JPH05104407A - 被削体の非接触測定方法及びその装置 - Google Patents
被削体の非接触測定方法及びその装置Info
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- JPH05104407A JPH05104407A JP29504491A JP29504491A JPH05104407A JP H05104407 A JPH05104407 A JP H05104407A JP 29504491 A JP29504491 A JP 29504491A JP 29504491 A JP29504491 A JP 29504491A JP H05104407 A JPH05104407 A JP H05104407A
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波測定方法により被削体の加工代、被削
体の寸法、若しくは研削砥石の摩耗代を切削・研削作業
中にインプロセス測定可能な方法及び装置を提供する事
を目的とする。 【構成】 加工工具側に取付けた超音波センサと、被削
体の反射面との間に、液柱を生成した状態で、前記セン
サより超音波を出力し、該出力波の反射時間を利用して
加工代若しくは被削体の寸法を測定する事を特徴とす
る。
体の寸法、若しくは研削砥石の摩耗代を切削・研削作業
中にインプロセス測定可能な方法及び装置を提供する事
を目的とする。 【構成】 加工工具側に取付けた超音波センサと、被削
体の反射面との間に、液柱を生成した状態で、前記セン
サより超音波を出力し、該出力波の反射時間を利用して
加工代若しくは被削体の寸法を測定する事を特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種工作機械の被削体
の測定法に係り、特に被削体の加工代、被削体の寸法、
若しくは研削砥石の摩耗代を、加工作業中に測定する方
法及びその装置に関する。
の測定法に係り、特に被削体の加工代、被削体の寸法、
若しくは研削砥石の摩耗代を、加工作業中に測定する方
法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、研削盤に於いて研削加工中に
被研削体の研削代を測定する（インプロセス測定とい
う。）には、接触式測定方法、レーザ測定方法、及
び超音波測定方法が採られている。第１の接触式測定
方法にあっては、ダイヤルゲージ、差動トランス等のプ
ローブを運動する被測定物に接触させて行うため、表面
の凹凸によってプローブが振動し、該振動が測定ノイズ
となる。研削盤に於いては、通常１μｍ程度の測定精度
を要求されるので、前記測定ノイズが要求される精度と
同程度かそれより超える場合は、この接触式測定方法で
は測定できない。即ち、非研削物を研削盤より取り外
し、所要定盤に移動させて測定することになる。第２の
レーザ測定方法においては、レーザ光の波長はＹＡＧレ
ーザにあっても１０６４ｎｍであり、その他、ヘリウム
−ネオン・レーザ、アルゴン・レーザその他のレーザに
あっては、数百ｎｍであり、精度の点からは十分過ぎる
程度に最も優れている。しかし、研削油剤、研削屑、風
等の影響を最も受けやすく、安定性に欠ける。また、測
定装置の価格も高価で、メンテナンスも相応の技術を要
するなど、実用段階にいまだ問題を残している。第３の
超音波測定方法にあっては、通常使用される周波数範囲
は数百ｋＨｚ程度で、最も好ましい。
被研削体の研削代を測定する（インプロセス測定とい
う。）には、接触式測定方法、レーザ測定方法、及
び超音波測定方法が採られている。第１の接触式測定
方法にあっては、ダイヤルゲージ、差動トランス等のプ
ローブを運動する被測定物に接触させて行うため、表面
の凹凸によってプローブが振動し、該振動が測定ノイズ
となる。研削盤に於いては、通常１μｍ程度の測定精度
を要求されるので、前記測定ノイズが要求される精度と
同程度かそれより超える場合は、この接触式測定方法で
は測定できない。即ち、非研削物を研削盤より取り外
し、所要定盤に移動させて測定することになる。第２の
レーザ測定方法においては、レーザ光の波長はＹＡＧレ
ーザにあっても１０６４ｎｍであり、その他、ヘリウム
−ネオン・レーザ、アルゴン・レーザその他のレーザに
あっては、数百ｎｍであり、精度の点からは十分過ぎる
程度に最も優れている。しかし、研削油剤、研削屑、風
等の影響を最も受けやすく、安定性に欠ける。また、測
定装置の価格も高価で、メンテナンスも相応の技術を要
するなど、実用段階にいまだ問題を残している。第３の
超音波測定方法にあっては、通常使用される周波数範囲
