JPH049726Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH049726Y2 JPH049726Y2 JP20145886U JP20145886U JPH049726Y2 JP H049726 Y2 JPH049726 Y2 JP H049726Y2 JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP H049726 Y2 JPH049726 Y2 JP H049726Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mcp
- ion beam
- detector
- mass spectrometer
- microchannel plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 24
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 101710121996 Hexon protein p72 Proteins 0.000 description 34
- 101710125418 Major capsid protein Proteins 0.000 description 34
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 14
- 101100504320 Caenorhabditis elegans mcp-1 gene Proteins 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 102100021943 C-C motif chemokine 2 Human genes 0.000 description 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、質量分析計において使用されるイオ
ン検出器に関し、特にマイクロチヤンネルプレー
ト（以下MCPと称す）を用いたイオン検出器に
関する。
ン検出器に関し、特にマイクロチヤンネルプレー
ト（以下MCPと称す）を用いたイオン検出器に
関する。
［従来の技術］
質量分析計等において高エネルギーで加速され
たイオンを検出するためにMCPが用いられるこ
とがあり、例えば、第５図のような構成が知られ
ている。第５図において９はイオンを質量電荷比
に応じて展開する磁石、１は展開面にそつて配置
されるMCP、５はコレクタ、３はイオン・ビー
ム、８はイオン・モニター電極である。チヤンネ
ルプレート１に入射したイオンは電子に変換され
て２次電子増倍された上でチヤンネルプレート１
を出射し、多数の微小コレクターが一列に並べら
れたコレクタ５へ到達して検出される。
たイオンを検出するためにMCPが用いられるこ
とがあり、例えば、第５図のような構成が知られ
ている。第５図において９はイオンを質量電荷比
に応じて展開する磁石、１は展開面にそつて配置
されるMCP、５はコレクタ、３はイオン・ビー
ム、８はイオン・モニター電極である。チヤンネ
ルプレート１に入射したイオンは電子に変換され
て２次電子増倍された上でチヤンネルプレート１
を出射し、多数の微小コレクターが一列に並べら
れたコレクタ５へ到達して検出される。
［考案が解決しようとする問題点］
上記従来技術に用いられるMCPは、第３図に
示すように出力の積算電荷量が10-2Ｃ／cm2となる
前後から２次電子増倍利得が低下しはじめるとい
う特性があることが知られている。質量分析計に
MCPを用いた場合、MCPの性能や入射エネルギ
ーの強度にもよるが、一般的な質量分析測定にお
いては約700時間という比較的短い時間で利得低
下が生じ、検出出力のレベル低下などにより充分
な測定感度が得られなくなるため、頻繁にMCP
を交換しなければならなかつた。
示すように出力の積算電荷量が10-2Ｃ／cm2となる
前後から２次電子増倍利得が低下しはじめるとい
う特性があることが知られている。質量分析計に
MCPを用いた場合、MCPの性能や入射エネルギ
ーの強度にもよるが、一般的な質量分析測定にお
いては約700時間という比較的短い時間で利得低
下が生じ、検出出力のレベル低下などにより充分
な測定感度が得られなくなるため、頻繁にMCP
を交換しなければならなかつた。
本考案は、MCPの交換頻度を著しく減少させ
ることができ、それにより操作性を向上させるこ
とのできる質量分析計の検出器を提供することを
目的としている。
ることができ、それにより操作性を向上させるこ
とのできる質量分析計の検出器を提供することを
目的としている。
［問題点を解決するための手段］
そのため本考案は、分析場によつて質量電荷比
に応じて展開されたイオン・ビームの展開面に沿
つてマイクロチヤンネルプレートを配置して検出
するようにした質量分析計の検出器において、前
記マイクロチヤンネルプレートを前記展開面内で
前記イオン・ビームの展開方向と交差する方向に
移動させる移動機構を設けたことを特徴とする。
に応じて展開されたイオン・ビームの展開面に沿
つてマイクロチヤンネルプレートを配置して検出
するようにした質量分析計の検出器において、前
記マイクロチヤンネルプレートを前記展開面内で
前記イオン・ビームの展開方向と交差する方向に
移動させる移動機構を設けたことを特徴とする。
［作用］
本考案における質量分析計のMCPイオン検出
器は、MCPを前記イオン・ビームの展開方向と
交差する方向に移動させる移動機構を設けたこと
により、該MCPの移動によつてMCP上でのイオ
ン・ビーム展開位置を変えられるため、感度の低
下した領域を避けて常に新しい領域にイオン・ビ
ームを入射させることができる。
器は、MCPを前記イオン・ビームの展開方向と
交差する方向に移動させる移動機構を設けたこと
により、該MCPの移動によつてMCP上でのイオ
ン・ビーム展開位置を変えられるため、感度の低
下した領域を避けて常に新しい領域にイオン・ビ
ームを入射させることができる。
［実施例］
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。第１図は本考案による質量分析計の検出器の
一実施例を示す側面図、第２図は正面図である。
る。第１図は本考案による質量分析計の検出器の
一実施例を示す側面図、第２図は正面図である。
第１図及び第２図において、第５図と同じ構成
要素には同一番号を付してある。１はMCP、２
はMCP保持フレーム、３はイオン・ビーム、４
は駆動器、５はコレクタである。MCP１は第２
図に示されるように、側縁部を保持フレーム２に
よつて支持されると共に、該MCPを保持したフ
レーム２は入射イオン・ビームに対して垂直で該
フレーム２を左右から保持するように設置される
フレームガイド６に挿入されている。該フレーム
ガイド６にはフレーム２を昇降移動させる駆動器
４が配設される。
要素には同一番号を付してある。１はMCP、２
はMCP保持フレーム、３はイオン・ビーム、４
は駆動器、５はコレクタである。MCP１は第２
図に示されるように、側縁部を保持フレーム２に
よつて支持されると共に、該MCPを保持したフ
レーム２は入射イオン・ビームに対して垂直で該
フレーム２を左右から保持するように設置される
フレームガイド６に挿入されている。該フレーム
ガイド６にはフレーム２を昇降移動させる駆動器
４が配設される。
以上のような構成において、MCP１としては、
その高さＬが第２図において斜線で示した入射イ
オン・ビームの高さＨの数倍以上ある十分大きな
ものが使用される。今、第２図ａに示すように、
MCP１の上端部付近にイオン・ビームが入射す
る状態で測定を行なうと、イオン・ビームの入射
領域の２次電子増倍利得は先に述べたように約
700時間程度で低下しはじめる。そこでオペレー
タは駆動器４を用いて、第２図ｂに示す位置まで
フレーム２と共にMCP１を上昇させる。このよ
うにすれば、利得の低下した領域（第２図ｂにお
ける点線部分）は上に移動し、イオン・ビームは
未使用の新しい領域に入射することになるため、
再び高い利得でイオン・ビームを検出することが
可能となる。
その高さＬが第２図において斜線で示した入射イ
オン・ビームの高さＨの数倍以上ある十分大きな
ものが使用される。今、第２図ａに示すように、
MCP１の上端部付近にイオン・ビームが入射す
る状態で測定を行なうと、イオン・ビームの入射
領域の２次電子増倍利得は先に述べたように約
700時間程度で低下しはじめる。そこでオペレー
タは駆動器４を用いて、第２図ｂに示す位置まで
フレーム２と共にMCP１を上昇させる。このよ
うにすれば、利得の低下した領域（第２図ｂにお
ける点線部分）は上に移動し、イオン・ビームは
未使用の新しい領域に入射することになるため、
再び高い利得でイオン・ビームを検出することが
可能となる。
以下、まつたく同様にして、利得が低下する都
度MCPを移動させてイオン・ビームが新しい未
使用の領域に入射するようにすれば、１枚の
MCPで極めて長時間にわたつて高い利得で測定
を行なうことができ、その都度真空を破つて
MCPを交換していた従来に比べ、操作性が著し
く向上する。
度MCPを移動させてイオン・ビームが新しい未
使用の領域に入射するようにすれば、１枚の
MCPで極めて長時間にわたつて高い利得で測定
を行なうことができ、その都度真空を破つて
MCPを交換していた従来に比べ、操作性が著し
く向上する。
なお、上記実施例では累積測定時間を目安にし
てMCPを移動させていたが、実際にはイオン・
ビーム入射領域の利得低下を確認してMCPの移
動を行なうことが望ましい。
てMCPを移動させていたが、実際にはイオン・
ビーム入射領域の利得低下を確認してMCPの移
動を行なうことが望ましい。
そのために上記のような構成にMCPの利得低
下を検出する検出器を設けた他の実施例を第４図
に示す。第４図において、MCP１のイオン・ビ
ーム入射位置前面にイオン計数器７を計数測定時
のみ挿入するように配設している。そして、先ず
該イオン計数器７を挿入してMCP１へ入射する
イオン数をカウントし、次に該計数器を取り除い
てMCP１から出力される２次電子数のカウント
との比を図示しない演算回路によつて求める。こ
れにより該MCP１の２次電子増倍利得を知るこ
とができ、該２次電子増倍利得が該MCP１の定
格利得よりある程度以上低下した場合に、駆動器
４へMCP１を所定距離移動させる制御信号を送
り、MCP１の移動を行なうようにしている。
下を検出する検出器を設けた他の実施例を第４図
に示す。第４図において、MCP１のイオン・ビ
ーム入射位置前面にイオン計数器７を計数測定時
のみ挿入するように配設している。そして、先ず
該イオン計数器７を挿入してMCP１へ入射する
イオン数をカウントし、次に該計数器を取り除い
てMCP１から出力される２次電子数のカウント
との比を図示しない演算回路によつて求める。こ
れにより該MCP１の２次電子増倍利得を知るこ
とができ、該２次電子増倍利得が該MCP１の定
格利得よりある程度以上低下した場合に、駆動器
４へMCP１を所定距離移動させる制御信号を送
り、MCP１の移動を行なうようにしている。
また、イオン・ビーム入射面の寿命を知る他の
検出方法として、前述したMCP出力の積算電荷
量に着目することも考えられる。即ち、イオン・
モニタ電極８を用いて、入射イオン・ビームの総
電荷量を積算電荷計によつて計測し、演算回路に
より該積算電荷量をMCP定格利得倍した値
