JPH05107025A - 同軸度測定装置 - Google Patents
同軸度測定装置Info
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- JPH05107025A JPH05107025A JP26575391A JP26575391A JPH05107025A JP H05107025 A JPH05107025 A JP H05107025A JP 26575391 A JP26575391 A JP 26575391A JP 26575391 A JP26575391 A JP 26575391A JP H05107025 A JPH05107025 A JP H05107025A
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- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】円筒形状ワークの外径と対象点の同軸度を高精
度に測定する。 【構成】ワーク供給ユニット１１がワーク１２を保持
し、ワーク１２の軸が顕微鏡１の光軸と平行かつ同軸に
そして端面が高倍率対物レンズ４の焦点面上にくる位置
にセットする。高倍率対物レンズ４のセットされた顕微
鏡１でワーク１２の端面を拡大しワーク１２の外径との
同軸度を求めたい対象点をカメラ２がとらえ画像処理装
置３により対象点の中心位置を算出する。光軸が顕微鏡
１の光軸に対し垂直な第１および第２のレーザ外径測定
器投光ユニット６，８、受光ユニット７，９により、ま
たは計測方向が顕微鏡１の光軸に垂直な第１〜第３の光
マイクロメータ２１〜２３によりワーク１２の側面の３
点の位置を測定しワーク１２の径および側面の位置を検
出し、これからレーザ外径測定器コントローラ１６によ
りワーク１２の外径の中心位置を算出する。測定された
対象点の中心位置とワーク１２の外径の中心位置から演
算装置１８が同軸度を算出する。
度に測定する。 【構成】ワーク供給ユニット１１がワーク１２を保持
し、ワーク１２の軸が顕微鏡１の光軸と平行かつ同軸に
そして端面が高倍率対物レンズ４の焦点面上にくる位置
にセットする。高倍率対物レンズ４のセットされた顕微
鏡１でワーク１２の端面を拡大しワーク１２の外径との
同軸度を求めたい対象点をカメラ２がとらえ画像処理装
置３により対象点の中心位置を算出する。光軸が顕微鏡
１の光軸に対し垂直な第１および第２のレーザ外径測定
器投光ユニット６，８、受光ユニット７，９により、ま
たは計測方向が顕微鏡１の光軸に垂直な第１〜第３の光
マイクロメータ２１〜２３によりワーク１２の側面の３
点の位置を測定しワーク１２の径および側面の位置を検
出し、これからレーザ外径測定器コントローラ１６によ
りワーク１２の外径の中心位置を算出する。測定された
対象点の中心位置とワーク１２の外径の中心位置から演
算装置１８が同軸度を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円筒形のワークの端面
上に設けられる対象点のワークに対する同軸度を測定す
る同軸度測定装置に関し、特に光通信用レーザダイオー
ドモジュールの集光スポットの同軸度測定装置に関す
る。
上に設けられる対象点のワークに対する同軸度を測定す
る同軸度測定装置に関し、特に光通信用レーザダイオー
ドモジュールの集光スポットの同軸度測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の同軸度測定装置は、図２に示すよ
うに顕微鏡１と、顕微鏡１の像面上におかれ顕微鏡１に
固定されるカメラ２と、カメラ２に接続され顕微鏡１に
より拡大される円筒形状ワーク１２の外径の中心位置と
対象点の中心位置を算出する画像処理装置１７と、顕微
鏡１にとりつけられる低倍率対物レンズ１３と、顕微鏡
１を支持する顕微鏡台５と、円筒形状ワーク１２を保持
し顕微鏡１の光軸と円筒形状ワーク１２の軸が平行かつ
同軸にそして端面が低倍率対物レンズ１３の焦点面上に
くる位置にセットするワーク供給ユニット１１とを有し
ている。
うに顕微鏡１と、顕微鏡１の像面上におかれ顕微鏡１に
固定されるカメラ２と、カメラ２に接続され顕微鏡１に
より拡大される円筒形状ワーク１２の外径の中心位置と
対象点の中心位置を算出する画像処理装置１７と、顕微
鏡１にとりつけられる低倍率対物レンズ１３と、顕微鏡
１を支持する顕微鏡台５と、円筒形状ワーク１２を保持
し顕微鏡１の光軸と円筒形状ワーク１２の軸が平行かつ
同軸にそして端面が低倍率対物レンズ１３の焦点面上に
くる位置にセットするワーク供給ユニット１１とを有し
ている。
【０００３】低倍率対物レンズ１３はワーク１２の端面
の像すべてがカメラ２の視野内に入るような低い倍率の
対物レンズである。顕微鏡１と低倍率対物レンズ１３で