は数百ｋＨｚ程度で、最も好ましい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、超音波
測定方法にあっても、レーザ測定方法と同様に、被削体
表面を流れる加工油剤、加工屑、風等の影響を受けやす
い欠点を有していた。
測定方法にあっても、レーザ測定方法と同様に、被削体
表面を流れる加工油剤、加工屑、風等の影響を受けやす
い欠点を有していた。
【０００４】本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑み、
超音波測定方法により被削体の加工代、被削体の寸法、
及び研削砥石の摩耗代を、加工作業中にインプロセス測
定可能な方法及び装置を提供する事を目的とする。
超音波測定方法により被削体の加工代、被削体の寸法、
及び研削砥石の摩耗代を、加工作業中にインプロセス測
定可能な方法及び装置を提供する事を目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、加工工具側に取
付けた超音波センサと、被削体側の反射面との間に、液
柱を生成した状態で、前記センサより超音波を出力し、
該出力波の反射時間を利用して加工代若しくは被削体の
寸法を測定する事を特徴とする。また本発明は、被削体
側に取付けた超音波センサと、加工工具側の反射面との
間に、液柱を生成した状態で、前記センサより超音波を
出力し、該出力波の反射時間を利用して加工代若しくは
被削体の寸法を測定する事を特徴とする。なお好ましく
は、前記超音波の振動数が１ＭＨｚ以上とする。なお好
ましくは、前記液柱を生成する液体が加工油剤と同種の
液体とする。なお、前記加工工具は、切削工具、若しく
は研削砥石とする。
付けた超音波センサと、被削体側の反射面との間に、液
柱を生成した状態で、前記センサより超音波を出力し、
該出力波の反射時間を利用して加工代若しくは被削体の
寸法を測定する事を特徴とする。また本発明は、被削体
側に取付けた超音波センサと、加工工具側の反射面との
間に、液柱を生成した状態で、前記センサより超音波を
出力し、該出力波の反射時間を利用して加工代若しくは
被削体の寸法を測定する事を特徴とする。なお好ましく
は、前記超音波の振動数が１ＭＨｚ以上とする。なお好
ましくは、前記液柱を生成する液体が加工油剤と同種の
液体とする。なお、前記加工工具は、切削工具、若しく
は研削砥石とする。
【０００６】更に本発明は、被削体側の反射面と対向さ
せて、加工工具側に取付けた超音波センサと、前記セン
サの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具え、該
供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの超音波
出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成した事を
特徴とする。或いは本発明は、加工工具側の反射面と対
向させて、被削体側に取付けた超音波センサと、前記セ
ンサの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具え、
該供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの超音
波出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成した事
を特徴とする。
せて、加工工具側に取付けた超音波センサと、前記セン
サの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具え、該
供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの超音波
出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成した事を
特徴とする。或いは本発明は、加工工具側の反射面と対
向させて、被削体側に取付けた超音波センサと、前記セ
ンサの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具え、
該供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの超音
波出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成した事
を特徴とする。
【０００７】更に本発明は、装置本体側に取付けた超音
波センサと、研削砥石の研削面との間に、液柱を生成し
た状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力波の
