JPH05104264A - スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式 - Google Patents

スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式

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Publication number
JPH05104264A
JPH05104264A JP3263989A JP26398991A JPH05104264A JP H05104264 A JPH05104264 A JP H05104264A JP 3263989 A JP3263989 A JP 3263989A JP 26398991 A JP26398991 A JP 26398991A JP H05104264 A JPH05104264 A JP H05104264A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
marking
point
coordinate system
galvanometers
scanning type
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3263989A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshisada Takahashi
利定 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3263989A priority Critical patent/JPH05104264A/ja
Publication of JPH05104264A publication Critical patent/JPH05104264A/ja
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スキャニング型のレーザマーカではガルバノ
メータの取付位置で決まる直交度の調整に際し、直交度
を示す角度を1回測定した後、その値に従ってソフトウ
ェアで補正することにより調整用機構を排除し調整の手
間を省く。 【構成】 直交度がでていない場合は、点Pを指定する
と、この点はワーク座標上の本来描かれるべき点Qとは
異なる。ここでガルバノメータの取り付け位置で決まる
座標系をワーク座標である直交座標系に変換する。この
変換により指定した点Pは点Qに移る。そこで上の座標
変換を行った後の目標座標に向けて、バイトサイズ制御
を行ってマーキングすることにより、直線と円弧からな
る任意の図形を指定した通りにマーキングできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は2つのガルバノメータを
使用するスキャニング型レーザマーカのマーキング方式
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のスキャニング型のレーザマーカに
おけるマーキング制御方式では、2つのガルバノメータ
の取り付け位置によって決まる直交度を正確に出すため
に、次のようにして調整を行っていた。
【0003】すなわち、2つのガルバノメータを各々別
々に動かして原点を通る2本の直線をマーキングして、
これらが原点で交わる角度を測定しては、ジンバル機構
により、2つのガルバノメータの相対的角度関係を調整
することを試行錯誤的に繰り返し、2本の直線が交わる
角度がπ/2になるように調整していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の2つのガルバノメータを各々別々に動かして直
交すべきパターンをマーキングさせて、その直角度を測
定し、その結果をフィードバックして、一方のガルバノ
メータに対する他方の取り付け角度を調整して直交度を
出す方法では、調整のためのジンバル機構が必要であ
り、ちょっとした調整時間を必要とするという欠点があ
る。従って調整を行わないで直交性をもっているかのよ
うにマーキングすることが課題である。
【0005】そこで、本発明の技術的課題は、上記欠点
に鑑み、ジンバル機構を不要としたスキャニング型レー
ザマーカのマーキング制御方式を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、互いに
固定された位置関係にある複数のカルバノメータを用い
るスキャニング型レーザマーカのマーキング制御方式で
あって、前記複数のガルバノメータの固定位置により規
定される直交度と予め定められた正規の値とを比較して
誤差量を測定し、該誤差量に基づいて、前記正規の直交
度を有するように、マーキングすることを特徴とするス
キャニング型レーザマーカのマーキング制御方式が得ら
れる。
【0007】本発明のスキャニング方式によってマーキ
ングするレーザマーカにおける光学部は、固定された2
つのガルバノメータと、ビームエキスパンダ、反射ミラ
ー、fθレンズを主要構成とし、さらに2つのガルバノ
メータとレーザを制御し、移動指定量を補正するための
ソフトウェア一式とからなる。
【0008】ここで、2つのガルバノメータを別々に移
動させてマーキングした場合に描かれる線は、原点で交
わる2本の直線となるように、別途既に調整されている
ことを前提とする。
【0009】マーキングされるワークが位置決めされる
基準線の方向をx軸とする直交座標系(ワーク座標)を
(x、y)とし、X、Y各軸のガルバノメータの取り付
け角度によって決まるマーキング平面上の機械座標系の
2つの軸X及びY軸がx軸となす角度をα、β(ラジア
ン)とする。
【0010】ここで、別の方法でX軸がx軸となす角度
α=0に調整されていること、すなわち直交座標系(ワ
ーク座標)と、機械座標系の2つの座標系の間に平行度
が出ていることも前提とする。
【0011】2つのガルバノメータは機械的にホールダ
に固定されているものとし、各ガルバノメータを別々に
一定長pmmだけ直線をマーキングして、この2つの各直
線がマーキングされるワークの位置決め機構の基準線x
軸となす角度α、β(ラジアン)を測定する。
【0012】ここで直交度に関する機構組立の精度とし
ては、あと微調を要するだけの範囲にあるとする。すな
わち、
【0013】
【数1】
【0014】特に2つのガルバノメータが直交している
場合には、上の前提条件とあわせて、 α=0、 β=π/2 (I) となる。
【0015】α=0、β=π/2のときに決まる直交座
標系をΩ0 (上記のワーク座標)とする。ここではある
パターンをマーキングすると指定した通りの角度をもつ
正確なパターンが得られる。またI以外の一般的な場合
の座標系をΩとし、ここではこれら2つの座標系の原点
を一致させてとる。
【0016】いま一つの座標点の座標系Ω0 における座
標値を(x、y)、また座標系Ωにおける座標値を
(X、Y)とすると、この間には次のようなアフィン変
換の関係がある。
【0017】x=X*cos α/a+Y*cos β/b y=X*sin α/a+Y*sin β/b
【0018】ここでa、bは各々X、Y軸方向のゲイン
(指定長に対する実際のマーキング長の割合)を示す。
いまこれらの値は1となるように別途調整されているも
のとする。このとき次のようになる。
【0019】 x=X*cos α/a+Y*cos β y=X*sin α/a+Y*sin β (II) この式からX、Yを解くと、 X=(x*sin β−ycos β)/sin (β−α) Y=(−x*sin α+ycos α)/sin (β−α) (III) ただし前提条件により、α=0
【0020】ところで、直線をマーキングする場合に
は、一定時間ΔtごとにX、Yとも微小量(ΔX、Δ
Y)ずつインクリメントした値をレーザパルスに同期さ
せて順次各々X、Y軸のガルバノメータに与えていくこ
とにより、直線上に次々にレーザパルスがもたらす点列
をオーバーラップさせて加工させていき、最終的に目標
位置(X、Y)に到達する。III 式で与えられる場合は
次のような(ΔX、ΔY)を指定する。
【0021】 ΔX=(Δx*sin β−Δycos β)/sin (β−α) ΔY=(−Δx*sin α+Δycos α)/sin (β−α)
【0022】ここでx軸と角度φをなす直線をマーキン
グする場合を考えると、直線をマーキングする速度をv
とすると、 Δx=vcos φΔt Δy=vsin φΔt 従ってΔX、ΔYは次のように表すことができる。(α
=0を使用) ΔX=vsin (β−φ)/sin βΔt ΔY=vsin φ/sin βΔt (IV)
【0023】次に円弧をマーキングする場合を考える。
原点を一致させてとられている2つの座標系Ω0 とΩの
原点に中心をもつ円弧(半径r、θs ≦θ≦θe )上の
点の座標系Ω0 とΩにおける座標値を各々(x、y)、
(X、Y)とすると次のように表すことができる。
【0024】x=rcos θ y=rsin θ 従って Δx=−rsin θΔθ Δy=rcos θΔθ 円弧をマーキングする線速度をvとすると、 Δθ=v/rΔr
【0025】Δtごとに指定座標値をθs からθe
で、インクリメントしていく回数をn(1≦n≦N、N
はθがθe に一致するときのインクリメント回数)とす
ると、 θ=ΣΔθ=v/rΣΔt=nv/rΔt 従ってX、Y座標値をΔtごとにインクリメントしてい
く量ΔX、ΔYは次のように表すことができる。
【0026】 ΔX=−vcos (nv/rΔt+θs −β)/sin βΔt ΔY=vcos (nv/rΔt+θs )/sin βΔt (V)
【0027】上記より、直線と円弧からなる任意のパタ
ーンをマーキングするときには、各々式IVおよびVで示
される(ΔX、ΔY)だけ、Δtごとにガルバノメータ
の位置座標値をインクリメントしていくことにより、指
定の通りの形状のパターンをマーキングすることができ
る。このことはβ=π/2に正規の微調整がなされてい
なくても、指定の通りのパターンをマーキングできるこ
とを示している。
【0028】
【実施例】次に本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
【0029】図1は本発明の一実施例である座標変換の
関係を示す図で、直交度がでていない座標系Ωにおける
座標値が、ワークの位置決め基準となる直交座標系Ω0
における座標値に変換される。1は座標系Ωで指定され
た位置P(x、y)を示す。この点は基準直交座標系Ω
0 からみたときの指定位置2すなわち点Qとは異なって
いる。ここで OA=OC=x OB=OD=y である。
【0030】このとき、座標系Ω0 で点Qが指定される
ように座標変換を行った値(X、Y)を、座標系Ω0
指示すれば、指定した本来描かれるべきパターンをマー
