JPH0510784A - 光フアイバエンコーダ - Google Patents
光フアイバエンコーダInfo
- Publication number
- JPH0510784A JPH0510784A JP16306991A JP16306991A JPH0510784A JP H0510784 A JPH0510784 A JP H0510784A JP 16306991 A JP16306991 A JP 16306991A JP 16306991 A JP16306991 A JP 16306991A JP H0510784 A JPH0510784 A JP H0510784A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- pulsed light
- rotation
- optical
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、光ファイバエンコーダに関し、特
に、波長によって異なる反射率を有する材料からなる複
数層によって回転符号を構成し、小型で高分解能を得る
ことを特徴とする。 【構成】本発明による光ファイバエンコーダは、回転符
号板(29)に設けられた回転符号(29a)に光ファイバ(24,2
5)を介してパルス光(λ1,λ2)を照射し、反射した反射
パルス光(λ1a,λ2a)を光ファイバ(30)を介して検出す
ることにより、前記回転符号板(29)の回転検出を行うよ
うにした光ファイバエンコーダにおいて、前記パルス光
(λ1,λ2)は、異なる波長の複数のパルス光よりなり、
前記回転符号(29a)は、波長によって異なる反射率を有
する材料からなる複数層よりなる構成である。
に、波長によって異なる反射率を有する材料からなる複
数層によって回転符号を構成し、小型で高分解能を得る
ことを特徴とする。 【構成】本発明による光ファイバエンコーダは、回転符
号板(29)に設けられた回転符号(29a)に光ファイバ(24,2
5)を介してパルス光(λ1,λ2)を照射し、反射した反射
パルス光(λ1a,λ2a)を光ファイバ(30)を介して検出す
ることにより、前記回転符号板(29)の回転検出を行うよ
うにした光ファイバエンコーダにおいて、前記パルス光
(λ1,λ2)は、異なる波長の複数のパルス光よりなり、
前記回転符号(29a)は、波長によって異なる反射率を有
する材料からなる複数層よりなる構成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバエンコーダ
に関し、特に、波長によって異なる反射率を有する材料
からなる複数層によって回転符号を構成し、小型で高分
解能を得るための新規な改良に関する。
に関し、特に、波長によって異なる反射率を有する材料
からなる複数層によって回転符号を構成し、小型で高分
解能を得るための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の光ファイ
バエンコーダとしては種々あるが、その中で代表的な構
成について述べると、図８にて示される一般に採用され
ている構成を挙げることができる。
バエンコーダとしては種々あるが、その中で代表的な構
成について述べると、図８にて示される一般に採用され
ている構成を挙げることができる。
【０００３】すなわち、図において符号１で示されるも
のは、ケーシング２内に軸受３を介して回転自在に設け
られた回転軸であり、この回転軸１の上部には、所定の
パターン形状からなる第１パターン４、第２パターン８
及び第３パターン６をその表面７ａに有する回転板２９
が一体状に取付けられている。前記ケーシング２には、
光コネクタ８が設けられており、この光コネクタ８に
は、第１光ファイバ９を介して光分配器１０が接続され
ており、この光分配器１０には、各々長さが大幅に異な
る第２光ファイバ１１、第３光ファイバ１２及び第４光
ファイバ１３が設けられている。前記第２光ファイバ１
１の第１検出用光出口１１ａは前記第１パターン４上に
対応して位置し、前記第３光ファイバ１２の第２検出用
光出口１２ａは前記第２パターン５上に対応して位置
し、さらに、前記第４光ファイバ１３の第３検出用光出
口１３ａは前記第３パターン６上に対応して位置してい
る。
のは、ケーシング２内に軸受３を介して回転自在に設け
られた回転軸であり、この回転軸１の上部には、所定の
パターン形状からなる第１パターン４、第２パターン８
及び第３パターン６をその表面７ａに有する回転板２９