反射時間を利用して研削砥石の摩耗代を測定する事を特
徴とする。
波センサと、研削砥石の研削面との間に、液柱を生成し
た状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力波の
反射時間を利用して研削砥石の摩耗代を測定する事を特
徴とする。
【０００８】
【作用】かかる技術手段によれば、加工工具側に取付け
た超音波センサと、被削体側の表面との間に、液柱を生
成した状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力
波の反射時間を利用して加工代を測定するよう構成した
ために、前記超音波センサと被削体の表面との間に生成
された液柱を介して、一定時間間隔に繰り返し発信した
超音波の出力波と被削体の表面からの反射波との時間差
を計測する事により、被削体の加工代のインプロセス測
定ができる。また同時に被削体の表面からの反射波と共
に、底面からの反射波も同時に受信して、前記出力波と
の時間を計測する事により、被削体の寸法を求める事が
できる。しかも、前記超音波センサと被削体の表面との
間には、液柱のみしか存在しなく、被削体の表面を流れ
る加工油剤、加工屑、或いは風に影響される事もなく測
定できる。しかも、前記超音波センサと被削体の表面と
の間には、液柱のみしか存在しなく、接触式測定方法の
如き物理的な接触による測定ノイズがなく、所望の精度
で測定できる。
た超音波センサと、被削体側の表面との間に、液柱を生
成した状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力
波の反射時間を利用して加工代を測定するよう構成した
ために、前記超音波センサと被削体の表面との間に生成
された液柱を介して、一定時間間隔に繰り返し発信した
超音波の出力波と被削体の表面からの反射波との時間差
を計測する事により、被削体の加工代のインプロセス測
定ができる。また同時に被削体の表面からの反射波と共
に、底面からの反射波も同時に受信して、前記出力波と
の時間を計測する事により、被削体の寸法を求める事が
できる。しかも、前記超音波センサと被削体の表面との
間には、液柱のみしか存在しなく、被削体の表面を流れ
る加工油剤、加工屑、或いは風に影響される事もなく測
定できる。しかも、前記超音波センサと被削体の表面と
の間には、液柱のみしか存在しなく、接触式測定方法の
如き物理的な接触による測定ノイズがなく、所望の精度
で測定できる。
【０００９】なお超音波の振動数を１ＭＨｚ以上に設定
したために、従来の空気中に発信したときの音速（およ
そ３３０ｍ／ｓ）と本発明に拠る液柱中に発信したとき
の音速（およそ１５００ｍ／ｓ）の差に基く測定精度も
同程度或いはそれ以上に維持できる。この事は、特に被
削体の板厚を測定するとき、鋼中の音速がおよそ５８０
０ｍ／ｓであるために有効である。即ち、本発明では出
力波と反射波との時間を計測するために超音波の振動数
とは直接関係ないが、しかし精度を維持するためには、
高振動数である事が望ましい。幸い、材料、部品の進歩
を背景に順調な成長を遂げつつあり、数百ＭＨｚの超音
波センサ（超音波発生素子）をも実用可能となってい
る。なお前記液柱を生成する液体を加工油剤と同種の液
体とすることにより、該液体によって加工作業が妨害さ
れる事もなくインプロセス測定ができ、しかも被削体の
加工作業後の作業、例えば脱油作業・表面処理等は、従
来の処理作業を変更する事無く処理する事ができる。
したために、従来の空気中に発信したときの音速（およ
そ３３０ｍ／ｓ）と本発明に拠る液柱中に発信したとき
の音速（およそ１５００ｍ／ｓ）の差に基く測定精度も
同程度或いはそれ以上に維持できる。この事は、特に被
削体の板厚を測定するとき、鋼中の音速がおよそ５８０
０ｍ／ｓであるために有効である。即ち、本発明では出
力波と反射波との時間を計測するために超音波の振動数
とは直接関係ないが、しかし精度を維持するためには、
高振動数である事が望ましい。幸い、材料、部品の進歩
を背景に順調な成長を遂げつつあり、数百ＭＨｚの超音
波センサ（超音波発生素子）をも実用可能となってい
る。なお前記液柱を生成する液体を加工油剤と同種の液
体とすることにより、該液体によって加工作業が妨害さ
れる事もなくインプロセス測定ができ、しかも被削体の
加工作業後の作業、例えば脱油作業・表面処理等は、従
来の処理作業を変更する事無く処理する事ができる。
【００１０】また超音波センサを被削体側に取付け、加
工工具側の反射面との間に、液柱を生成した状態で、前
記センサより超音波を出力しても、前記同様の作用が得
られる。即ち、被削体底面に配した超音波センサから発