キングすることができる。この変換式は[課題を解決す
るための手段]の中の式IIIで与えられる。
【0031】図2は、2つのガルバノメータを各々別々
に移動させてマーキングした場合に、描かれる直線が直
交し、かつゲインが正しいときの座標系と、長方形と円
を指定した場合に、マーキングされる形状を示す。この
場合は長方形と円が正しく描かれている。
【0032】図3は2つのガルバノメータを各々別々に
移動させてマーキングした場合に、描かれる直線が直交
しないときの座標系と、長方形と円を指定した場合に、
マーキングされる形状を示す。この場合は指定された長
方形が平行四辺形として、また指定した円が楕円として
描かれている。
【0033】図4は同一の点3を座標系Ω0 と座標系Ω
で表したときの関係式IIの根拠を示す。図4より、
【0034】
【数2】
【0035】これらより、式IIの関係が得られる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガルバノ
メータの取り付け角度を調整するジンバル機構を不要と
し、振動などに対して強い固定ができるようにするとと
もに、ジンバルを含まない2つのガルバノメータを組ん
で、2つのガルバノメータを各々別々に動かして原点を
通る2本の直線をマーキングしたとき、2本の各直線が
ワーク座標の基準の方向となす角度α、βを一度測定す
るだけで、この値をもとにソフトウェアで補正しなが
ら、無調整のままの状態で、直交性をもっているかのよ
うにマーキングできるという効果がある。従って試行錯
誤的な直交度の調整をしてβ=π/2とする必要がな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である座標変換の関係を示し
ている。
【図2】2つのガルバノメータを各々別々に移動させて
マーキングした場合に、描かれる直線が直交し、かつゲ
インが正しいときの座標系である。
【図3】2つのガルバノメータを各々別々に移動させて
マーキングした場合に、描かれる直線が直交しないとき
の座標系である。
【図4】式IIの根拠を示す概念図である。
【符号の説明】
1 直交度がでていない座標系Ωで指定された位置P
(x、y)である。 2 課題式III で与えられる座標変換を行った位置
(X、Y)である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに固定された位置関係にある複数の
    カルバノメータを用いるスキャニング型レーザマーカの
    マーキング制御方式であって、 前記複数のガルバノメータの固定位置により規定される
    直交度と予め定められた正規の値とを比較して誤差量を
    測定し、該誤差量に基づいて、前記正規の直交度を有す
    るように、マーキングすることを特徴とするスキャニン
    グ型レーザマーカのマーキング制御方式。
JP3263989A 1991-10-11 1991-10-11 スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式 Withdrawn JPH05104264A (ja)

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JP3263989A JPH05104264A (ja) 1991-10-11 1991-10-11 スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式

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JP3263989A JPH05104264A (ja) 1991-10-11 1991-10-11 スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式

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JPH05104264A true JPH05104264A (ja) 1993-04-27

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ID=17397000

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JP3263989A Withdrawn JPH05104264A (ja) 1991-10-11 1991-10-11 スキヤニング型レーザマーカのマーキング制御方式

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JP (1) JPH05104264A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5690846A (en) * 1994-12-22 1997-11-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser processing method
JP2008279471A (ja) * 2007-05-08 2008-11-20 Sony Corp レーザ加工装置、レーザ加工方法、tft基板、及び、tft基板の欠陥修正方法

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990107