JPH049613A - Magnetic encoder - Google Patents
Magnetic encoderInfo
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000003973 paint Substances 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、回転角度や直線変位を検出する磁気エンコ
ーダに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a magnetic encoder that detects rotational angles and linear displacements.
「従来の技術」
周知のように、回転角度を検出するための磁気ロータリ
ーエンコーダは、回転軸に固定された円盤状の磁気記録
媒体に、その円周方向に沿って原点トラックとピッチ信
号トラックが設けられ、原点トラックの特定の1箇所に
は原点信号が記録され、また、ピッチ信号トラックには
一定間隔でピッチ信号が記録されている。そして、ピッ
チ信号トラックから磁気センサによって検出されたピッ
チ信号に基づいて得られるパルスをカウントすると共に
、原点トラックから別の磁気センサによって検出された
原点信号によってリセットされるカウンタを設け、この
カウンタのカウント値を、回転軸の回転角度に対応した
角度データとして出力するようになっている。``Prior Art'' As is well known, a magnetic rotary encoder for detecting a rotation angle has an origin track and a pitch signal track along the circumference of a disc-shaped magnetic recording medium fixed to a rotating shaft. An origin signal is recorded at a specific location on the origin track, and pitch signals are recorded at regular intervals on the pitch signal track. A counter is provided that counts pulses obtained based on a pitch signal detected by a magnetic sensor from a pitch signal track, and is reset by an origin signal detected by another magnetic sensor from an origin track. The value is output as angle data corresponding to the rotation angle of the rotation axis.
「発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した磁気ロータリーエンコーダを、例え
ば、産業用ロボットに組み込んでアームの動作角度を検
出する場合、単にアームの動作角度を検出する以外に、
アームが所定の回転角度に到達する毎に、インデックス
パルスを得るよ“うにしたいという要求がある。そこで
、従来は、ディジタル比較器によってカウンタのカウン
ト値か所定値に到達し、たことを検出して、インデック
スパルスを出ノJ(、ていた。し、かしなから、電源投
入時等、カウンタが原点信号によ、ってリセットされる
以前の状態においては、カウンタがリセットされ、所定
値までカウントした後でなければインデックスパルスが
出力されないため、アームを一度原点位置まで戻し、た
後、インデックスパルスが得られる位置まで動かさなけ
ればならず、即座にインデックスパルスが得られないと
いう問題があった。この場合、磁気記録媒体ζこ新たに
インデックスパルス用のトラックを設けるごとも考えら
れるが、装置全体の人形化が避けられないという問題が
生じる。"Problems to be Solved by the Invention" By the way, when the above-mentioned magnetic rotary encoder is incorporated into an industrial robot to detect the operating angle of the arm, in addition to simply detecting the operating angle of the arm,
There is a desire to obtain an index pulse every time the arm reaches a predetermined rotation angle.Therefore, conventionally, a digital comparator is used to detect when the count value of a counter or a predetermined value has been reached. However, in the state before the counter is reset by the origin signal, such as when the power is turned on, the counter is reset and the index pulse is set to the predetermined value. Since the index pulse is not output until after the count has been reached, the arm must be returned to the home position and then moved to the position where the index pulse can be obtained, which poses the problem of not being able to obtain the index pulse immediately. In this case, it is conceivable to provide a new track for the index pulse on the magnetic recording medium ζ, but the problem arises that the entire apparatus becomes a doll.
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、磁気
記録媒体の変位を検出するためのカウンタの動作に関係
tjり、任意の位置でインデックスパルスを発生(るこ
とができ、さらに装置全体を小形に構成することがでΔ
る磁気エンコーダを提供することを目的と1.でいる。This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to generate an index pulse at any position related to the operation of a counter for detecting the displacement of a magnetic recording medium. Δ
The purpose is to provide a magnetic encoder that: 1. I'm here.
「課題を解決Aるtコめの手段1
この発明は、回転自在もシ、<は直線移動自在に支持さ
れた磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に記録された磁
気情報を読み出して該磁気記録媒体の変位を検出する変
位検出手段と、前記磁気記録媒体上の任意の箇所に、光
の反射率を異ならせることによって記録されたインデッ
クスマー・りと、前記インデックスマークを光学的に検
出するインデックスマーク検出手段とを具備4′ること
を特徴としている。``Means for Solving the Problems 1 This invention includes a magnetic recording medium supported rotatably and linearly movably, and magnetic information recorded on the magnetic recording medium is read out and the magnetic information is a displacement detection means for detecting displacement of a recording medium; an index mark recorded at an arbitrary location on the magnetic recording medium by varying the reflectance of light; and an index mark for optically detecting the index mark. The present invention is characterized in that it includes an index mark detection means 4'.
