JPH0499079A - レーザーダイオードポンピング固体レーザー - Google Patents

レーザーダイオードポンピング固体レーザー

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JPH0499079A
JPH0499079A JP20874490A JP20874490A JPH0499079A JP H0499079 A JPH0499079 A JP H0499079A JP 20874490 A JP20874490 A JP 20874490A JP 20874490 A JP20874490 A JP 20874490A JP H0499079 A JPH0499079 A JP H0499079A
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Nobuharu Nozaki
野崎 信春
Yoji Okazaki
洋二 岡崎
Hiroaki Hiuga
浩彰 日向
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、固体レーザー媒質を半導体レーザー(レーザ
ーダイオード)によってポンピングするレーザーダイオ
ードポンピング固体レーザーに関し、特に詳細には、そ
の固体レーザー媒質自身が光波長変換機能を有し、固体
レーザー発振ビームをその第2高調波、もしくは固体レ
ーザー発振ビームと別のレーザービームをそれらの和周
波等の光波長変換波に波長変換するようにしたレーザー
ダイオードポンピング固体レーザーに関するものである
(従来の技術) 例えばS P I E Vol、1104 ploo 
March In2に記載されているように、Nd(ネ
オジウム)等の希土類がドーピングされ、かつ光波長変
換機能を有する固体レーザー媒質として、Nd:C0A
NP、Nd : PNP等が公知となっている。またそ
のような固体レーザー媒質として、同誌p132に記載
されているように、Nd :LI NbO3,NYAB
  (Nd x Yl−y A113 (BO3)a 
  x=0.04〜0.08)等も公知であり、これら
は、5elf’−Prequency−Doublin
g Crystalと呼ばれている0これらを用いたレ
ーザーダイオードポンピング固体1/−f−、!−しテ
ハ、S P I E  Vol、1104 pta2 
March 1989や、レーザー研究Vo1.17 
 NQ12 p4g(1989)に示されるように、N
YAB結晶のロッドを用い、レーザーダイオードポンピ
ングによるその発振レーザビームの第2高調波を得るも
のが知られティる。またJ、 Opt、 Soc、 A
s Vol、3 pi40(198B)には、Nd :
Mg O: Li Nb 03を波長0.60μmの色
素レーザーにより励起し、その発振レーザービームの第
2高調波を得ることが示されている。
さらに、例えばS P I E  Vol、1104 
pta March(1989)には、Nd ドープY
AGレーザ一固体ロッドとその共振器内に、固体レーザ
ー発振ビームを波長変換するKTP単結晶を配し、それ
により、固体レーザー発振ビームとポンピング光との和
周波を得ることが示されている。
(発明が解決しようとする課題) ところが、このような波長変換機能を備えた従来の固体
レーザーにおいては、固体レーザー媒質をバルク結晶の
形で用いているので、固体レーザーロッド、出力ミラー
1発振レーザービームを縦モードシングル化して波長変
換波のパワーを安定させる機能を有するエタロン板や、
波長板等の光学素子が固別に配置され、かつ固別にレー
ザー用部品として加工、研磨、コートされていた。その
ため、加工表面には発振レーザービームの散乱および各
コート膜による吸収、散乱9反射等が生じてしまい、さ
らには各部品内部の吸収により共振器内の内部ロスが数
%以上と非常に大きなものとなってしまっていた。これ
らの内部ロスは、部品点数が多ければ多いほど増大する
。そのため、共振器内の発振レーザーパワーが小さくな
り、その結果、波長変換効率が低下してしまうという問
題点があった。
そして、上記のようなロスが大きければ、当然、エネル
ギー利用効率も低くなってしまう。
また、従来の固体レーザーにあっては、ポンピング光で
ある半導体レーザービームや、基本波としての固体レー
ザー発振ビームのパワー密度を充分高くすることが困難
となっている。そこで、この点からも波長変換効率を高