が一体状に取付けられている。前記ケーシング２には、
光コネクタ８が設けられており、この光コネクタ８に
は、第１光ファイバ９を介して光分配器１０が接続され
ており、この光分配器１０には、各々長さが大幅に異な
る第２光ファイバ１１、第３光ファイバ１２及び第４光
ファイバ１３が設けられている。前記第２光ファイバ１
１の第１検出用光出口１１ａは前記第１パターン４上に
対応して位置し、前記第３光ファイバ１２の第２検出用
光出口１２ａは前記第２パターン５上に対応して位置
し、さらに、前記第４光ファイバ１３の第３検出用光出
口１３ａは前記第３パターン６上に対応して位置してい
る。
【０００４】尚、前述の各光ファイバ１１，１２及び１
３の前記光分配器１０からの長さは、符号で示すと、１
１＜１２＜１３の関係に構成されている。前記光コネク
タ８には、単芯光ファイバである第５光ファイバ１４を
介して光結合器１５に結合されており、この光結合器１
５には、入力用光ファイバ１６が発光体１７に対向して
設けられている。前記光結合器１５に設けられた出力用
光ファイバ１８の出力用光出口１８ａには、受光体１９
が対向して配設されている。従来の光ファイバアブソリ
ュートエンコーダは、前述したように構成されており、
以下に、その動作について説明する。まず、発光体１７
からの光は、入力用光ファイバ１６、光結合器１５、第
５光ファイバ１４、光コネクタ８、第１光ファイバ９、
光分配器１０を介して、各光ファイバ１１，１２及び１
３の各検出用光出口１１ａ，１２ａ及び１３ａを介して
各パターン４，５及び６上に到達する。これらの各光フ
ァイバ１１，１２及び１３の長さは、各々異なり前述の
関係に設定されているため、第２光ファイバ１１からの
光が最も早く第１パターン４に到達して、第１パターン
４を読み取り、その読み取った光信号は、前述の経路を
逆に経て出力用光ファイバ１８の出力用光出口１８ａか
ら受光体１９によって受信される。また、他の第３光フ
ァイバ１２及び第４光ファイバ１３を経て、第２パター
ン５及び第３パターン６を読み取った光信号は、各々最
初の光信号よりも遅れた時間差をともなってシリアル信
号として受光体１９に受信される。
３の前記光分配器１０からの長さは、符号で示すと、１
１＜１２＜１３の関係に構成されている。前記光コネク
タ８には、単芯光ファイバである第５光ファイバ１４を
介して光結合器１５に結合されており、この光結合器１
５には、入力用光ファイバ１６が発光体１７に対向して
設けられている。前記光結合器１５に設けられた出力用
光ファイバ１８の出力用光出口１８ａには、受光体１９
が対向して配設されている。従来の光ファイバアブソリ
ュートエンコーダは、前述したように構成されており、
以下に、その動作について説明する。まず、発光体１７
からの光は、入力用光ファイバ１６、光結合器１５、第
５光ファイバ１４、光コネクタ８、第１光ファイバ９、
光分配器１０を介して、各光ファイバ１１，１２及び１
３の各検出用光出口１１ａ，１２ａ及び１３ａを介して
各パターン４，５及び６上に到達する。これらの各光フ
ァイバ１１，１２及び１３の長さは、各々異なり前述の
関係に設定されているため、第２光ファイバ１１からの
光が最も早く第１パターン４に到達して、第１パターン
４を読み取り、その読み取った光信号は、前述の経路を
逆に経て出力用光ファイバ１８の出力用光出口１８ａか
ら受光体１９によって受信される。また、他の第３光フ
ァイバ１２及び第４光ファイバ１３を経て、第２パター
ン５及び第３パターン６を読み取った光信号は、各々最
初の光信号よりも遅れた時間差をともなってシリアル信
号として受光体１９に受信される。
【０００５】従って、この受光体１９からは、前記各パ
ターン４，５及び６のパターンを読み取ったシリアル信
号が、互いに、時間差を有して受光体１９に読み取ら
れ、回転軸１の回転数及び回転角度等のアブソリュート
回転情報が得られる。
ターン４，５及び６のパターンを読み取ったシリアル信
号が、互いに、時間差を有して受光体１９に読み取ら
れ、回転軸１の回転数及び回転角度等のアブソリュート
回転情報が得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の光ファイバアブ
ソリュートエンコーダは、以上のように構成されていた
ため、次のような課題を有していた。すなわち、回転板
の各パターンを読み取った後のアブソリュート回転情報
は、シリアル信号であるため、光分配器から各検出用光
出口までの各光ファイバの長さを変えなくてはならず、