「作用」
上述した構成ζζよれば、磁気記録媒体上、の任意の箇
所にインデックスマークを書き込むごとによって、磁気
記録媒体の変位を検出する変位検出手段の動作に一切関
係なく、任意の位置でインデックスパルスが得られる。"Operation" According to the above-mentioned configuration ζζ, each time an index mark is written at an arbitrary location on the magnetic recording medium, an index mark is created at an arbitrary position regardless of the operation of the displacement detection means that detects the displacement of the magnetic recording medium. A pulse is obtained.
[゛実施例」 以下、図面を参照し1、この発明の詳細な説明する1、 第1図はこの発明の一実施例の構成を示律゛図である。[Example] Hereinafter, with reference to the drawings, the present invention will be described in detail. FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.
この図において、■は図示ゼぬベアリングによって、図
に示す矢印M方向へ回転自在に支持されたシャフトであ
り、このシャフト1には円柱状の磁気記録媒体2が取り
付けられている。この磁気記録媒体2は、第2図に示す
ように、円柱状のベース2aと、このベース2aの外周
面上に形成された磁性層2bと、この磁性層2bの表面
に形成された非磁性層2cとから構成されている。この
場合、非磁性層2cはAf2もしくはCr等の金属を蒸
着することによって形成され、もしくは白色の合成樹脂
を塗孔することによって形成されている。In this figure, the symbol (■) is a shaft that is rotatably supported by a bearing (not shown) in the direction of arrow M shown in the figure, and a cylindrical magnetic recording medium 2 is attached to this shaft 1. As shown in FIG. 2, this magnetic recording medium 2 includes a cylindrical base 2a, a magnetic layer 2b formed on the outer peripheral surface of this base 2a, and a non-magnetic layer 2b formed on the surface of this magnetic layer 2b. It is composed of a layer 2c. In this case, the nonmagnetic layer 2c is formed by vapor depositing a metal such as Af2 or Cr, or by coating holes with white synthetic resin.
この非磁性層2cは、磁性層2bの表面の反射率を高め
る目的で設置Jられており、磁性層2bが合金磁石(F
e−Cr−G o合金等)のよ・5に反射率が高い材
質で構成されている場合、あえて非磁性層2cを形成す
る必要はない。This non-magnetic layer 2c is provided for the purpose of increasing the reflectance of the surface of the magnetic layer 2b, and the magnetic layer 2b is made of an alloy magnet (F
If it is made of a material with a high reflectance of .5, such as e-Cr-Go alloy, there is no need to form the non-magnetic layer 2c.
この磁気記録媒体2の外周面には、その全周に亙って、
原点トラックTzと、ピッチ信号トラックTPが設置づ
られている。原点l・ラックTzには、磁気記録媒体2
の原点となる箇所に 、!4′一周期分の正弦波状の磁
気情報が原点信号とし°ζ紀録されCおり、また、ピッ
チ信号トラック7゛pには、一定波長λの正弦波状の磁
気情報がビッヂ信号とし、て繰り返し記録されている。On the outer peripheral surface of this magnetic recording medium 2, over the entire circumference,
An origin track Tz and a pitch signal track TP are installed. The magnetic recording medium 2 is placed at the origin l and the rack Tz.
At the origin of ,! 4' One cycle of sinusoidal magnetic information is recorded as an origin signal, and on pitch signal track 7p, sinusoidal magnetic information with a constant wavelength λ is repeatedly recorded as a bitch signal. has been done.
また、磁気記録媒体2の外周面の任意の箇所には、イン
デックスマークIMが黒色塗料で書き込まれている。Furthermore, an index mark IM is written with black paint at an arbitrary location on the outer peripheral surface of the magnetic recording medium 2.
3は反射型フォトセンサであり、磁気記録媒体2の外周
面と一定の空隙を隔てて対向配置されている。そして、
磁気記録媒体2が回転し、インデックスマークIMが到
達する毎(、六反射型フォ)・センサ2から、インデッ
クスパルスが出ノJされる。Reference numeral 3 denotes a reflective photosensor, which is placed opposite to the outer peripheral surface of the magnetic recording medium 2 with a certain gap in between. and,
Each time the magnetic recording medium 2 rotates and the index mark IM reaches the sensor 2, an index pulse is generated.