信する出力波は、被削体の底面及び研削表面から反射さ
れて前記センサに受信され、該出力波の反射時間を計測
する事により、被削体の加工代及び被削体の寸法を求め
る事ができる。
工工具側の反射面との間に、液柱を生成した状態で、前
記センサより超音波を出力しても、前記同様の作用が得
られる。即ち、被削体底面に配した超音波センサから発
信する出力波は、被削体の底面及び研削表面から反射さ
れて前記センサに受信され、該出力波の反射時間を計測
する事により、被削体の加工代及び被削体の寸法を求め
る事ができる。
【００１１】また本発明によると、被削体側の反射面と
対向させて、加工工具側に取付けた超音波センサと、前
記センサの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具
え、該供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの
超音波出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成し
たために、前記センサから発信された出力波の反射時間
を測定する事により、被削体の加工代及び被削体の寸法
を測定可能な非接触測定装置を提供することができる。
また、加工工具側の反射面と対向させて、被削体側に取
付けた超音波センサと、前記センサの外周を囲繞する如
く配した液供給手段とを具えても、前記測定方法の作用
で述べた如く前記構成と同様の作用を有する、被削体の
加工代及び被削体の寸法を測定可能な非接触測定装置を
提供する事ができる。
対向させて、加工工具側に取付けた超音波センサと、前
記センサの外周を囲繞する如く配した液供給手段とを具
え、該供給手段よりの供給液を利用して、前記センサの
超音波出力部と前記反射面間に液柱を生成可能に構成し
たために、前記センサから発信された出力波の反射時間
を測定する事により、被削体の加工代及び被削体の寸法
を測定可能な非接触測定装置を提供することができる。
また、加工工具側の反射面と対向させて、被削体側に取
付けた超音波センサと、前記センサの外周を囲繞する如
く配した液供給手段とを具えても、前記測定方法の作用
で述べた如く前記構成と同様の作用を有する、被削体の
加工代及び被削体の寸法を測定可能な非接触測定装置を
提供する事ができる。
【００１２】また本発明によると、装置本体側に取付け
た超音波センサと、砥石の研削面との間に、液柱を生成
した状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力波
の反射時間を利用して研削砥石の摩耗代を測定可能に構
成したために、前記センサと砥石の研磨面と間を往復す
る超音波は、前記液柱を介してのみ行われ、研削砥石の
表面を不規則に流れる研削油剤、研削屑等の影響を受け
る事がない砥石摩耗代の測定方法を提供する事ができ
る。
た超音波センサと、砥石の研削面との間に、液柱を生成
した状態で、前記センサより超音波を出力し、該出力波
の反射時間を利用して研削砥石の摩耗代を測定可能に構
成したために、前記センサと砥石の研磨面と間を往復す
る超音波は、前記液柱を介してのみ行われ、研削砥石の
表面を不規則に流れる研削油剤、研削屑等の影響を受け
る事がない砥石摩耗代の測定方法を提供する事ができ
る。
【００１３】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を例示
的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている
構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に
特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている
構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に
特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００１４】図２は本発明の実施例に使用される平面研
削盤の構成を示す正面図で、４０は水平方向に自動及び
手動送りするベッド５０に固定された被研削体で、該被
研削体４０は砥石頭３１に対向している。該砥石頭３１
は回転する砥石３０を具え、しかも垂直方向に自動及び
手動切込み送りを行う事ができる。砥石頭３１の側壁に
は超音波センサ１０を内装するノズル２１が装設されて
おり、該ノズル２１の上部には、前記超音波センサ１０
が発信・受信するための信号を伝達する電線１３と、前
記ノズル２１内に液柱２０を生成するために導入される
研削油剤２５の入口２２が配設されている。