例えば、１ビット信号毎に１０ｍの差をつける必要があ
り、光ファイバの長さが異常に長くなり、小形化に対す
る最大の障害となっていた。また、回転板に形成された
各パターンは、全て同じ材料で形成されていたため、ア
ブソリュートパターンの場合には、全てのパターンを半
径方向に配設しなければならず、それにより、回転板の
直径を小形化することができなかった。
ソリュートエンコーダは、以上のように構成されていた
ため、次のような課題を有していた。すなわち、回転板
の各パターンを読み取った後のアブソリュート回転情報
は、シリアル信号であるため、光分配器から各検出用光
出口までの各光ファイバの長さを変えなくてはならず、
例えば、１ビット信号毎に１０ｍの差をつける必要があ
り、光ファイバの長さが異常に長くなり、小形化に対す
る最大の障害となっていた。また、回転板に形成された
各パターンは、全て同じ材料で形成されていたため、ア
ブソリュートパターンの場合には、全てのパターンを半
径方向に配設しなければならず、それにより、回転板の
直径を小形化することができなかった。
【０００７】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、波長によって異なる反射率
を有する材料からなる複数層によって回転符号を構成
し、小型で高分解能な光ファイバエンコーダを提供する
ことを目的とする。
めになされたもので、特に、波長によって異なる反射率
を有する材料からなる複数層によって回転符号を構成
し、小型で高分解能な光ファイバエンコーダを提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による光ファイバ
エンコーダは、回転符号板に設けられた回転符号に光フ
ァイバを介して照射し、反射した反射パルス光を光ファ
イバを介して検出することにより、前記回転符号板の回
転検出を行うようにした光ファイバエンコーダにおい
て、前記パルス光は、異なる波長の複数のパルス光より
なり、前記回転符号は、波長によって異なる反射率を有
する材料からなる複数層よりなる構成である。
エンコーダは、回転符号板に設けられた回転符号に光フ
ァイバを介して照射し、反射した反射パルス光を光ファ
イバを介して検出することにより、前記回転符号板の回
転検出を行うようにした光ファイバエンコーダにおい
て、前記パルス光は、異なる波長の複数のパルス光より
なり、前記回転符号は、波長によって異なる反射率を有
する材料からなる複数層よりなる構成である。
【０００９】さらに、詳細には、前記パルス光は、複数
のレーザダイオードから得られる構成である。
のレーザダイオードから得られる構成である。
【００１０】
【作用】本発明による光ファイバエンコーダにおいて
は、各レーザダイオードから同時に発せられた別々の波
長のパルス光は光ファイバに入射されるが、一方の光フ
ァイバには遅延器が挿入されているため、この遅延器を
通る光パルスは他方の光ファイバを通る他の光パルスよ
りも一定時間遅れて、その後、合波されて１本の光ファ
イバ中を伝搬して合分波器に達する。
は、各レーザダイオードから同時に発せられた別々の波
長のパルス光は光ファイバに入射されるが、一方の光フ
ァイバには遅延器が挿入されているため、この遅延器を
通る光パルスは他方の光ファイバを通る他の光パルスよ
りも一定時間遅れて、その後、合波されて１本の光ファ
イバ中を伝搬して合分波器に達する。
【００１１】ここでこれらの光パルスは均等に分岐さ
れ、さらに、分岐されたチャンネルごとに設けられた遅
延器に通される。各遅延器はそれぞれのパルス光の間に
一定の時間差が生じるように調整されている。各ダイオ
ードからのパルス光は回転符号で反射され、再び同じ光
路をたどって戻る。回転符号のパターンは図２，３の様
に、波長によって異なる反射率を有する材料により、二
重に描かれており、各々反射率がピークとなる反射は前
記の二つの光パルスの波長のどちらかに合致している。
これによって二重に描かれた回転符号は波長ごとに読み
取られる。反射した反射パルス光は再び遅延、結合さ
れ、一本のファイバを伝搬して戻り、合分波器によって
取り出され、フォトダイオードによって電気信号に変換
される。この時フォトダイオードによって受光される信
号を図７に示す。従って、１本の光ファイバ及び複数層
の回転符号を用いることにより、時分割と周波数多重方
式によって光パルスの伝送を行い、小型且つ多機能の光
ファイバエンコーダを得ることができる。
れ、さらに、分岐されたチャンネルごとに設けられた遅
延器に通される。各遅延器はそれぞれのパルス光の間に