また、4および5 a、 5 bは、ガラス基板1−に
磁気抵抗素子を形成してなる磁気センサであり、磁気記
録媒体2の外周面と一定の空隙を隔てて各々対向配置さ
れている。、L記磁気抵抗素子は、磁界中に置かれた場
合、その磁界の強さに応じて固有抵抗が変化する現象、
いわゆる磁気抵抗効果が生じる素子材料にJっで構成さ
れており、この磁気抵抗効果を利用して、原点トラック
Tz上に(記録された原点信号と、ピッチ信号トラック
TI)上に記録されたピッチ信号が読み取られるように
なっている。また、磁気センサ58および5bは磁気記
録媒体2の移動方向Mに沿って互いに(m±174)λ
(但し、mは整数)だけ離間して状態で、ピッチ信号ト
ラックTpに対向して配置されている。そして、磁気セ
ンサ5aおよび5bの磁気抵抗素子パターンは、ピッチ
信号トラックTpから受ける磁界によって抵抗値が変化
し、この結果、磁気センサ5aおよび5bからはピッチ
信号トラックTpとの位置関係に応じたレベルの信号が
得られるようになっている。すなわち、ピッチ信号トラ
ックTp上の正弦波状の磁気情報1周期の区間をθ=0
〜2πとすると、磁気センサ5aからはsinθ、磁気
センサ5bからはeO8θのレベル信号が得られる。Moreover, 4, 5a, and 5b are magnetic sensors formed by forming a magnetoresistive element on the glass substrate 1-, and are arranged opposite to the outer peripheral surface of the magnetic recording medium 2 with a certain gap in between. , L magnetoresistive element is a phenomenon in which, when placed in a magnetic field, the specific resistance changes depending on the strength of the magnetic field,
The element material is composed of J, which produces a so-called magnetoresistive effect, and by utilizing this magnetoresistive effect, the pitch recorded on the origin track Tz (recorded origin signal and pitch signal track TI) is The signal can now be read. Further, the magnetic sensors 58 and 5b are aligned with each other (m±174)λ along the moving direction M of the magnetic recording medium 2.
(However, m is an integer) They are arranged opposite to the pitch signal track Tp with a distance therebetween. The resistance value of the magnetoresistive element patterns of the magnetic sensors 5a and 5b changes depending on the magnetic field received from the pitch signal track Tp, and as a result, the magnetic sensors 5a and 5b output a level corresponding to the positional relationship with the pitch signal track Tp. signal can be obtained. That is, the section of one period of sinusoidal magnetic information on the pitch signal track Tp is set to θ=0.
˜2π, a level signal of sin θ is obtained from the magnetic sensor 5a and a level signal of eO8θ is obtained from the magnetic sensor 5b.
そして、ピッチ信号トラックTpが磁気センサ5aおよ
び5bに対して移動すると、それに伴って磁気センサ5
aおよび5bから位相がπ/2ずれた2相の検出信号s
inθ(A相)およびCogθ(B相)が得られる。Then, when the pitch signal track Tp moves relative to the magnetic sensors 5a and 5b, the magnetic sensor 5
Two-phase detection signal s whose phase is shifted by π/2 from a and 5b
inθ (A phase) and Cogθ (B phase) are obtained.
6は角度計数回路であり、波形整形回路7.8および9
と、方向判別回路IOと、アップダウン・カウンタ11
とから構成されている。波形整形回路7および8では、
各々A相およびB相の検出信号が、波形整形されて出力
される。この場合、波形整形回路7および8から各々出
力されるA相パルスPaおよびB相パルスPbは、互い
に位相がπ/2ずれた矩形波となり、磁気記録媒体2の
回転方向が正方向の場合は、A相パルスPaが進み位相
となり、負方向の場合は、B相パルスPbが進み位相と
なる。そして、方向判別回路10においては、例えば、
A相パルスPaの立ち上がり時にB相パルスPbのレベ
ルが′H”か°L“かによって回転方向が判別される。6 is an angle counting circuit, and waveform shaping circuits 7.8 and 9
, direction discrimination circuit IO, and up/down counter 11
It is composed of. In the waveform shaping circuits 7 and 8,
The A-phase and B-phase detection signals are waveform-shaped and output. In this case, the A-phase pulse Pa and the B-phase pulse Pb output from the waveform shaping circuits 7 and 8 respectively become rectangular waves whose phases are shifted by π/2, and when the rotation direction of the magnetic recording medium 2 is in the positive direction, , the A-phase pulse Pa has an advanced phase, and in the case of a negative direction, the B-phase pulse Pb has an advanced phase. Then, in the direction discrimination circuit 10, for example,
The direction of rotation is determined depending on whether the level of the B-phase pulse Pb is 'H' or 'L' at the rise of the A-phase pulse Pa.
