JPH051092Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH051092Y2 JPH051092Y2 JP1987030276U JP3027687U JPH051092Y2 JP H051092 Y2 JPH051092 Y2 JP H051092Y2 JP 1987030276 U JP1987030276 U JP 1987030276U JP 3027687 U JP3027687 U JP 3027687U JP H051092 Y2 JPH051092 Y2 JP H051092Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection sensor
- drive electrode
- bending
- piezoelectric actuator
- bending detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本案はビデオテープレコーダの自動トラツキン
グ装置などに用いられるバイモルフ状圧電アクチ
ユエータに係り、特にS字状の曲げ変形を生じる
圧電アクチユエータに関する。
グ装置などに用いられるバイモルフ状圧電アクチ
ユエータに係り、特にS字状の曲げ変形を生じる
圧電アクチユエータに関する。
「従来の技術」
従来公知のバイモルフ状圧電アクチユエータを
第1図に示す。1は2枚の圧電素子より構成さ
れ、固定部1aとこれより三角形状に伸びる撓み
部1bよりなるバイモルフ本体で、固定部1aを
保持部材(図示しない)により保持される、いわ
ゆる片持ち式に保持される。撓み部1bの先端に
は磁器ヘツド等の部品4が固着される。また、こ
のバイモルフ本体1の上下面に駆動電極2,3が
形成され、撓み部1b側の電極は、上下面にて巾
方向に形成したスリツト状絶縁部分(無電極部
分)5a,5bによつて二組に分割2a,2b,
3a,3bされている。更にこの分割された駆動
電極2a,2b,3a,3bは、導線6a,6b
によつて電極2aと3b、電極2bと3aとを互
いに共通に接続する。このようにすることによつ
て電圧印加時、一方の駆動電極2a,2b側が一
方向に湾曲し他方の駆動電極3a,3b側が他方
向に湾曲し全体として撓み部1bは点線のように
S字状に湾曲変形することになる。この撓み部を
S字状に湾曲させる利点は、部品4を傾斜させる
ことなく直線状に上下変位させ、部品4がVTR
用磁器ヘツドにあつては記録担体に対し常に垂直
に対接し記録又は再生画質の劣化を防止すること
にある。撓み部1bの上面には更に固定部1a側
から絶縁部分5aを横切つて先端の部品4付近に
達する帯状の絶縁スペース(無電極部分)7が形
成され、この絶縁スペース7上に駆動電極2a,
3aの内縁と接しないよう曲げ検出センサ8が設
けられている。このセンサ8はバイモルフ本体1
の機械的共振を抑制(ダンピング)するもので、
撓み部1bの曲がりにより電気信号を生じ、この
信号により曲がりの方向と大きさに応じた反対方
向の制動電圧をバイモルフ本体に与え、電気的な
ダンピングを行なうものである。
第1図に示す。1は2枚の圧電素子より構成さ
れ、固定部1aとこれより三角形状に伸びる撓み
部1bよりなるバイモルフ本体で、固定部1aを
保持部材(図示しない)により保持される、いわ
ゆる片持ち式に保持される。撓み部1bの先端に
は磁器ヘツド等の部品4が固着される。また、こ
のバイモルフ本体1の上下面に駆動電極2,3が
形成され、撓み部1b側の電極は、上下面にて巾
方向に形成したスリツト状絶縁部分(無電極部
分)5a,5bによつて二組に分割2a,2b,
3a,3bされている。更にこの分割された駆動
電極2a,2b,3a,3bは、導線6a,6b
によつて電極2aと3b、電極2bと3aとを互
いに共通に接続する。このようにすることによつ
て電圧印加時、一方の駆動電極2a,2b側が一
方向に湾曲し他方の駆動電極3a,3b側が他方
向に湾曲し全体として撓み部1bは点線のように
S字状に湾曲変形することになる。この撓み部を
S字状に湾曲させる利点は、部品4を傾斜させる
ことなく直線状に上下変位させ、部品4がVTR
用磁器ヘツドにあつては記録担体に対し常に垂直
に対接し記録又は再生画質の劣化を防止すること
にある。撓み部1bの上面には更に固定部1a側
から絶縁部分5aを横切つて先端の部品4付近に
達する帯状の絶縁スペース(無電極部分)7が形
成され、この絶縁スペース7上に駆動電極2a,
3aの内縁と接しないよう曲げ検出センサ8が設
けられている。このセンサ8はバイモルフ本体1
の機械的共振を抑制(ダンピング)するもので、
撓み部1bの曲がりにより電気信号を生じ、この
信号により曲がりの方向と大きさに応じた反対方
向の制動電圧をバイモルフ本体に与え、電気的な
ダンピングを行なうものである。
「考案が解決しようとする問題点」
上記のように従来構成によれば曲げ検出センサ
8は、バイモルフ本体の撓み部1bのほぼ全長長
さに亘つて形成されているため、一方の駆動電極
2a,2b側の曲げによつて発生する電荷と他方
の駆動電極3a,3b側の曲げによつて発生する
電荷とは互いに逆極性で打ち消し合うため、セン
サ8より取出し得る信号レベルは小さく、充分な
ダンピング制御を行なうことができないという欠
点があつた。
8は、バイモルフ本体の撓み部1bのほぼ全長長
さに亘つて形成されているため、一方の駆動電極
2a,2b側の曲げによつて発生する電荷と他方
の駆動電極3a,3b側の曲げによつて発生する
電荷とは互いに逆極性で打ち消し合うため、セン
サ8より取出し得る信号レベルは小さく、充分な
ダンピング制御を行なうことができないという欠
点があつた。
「問題点を解決するための手段」
曲げ検出センサの形成位置を、いずれか一方の
駆動電極側のみとする。
駆動電極側のみとする。
「作用」
一方の駆動電極の曲がりによつて発生する電荷
のみがセンサより取出される。
のみがセンサより取出される。
「実施例」
第2図において、第1図に示す従来と同一部分
には同一番号を付してその説明を省略する。然る
に本案の構成上の特徴とする処は、スリツト状の
絶縁部分5a,5bによつて二分割された駆動電