ワーク１２の端面を拡大しその像をカメラ２がとらえ、
光電変換する。カメラ２がとらえた像のデータは、画像
処理装置１７に送られワーク１２の端面の外径より端面
外径の中心を算出し、一方同軸度の対象となる部分の中
心位置を算出し外径と対象点の同軸度を算出する。
の像すべてがカメラ２の視野内に入るような低い倍率の
対物レンズである。顕微鏡１と低倍率対物レンズ１３で
ワーク１２の端面を拡大しその像をカメラ２がとらえ、
光電変換する。カメラ２がとらえた像のデータは、画像
処理装置１７に送られワーク１２の端面の外径より端面
外径の中心を算出し、一方同軸度の対象となる部分の中
心位置を算出し外径と対象点の同軸度を算出する。
【０００４】ここで対象点とは例えば光通信用ＬＤモジ
ュールの光ファイバとの結合点、すなわちレーザダイオ
ード光の集光スポットの空中像である。図２に示す同軸
度測定装置は、この結合点位置と光通信用ＬＤモジュー
ル外径との同軸を測定する用途に用いられる。
ュールの光ファイバとの結合点、すなわちレーザダイオ
ード光の集光スポットの空中像である。図２に示す同軸
度測定装置は、この結合点位置と光通信用ＬＤモジュー
ル外径との同軸を測定する用途に用いられる。
【０００５】図３は光通信用ＬＤモジュールであるワー
ク１２の端面を示す平面図である。ワーク外径１４の中
心に対象点１５であるＬＤ光の集光スポットが配置され
ている。
ク１２の端面を示す平面図である。ワーク外径１４の中
心に対象点１５であるＬＤ光の集光スポットが配置され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来の同軸度測定
装置では、同軸度の基準となるワーク１２の外径と対象
点を同一の画像でとらえて処理する必要性から、対象点
より大きいワーク１２の外径にあわせて顕微鏡１の倍率
を決めるため、低倍率の対物レンズ１３を使用すること
となりカメラ２の解像度の制限から１ミクロン以下、
０．１ミクロン台の高精度な同軸度検出精度がえられな
いという問題点があった。
装置では、同軸度の基準となるワーク１２の外径と対象
点を同一の画像でとらえて処理する必要性から、対象点
より大きいワーク１２の外径にあわせて顕微鏡１の倍率
を決めるため、低倍率の対物レンズ１３を使用すること
となりカメラ２の解像度の制限から１ミクロン以下、
０．１ミクロン台の高精度な同軸度検出精度がえられな
いという問題点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は同軸度測定装置
は、対物レンズが取り付けられた顕微鏡と、この顕微鏡
の光軸と同軸の状態に円筒形状のワークを保持するワー
ク供給ユニットと、前記ワークの端面の対象点が配置さ
れる範囲の前記顕微鏡による像を光電変換するカメラ
と、このカメラに撮像される前記対象点の中心位置を算
出する画像処理装置と、互いに前記ワークを挟んで向い
合う第１のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第１の
レーザ外径測定器受光ユニットと、これら第１のレーザ
外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ外径測定器
受光ユニットと垂直な方向に互いに前記ワークを挟んで
向い合う第２のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第
２のレーザ外径測定器受光ユニットと、前記第１のレー
ザ外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ外径測定
器受光ユニットならびに前記第２のレーザ外径測定器投
光ユニットおよび第２のレーザ外径測定器受光ユニット
に接続され前記ワークの中心位置を算出するレーザ外径
測定器コントローラと、このレーザ外径測定器コントロ
ーラが算出する前記ワークの中心位置および前記画像処
理装置が算出する前記対象点の中心位置より前記対象点
の前記ワークに対する同軸度を算出する演算装置とを備
えている。
は、対物レンズが取り付けられた顕微鏡と、この顕微鏡
の光軸と同軸の状態に円筒形状のワークを保持するワー
ク供給ユニットと、前記ワークの端面の対象点が配置さ
れる範囲の前記顕微鏡による像を光電変換するカメラ
と、このカメラに撮像される前記対象点の中心位置を算
出する画像処理装置と、互いに前記ワークを挟んで向い
合う第１のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第１の
レーザ外径測定器受光ユニットと、これら第１のレーザ
外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ外径測定器
受光ユニットと垂直な方向に互いに前記ワークを挟んで