この方向判別回路lOの出力信号Svは、カウンタ11
のアップダウン切換端子U/f5に供給される。そして
、カウンタ11は、信号Svによってカウントモードが
アップもしくはダウンに切り換えられつつA相パルスP
aがカウントされる。この場合、磁気記録媒体2が正方
向に回転している時にアップカウント、負方向に回転し
ている時にダウンカウントが行われるようになっている
。The output signal Sv of this direction discrimination circuit 1O is outputted by the counter 11.
is supplied to the up/down switching terminal U/f5. Then, the counter 11 receives the A-phase pulse P while the count mode is switched up or down by the signal Sv.
a is counted. In this case, up-counting is performed when the magnetic recording medium 2 is rotating in the positive direction, and down-counting is performed when it is rotating in the negative direction.
一方、磁気記録媒体2の原点が磁気センサ4の設置箇所
を通過する毎に、この磁気センサ4によって、その原点
に記録された原点信号が検出され、これが波形整形回路
9を介して原点パルスPzとなり、カウンタ11のリセ
ット端子Rに供給されるようになっている。この結果、
カウンタ11は、磁気記録媒体2の原点が、磁気センサ
4の設置箇所に到達する毎にリセットされる。従って、
カウンタ11のカウント値は、磁気記録媒体2の原点が
、磁気センサ4の設置箇所を通過してから、現在に至る
までの間において、磁気センサ5 as 5 b上を通
過したピッチ信号トラックTI)の磁化区間の数に対応
する値、すなわち、磁気記録媒体2の回転角度に対応し
た値となる。そして、このカウンタ11のカウント値が
、シャフト2の回転角度に対応した角度データDとして
出力される。On the other hand, every time the origin of the magnetic recording medium 2 passes through the installation location of the magnetic sensor 4, the origin signal recorded at the origin is detected by the magnetic sensor 4, and this is transmitted via the waveform shaping circuit 9 to the origin pulse Pz. and is supplied to the reset terminal R of the counter 11. As a result,
The counter 11 is reset each time the origin of the magnetic recording medium 2 reaches the location where the magnetic sensor 4 is installed. Therefore,
The count value of the counter 11 is the pitch signal track TI that has passed over the magnetic sensor 5 as 5b from the time when the origin of the magnetic recording medium 2 passed through the installation location of the magnetic sensor 4 until the present time. The value corresponds to the number of magnetization sections, that is, the value corresponds to the rotation angle of the magnetic recording medium 2. Then, the count value of the counter 11 is output as angle data D corresponding to the rotation angle of the shaft 2.
このように、上述した一実施例によれば、磁気記録媒体
2の任意の箇所に、黒色塗料によってインデックスマー
クIMを書き込み、このインデックスマークIMを光学
的に検出する反射型フォトセンサ3を設けたので、電源
投入時等、カウンタ11が原点信号によってリセットさ
れる以前の状態においても、反射型フォトセンサ3から
インデックスパルスが出力される。また、インデックス
マークIMは適当な溶剤を用いて拭き取れば簡単に消去
することができ、さらに別の箇所に書き込むこともでき
る。As described above, according to the embodiment described above, an index mark IM is written with black paint at an arbitrary location on the magnetic recording medium 2, and a reflective photosensor 3 is provided to optically detect the index mark IM. Therefore, even in a state before the counter 11 is reset by the origin signal, such as when the power is turned on, the index pulse is output from the reflective photosensor 3. Further, the index mark IM can be easily erased by wiping it with a suitable solvent, and can also be written in another location.
次に、第3図はこの発明の他の実施例の構成を示す図で
あり、この実施例においては、円盤状の磁気記録媒体1
2を用い、その上面に原点トラックTzと、ピッチ信号
トラックτpが設けられ、さらに半径方向に沿ってイン
デックスマークIMが書き込まれている。そして、この
磁気記録媒体12の上面と一定の空隙を隔てて磁気セン
サ4,5a。Next, FIG. 3 is a diagram showing the configuration of another embodiment of the present invention. In this embodiment, a disk-shaped magnetic recording medium 1
2, an origin track Tz and a pitch signal track τp are provided on the upper surface thereof, and an index mark IM is further written along the radial direction. Magnetic sensors 4 and 5a are spaced apart from the upper surface of the magnetic recording medium 12 by a certain gap.
