JPH0510355Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、エツチング終点判定装置に係り、プ
ラズマエツチングでのエツチング終点を検出する
エツチング終点判定装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、プラズマエツチングでのエツチング終点
を検出する技術としては、例えば、特開昭59−
61036号公報に記載のような、エツチング反応の
終了と共にプラズマ光強度が減少するガスのプラ
ズマ光強度と、エツチング反応の終了と共にプラ
ズマ光強度が逆に増加するガスのプラズマ光強度
とを比較してエツチング終了時点を検出するもの
が知られている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記従来技術では、二つの光電変換器にそれぞ
れゲイン・オフセツト回路が必要であるため、装
置を小型化する上で問題があつた。

本考案の目的は、一つのゲイン・オフセツト回
路で二つの光電変換器からの信号のゲイン調整・
オフセツト調整できるようにすることで、装置を
小型化できるエツチング終点判定装置を提供する
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、エツチング終点判定装置を、二つ
のプラズマ光強度が光電変換された電圧信号をマ
イクロコンピユータの信号で切換える信号切換器
と、該信号切換器で電圧信号を選択し、該選択し
た電圧信号をＤ／Ａ変換されたマイクロコンピユ
ータからの信号でオートオフセツト調整する加算
器と、加算器から出力される電圧信号をマイクロ
コンピユータからの信号でオートゲイン調整する
プログラマブルゲインアンプと、該ゲインアンプ
から出力される電圧信号をデジタル量に変換しマ
イクロコンピユータに入力するＡ／Ｄ変換器とを
具備したものとすることにより、達成される。

〔作用〕

二つのプラズマ光強度が光電変換された信号は
該信号を切換える手段で切換えられて一つの信号
のみが選択される。この選択された信号は設定値
まで変化させられた後に、増幅される。この増幅
された信号を用いてエツチング終点が判定され
る。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を第１図によつて説明
する。

第１図で、エツチング中の二つの発光スペクト
ル（増加する発光スペクトル、減少する発光スペ
クトル）を二つの光電変換器１により、光信号か
ら電圧信号に変換する。この変換された電圧信号
を信号切替器２でマイクロコンピユータ７からの
信号により選択し、加算器３でＤ／Ａ変換された
マイクロコンピユータ７からの信号によつてオー
トオフセツト調整され、更にプログラマブルゲイ
ンアンプ５でマイクロコンピユータ７からの信号
によつてオートゲイン調整されてＡ／Ｄ変換器６
でデジタル量に変換されマイクロコンピユータ７
に入力される。エツチング処理時には２つの光電
変換器１からの電圧信号をマイクロコンピユータ
７からの信号で一定時間毎に信号切替器２で切り
替える。この切替えられた時間内に該当する光電
変換器１の電圧信号を選択し、該選択した電圧信
号をＤ／Ａ変換器４でＤ／Ａ変換されたマイクロ
コンピユータからの信号でオートオフセツト調整
する加算器３と、該加算器３から出力される電圧
信号をマイクロコンピユータからの信号でオート
ゲイン調整するプログラマブルゲインアンプ５と
により、オートオフセツト・オートゲイン調整し
た電圧信号のアナログ値をＡ／Ｄ変換器６でデジ
タル量に変換し、このデジタル量をマイクロコン
ピユータで、記憶し、演算処理するものである。

つまり、本発明では、特開昭59−61036号公報
に記載のような、“２種類の反応ガスのプラズマ
光強度を比較するために”、例えば第１図に示す
ように光電変換器１を２個使用して反応ガス個有
の波長のみをそれぞれ透過・検出して、上述の信
号切換器２、加算器３、プログラマブルゲインア
ンプ５、Ｄ／Ａ変換器６、を用いてマイクロコン
ピユータで演算処理させるものである。

従つて、本発明では、２つの光電変換器での電
圧信号のデータをオートオフセツト・オートゲイ
ン調整した電圧信号のアナログ値をＡ／Ｄ変換し
てマイクロコンピユータに記憶させ、該記憶値を
もとに各々演算し、該演算結果でエツチングの終
点判定を行うものである。

本実施例では、加算器とＤ／Ａ変換器とプログ
ラマブルゲインアンプおよびＡ／Ｄ変換器でなる
系統を一系統と信号切換器とでなる一つのゲイ
ン・オフセツト回路で二つの信号のゲイン調整、
オフセツト調整できるため、装置を小型化でき
る。また、マイクロコンピユータからの信号によ
りオフセツト・ゲインの調整を自動的に任意の値
にすることができるため、エツチングによるコン
タミネーシヨンによる影響を十分に除去すること
ができる。

〔考案の効果〕

本考案によれば、一つのゲイン・オフセツト回
路で二つの光電変換器からの信号のゲイン調整・
オフセツト調整ができるので、装置を小型化でき
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、考案の一実施例の終点判定装置のブ
ロツク図である。 １……光電変換器、２……信号切替器、３……
加算回路、４……Ｄ／Ａ変換器、５……プログラ
マブルゲインアンプ、６……Ａ／Ｄ変換器、７…
…マイクロコンピユータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板上の被エツチング材を選択的にエツチング
   するに際し、エツチング反応の終了と共にプラズ
   マ光強度が減少するガスのプラズマ光強度と、終
   了と共にプラズマ光強度が増加するガスのプラズ
   マ光強度とをそれぞれ光信号から電圧信号に交換
   する光電変換器と、該光電変換器で光電変換され
   た電圧信号をマイクロコンピユータからの信号で
   切換える信号切換器と、該信号切替器で電圧信号
   を選択し、該選択した電圧信号をＤ／Ａ変換され
   たマイクロコンピユータからの信号でオートオフ
   セツト調整する加算器と、該加算器から出力され
   る電圧信号をマイクロコンピユータからの信号で
   オートゲイン調整するプログラマブルゲインアン
   プと、該プログラマブルゲインアンプから出力さ
   れる電圧信号をデジタル量に変換しマイクロコン
   ピユータに入力するＡ／Ｄ変換器とを具備したこ
   とを特徴とするエツチング終点判定装置。