JPH05110182A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH05110182A JPH05110182A JP3248838A JP24883891A JPH05110182A JP H05110182 A JPH05110182 A JP H05110182A JP 3248838 A JP3248838 A JP 3248838A JP 24883891 A JP24883891 A JP 24883891A JP H05110182 A JPH05110182 A JP H05110182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- acousto
- signal
- laser oscillation
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/127—Plural Q-switches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/1601—Solid materials characterised by an active (lasing) ion
- H01S3/1603—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth
- H01S3/1611—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth neodymium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/163—Solid materials characterised by a crystal matrix
- H01S3/164—Solid materials characterised by a crystal matrix garnet
- H01S3/1643—YAG
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 精密加工分野で使用される、音響光学素子を
用いてパルス化されたレーザ発振器において、従来より
一層短いパルス幅が得られ、その結果熱の影響の少ない
加工を必要とする分野において幅広い応用が可能になる
レーザ発振器を実現することを目的とする 【構成】 第１の音響光学素子１および第２の音響光学
素子２を備え、かつ夫々のＲＦ信号入力の変調のタイミ
ングを１００ｎｓ程度ずらせることにより、レーザ出力
パルスの裾をカットしてパルス幅を短くすることができ
る。
用いてパルス化されたレーザ発振器において、従来より
一層短いパルス幅が得られ、その結果熱の影響の少ない
加工を必要とする分野において幅広い応用が可能になる
レーザ発振器を実現することを目的とする 【構成】 第１の音響光学素子１および第２の音響光学
素子２を備え、かつ夫々のＲＦ信号入力の変調のタイミ
ングを１００ｎｓ程度ずらせることにより、レーザ出力
パルスの裾をカットしてパルス幅を短くすることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザーを応用した加
工，計測，分析等の分野に用いられるレーザ発振器に関
するものである。
工，計測，分析等の分野に用いられるレーザ発振器に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザ発振器は切断，溶接といっ
た加工だけでなく精密加工の分野にも用いられるように
なっている。特に、Ｑスイッチ素子として音響光学素子
を用いた連続発振Ｎｄ：ＹＡＧレーザは、高いピークパ
ワーのレーザ出力が得られるという特長を有するためト
リミング，スクライビング，リペアリングを始め広い用
途に応用されている。
た加工だけでなく精密加工の分野にも用いられるように
なっている。特に、Ｑスイッチ素子として音響光学素子
を用いた連続発振Ｎｄ：ＹＡＧレーザは、高いピークパ
ワーのレーザ出力が得られるという特長を有するためト
リミング，スクライビング，リペアリングを始め広い用
途に応用されている。
【０００３】以下に従来の音響光学素子を用いた連続発
振Ｎｄ：ＹＡＧレーザについて説明する。
振Ｎｄ：ＹＡＧレーザについて説明する。
【０００４】図４は従来の音響光学素子を用いた連続発
振Ｎｄ：ＹＡＧレーザの構成を示す図である。図４にお
いて、１は音響光学素子であり外部の駆動回路からＲＦ
信号が印可される。３はレーザハウスでありＹＡＧレー
ザ結晶，励起ランプ，励起光集光ミラー等が収納されて
いる。４はリアーミラーであり、５は出力ミラーであ
り、４と５により光共振器が構成されている。６はシャ
ッターであり、７はレーザ光を示している。
振Ｎｄ：ＹＡＧレーザの構成を示す図である。図４にお
いて、１は音響光学素子であり外部の駆動回路からＲＦ
信号が印可される。３はレーザハウスでありＹＡＧレー
ザ結晶，励起ランプ，励起光集光ミラー等が収納されて
いる。４はリアーミラーであり、５は出力ミラーであ
り、４と５により光共振器が構成されている。６はシャ
ッターであり、７はレーザ光を示している。
【０００５】リアーミラー４と出力ミラー５の相対位置
関係が適当に調整され、シャッター６が開いている状態
でレーザハウス内の励起ランプが連続的に点灯して、Ｙ
ＡＧレーザ結晶にレーザ発振のしきい値を越える励起エ
ネルギーが供給されると、共振器内部で連続的にレーザ
発振が始まり、その一部が出力ミラー５からレーザ光と
して取り出される。