5bを含む磁気センサユニット13と、反射型フォトセ
ッサ3が各々配置されている。A magnetic sensor unit 13 including a magnetic sensor unit 5b and a reflective photosensor 3 are respectively arranged.
なお、上述した一実施例においては、インデックスマー
クIMを黒色塗料によ−)て書Δ込む、↓、うにしてい
たか、黒色テープを張り付けてもよく、要は、他の部分
と光の反射率が異なるようにし、ておけばよい。また、
回転角度を検出4る磁気1iii −タリーユンコーダ
を例に説明したが、直線変位を検出する磁気リニアJン
コーダ?、二も勿論適用4′ることかできる。In addition, in the above-mentioned embodiment, the index mark IM may be written with black paint, or may be pasted with black tape, in short, to avoid light reflection from other parts. All you have to do is make the rates different. Also,
Magnetic 1iii-Tally encoder that detects rotation angle has been explained as an example, but what about magnetic linear J encoder that detects linear displacement? , 2 can of course also be applied to 4'.
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によ4れば、磁気記録媒
体上の任意の箇所にインデックスマークを書き込むこと
によって、磁気記録媒体の変位を検出する変位検出手段
の動作に一切関係なく、任意の位置でインデックスパル
スを得ることができ、さらにインデックス用のトラック
を別途設置3る必要がないので、装置全体を小形に構成
側ることができるという効果が得られる。"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, by writing an index mark at an arbitrary location on a magnetic recording medium, the operation of the displacement detecting means for detecting the displacement of the magnetic recording medium is completely controlled. Regardless, the index pulse can be obtained at any position, and since there is no need to separately install an index track, the entire device can be made smaller.
第1図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図は同実施例の磁気記録媒体の構成を示す断面図、
第3図はこの発明の他の実施例の構成を示1斜視図であ
る1、
磁気記録媒体、 2a・・・・・ベース、・磁性層、
2c ・非磁性層1
、インデックスマーク、
反射型フォj・セン号、
(インデックスマーク検出手段)、
Tz・・・・・原点トラ・ツク、
Tp・・・・ピッチ信号トラック、
4.5a、5b・・・・・磁気センサ、6・・・・角度
計数回路(以に、変位検出手段)、。
2 ・・ ・
21)・
iM・・
3 ・FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of the magnetic recording medium of the same example;
FIG. 3 is a perspective view showing the structure of another embodiment of the present invention. 1. Magnetic recording medium; 2a... base; magnetic layer;
2c - Non-magnetic layer 1, index mark, reflective type sensor, (index mark detection means), Tz...origin track, Tp...pitch signal track, 4.5a, 5b . . . Magnetic sensor, 6. . . Angle counting circuit (hereinafter referred to as displacement detection means). 2 ・・ 21)・iM・・ 3 ・
Claims (1)
体と、 前記磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み出して該
磁気記録媒体の変位を検出する変位検出手段と、 前記磁気記録媒体上の任意の箇所に、光の反射率を異な
らせることによって記録されたインデックスマークと、 前記インデックスマークを光学的に検出するインデック
スマーク検出手段と、 を具備することを特徴とする磁気エンコーダ。[Scope of Claims] A magnetic recording medium supported rotatably or linearly; displacement detecting means for reading magnetic information recorded on the magnetic recording medium and detecting displacement of the magnetic recording medium; and the magnetic recording medium. A magnetic encoder comprising: index marks recorded at arbitrary locations on a recording medium by varying the reflectance of light; and index mark detection means for optically detecting the index marks. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11145290A JPH049613A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Magnetic encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11145290A JPH049613A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Magnetic encoder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH049613A true JPH049613A (en) | 1992-01-14 |
Family
ID=14561579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11145290A Pending JPH049613A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Magnetic encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH049613A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
| JP2007064755A (en) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Samutaku Kk | Signal processing circuit for encoder |
| US9284703B2 (en) | 2010-07-02 | 2016-03-15 | Giletta S.P.A. | Spreader unit for de-icing material and respective vehicle |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP11145290A patent/JPH049613A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
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