一定の時間差が生じるように調整されている。各ダイオ
ードからのパルス光は回転符号で反射され、再び同じ光
路をたどって戻る。回転符号のパターンは図２，３の様
に、波長によって異なる反射率を有する材料により、二
重に描かれており、各々反射率がピークとなる反射は前
記の二つの光パルスの波長のどちらかに合致している。
これによって二重に描かれた回転符号は波長ごとに読み
取られる。反射した反射パルス光は再び遅延、結合さ
れ、一本のファイバを伝搬して戻り、合分波器によって
取り出され、フォトダイオードによって電気信号に変換
される。この時フォトダイオードによって受光される信
号を図７に示す。従って、１本の光ファイバ及び複数層
の回転符号を用いることにより、時分割と周波数多重方
式によって光パルスの伝送を行い、小型且つ多機能の光
ファイバエンコーダを得ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面と共に本発明による光ファイバエ
ンコーダの好適な実施例について詳細に説明する。な
お、従来例と同一又は同等部分には、同一符号を付して
説明する。図１から図７までは、本発明による光ファイ
バエンコーダを示すもので、図１はブロック構成図、図
２は回転符号板の上層回転符号を示す平面図、図３は回
転符号板の下層回転符号を示す平面図、図４は回転符号
板の断面図、図５及び図６は反射パルス光を示す特性
図、図７はパルス光及び反射パルス光を示す特性図であ
る。
ンコーダの好適な実施例について詳細に説明する。な
お、従来例と同一又は同等部分には、同一符号を付して
説明する。図１から図７までは、本発明による光ファイ
バエンコーダを示すもので、図１はブロック構成図、図
２は回転符号板の上層回転符号を示す平面図、図３は回
転符号板の下層回転符号を示す平面図、図４は回転符号
板の断面図、図５及び図６は反射パルス光を示す特性
図、図７はパルス光及び反射パルス光を示す特性図であ
る。
【００１３】図１において符号２０で示されるものはパ
ルス駆動回路であり、このパルス駆動回路２０には、第
１レーザダイオード１７及び第２レーザダイオード１７
ａが接続されている。前記各レーザダイオード１７，１
７ａから発射され互いに異なる波長の第１パルス光λ1
及び第２パルス光λ2は、光ファイバ２４，２５を介し
て合波器２３に入力されていると共に、前記第２パルス
光λ2は第１遅延器２６を介して送られている。
ルス駆動回路であり、このパルス駆動回路２０には、第
１レーザダイオード１７及び第２レーザダイオード１７
ａが接続されている。前記各レーザダイオード１７，１
７ａから発射され互いに異なる波長の第１パルス光λ1
及び第２パルス光λ2は、光ファイバ２４，２５を介し
て合波器２３に入力されていると共に、前記第２パルス
光λ2は第１遅延器２６を介して送られている。
【００１４】前記合波器２３を経た各パルス光λ1，λ2
は、分波器２７を介して合分波器２７Ａから第２遅延器
２８へ送られ、この第２遅延器２８は、各パルス光
λ1，λ2の間に一定の時間差が生じるように調整されて
いる。
は、分波器２７を介して合分波器２７Ａから第２遅延器
２８へ送られ、この第２遅延器２８は、各パルス光
λ1，λ2の間に一定の時間差が生じるように調整されて
いる。
【００１５】前記遅延器２８から出射した各パルス光λ
1，λ2は、回転符号板２９の回転符号２９ａで反射さ
れ、合分波器２７Ａから分波器２７を介し、さらに光フ
ァイバ３０からフォトダイオード３１及び増幅器３２を
経てシリアル／パラレル変換器３３に送られ、２進パラ
レル出力３４として送出される。
1，λ2は、回転符号板２９の回転符号２９ａで反射さ
れ、合分波器２７Ａから分波器２７を介し、さらに光フ
ァイバ３０からフォトダイオード３１及び増幅器３２を
経てシリアル／パラレル変換器３３に送られ、２進パラ
レル出力３４として送出される。
【００１６】前記回転符号２９ａは、図２から図４で示
すようなパターンで構成されている。すなわち、互いに
反射率の異なる上層回転符号２９ａＡと下層回転符号２
９ａＢとから構成され、これらの各回転符号２９ａＡ，
２９ａＢは図４で示すように複数層状に構成されてい
る。
すようなパターンで構成されている。すなわち、互いに
反射率の異なる上層回転符号２９ａＡと下層回転符号２
９ａＢとから構成され、これらの各回転符号２９ａＡ，
２９ａＢは図４で示すように複数層状に構成されてい
る。
【００１７】次に、前述の構成において、各レーザダイ
オード１７，１７ａから同時に発射された別々の波長の