めることが難しく、さらには、固体レーザーの発振閾値
も高くなりがちであった。
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、波長変換効率が高く、そしてエネルギー利用効率が良
く、かつ低閾値発振が可能なレーザーダイオードポンピ
ング固体レーザーを提供することを目的とするものであ
る。
(課題を解決するための手段) 本発明のレーザーダイオードポンピング固体レーザーは
、先導波路型素子として形成されたものであり、 前述したようにネオジウム等の希土類がドーピングされ
、かつ光波長変換機能を有する固体レーザー媒質からな
る導波部と、 該導波部よりも低屈折率のクラッド部と、上記導波部の
両端面に形成され、該導波部に入射した半導体レーザー
ビームによりポンピングされて生じたレーザービームを
発振させる共振器ミラーとを有し、 上記発振したレーザービームの第2高調波もしくは、半
導体レーザービームと発振レーザービームの和周波等の
波長変換波を取り出すことを特徴とするものである。
(作用および発明の効果) 上記固体レーザー媒質しては、通常のSel f’−F
requency−Doubling Crystal
と呼ばれる材料、すなわち前述のようなNYAB、Nd
  : Mg O: LINb O3,Nd  : P
NP、 さらには、T飄 :LiNb 03等を用いる
ことができる。またその他に、無機材料のKTP、 β
−BBO,Li B2o3゜KNb 03 、カルコバ
イライト系の半導体にNd等の希土類をドープした波長
変換用の非線形光学材料を用いることも可能である。特
にKTPは非線形光学定数が大きく、温度許容範囲、角
度許容範囲も大きいので、高い波長変換効率を実現でき
る。
さらにNd:PNPに代表されるように、NPP (N
−(4−ニトロフェニル)−L−プロリノール)、NP
AN (N−(4−ニトロフェニル)N−メチルアミノ
アセトニトリル)、特開昭62−210432号公報に
開示されたPRA (3,5−ジメチル−1−(4−ニ
トロフェニル)ピラゾール)等の有機非線形光学材料に
希土類をドープしたものも用いることができる。特にP
RAは非線形光学定数が先のKTPよりも大きく、温度
許容範囲が大きいので高い波長変換効率を実現できる。
そして、このような固体レーザー媒質で導波部を構成す
る上で、素子の形態は、ファイバー型、3次元光導波路
型、2次元光導波路型のいずれとされてもよい。
こうして固体レーザーを光導波路型(ファイバー型も含
むものとする)のものとすることにより、部品点数が減
り、加工研磨面およびコート面が2面のみとなり、かつ
レーザー発振ビームの吸収媒体も1つとなり、大幅に内
部ロスを低減させることができる。その結果、発振レー
ザービームの内部パワーが増大し、波長変換効率が大幅
に向上する。
さらに本発明の固体レーザーは、上記のように光導波路
型素子とすることにより、ポンピング光である半導体レ
ーザービームや、基本波としての固体レーザー発振ビー
ムのパワー密度を充分に高めることができる。その結果
、この点からも波長変換効率が向上し、また低閾値発振
も可能となる。
以上のようにして本発明により、コンパクトかつ高効率
で、エネルギー利用効率の高いレーザーダイオードポン
ピング固体レーザーが提供されることになる。
(実 施 例) 以下、図面に示す実施例に基づいて、本発明の詳細な説
明する。
第1図は、本発明の第1実施例によるレーザーダイオー
ドポンピング固体レーザーを示すものである。このレー
ザーダイオードポンピング固体レーザーは、ポンピング
光としてのレーザービーム10を発する半導体レーザー
11(単一縦モード、単−横モードレーザー二以下、L
Dと称する)と、発散光である上記レーザービーム10
を平行光化するコリメーターレンズ12aと、レーザー
ビーム10をさらに集光する集光レンズ12bと、光導
波路素子13とからなる。
先導波路素子13は、Self−Frequency−
Doublingcrysta+であるNd :Mg 
O: LI Nb o3の単結晶を基板14とし、Ti
拡散法、あるいはプロトン交換等のイオン交換法により
、基板14よりも高屈折率の3次元光導波路15を形成
してなるものである。そしてこの光導波路素子13の両
端面13 a 513bは鏡面研磨され、そこには、後
に詳述する作用を果たすコーティングlea、16bが
施されている。
以上述べた各要素は、共通の筐体(図示せず)にマウン
トされて一体化されている。なおLDIIは、ペルチェ