関係が適当に調整され、シャッター６が開いている状態
でレーザハウス内の励起ランプが連続的に点灯して、Ｙ
ＡＧレーザ結晶にレーザ発振のしきい値を越える励起エ
ネルギーが供給されると、共振器内部で連続的にレーザ
発振が始まり、その一部が出力ミラー５からレーザ光と
して取り出される。
【０００６】前記の連続的なレーザ発振は、音響光学素
子に変調されたＲＦ信号が印可されると、パルス状の発
振に変化する。図５を用いてその過程を説明する。図５
（ａ）は変調されたＲＦ信号を示しており、縦軸は振幅
で横軸は時間である。８はＲＦ信号が印可されている部
分で、９はＲＦ信号ＯＦＦの部分である。図５（ｃ）は
パルス状のレーザ発振が生じるタイミングを示してお
り、縦軸はレーザ強度で横軸は時間である。１１はパル
ス状のレーザ発振を示す。ＲＦ信号が印可されると音響
光学素子内に超音波回折格子が形成され、共振器の内部
ロスが増大するためＱ値が低下してレーザ発振が停止す
る。ＲＦ信号をＯＦＦの状態にすると、共振器の内部ロ
スが消失しＱ値が高くなって再びレーザ発振が開始す
る、いわゆるＱスイッチングによりレーザ発振がパルス
化される。レーザ発振が停止している間にＹＡＧレーザ
結晶内に蓄積された励起エネルギーが、急速なＱ値の切
り替えにより短時間に放出されるために、パルス化され
たレーザ発振は高いピークパワーをもつ、いわゆるジャ
イアントパルスになる。
子に変調されたＲＦ信号が印可されると、パルス状の発
振に変化する。図５を用いてその過程を説明する。図５
（ａ）は変調されたＲＦ信号を示しており、縦軸は振幅
で横軸は時間である。８はＲＦ信号が印可されている部
分で、９はＲＦ信号ＯＦＦの部分である。図５（ｃ）は
パルス状のレーザ発振が生じるタイミングを示してお
り、縦軸はレーザ強度で横軸は時間である。１１はパル
ス状のレーザ発振を示す。ＲＦ信号が印可されると音響
光学素子内に超音波回折格子が形成され、共振器の内部
ロスが増大するためＱ値が低下してレーザ発振が停止す
る。ＲＦ信号をＯＦＦの状態にすると、共振器の内部ロ
スが消失しＱ値が高くなって再びレーザ発振が開始す
る、いわゆるＱスイッチングによりレーザ発振がパルス
化される。レーザ発振が停止している間にＹＡＧレーザ
結晶内に蓄積された励起エネルギーが、急速なＱ値の切
り替えにより短時間に放出されるために、パルス化され
たレーザ発振は高いピークパワーをもつ、いわゆるジャ
イアントパルスになる。
【０００７】図６はパルス状のレーザ発振１１の時間軸
を引き延ばしたものである。パルス幅は半値全幅で１０
０〜２００ｎｓ程度、立ち上がりは比較的早いが立ち下
がりが裾を引く形になっている。
を引き延ばしたものである。パルス幅は半値全幅で１０
０〜２００ｎｓ程度、立ち上がりは比較的早いが立ち下
がりが裾を引く形になっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】最近、レーザによる精
密加工の分野ではよりパルス幅の短いレーザを用いて熱
の影響の少ない加工を必要とする応用例が増えており、
音響光学素子を用した連続発振Ｎｄ：ＹＡＧレーザにお
いても従来より一層の短パルス化が求められている。
密加工の分野ではよりパルス幅の短いレーザを用いて熱
の影響の少ない加工を必要とする応用例が増えており、
音響光学素子を用した連続発振Ｎｄ：ＹＡＧレーザにお
いても従来より一層の短パルス化が求められている。
【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、音響光学素子を用いたパルス化において、よりパル
ス幅の短いレーザ発振器を提供することを目的とする。
で、音響光学素子を用いたパルス化において、よりパル
ス幅の短いレーザ発振器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のレーザ発振器は、複数の音響光学素子を備
え、かつ夫々の音響光学素子に印可されるＲＦ信号入力
の変調のタイミングを１μｓ以下の範囲でずらせという
構成を有している。
に本発明のレーザ発振器は、複数の音響光学素子を備
え、かつ夫々の音響光学素子に印可されるＲＦ信号入力
の変調のタイミングを１μｓ以下の範囲でずらせという
構成を有している。
【００１１】
【作用】この構成によって、第１の音響光学素子に印可
されているＲＦ信号をＯＦＦすることによりパルス状の
レーザ発振を生ぜしめ、その後第２以降の音響光学素子
にＲＦ信号を１μｓ以下の範囲でタイミングを遅らせて
印可することによりレーザパルスの裾をカットし、パル
ス幅を短縮することができる。
されているＲＦ信号をＯＦＦすることによりパルス状の
レーザ発振を生ぜしめ、その後第２以降の音響光学素子
にＲＦ信号を１μｓ以下の範囲でタイミングを遅らせて
印可することによりレーザパルスの裾をカットし、パル
ス幅を短縮することができる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１３】図１において１は第１の音響光学素子であ
り、２は第２の音響光学素子であり、３はレーザハウス
であり、４はリアーミラーであり、５は出力ミラーであ
り、６はシャッターであり、７はレーザ光である。
り、２は第２の音響光学素子であり、３はレーザハウス
であり、４はリアーミラーであり、５は出力ミラーであ
り、６はシャッターであり、７はレーザ光である。
【００１４】以上のように構成されたレーザ発振器につ
いて、図２を用いてその動作を説明する。図２（ａ）は
第１の音響光学素子に印可される変調されたＲＦ信号を
示しており、同図（ｂ）は第２の音響光学素子に印可さ