削盤の構成を示す正面図で、４０は水平方向に自動及び
手動送りするベッド５０に固定された被研削体で、該被
研削体４０は砥石頭３１に対向している。該砥石頭３１
は回転する砥石３０を具え、しかも垂直方向に自動及び
手動切込み送りを行う事ができる。砥石頭３１の側壁に
は超音波センサ１０を内装するノズル２１が装設されて
おり、該ノズル２１の上部には、前記超音波センサ１０
が発信・受信するための信号を伝達する電線１３と、前
記ノズル２１内に液柱２０を生成するために導入される
研削油剤２５の入口２２が配設されている。
【００１５】図１は、本発明の実施例に係る超音波セン
サ１０の構成を示す概要正面図で、該超音波センサ１０
は電線１３を介して送受信装置１１及び制御装置１２に
接続されている。制御装置１２は、送受信装置１１から
の出力波・受信波間の時間を演算し、被研削体４０の研
削代・板厚４３を測定・表示すると共に、設定値によっ
て自動定寸を行うべく平面研削盤を制御するよう構成さ
れている。前記ノズル２１には、タンク２４に貯溜され
ている研削油剤２５を、ポンプ２３によって研削油剤入
口２２を介して導入される。従って、該ノズル２１内に
は、研削油剤２５による液柱２０が生成される。該超音
波センサ１０の発信面と対向する被研削体４０の表面４
１との間の距離Ｘを略５ｍｍ程度に維持し、しかも適宜
送油量を維持する事により、前記液柱２０は間隔Ｘ間に
定常流的に形成される。
サ１０の構成を示す概要正面図で、該超音波センサ１０
は電線１３を介して送受信装置１１及び制御装置１２に
接続されている。制御装置１２は、送受信装置１１から
の出力波・受信波間の時間を演算し、被研削体４０の研
削代・板厚４３を測定・表示すると共に、設定値によっ
て自動定寸を行うべく平面研削盤を制御するよう構成さ
れている。前記ノズル２１には、タンク２４に貯溜され
ている研削油剤２５を、ポンプ２３によって研削油剤入
口２２を介して導入される。従って、該ノズル２１内に
は、研削油剤２５による液柱２０が生成される。該超音
波センサ１０の発信面と対向する被研削体４０の表面４
１との間の距離Ｘを略５ｍｍ程度に維持し、しかも適宜
送油量を維持する事により、前記液柱２０は間隔Ｘ間に
定常流的に形成される。
【００１６】そこで、前記超音波センサ１０より発信さ
れた出力波は、被研削体４０の表面４１で反射し再び該
センサ１０に受信され、受信信号は電線１３を介して送
受信装置１１及び制御装置１２に伝達される。該超音波
センサ１０は時間をおいて発信・受信を繰返し、その都
度制御装置１２に知らされ、該時間間隔における研削代
を算出し測定値を得る。
れた出力波は、被研削体４０の表面４１で反射し再び該
センサ１０に受信され、受信信号は電線１３を介して送
受信装置１１及び制御装置１２に伝達される。該超音波
センサ１０は時間をおいて発信・受信を繰返し、その都
度制御装置１２に知らされ、該時間間隔における研削代
を算出し測定値を得る。
【００１７】図３は、本発明の他の実施例に係る超音波
センサ１０の要部を示す概要正面図で、該センサ１０か
ら液柱２０中に発信された超音波は、被研削体４０の底
面４２において反射され該センサ１０に受信される。送
発信信号は制御装置１２において演算処理されて、まず
送受信間の時間が計測され、続いて前記図２に記述した
被研削体４０の表面４１からの反射波との差が求められ
て、被研削体４０の板厚４３の測定値が求められる。
センサ１０の要部を示す概要正面図で、該センサ１０か
ら液柱２０中に発信された超音波は、被研削体４０の底
面４２において反射され該センサ１０に受信される。送
発信信号は制御装置１２において演算処理されて、まず
送受信間の時間が計測され、続いて前記図２に記述した
被研削体４０の表面４１からの反射波との差が求められ
て、被研削体４０の板厚４３の測定値が求められる。
【００１８】更に図４は、本発明の他の実施例に係わる
超音波１０の構成を示す概要正面図で、該超音波センサ
１０はノズル２１に囲繞されており、しかも該ノズル２
１は砥石３０の研削面３１と対面配設されている。前記
と同様に、研削油剤２５は入口２２からノズル２１内に
導入されて、液柱２０を生成する。該液柱内の超音波セ
ンサ１０より発信された出力波は砥石３０の研削面３１
にて反射されて、電線１３を介して送受信装置１１に伝
達される。一定時間間隔で繰返し発信される出力波の反
射時間を演算する事により、該間隔内に摩耗した砥石３
０の摩耗代の測定値が算出される。従って制御装置１２
により、該摩耗代に対応させて砥石３０の研削送り代を
制御する事ができ、或いは設定値により砥石３０の取替
え警告を発信する事もできる。
超音波１０の構成を示す概要正面図で、該超音波センサ
１０はノズル２１に囲繞されており、しかも該ノズル２
１は砥石３０の研削面３１と対面配設されている。前記
と同様に、研削油剤２５は入口２２からノズル２１内に
導入されて、液柱２０を生成する。該液柱内の超音波セ
ンサ１０より発信された出力波は砥石３０の研削面３１
にて反射されて、電線１３を介して送受信装置１１に伝
達される。一定時間間隔で繰返し発信される出力波の反
射時間を演算する事により、該間隔内に摩耗した砥石３
０の摩耗代の測定値が算出される。従って制御装置１２
により、該摩耗代に対応させて砥石３０の研削送り代を
制御する事ができ、或いは設定値により砥石３０の取替
え警告を発信する事もできる。
【００１９】また、前記本発明に係る実施例を研削盤に
ついて述べたが、切削加工機械に於いても、前記同様の
作用・効果を上げる事ができる。
ついて述べたが、切削加工機械に於いても、前記同様の
作用・効果を上げる事ができる。
【００２０】
【効果】以上記載した如く本発明によれば、超音波セン
サと、被削体若しくは加工工具側の反射面との間に、液
柱を生成し、該液柱を往復する超音波の時間を計測する
ように構成したために、被削体の研削代、被削体の寸法
のインプロセス測定が可能となり、特に研削加工におい
ては、砥石の研削面の摩耗代のインプロセス測定が可能
となる。しかも、前記超音波の振動数を１ＭＨｚ以上に
設定したために、超音波の伝達媒体が液体・固体である
にも拘らず、従来の空気中を送受信したときと同程度あ
るいはそれ以上の測定精度を得る事が可能となる。しか
も、前記液柱は加工作業に使用する加工油剤により生成
されているために、加工作業を妨害する事もなく、更
に、加工油剤がノズルより反射面に対して吐出する構造
としたために、該反射面上の加工屑と、これによるノイ
ズ発生を排除する事ができ、測定精度の良い被削体の非
接触測定装置を提供する事が可能となる。
サと、被削体若しくは加工工具側の反射面との間に、液
柱を生成し、該液柱を往復する超音波の時間を計測する
ように構成したために、被削体の研削代、被削体の寸法
のインプロセス測定が可能となり、特に研削加工におい
ては、砥石の研削面の摩耗代のインプロセス測定が可能
となる。しかも、前記超音波の振動数を１ＭＨｚ以上に
設定したために、超音波の伝達媒体が液体・固体である
にも拘らず、従来の空気中を送受信したときと同程度あ
るいはそれ以上の測定精度を得る事が可能となる。しか
も、前記液柱は加工作業に使用する加工油剤により生成
されているために、加工作業を妨害する事もなく、更
に、加工油剤がノズルより反射面に対して吐出する構造
としたために、該反射面上の加工屑と、これによるノイ
ズ発生を排除する事ができ、測定精度の良い被削体の非
接触測定装置を提供する事が可能となる。
【図１】本発明の実施例に係る超音波センサの構成を示
す概要正面図
す概要正面図
【図２】本発明の実施例に使用される平面研削盤の構成
を示す正面図
を示す正面図
【図３】本発明の他の実施例に係る超音波センサの構成
を示す概要正面図
を示す概要正面図
【図４】本発明の他の実施例に係わる超音波の構成を示
す概要正面図
す概要正面図
１０ 超音波センサ ２０ 液柱 ２１ 液供給手段 ２５ 加工油剤 ３０ 加工工具 ３１ 研削砥石の反射面 ４０ 被削体 ４１ 被削体の反射面 ４２ 被削体の反射面 ４３ 被削体の寸法
Claims (7)
- 【請求項１】 加工工具側若しくは被削体側に取付けた
超音波センサと、被削体若しくは加工工具側の反射面と
の間に、液柱を生成した状態で、前記センサより超音波
を出力し、該出力波の反射時間を利用して加工代若しく
は被削体の寸法を測定する事を特徴とする被削体の非接
触測定方法 - 【請求項２】 前記超音波の振動数が１ＭＨｚ以上であ
る請求項１記載の被削体の非接触測定方法 - 【請求項３】 前記液柱を生成する液体が加工油剤と同
種の液体である請求項１記載の被削体の非接触測定方法 - 【請求項４】 前記加工工具が切削工具である請求項１
記載の被削体の非接触測定方法 - 【請求項５】 前記加工工具が研削砥石である請求項１
記載の被削体の非接触測定方法 - 【請求項６】 被削体側若しくは加工工具側の反射面と
対向させて、加工工具側若しくは被削体側に取付けた超
音波センサと、前記センサの外周を囲繞する如く配した
液供給手段とを具え、該供給手段よりの供給液を利用し
て、前記センサの超音波出力部と前記反射面間に液柱を
生成可能に構成した被削体の非接触測定装置 - 【請求項７】 装置本体側に取付けた超音波センサと、
砥石の研削面との間に、液柱を生成した状態で、前記セ
ンサより超音波を出力し、該出力波の反射時間を利用し
て砥石の摩耗代を測定する事を特徴とする砥石摩耗代測