素子17と図示しない温調回路により、所定温度に温調
される。
このLDIIは、波長λ1 =808 nmのレーザー
ビーム10を発するものが用いられる。このレーザービ
ーム10は、レンズ12a、12bにより集光されて3
次元光導波路15の一端面に照射され、該端面から光導
波路15内に入射してそこを導波モードで伝搬する。す
るとこの光導波路15は、ドーピングされているネオジ
ウム(Nd )原子が、レーザービームlOによって励
起されることにより、λ22−1O94nのレーザービ
ーム18を発する。
共振器は、前述のコーティング1eaS16bによって
構成される。すなわち、入力側共振器ミラーとなるLD
II側のコーティング16aは、波長11094nのレ
ーザービーム18は良好に反射させ(反射率99.9%
以上)、波長808nmのポンピング用レーザービーム
10は良好に透過させる(透過率99%以上)ものとさ
れている。一方、出力側共振器ミラーとなるコーティン
グ16bは、上記ポンピング用レーザービームlOおよ
び基本波としてのレーザービーム18を良好に反射(反
射率99.9%以上)し、そして後述する波長547n
mの第2高調波18°は良好に透過させるものとされて
いる。したがって波長11094nのレーザービーム1
8は、光導波路素子13の両端面13a、 13b間に
閉じ込められ、レーザー発振を起こす。
このレーザービーム18は、レーザー媒質でかつ波長変
換機能を有する光導波路15内で、波長が1/2すなわ
ち547nmの第2高調波18°に波長変換される。な
お位相整合は、基本波であるレーザービーム18の光導
波路15における導波モードと、第2高調波18゛ の
基板14への放射モードとの間で取られる(いわゆるチ
ェレンコフ放射)。先導波路素子13の出力側の端面1
8bには、前述した通りのコーティング16bが施され
ているので、この先導波路素子13からは、第2高調波
18°が効率良く取り出される。
ここで、本実施例の場合、ポンピング光である半導体レ
ーザービームlOの出力を100 mWとしたときに、
第2高調波18°の出力は約1.0 mWとなった。本
実施例の場合は、前述したような反射や散乱等によるロ
スが低減し、上述のような高効率の波長変換が可能とな
っている。
なお上記の実施例は、光導波路素子13がチェレンコフ
放射タイプのものとされているが、第2高調波18’ 
 も導波モードで光導波路15を伝搬するようにし、こ
の第2高調波18′と、同じく導波モードで光導波路1
5を伝搬するレーザービーム18との間で位相整合を取
ることも可能である(いわゆる導波−導波タイプ)。
上記のようにする場合は、コーティングleaが第2高
調波18°を高反射、コーティング16bが第2高調波
18°を一部透過するように形成し、第2高調波18′
 も両端面13a、13b間で共振させるのが好ましい
。つまり、そのようにすれば、より高強度の第2高調波
1g’を取り出すことが可能となる。
次に第2図を参照して、本発明の第2実施例について説
明する。なおこの第2図においテ、前記第1図中の要素
と同等の要素には同番号を付し、それらについての重複
した説明は省略する。
本実施例のレーザーダイオードポンピング固体レーザー
は、LDIIと、コリメーターレンズ12aと、集光レ
ンズ12bと、光ファイバー20とから構成されている
。そして光ファイバー20の両端面20a、20bは鏡
面研磨され、そこには、後に詳述する作用を果たすコー
ティング23a、23bが施されている。
光ファイバー20は、中空ガラスファイバーからなるク
ラッド21内に、Self−Frequency−Do
ublingCrystalであるNd : C0AN
Pからなるコア22が配されたものである。なおりラッ
ド21の材料としては、Nd :C0ANPよりも屈折
率が低い、例えば5FIOガラス等の重フリント系ガラ
スが好適に用いられる。また、このような中空ガラスフ
ァイバー内に、コア材料を充填して固化させる方法とし
ては、例えば特開平1−23232号、同1−2375
28号公報に記載されている方法を利用することができ
る。
LDllから発せられた波長λ1 ”=808 nmの
レーザービームlOは、レンズ12aS12bにより集
光されてコア22の一端面に照射され、該端面からコア
22内に入射してそこを導波モードで伝搬する。
するとこのコア22は、ドーピングされているネオジウ
ム(Nd )原子が、レーザービームlOによって励起
されることにより、λ2−1084nmのレーザービー
ム25を発する。
共振器は、前述のコーティング23a、23bによって
構成される。すなわち、入力側共振器ミラーとなるLD
11側のコーティング23aは、波長11064nのレ
ーザービーム25は良好に反射させ(反射率99.9%
以上)、波長804nmのポンピング用レーザービーム
lOは良好に透過させる(透過率99%以上)ものとさ
れている。一方、出力側共振器ミラーとなるコーティン
グ23bは、上記ポンピング用レーザービームlOおよ
び基本波としてのレーザービーム25を良好に反射(反
射率99.9%以上)し、そして後述する波長532n
mの第2高調波25′は良好に透過させるものとされて
いる。したがって波長11084nのレーザービーム2
5は、光ファイバー20の両端面20a、20b間に閉
じ込められ、レーザー発振を起こす。
このレーザービーム25は、レーザー媒質でかつ波長変
換機能を有するコア22内で、波長が1/2すなわち5
32nmの第2高調波25°に波長変換される。位相整
合は、基本波であるレーザービーム25のコア22にお
ける導波モードと、第2高調波25゜のクラッド21へ
の放射モードとの間で取られる。
光ファイバー20の出力側の端面20bには、前述した
通りのコーティング23bが施されているので、この光
ファイバー20からは、第2高調波25°が効率良く取
り出される。
ここで、本実施例の場合、ポンピング光である半導体レ
ーザービーム10の出力を100 mWとしたときに、
第2高調波25゛ の出力は約1.0 mWとなった。
本実施例の場合も、前述したような反射や散乱等による
ロスが低減し、上述のような高効率の波長変換が可能と
なっている。
なお、上記のような光フアイバー型素子も、前述した導
波−導波タイプのものとして形成可能である。
以上、Self−Frequency−Doublin
g Crystalとして、lLぞtLNd :Mg 
O: Lj Nb o、 、Nd :C0ANPが利用
された2つの実施例について説明したが、本発明におい
て用いられるSelf−Prequency−Doub
ling Crystalは上記の例に限られるも゛の
ではなく、その他、先に例示したような材料を適宜利用
することができる。
また、上記2つの実施例は、固体レーザー発振ビームを
基本波としてその第2高調波を得るものであるが、本発
明のレーザーダイオードポンピング固体レーザーはその
他、固体レーザー発振ビームの第3高調波や、ポンピン
グ光と固体レーザー発振ビームの和周波や差周波、さら
には、ポンピング光とともに導波部に入射された別のレ
ーザービームと、固体レーザー発振ビームの和周波や差
周波等を得るように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ、本発明の第1および第
2実施例によるレーザーダイオードポンピング固体レー
ザーを示す概略側面図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ネオジウム等の希土類がドーピングされ、かつ光
    波長変換機能を有する固体レーザー媒質からなる導波部
    と、 該導波部よりも低屈折率のクラッド部と、 前記導波部の両端面に形成され、該導波部に入射した半
    導体レーザービームによりポンピングされて生じたレー
    ザービームを発振させる共振器ミラーとを有し、 前記発振したレーザービームの第2高調波もしくは、半
    導体レーザービームと発振レーザービームの和周波等の
    波長変換波を取り出すことを特徴とするレーザーダイオ
    ードポンピング固体レーザー。
  2. (2)前記波長変換波が導波部を導波モードで伝搬する
    ように形成された上で、 前記共振器ミラーが、前記波長変換波も共振させるよう
    に構成されていることを特徴とする請求項1記載のレー
    ザーダイオードポンピング固体レーザー。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006073970A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Cyber Laser Kk Cw深紫外線光源
WO2023234322A1 (ja) * 2022-06-01 2023-12-07 国立研究開発法人理化学研究所 レーザ発振器およびレーザ発振方法

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