極のうち、固定部1a側の駆動電極2a,2bの
いずれか、ここでは2a上にて最とも曲げ変位の
大きい絶縁部分5aに近接した部位にて方形状の
絶縁スペース7′を形成し、該絶縁スペース7′上
に曲げ検出センサ8′を、駆動電極2aの内縁と
接しないよう形成したものである。このセンサ
8′は駆動電極と同じ電極で形成したが、第8図
のように両面に電極を付した圧電素子8″でもよ
い。更に曲げ検出センサ8′,8″は他方の駆動電
極3a上にて最も変位の大きい先端(部品4固着
側)付近に設けてもよい。
には同一番号を付してその説明を省略する。然る
に本案の構成上の特徴とする処は、スリツト状の
絶縁部分5a,5bによつて二分割された駆動電
極のうち、固定部1a側の駆動電極2a,2bの
いずれか、ここでは2a上にて最とも曲げ変位の
大きい絶縁部分5aに近接した部位にて方形状の
絶縁スペース7′を形成し、該絶縁スペース7′上
に曲げ検出センサ8′を、駆動電極2aの内縁と
接しないよう形成したものである。このセンサ
8′は駆動電極と同じ電極で形成したが、第8図
のように両面に電極を付した圧電素子8″でもよ
い。更に曲げ検出センサ8′,8″は他方の駆動電
極3a上にて最も変位の大きい先端(部品4固着
側)付近に設けてもよい。
なお、図中、l1,l2は駆動電極2a,2b,3
a,3bにそれぞれ所定の電圧を印加するリード
線、l3は曲げ検出センサ8,8′,8″より発生す
る電荷を外部のダンピング制御回路にフイードバ
ツクするリード線である。
a,3bにそれぞれ所定の電圧を印加するリード
線、l3は曲げ検出センサ8,8′,8″より発生す
る電荷を外部のダンピング制御回路にフイードバ
ツクするリード線である。
「考案の効果」
本案のバイモルフ状圧電アクチユエータは、以
上の構成よりなり、特に曲げ検出センサを、二分
割されたいずれか一方の駆動電極上に形成し、該
駆動電極側の曲がりにより発生する電荷のみを取
出すように構成したものであるから、両方の駆動
電極上に跨つてセンサを形成したものに比し充分
なレベルの信号を得ることができバイモルフ本体
の電気的ダンピング制御を的確に行ない得、精度
の高い圧電アクチユエータを市場に供し得る効果
がある。
上の構成よりなり、特に曲げ検出センサを、二分
割されたいずれか一方の駆動電極上に形成し、該
駆動電極側の曲がりにより発生する電荷のみを取
出すように構成したものであるから、両方の駆動
電極上に跨つてセンサを形成したものに比し充分
なレベルの信号を得ることができバイモルフ本体
の電気的ダンピング制御を的確に行ない得、精度
の高い圧電アクチユエータを市場に供し得る効果
がある。
第1図は従来例を示し、Aは平面図、BはA図
イ−イ線に沿う側断面図、Cは底面図である。第
2図は本案の一例を示し、Aは平面図、BはA図
ロ−ロ線に沿う側断面図、Cは底面図、第3図は
本案の他例を第2図Bと同じ態様で示したもので
ある。 1……バイモルフ本体、1a……固定部、1b
……撓み部、2a,2b,3a,3b……駆動電
極、5a,5b……絶縁部分、8′,8″……曲げ
検出センサ。
イ−イ線に沿う側断面図、Cは底面図である。第
2図は本案の一例を示し、Aは平面図、BはA図
ロ−ロ線に沿う側断面図、Cは底面図、第3図は
本案の他例を第2図Bと同じ態様で示したもので
ある。 1……バイモルフ本体、1a……固定部、1b
……撓み部、2a,2b,3a,3b……駆動電
極、5a,5b……絶縁部分、8′,8″……曲げ
検出センサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固定部とこれより三角形状に伸びる撓み部よ
りなり、該撓み部には上下面にて巾方向に設け
たスリツト状の絶縁部分によつて二組に分割さ
れた駆動電極を有し、この駆動電極に互いに異
なる方向の電圧を印加することによつて撓み部
をS字状に湾曲させ、かつこの撓み部の変位を
検出するセンサを具えたものにおいて、前記曲
げ検出センサを一方の駆動電極側のみに設けた
ことを特徴とするバイモルフ状圧電アクチユエ
ータ。 (2) 前記曲げ検出センサが、駆動電極と同じ電極
によつて形成されていることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第1項記載のバイモルフ状
圧電アクチユエータ。 (3) 前記曲げ検出センサが、別体の圧電素子によ
つて形成されていることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第1項記載のバイモルフ状圧電
アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987030276U JPH051092Y2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987030276U JPH051092Y2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63137962U JPS63137962U (ja) | 1988-09-12 |
| JPH051092Y2 true JPH051092Y2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=30834933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987030276U Expired - Lifetime JPH051092Y2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051092Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-02 JP JP1987030276U patent/JPH051092Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63137962U (ja) | 1988-09-12 |
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