れる変調されたＲＦ信号を示しており、同図（ｃ）はパ
ルス化されたレーザ発振のタイミングを示している。８
はＲＦ信号が印可された状態、９はＲＦ信号ＯＦＦの状
態を示し、１０はレーザパルスを示す。レーザ発振は第
１の音響光学素子へのＲＦ信号ＯＦＦにより立ち上が
り、第２の音響光学素子へのＲＦ信号印可により停止さ
せられる。この第１の音響光学素子へのＲＦ信号ＯＦＦ
と第２の音響光学素子へのＲＦ信号印可のタイミングを
１００ｎｓ程度ずらせることにより、図３に示すように
パルス状のレーザ出力の立ち下がりの裾をカットするこ
とができる。
いて、図２を用いてその動作を説明する。図２（ａ）は
第１の音響光学素子に印可される変調されたＲＦ信号を
示しており、同図（ｂ）は第２の音響光学素子に印可さ
れる変調されたＲＦ信号を示しており、同図（ｃ）はパ
ルス化されたレーザ発振のタイミングを示している。８
はＲＦ信号が印可された状態、９はＲＦ信号ＯＦＦの状
態を示し、１０はレーザパルスを示す。レーザ発振は第
１の音響光学素子へのＲＦ信号ＯＦＦにより立ち上が
り、第２の音響光学素子へのＲＦ信号印可により停止さ
せられる。この第１の音響光学素子へのＲＦ信号ＯＦＦ
と第２の音響光学素子へのＲＦ信号印可のタイミングを
１００ｎｓ程度ずらせることにより、図３に示すように
パルス状のレーザ出力の立ち下がりの裾をカットするこ
とができる。
【００１５】以上のように本実施例によれば、第１およ
び第２の音響光学素子を用い、かつ夫々のＲＦ信号入力
の変調のタイミングを１００ｎｓ程度ずらせることによ
り、レーザ出力パルスの裾をカットしてパルス幅を短く
することができる。
び第２の音響光学素子を用い、かつ夫々のＲＦ信号入力
の変調のタイミングを１００ｎｓ程度ずらせることによ
り、レーザ出力パルスの裾をカットしてパルス幅を短く
することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明は、複数の音響光学
素子を備え、かつ夫々の音響光学素子に印可されるＲＦ
信号入力の変調のタイミングを１μｓ以下の範囲でずら
せることにより、パルス幅の短いレーザ出力が得られる
優れたレーザ発振器を実現できるものである。
素子を備え、かつ夫々の音響光学素子に印可されるＲＦ
信号入力の変調のタイミングを１μｓ以下の範囲でずら
せることにより、パルス幅の短いレーザ出力が得られる
優れたレーザ発振器を実現できるものである。
【図１】本発明の実施例におけるレーザ発振器の構成を
示す図
示す図
【図２】（ａ）は第１の音響光学素子への変調されたＲ
Ｆ信号の波形図 （ｂ）は第２の音響光学素子への変調されたＲＦ信号の
波形図 （ｃ）はパルス化されたレーザ発振のタイミング図
Ｆ信号の波形図 （ｂ）は第２の音響光学素子への変調されたＲＦ信号の
波形図 （ｃ）はパルス化されたレーザ発振のタイミング図
【図３】立ち下がりの裾をカットされたパルス状のレー
ザ出力を示す図
ザ出力を示す図
【図４】従来の音響光学素子を用いた連続発振Ｎｄ：Ｙ
ＡＧレーザの構成を示す図
ＡＧレーザの構成を示す図
【図５】（ａ）は変調されたＲＦ信号を示す図 （ｂ）はパルス状のレーザ発振が生じるタイミングを示
す図
す図
【図６】パルス状のレーザ発振出力を示した図
１ 第１の音響光学素子 ２ 第２の音響光学素子 ３ レーザハウス
【手続補正書】
【提出日】平成４年１１月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】前記の連続的なレーザ発振は、音響光学素
子に変調されたＲＦ信号が印可されると、パルス状の発
振に変化する。図５を用いてその過程を説明する。図５
（ａ）は変調されたＲＦ信号を示しており、縦軸は振幅
で横軸は時間である。８はＲＦ信号が印可されている部
分で、９はＲＦ信号ＯＦＦの部分である。図５（ｂ）は
パルス状のレーザ発振が生じるタイミングを示してお
り、縦軸はレーザ強度で横軸は時間である。１１はパル
ス状のレーザ発振を示す。ＲＦ信号が印可されると音響
光学素子内に超音波回折格子が形成され、共振器の内部
ロスが増大するためＱ値が低下してレーザ発振が停止す
る。ＲＦ信号をＯＦＦの状態にすると、共振器の内部ロ
スが消失しＱ値が高くなって再びレーザ発振が開始す
る、いわゆるＱスイッチングによりレーザ発振がパルス
化される。レーザ発振が停止している間にＹＡＧレーザ
結晶内に蓄積された励起エネルギーが、急速なＱ値の切
り替えにより短時間に放出されるために、パルス化され
たレーザ発振は高いピークパワーをもつ、いわゆるジャ
イアントパルスになる。
子に変調されたＲＦ信号が印可されると、パルス状の発
振に変化する。図５を用いてその過程を説明する。図５
（ａ）は変調されたＲＦ信号を示しており、縦軸は振幅
で横軸は時間である。８はＲＦ信号が印可されている部
分で、９はＲＦ信号ＯＦＦの部分である。図５（ｂ）は
パルス状のレーザ発振が生じるタイミングを示してお
り、縦軸はレーザ強度で横軸は時間である。１１はパル
ス状のレーザ発振を示す。ＲＦ信号が印可されると音響
光学素子内に超音波回折格子が形成され、共振器の内部
ロスが増大するためＱ値が低下してレーザ発振が停止す
る。ＲＦ信号をＯＦＦの状態にすると、共振器の内部ロ
スが消失しＱ値が高くなって再びレーザ発振が開始す
る、いわゆるＱスイッチングによりレーザ発振がパルス
化される。レーザ発振が停止している間にＹＡＧレーザ
結晶内に蓄積された励起エネルギーが、急速なＱ値の切
り替えにより短時間に放出されるために、パルス化され
たレーザ発振は高いピークパワーをもつ、いわゆるジャ