向い合う第２のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第
２のレーザ外径測定器受光ユニットと、前記第１のレー
ザ外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ外径測定
器受光ユニットならびに前記第２のレーザ外径測定器投
光ユニットおよび第２のレーザ外径測定器受光ユニット
に接続され前記ワークの中心位置を算出するレーザ外径
測定器コントローラと、このレーザ外径測定器コントロ
ーラが算出する前記ワークの中心位置および前記画像処
理装置が算出する前記対象点の中心位置より前記対象点
の前記ワークに対する同軸度を算出する演算装置とを備
えている。
【０００８】本発明の同軸度測定装置は、対物レンズが
取り付けられた顕微鏡と、この顕微鏡の光軸と同軸の状
態に円筒形状のワークを保持するワーク供給ユニット
と、前記ワークの端面の対象点が配置される範囲の前記
顕微鏡による像を光電変換するカメラと、このカメラに
撮像される前記対象点の中心位置を算出する画像処理装
置と、それぞれが前記ワークの側面上で前記ワークの中
心軸に垂直な面上の異なる点である第１〜第３の点の位
置を測定する第１〜第３の測長手段と、これら第１〜第
３の測長手段に接続され前記第１〜第３の点の位置から
前記ワークの中心位置を測定するコントローラと、この
コントローラが算出する前記ワークの中心位置および前
記画像処理装置が算出する前記対象点の中心位置より前
記対象点の前記ワークに対する同軸度を算出する演算装
置とを備えている。
取り付けられた顕微鏡と、この顕微鏡の光軸と同軸の状
態に円筒形状のワークを保持するワーク供給ユニット
と、前記ワークの端面の対象点が配置される範囲の前記
顕微鏡による像を光電変換するカメラと、このカメラに
撮像される前記対象点の中心位置を算出する画像処理装
置と、それぞれが前記ワークの側面上で前記ワークの中
心軸に垂直な面上の異なる点である第１〜第３の点の位
置を測定する第１〜第３の測長手段と、これら第１〜第
３の測長手段に接続され前記第１〜第３の点の位置から
前記ワークの中心位置を測定するコントローラと、この
コントローラが算出する前記ワークの中心位置および前
記画像処理装置が算出する前記対象点の中心位置より前
記対象点の前記ワークに対する同軸度を算出する演算装
置とを備えている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１は本発明の一実施例の同軸度測定装置
の構成図である。
の構成図である。
【００１１】ワーク供給ユニット１１が円筒形状ワーク
１２を保持し、ワーク１２の軸が顕微鏡１の光軸と平行
かつ同軸になりそして端面が高倍率対物レンズ４の焦点
面上にくる位置にワーク１２をセットする。高倍率対物
レンズ４はワーク１２の外径との同軸度を求めたい対象
点がカメラ２の視野から外れない範囲で最も高い倍率の
対物レンズである。
１２を保持し、ワーク１２の軸が顕微鏡１の光軸と平行
かつ同軸になりそして端面が高倍率対物レンズ４の焦点
面上にくる位置にワーク１２をセットする。高倍率対物
レンズ４はワーク１２の外径との同軸度を求めたい対象
点がカメラ２の視野から外れない範囲で最も高い倍率の
対物レンズである。
【００１２】高倍率対物レンズ４のセットされた顕微鏡
１でワーク１２の端面を拡大しワーク１２の外径との同
軸度を求めたい対象点をカメラ２がとらえる。カメラ２
は顕微鏡１の像面上におかれ顕微鏡１に固定されてい
る。顕微鏡１は顕微鏡台５に支持されている。カメラ２
がどらえた像のデータは画像処理装置３に送られワーク
１２の外径との同軸度を求めたい対象点の中心位置を算
出する。
１でワーク１２の端面を拡大しワーク１２の外径との同
軸度を求めたい対象点をカメラ２がとらえる。カメラ２
は顕微鏡１の像面上におかれ顕微鏡１に固定されてい
る。顕微鏡１は顕微鏡台５に支持されている。カメラ２
がどらえた像のデータは画像処理装置３に送られワーク
１２の外径との同軸度を求めたい対象点の中心位置を算
出する。
【００１３】一方、光軸が顕微鏡１の光軸に対し垂直な
第１のレーザ外径測定器投光ユニット６と第１のレーザ
外径測定受光ユニット７によりワーク１２の径および側
面の位置を検出しこれからレーザ外径測定器コントロー
ラ１６によりワーク１２の外径の一の方向の中心位置を
算出する。第１のレーザ外径測定器投光ユニット６と第
１のレーザ外径測定器受光ユニット７は対になっており
１セットでレーザ外径測定器となる。ここでレーザ外径
測定器とは例えばアンリツ（株）製レーザ外径測定器Ｋ
Ｌ１５Ｘシリーズ等であり、ワーク１２の径および側面
の位置を０．１ミクロン台の精度で測定できる。
第１のレーザ外径測定器投光ユニット６と第１のレーザ