定方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29504491A JPH05104407A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 被削体の非接触測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29504491A JPH05104407A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 被削体の非接触測定方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05104407A true JPH05104407A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17815598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29504491A Pending JPH05104407A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 被削体の非接触測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05104407A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199013A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 厚さ計測装置および研削装置 |
| EP2412477A2 (en) | 2010-07-27 | 2012-02-01 | Jtekt Corporation | Grinding method and grinding machine |
| JP2021117082A (ja) * | 2020-01-24 | 2021-08-10 | 株式会社ディスコ | 測定方法 |
| CN114577152A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-06-03 | 北京烁科精微电子装备有限公司 | 一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统 |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP29504491A patent/JPH05104407A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199013A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 厚さ計測装置および研削装置 |
| EP2412477A2 (en) | 2010-07-27 | 2012-02-01 | Jtekt Corporation | Grinding method and grinding machine |
| CN102343550A (zh) * | 2010-07-27 | 2012-02-08 | 株式会社捷太格特 | 磨削方法以及磨床 |
| JP2012024904A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Jtekt Corp | 研削方法および研削盤 |
| US8784156B2 (en) | 2010-07-27 | 2014-07-22 | Jtekt Corporation | Grinding method for grinding a workpiece using a grinding wheel |
| EP2412477A3 (en) * | 2010-07-27 | 2014-08-27 | Jtekt Corporation | Grinding method and grinding machine |
| JP2021117082A (ja) * | 2020-01-24 | 2021-08-10 | 株式会社ディスコ | 測定方法 |
| CN114577152A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-06-03 | 北京烁科精微电子装备有限公司 | 一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统 |
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