パルス光λ1，λ2のうち、一方のパルス光λ1は直接合
波器２３に入ると共に、他方のパルス光λ2は第１遅延
器２６を経て遅れて前記合波器２３に入力する。
オード１７，１７ａから同時に発射された別々の波長の
パルス光λ1，λ2のうち、一方のパルス光λ1は直接合
波器２３に入ると共に、他方のパルス光λ2は第１遅延
器２６を経て遅れて前記合波器２３に入力する。
【００１８】前記各パルス光λ1，λ2は、分波器２７及
び合分波器２７Ａを介して各チャンネルごとに分岐され
て第２遅延器２８に入力され、この第２遅延器２８で
は、各々のパルス光λ1，λ2の間に一定の時間差が生じ
るように調整されており、この第２遅延器２８から発射
された各パルス光λ1，λ2は、回転符号板２９の各回転
符号２９ａで反射される。
び合分波器２７Ａを介して各チャンネルごとに分岐され
て第２遅延器２８に入力され、この第２遅延器２８で
は、各々のパルス光λ1，λ2の間に一定の時間差が生じ
るように調整されており、この第２遅延器２８から発射
された各パルス光λ1，λ2は、回転符号板２９の各回転
符号２９ａで反射される。
【００１９】前述の場合、各回転符号２９ａは、互いに
反射率の異なる上層回転符号２９ａＡと下層回転符号２
９ａＢとから構成されているため、その反射パルス光λ
1a，λ2aは、図５及び図６で示すように、異なる波長域
で発生している。
反射率の異なる上層回転符号２９ａＡと下層回転符号２
９ａＢとから構成されているため、その反射パルス光λ
1a，λ2aは、図５及び図６で示すように、異なる波長域
で発生している。
【００２０】従って、この二重に描かれた回転符号２９
ａは、その波長ごとに読み取られ、各反射パルスλ1a，
λ2aは、１本の光ファイバ３０を介してフォトダイオー
ド３１で電気信号に変えられると共に、増幅器３２で増
幅されてシリアル／パラレル変換器３３で２進パラレル
出力３４として出力される。
ａは、その波長ごとに読み取られ、各反射パルスλ1a，
λ2aは、１本の光ファイバ３０を介してフォトダイオー
ド３１で電気信号に変えられると共に、増幅器３２で増
幅されてシリアル／パラレル変換器３３で２進パラレル
出力３４として出力される。
【００２１】従って、前述の各レーザダイオード１７，
１７ａから送り出された各パルス光λ1，λ2は、図７に
示すように、時分割された状態で遅延器２８に送られ、
フォトダイオード３１に入力した各反射パルス光λ1a，
λ2aは、時分割多重方式と周波数多重方式を併用して11
1010111の同期信号からなるアブソリュート信号を得る
ことができる。
１７ａから送り出された各パルス光λ1，λ2は、図７に
示すように、時分割された状態で遅延器２８に送られ、
フォトダイオード３１に入力した各反射パルス光λ1a，
λ2aは、時分割多重方式と周波数多重方式を併用して11
1010111の同期信号からなるアブソリュート信号を得る
ことができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明による光ファイバエンコーダは、
以上のように構成されているため、次のような効果を得
ることができる。すなわち、回転符号板の回転符号が、
波長によって異なる反射率を有する材料からなる複数層
で構成されているため、従来のような同一反射率のパタ
ーンを併設する構成に比べると、回転符号板の半径を大
幅に小径化することができ、小型で高分解能の光ファイ
バエンコーダを得ることができる。
以上のように構成されているため、次のような効果を得
ることができる。すなわち、回転符号板の回転符号が、
波長によって異なる反射率を有する材料からなる複数層
で構成されているため、従来のような同一反射率のパタ
ーンを併設する構成に比べると、回転符号板の半径を大
幅に小径化することができ、小型で高分解能の光ファイ
バエンコーダを得ることができる。
【図１】本発明による光ファイバエンコーダを示すブロ
ック構成図である。
ック構成図である。
【図２】図１の回転符号板の上層回転符号を示す平面図
である。
である。
【図３】図１の回転符号板の下層回転符号を示す平面図
である。
である。
【図４】図１の回転符号板の断面図である。
【図５】上層回転符号の反射特性図である。
【図６】下層回転符号の反射特性図である。
【図７】パルス光及び反射パルス光の波形図である。
【図８】従来の光ファイバエンコーダを示す構成図であ
る。
る。
１７ 第１レーザダイオード
１９ 第２レーザダイオード
λ1 パルス光
λ2 パルス光
λ1a 反射パルス光
