US6657765B2 (en) | 2001-03-01 | 2003-12-02 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflecting unit, optical scanning unit, image forming apparatus, and method of producing optical unit |
| US6932271B2 (en) | 2000-01-27 | 2005-08-23 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scan module, optical scanner, optical scan method, image generator and image reader |
| US8576974B2 (en) | 2007-08-20 | 2013-11-05 | Hitachi-Ge Nuclear Energy, Ltd. | Apparatus for ultrasonic inspection of reactor pressure vessel |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP21389390A patent/JPH0496014A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04156508A (ja) * | 1990-10-20 | 1992-05-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光偏向器および光ビーム走査装置 |
| US6932271B2 (en) | 2000-01-27 | 2005-08-23 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scan module, optical scanner, optical scan method, image generator and image reader |
| US6657765B2 (en) | 2001-03-01 | 2003-12-02 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflecting unit, optical scanning unit, image forming apparatus, and method of producing optical unit |
| US8576974B2 (en) | 2007-08-20 | 2013-11-05 | Hitachi-Ge Nuclear Energy, Ltd. | Apparatus for ultrasonic inspection of reactor pressure vessel |
| US8619939B2 (en) | 2007-08-20 | 2013-12-31 | Hitachi-Ge Nuclear Energy, Ltd. | Apparatus for ultrasonic inspection of reactor pressure vessel |
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