イアントパルスになる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】同レーザ発振器において変調されたＲＦ信号が
印加されて生じるパルス状のレーザ発振のタイミングを
示す図
印加されて生じるパルス状のレーザ発振のタイミングを
示す図
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】従来のレーザ発振器において変調されたＲＦ信
号が印加されて生じるパレス状のレーザ発振のタイミン
グを示す図
号が印加されて生じるパレス状のレーザ発振のタイミン
グを示す図
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の音響光学素子を備え、かつ夫々の
音響光学素子に印可されるＲＦ信号入力の変調のタイミ
ングを１μｓ以下の範囲でずらせることを特徴とするレ
ーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24883891A JP3303309B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24883891A JP3303309B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110182A true JPH05110182A (ja) | 1993-04-30 |
| JP3303309B2 JP3303309B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=17184173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24883891A Expired - Fee Related JP3303309B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303309B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302586C (zh) * | 2004-02-27 | 2007-02-28 | 山东大学 | 一种多块晶体电光q开关器件 |
| JP2008235806A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujikura Ltd | 光パルス発生装置 |
| WO2014126140A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | 住友化学株式会社 | レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置 |
| JPWO2012165495A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-02-23 | 株式会社メガオプト | レーザ装置 |
| JPWO2014126137A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2017-02-02 | 住友化学株式会社 | レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置 |
| CN106785875A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 昆山华辰光电科技有限公司 | 脉宽可调的mopa光纤激光器 |
| CN107005019A (zh) * | 2014-09-18 | 2017-08-01 | 费哈激光技术有限责任公司 | 具有声光调制器的调q co2激光材料加工系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118877U (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-29 | ||
| JPS6115384A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Nec Corp | 超音波ｑスイツチレ−ザ |
| JPH02211684A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-22 | Toshiba Corp | Ｑスイッチレーザ装置 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24883891A patent/JP3303309B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118877U (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-29 | ||
| JPS6115384A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Nec Corp | 超音波ｑスイツチレ−ザ |
| JPH02211684A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-22 | Toshiba Corp | Ｑスイッチレーザ装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302586C (zh) * | 2004-02-27 | 2007-02-28 | 山东大学 | 一种多块晶体电光q开关器件 |