λ2a 反射パルス光
２４ 光ファイバ
２５ 光ファイバ
３０ 光ファイバ
２９ 回転符号板
２９ａ 回転符号
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 塩沢 精治
長野県飯田市大休1879番地 多摩川精機株
式会社飯田工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 回転符号板(29)に設けられた回転符号(2
9a)に光ファイバ(24,25)を介してパルス光(λ1,λ2)を
照射し、反射した反射パルス光(λ1a,λ2a)を光ファイ
バ(30)を介して検出することにより、前記回転符号板(2
9)の回転検出を行うようにした光ファイバエンコーダに
おいて、前記パルス光(λ1,λ2)は、異なる波長の複数
のパルス光よりなり、前記回転符号(29a)は、波長によ
って異なる反射率を有する材料からなる複数層より構成
されていることを特徴とする光ファイバエンコーダ。 - 【請求項２】 前記パルス光(λ1,λ2)は、複数のレー
ザダイオード(17,19)から得られることを特徴とする請
求項１記載の光ファイバエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03163069A JP3084407B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | 光ファイバエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03163069A JP3084407B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | 光ファイバエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510784A true JPH0510784A (ja) | 1993-01-19 |
| JP3084407B2 JP3084407B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=15766589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03163069A Expired - Lifetime JP3084407B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | 光ファイバエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084407B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07146181A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-06 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 複数光センサ位置検出方式 |
| JP2003294490A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-15 | Tamagawa Seiki Co Ltd | アブソリュートエンコーダの信号出力方法 |
-
1991
- 1991-07-03 JP JP03163069A patent/JP3084407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07146181A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-06 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 複数光センサ位置検出方式 |
| JP2003294490A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-15 | Tamagawa Seiki Co Ltd | アブソリュートエンコーダの信号出力方法 |
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| JP3084407B2 (ja) | 2000-09-04 |
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