外径測定受光ユニット７によりワーク１２の径および側
面の位置を検出しこれからレーザ外径測定器コントロー
ラ１６によりワーク１２の外径の一の方向の中心位置を
算出する。第１のレーザ外径測定器投光ユニット６と第
１のレーザ外径測定器受光ユニット７は対になっており
１セットでレーザ外径測定器となる。ここでレーザ外径
測定器とは例えばアンリツ（株）製レーザ外径測定器Ｋ
Ｌ１５Ｘシリーズ等であり、ワーク１２の径および側面
の位置を０．１ミクロン台の精度で測定できる。
【００１４】また光軸が顕微鏡１の光軸と第１のレーザ
外径測定器投光ユニット６の光軸に対し垂直な第２のレ
ーザ外径測定器投光ユニット８と第２のレーザ外径測定
器受光ユニット９により第１のレーザ外径測定器の測定
対象である一の方向と直角な他の方向のワーク１２の径
および測面の位置を検出し、これからレーザ外径測定器
コントローラ１６によりワーク１２の外径の他の方向の
中心位置を算出する。第２のレーザ外径測定器投光ユニ
ット８と第２のレーザ外径測定器受光ユニット９は対に
なっており１セットでレーザに外径測定器となる。
外径測定器投光ユニット６の光軸に対し垂直な第２のレ
ーザ外径測定器投光ユニット８と第２のレーザ外径測定
器受光ユニット９により第１のレーザ外径測定器の測定
対象である一の方向と直角な他の方向のワーク１２の径
および測面の位置を検出し、これからレーザ外径測定器
コントローラ１６によりワーク１２の外径の他の方向の
中心位置を算出する。第２のレーザ外径測定器投光ユニ
ット８と第２のレーザ外径測定器受光ユニット９は対に
なっており１セットでレーザに外径測定器となる。
【００１５】カメラ２と画像処理装置３により得られる
対象点の中心位置および第１のレーザ外径測定器と第２
のレーザ外径測定器とレーザ外径測定器コントローラ１
６により得られるワーク１２の外径の中心位置からワー
ク１２の外径と対象点の同軸度をレーザ外径測定器コン
トローラ１６と画像処理装置３のそれぞれと接続する演
算装置１８が算出する。
対象点の中心位置および第１のレーザ外径測定器と第２
のレーザ外径測定器とレーザ外径測定器コントローラ１
６により得られるワーク１２の外径の中心位置からワー
ク１２の外径と対象点の同軸度をレーザ外径測定器コン
トローラ１６と画像処理装置３のそれぞれと接続する演
算装置１８が算出する。
【００１６】第１のレーザ外径測定器投光ユニット６と
第１のレーザ外径測定器受光ユニット７と第２のレーザ
外径測定器投光ユニット８と第２のレーザ外径測定器受
光ユニット９はサブベース１０により顕微鏡台５に接
続、固定され顕微鏡１との相対位置が固定されている。
第１のレーザ外径測定器受光ユニット７と第２のレーザ
外径測定器投光ユニット８と第２のレーザ外径測定器受
光ユニット９はサブベース１０により顕微鏡台５に接
続、固定され顕微鏡１との相対位置が固定されている。
【００１７】図４は本発明の他の実施例の構成図であ
る。
る。
【００１８】この実施例で、顕微鏡１、カメラ２、画像
処理装置３、高倍率対物レンズ４、顕微鏡台５、ワーク
供給ユニット１１および演算装置１８は図１に示すもの
と同じである。
処理装置３、高倍率対物レンズ４、顕微鏡台５、ワーク
供給ユニット１１および演算装置１８は図１に示すもの
と同じである。
【００１９】図４は示す実施例では、計測方向が顕微鏡
１の光軸に対し垂直な第１の光マイクロメータ２１によ
りワーク１２の側面の点の位置を検出する。ここで光マ
イクロメータとは例えばアンリツ（株）製光マイクロＫ
Ｌ１３Ｘシリーズ等であり、ワーク１２の側面の点の位
置を０．１ミクロン台の精度で測定できる。
１の光軸に対し垂直な第１の光マイクロメータ２１によ
りワーク１２の側面の点の位置を検出する。ここで光マ
イクロメータとは例えばアンリツ（株）製光マイクロＫ
Ｌ１３Ｘシリーズ等であり、ワーク１２の側面の点の位
置を０．１ミクロン台の精度で測定できる。
【００２０】また、計測方向が顕微鏡１の光軸に対し垂
直な、第２の光利マイクロメータ２２と第３の光マイク
ロメータ２３それぞれにより第１の光マイクロメータ２
１が計測するワーク１２の側面の位置を含むワーク１２
の軸に垂直な面内のワーク１２の側面の他の２点の位置
を検出する。
直な、第２の光利マイクロメータ２２と第３の光マイク
ロメータ２３それぞれにより第１の光マイクロメータ２
１が計測するワーク１２の側面の位置を含むワーク１２
の軸に垂直な面内のワーク１２の側面の他の２点の位置
を検出する。
【００２１】これら３点を通る円は一意に決まるため、
光マイクロメータ２１と光マイクロメータ２２と第３の
光マイクロメータ２３により検出されたワーク１２の側
面の３点の位置よりワーク１２の中心位置を光マイクロ
メータコントローラ１９を介して演算装置１８が算出す
る。カメラ２と画像処理装置３により得られる対象点の
中心位置および第１の光マイクロメータ２１と第２の光
マイクロメータ２２と第３の光マイクロメータ２３と光
マイクロメータコントローラ１９より得られるワーク１
２の外径の中心位置からワーク１２の外径と対象点の同
軸度を画像処理装置３と光マイクロメータコントローラ
１９のそれぞれと接続する演算装置１８が算出する。
光マイクロメータ２１と光マイクロメータ２２と第３の
光マイクロメータ２３により検出されたワーク１２の側
面の３点の位置よりワーク１２の中心位置を光マイクロ
メータコントローラ１９を介して演算装置１８が算出す
る。カメラ２と画像処理装置３により得られる対象点の
中心位置および第１の光マイクロメータ２１と第２の光
マイクロメータ２２と第３の光マイクロメータ２３と光
マイクロメータコントローラ１９より得られるワーク１
２の外径の中心位置からワーク１２の外径と対象点の同
軸度を画像処理装置３と光マイクロメータコントローラ
１９のそれぞれと接続する演算装置１８が算出する。
【００２２】第１の光マイクロメータ２１と第２の光マ
イクロメータ２２と第３の光マイクロメータ２３はサブ
ベース２０により顕微鏡台５に接続、固定され顕微鏡１
との相対位置を固定されている。
イクロメータ２２と第３の光マイクロメータ２３はサブ
ベース２０により顕微鏡台５に接続、固定され顕微鏡１
との相対位置を固定されている。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ワーク１
２の外径の中心位置をレーザ外径測定器または３つの測
長手段により求め、一方対象点を高倍率の対物レンズに
より大きく拡大して画像処理して対象点の中心位置を求
め、ワーク１２の外径と対象点の同軸度を高精度（０．
１ミクロン台）で測定できるという効果を有する。
２の外径の中心位置をレーザ外径測定器または３つの測
長手段により求め、一方対象点を高倍率の対物レンズに
より大きく拡大して画像処理して対象点の中心位置を求
め、ワーク１２の外径と対象点の同軸度を高精度（０．
１ミクロン台）で測定できるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】従来の同軸度測定装置を示す構成図である。
【図３】光通信用ＬＤモジュールの端面を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】本発明の他の実施例の構成図である。
１ 顕微鏡 ２ カメラ ３ 画像処理装置 ４ 高倍率対物レンズ ５ 顕微鏡台 ６ 第１のレーザ外径測定器投光ユニット ７ 第１のレーザ外径測定器受光ユニット ８ 第２のレーザ外径測定器投光ユニット ９ 第２のレーザ外径測定器受光ユニット １０ サブベース １１ ワーク供給ユニット １２ ワーク １３ 低倍率対物レンズ １４ ワーク外径 １５ ＬＤ光の集光スポット １６ レーザ外径測定器コントローラ １７ 画像処理装置 １８ 演算装置 １９ 光マイクロメータコントローラ ２０ サブベース ２１ 第１の光マイクロメータ ２２ 第２の光マイクロメータ ２３ 第３の光マイクロメータ
Claims (2)
- 【請求項１】 対物レンズが取り付けられた顕微鏡と、
この顕微鏡の光軸と同軸の状態に円筒形状のワークを保
持するワーク供給ユニットと、前記ワークの端面の対象
点が配置される範囲の前記顕微鏡による像を光電変換す
るカメラと、このカメラに撮像される前記対象点の中心
位置を算出する画像処理装置と、互いに前記ワークを挟
んで向い合う第１のレーザ外径測定器投光ユニットおよ
び第１のレーザ外径測定器受光ユニットと、これら第１
のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ外
径測定器受光ユニットと垂直な方向に互いに前記ワーク
を挟んで向い合う第２のレーザ外径測定器投光ユニット
および第２のレーザ外径測定器受光ユニットと、前記第
１のレーザ外径測定器投光ユニットおよび第１のレーザ
外径測定器受光ユニットならびに前記第２のレーザ外径
測定器投光ユニットおよび第２のレーザ外径測定器受光
ユニットに接続され前記ワークの中心位置を算出するレ
ーザ外径測定器コントローラと、このレーザ外径測定器
コントローラが算出する前記ワークの中心位置および前
記画像処理装置が算出する前記対象点の中心位置より前
記対象点の前記ワークに対する同軸度を算出する演算装
置とを含むことを特徴とする同軸度測定装置。 - 【請求項２】 対物レンズが取り付けられた顕微鏡と、
この顕微鏡の光軸と同軸の状態に円筒形状のワークを保
持するワーク供給ユニットと、前記ワークの端面の対象
点が配置される範囲の前記顕微鏡による像を光電変換す
るカメラと、このカメラに撮像される前記対象点の中心
位置を算出する画像処理装置と、それぞれが前記ワーク
の側面上で前記ワークの中心軸に垂直な面上の異なる点
である第１〜第３の点の位置を測定する第１〜第３の測
長手段と、これら第１〜第３の測長手段に接続され前記
第１〜第３の点の位置から前記ワークの中心位置を測定
するコントローラと、このコントローラが算出する前記
ワークの中心位置および前記画像処理装置が算出する前
記対象点の中心位置より前記対象点の前記ワークに対す
る同軸度を算出する演算装置とを含むことを特徴とする
同軸度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26575391A JPH05107025A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 同軸度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26575391A JPH05107025A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 同軸度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107025A true JPH05107025A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17421536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26575391A Pending JPH05107025A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 同軸度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05107025A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101888861B1 (ko) * | 2017-03-22 | 2018-08-16 | 주식회사 마크텍코리아 | 파이프 측정 장치 및 이를 이용한 파이프 측정 방법 |
| CN108453564A (zh) * | 2018-03-05 | 2018-08-28 | 上海理工大学 | 数控机床滚珠丝杠装配同轴度误差的视觉检测装置及方法 |
| CN109596074A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-09 | 芜湖哈特机器人产业技术研究院有限公司 | 轴承同轴度检测系统 |
| CN110146257A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-20 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种快速测量空间激光载荷光轴变化的装置及方法 |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP26575391A patent/JPH05107025A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101888861B1 (ko) * | 2017-03-22 | 2018-08-16 | 주식회사 마크텍코리아 | 파이프 측정 장치 및 이를 이용한 파이프 측정 방법 |
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| CN109596074A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-09 | 芜湖哈特机器人产业技术研究院有限公司 | 轴承同轴度检测系统 |
| CN109596074B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-12-15 | 芜湖哈特机器人产业技术研究院有限公司 | 轴承同轴度检测系统 |
| CN110146257A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-20 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种快速测量空间激光载荷光轴变化的装置及方法 |
| CN110146257B (zh) * | 2019-05-17 | 2024-02-20 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种快速测量空间激光载荷光轴变化的装置及方法 |
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