（MCP出力の積算電荷量に対応する）を求め、こ
の値が10-2Ｃ／cm2となつた時点で駆動器４へ
MCP１を移動させる制御信号を送り、MCP１の
移動を行なうようにしても良い。
検出方法として、前述したMCP出力の積算電荷
量に着目することも考えられる。即ち、イオン・
モニタ電極８を用いて、入射イオン・ビームの総
電荷量を積算電荷計によつて計測し、演算回路に
より該積算電荷量をMCP定格利得倍した値
（MCP出力の積算電荷量に対応する）を求め、こ
の値が10-2Ｃ／cm2となつた時点で駆動器４へ
MCP１を移動させる制御信号を送り、MCP１の
移動を行なうようにしても良い。
［考案の効果］
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、質量分析計のMCPに移動機構を設けたこと
により、MCPの利得の低下に伴ない同一MCP面
上の新規な位置にイオン・ビームを展開すること
が可能となり、利得低下の都度真空を破つて
MCPを交換していた従来に比べてMCPの耐用時
間を（MCP移動幅Ｌ／イオン・ビーム幅Ｈ）倍
とすることが可能となつた。
ば、質量分析計のMCPに移動機構を設けたこと
により、MCPの利得の低下に伴ない同一MCP面
上の新規な位置にイオン・ビームを展開すること
が可能となり、利得低下の都度真空を破つて
MCPを交換していた従来に比べてMCPの耐用時
間を（MCP移動幅Ｌ／イオン・ビーム幅Ｈ）倍
とすることが可能となつた。
第１図は本考案による質量分析計の検出器の１
実施例を示す側面図、第２図はその正面図、第３
図はMCPの２次電子増倍利得の特性を示す図、
第４図はMCPの利得低下を検出する検出器を設
けた他の実施例を示す構成図、第５図は従来例を
示す図である。 １……MCP、２……MCP保持フレーム、３…
…イオン・ビーム、４……駆動器、５……コレク
タ、６……フレームガイド、７……イオン計数
器。
実施例を示す側面図、第２図はその正面図、第３
図はMCPの２次電子増倍利得の特性を示す図、
第４図はMCPの利得低下を検出する検出器を設
けた他の実施例を示す構成図、第５図は従来例を
示す図である。 １……MCP、２……MCP保持フレーム、３…
…イオン・ビーム、４……駆動器、５……コレク
タ、６……フレームガイド、７……イオン計数
器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 分析場によつて質量電荷比に応じて展開され
たイオン・ビームの展開面に沿つてマイクロチ
ヤンネルプレートを配置して検出するようにし
た質量分析計の検出器において、前記マイクロ
チヤンネルプレートを前記展開面内で前記イオ
ン・ビームの展開方向と交差する方向に移動さ
せる移動機構を設けたことを特徴とする質量分
析計の検出器。 (2) 前記マイクロチヤンネルプレートの２次電子
増倍利得の経時低下を電気的手段によつて検出
するようにした実用新案登録請求の範囲第１項
記載の質量分析計の検出器。 (3) 前記電気的手段による２次電子増倍利得の経
時低下の検出信号に基づき、前記マイクロチヤ
ンネルプレートを自動的に移動させるようにし
た実用新案登録請求の範囲第２項記載の質量分
析計の検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20145886U JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20145886U JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106055U JPS63106055U (ja) | 1988-07-08 |
| JPH049726Y2 true JPH049726Y2 (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=31164929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20145886U Expired JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH049726Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390743B1 (ko) * | 2000-11-23 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 메모리를 이용한 실시간 데이터 누적 장치 및 그 제어방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008140723A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Horiba Ltd | 分析装置 |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP20145886U patent/JPH049726Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100390743B1 (ko) * | 2000-11-23 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 메모리를 이용한 실시간 데이터 누적 장치 및 그 제어방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63106055U (ja) | 1988-07-08 |
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