| JP2008235806A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujikura Ltd | 光パルス発生装置 |
| JPWO2012165495A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-02-23 | 株式会社メガオプト | レーザ装置 |
| WO2014126140A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | 住友化学株式会社 | レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置 |
| JPWO2014126137A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2017-02-02 | 住友化学株式会社 | レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置 |
| CN107005019A (zh) * | 2014-09-18 | 2017-08-01 | 费哈激光技术有限责任公司 | 具有声光调制器的调q co2激光材料加工系统 |
| CN106785875A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 昆山华辰光电科技有限公司 | 脉宽可调的mopa光纤激光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3303309B2 (ja) | 2002-07-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1714729B1 (en) | Laser welding method and laser welding apparatus | |
| JP2682475B2 (ja) | ビームスキャン式レーザマーキング方法および装置 | |
| US7599407B2 (en) | Laser control method, laser apparatus, laser treatment method used for the same, laser treatment apparatus | |
| US6490299B1 (en) | Method and laser system for generating laser radiation of specific temporal shape for production of high quality laser-induced damage images | |
| US20030168434A1 (en) | System and method for forming holes in substrates containing glass | |
| KR19990082945A (ko) | 단펄스 레이저 시스템 | |
| JP2002040627A (ja) | レーザパターン修正方法並びに修正装置 | |
| JP2002280323A (ja) | レーザ照射装置 | |
| TW200810301A (en) | Laser pulse generating device and method, and laser working apparatus and method | |
| JP2002096187A (ja) | レーザ加工装置及び加工方法 | |
| JP3303309B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2658351B2 (ja) | レーザマーキング装置 | |
| JPH10190117A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH02211684A (ja) | Ｑスイッチレーザ装置 | |
| JP3487404B2 (ja) | 半導体レーザ励起ｑスイッチ発振固体レーザ装置 | |
| JPH1197783A (ja) | Ｑスイッチパルスレーザ駆動方法 | |
| JP2003285183A (ja) | レーザ加工装置及び加工方法 | |
| JPS6330791B2 (ja) | ||
| JPS60119786A (ja) | Ｑスイッチレ−ザ装置 | |
| JP2002270510A5 (ja) | ||
| JP3016700B2 (ja) | 固体レーザ加工装置 | |
| JPS6317236B2 (ja) | ||
| JPS6115384A (ja) | 超音波ｑスイツチレ−ザ | |
| JP4137227B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH04259277A (ja) | 炭酸ガスレーザのシマー放電電力の制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090510 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100510 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110510 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |