JPH0510906Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔技術分野〕 この考案は空気清浄装置、特に回収した空気あ
るいは外部より導入した空気を、泡によつてその
空気中に含まれた塵埃を除去し、清浄な空気にし
て供給する空気清浄装置に関するものである。

〔従来技術〕 従来、清浄な空気を必要とする場所に新たな空
気を供給する場合、その場所より回収した空気あ
るいは外部より導入した空気を、HEAPフイル
タ等を用いたフイルタ式や、高電圧によつてコロ
ナ放電を発生させて空気中の塵埃を除去する静電
式などの空気清浄装置を使用している。

〔従来技術の問題点〕

ところで、フイルタ式の空気清浄装置では、清
浄効率がフイルタの目詰りなどによつて時間の経
過と共に低下する、このためフイルタの定期交換
が必要である、フイルタ交換の際には空気清浄装
置の運転を停止しなければならない、などの問題
がある。また、静電式の空気清浄装置では、大電
力を消費する、大型となり設置場所の制約を受け
る、装置内に溜つた塵埃を取り除く時は装置の運
転を停止しなければならない、などの問題があ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は、上記の点にかんがみ、簡単な構成
で、清浄効率が低下しない、大電力を消費しな
い、かつ連続運転が可能で、空気の汚染度に応じ
て運転できる空気清浄装置を目的とするもので、
送気ダクト１の途中にその上流側から順に少なく
とも発泡ネツト２と複数のネツトが積層して設け
られてなる消泡部材３とを設けて清浄部４を形成
し、上記発泡ネツト２の１次側に水反力モータ式
あるいはアスピレータ式の泡溶液放出部を設け、
上記送気ダクト１の泡溶液放出部より上流側と消
泡部材３の下流側とのいずれかあるいは両方に送
気ダクト内を流れる空気の汚染度を検出する濃度
計２１，２２を設け、上記泡溶液放出部に泡溶液
を供給する泡溶液供給源８を設け、上記泡溶液供
給源８から泡溶液放出部への泡溶液の供給量を上
記濃度計２１，２２の検出出力によつて制御して
なることを特徴とするものである。

〔作用〕

この考案による空気清浄装置は、上記の特徴あ
る構成を有することにより、送気ダクトを流れる
空気が清浄部を通過する際、空気中に含まれた塵
埃が清浄部内の泡に付着して取り除かれ、清浄な
空気にされるとともに、空気の汚染度に応じて発
泡量を制御できるものである。

〔実施例〕

以下、この考案による空気清浄装置について、
図面に示す１実施例により説明する。

図において、１は図示しないクリーンルームな
どの室内から回収した空気あるいは新鮮な外気を
清浄にしてクリーンルームなどの室へ供給する送
気ダクト、２は送気ダクト１の途中に設けられた
発泡ネツト、３は発泡ネツト２の風下側つまり２
次側に所定間隔をあけて設けられた消泡部材で、
この消泡部材３は複数のネツト、表面にシリコン
などの消泡剤が塗布されたネツトあるいは粒状の
消泡剤をネツトなどでサンドイツチ状にしたもの
など、複数のネツトが積層して設けられて構成さ
れる。４は発泡ネツト２と消泡部材３によつて形
成された清浄部、５は発泡ネツト２の風上側つま
り１次側に設けられた泡溶液放出ノズルとしての
噴射ノズルで、この噴射ノズル５は送気ダクト１
内に設けられた水反力モータ６より放射状に伸び
る回転腕管の先端部分にその放出方向に斜め前方
となるように取り付けられる。７は水反力モータ
６によつて回転するフアン、８は泡源液槽９、貯
水槽１０などの水源、混合器１１、ポンプ１２な
どからなる泡溶液供給源、１３は泡溶液供給源８
より泡溶液を水反力モータ６を通じて噴射ノズル
５に供給する供給管である。１４は消泡部材３に
よつて消泡され還元された泡溶液の排出部、１５
は排出管、１６は必要に応じて設けられる泡溶液
回収部で、この泡溶液回収部１６は泡溶液中に含
まれた塵埃を取り除くための沈澱槽１７と濾過器
１８ならびに貯蔵槽１９やポンプ２０などで構成
される。また２１，２２は清浄部４の１次側と２
次側に設けられる空気の汚染度を検出する濃度
計、２３は三方切換弁である。

このように構成される空気清浄装置は、貯水槽
１０の水が給水ポンプ１２によつて混合器１１に
供給されると、この混合器１１によつて泡溶液槽
９内の泡源液が吸い上げられて水と混合され、泡
溶液が生成される。この泡溶液は供給管１３と水
反力モータ６を通じて噴射ノズル５に供給され
る。噴射ノズル５は泡溶液を霧状にして発泡ネツ
ト２方向へ放出するとともに、放出によつて生じ
る反力により水反力モータ６を回転させてフアン
７を回転させ、図示しない循環装置などによつて
送気ダクト１内を矢印Ａ方向に流れる空気流を発
泡に適切な風速・風量に調整する。噴射ノズル５
より発泡ネツト２上に均一に散布される泡溶液
は、フアン７により供給される空気流によつて
次々に発泡し、清浄部４内に泡が供給される。こ
れにより清浄部４内に泡が充満し、この泡は発泡
ネツト２により次々に供給される新たな泡、なら
びにダクト１中を流れる空気流によつて順次に押
し流され、消泡部材３に衝突する。この消泡部材
３に衝突した泡は消泡されて泡溶液に戻り、この
泡溶液は排出部１４より排出管１５を通じて泡溶
液回収部１６あるいは図示しない排水処理装置な
どに排出される。

この際、送気ダクト１内を流れる外気あるいは
クリーンルーム室内などから回収した空気などの
空気流中に含まれた塵埃は、発泡ネツト２部分で
泡溶液を発泡させる時に泡の表面に付着するとと
もに、清浄部４内に通過する時に充満している泡
と接触してその表面に付着する。このようにして
泡の表面に付着した塵埃は、泡が消泡部材３に衝
突して泡溶液に還元される際に泡溶液中に取り込
まれ、泡溶液とともに排出部１４より泡溶液回収
部１６などに排出される。これにより、送気ダク
ト１中を流れる空気は塵埃が除去され、清浄な空
気となつてクリーンルームなどに供給される。

そして、泡原液槽９の泡原液や貯水槽１０の水
が減少した際には、泡源液や水を追加するだけ
で、運転を停止することなく連続運転できる。ま
た、この実施例の場合には、沈澱槽１７や濾過器
１８よつて泡溶液より塵埃の大部分を除去し、泡
溶液を貯蔵槽１９に回収するようにしているの
で、泡溶液を再利用することができる。

また、噴射ノズル５の１次側、ならびに消泡部
材３の２次側に設けた空気の汚染状態を測定する
濃度計２１，２２の出力により、送気ダクト１を
流れる空気の汚染度、つまり塵埃量に応じて発泡
が最適量に制御される。この場合、２次側の濃度
計２２の塵埃検出量が少ない時は、図示しない制
御装置などを通じて、例えば清浄部４の半分近く
を泡で充満するように泡溶液の供給量をポンプ１
２によつて制御し、１次側濃度計２１の塵埃検出
量が多くなつた時はポンプ１２を制御して２次側
濃度計２２の塵埃検出量が規定値以下となるよう
に発泡量を増加させるようにすればよい。また、
濃度計を１次側または２次側のいずれか一方とし
て制御することもでる。

なお、上記実施例において、噴射ノズルの代り
にアスピレータ式ノズルを用いてもよい。

〔効果〕

この考案によれば、簡単な構成により、空気の
清浄効率が長期間にわたつて低下することのな
い、大電力を必要としない、かつ長期間の連続運
転が可能で、空気の汚染度に応じて発泡量を制御
できる空気清浄装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は、この考案による空気清浄装置の１実施例
の構成図である。 １……送気ダクト、２……発泡ネツト、３……
消泡部材、４……清浄部、５……泡溶液放出ノズ
ル、７……フアン、８……泡溶液供給源、１４…
…排出部、２１，２２……濃度計。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 送気ダクト１の途中にその上流側から順に少
   なくとも発泡ネツト２と複数のネツトが積層し
   て設けられてなる消泡部材３とを設けて清浄部
   ４を形成し、上記発泡ネツト２の１次側に水反
   力モータ式あるいはアスピレータ式の泡溶液放
   出部を設け、上記送気ダクト１の泡溶液放出部
   より上流側と消泡部材３の下流側とのいずれか
   あるいは両方に送気ダクト内を流れる空気の汚
   染度を検出する濃度計２１，２２を設け、上記
   泡溶液放出部に泡溶液を供給する泡溶液供給源
   ８を設け、上記泡溶液供給源８から泡溶液放出
   部への泡溶液の供給量を上記濃度計２１，２２
   の検出出力によつて制御してなることを特徴と
   する空気清浄装置。 ２ 消泡部材３は、消泡剤が塗布されたネツトを
   有するものである実用新案登録請求の範囲第１
   項記載の空気清浄装置。