JPH05110255A - Manufacture of curved-surface multilayer wiring board - Google Patents

Manufacture of curved-surface multilayer wiring board

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JPH05110255A
JPH05110255A JP26615391A JP26615391A JPH05110255A JP H05110255 A JPH05110255 A JP H05110255A JP 26615391 A JP26615391 A JP 26615391A JP 26615391 A JP26615391 A JP 26615391A JP H05110255 A JPH05110255 A JP H05110255A
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curved
curved surface
hole
forming
molding
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正人 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 全層の各曲面上におけるランドやパターンの
位置精度が高く、且つ、一方向の曲がりだけではなく部
分球や回転放物面等の絞りのある曲面多層配線板を得
る。 【構成】 ベース成形工程7aでヒートプレス6により
ベースとなる曲面積層基板を製作し、次いでレーザ露光
(5軸NC)9により曲面上に内層パターンを形成して
は片面銅張積層板13をヒートプレス6により積み上げ
ていく工程を少なくとも1回以上繰返す積上げ工程14
aによって曲面多層化を行い、その後、スルーホールを
形成する各層接続工程18を行い、続いて、レーザ露光
(5軸NC)9により外層パターンを形成する。
(57) [Abstract] [Purpose] A curved multilayer wiring board with high positional accuracy of lands and patterns on each curved surface of all layers, and with not only one-direction bending but also a partial sphere, a paraboloid of revolution, etc. To get [Structure] In a base forming step 7a, a curved surface laminated substrate to be a base is manufactured by a heat press 6, and then an inner layer pattern is formed on the curved surface by laser exposure (5-axis NC) 9 to heat a single-sided copper clad laminated plate 13. A stacking process 14 in which the process of stacking with the press 6 is repeated at least once.
The curved surface is multilayered by a, and then each layer connecting step 18 for forming a through hole is performed, and subsequently, an outer layer pattern is formed by laser exposure (5-axis NC) 9.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、コンフォーマルアレ
イアンテナ及び移動体通信等に用いられる曲面多層配線
板の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a curved multilayer wiring board used for a conformal array antenna and mobile communication.

【0002】[0002]

【従来の技術】図13は従来の曲面多層配線板の製造工
程を示す図、図14はヒートプレスによる曲面積層成形
を示す断面側面図、図15は外層パターン形成を示す断
面側面図である。図において、1は内層用銅張積層板、
2は基準穴加工工程、3は外層用銅張積層板、4はプリ
プレグ、18は各層接続工程、19は上記各層接続工程
18の後実施される外層パターン形成工程、20eと2
0fはそれぞれヒートプレス6と上記各層接続工程18
によって得られる曲面積層基板、21は成形治具、22
と23はそれぞれ上記成形治具21に形成された基準ピ
ンと基準ピン受け穴、24は上記成形治具21に埋込ま
れたヒーター、25は離型フィルム、26は銅箔、27
は内層パターン、28は上記曲面積層基板20f上に形
成されたレジスト膜、29は上記レジスト膜28に照射
されるレーザ光、30はレジストパターン、31は上記
内層パターン27を層間接続するスルーホール、32は
外層パターン、33dは上記外層パターン形成工程19
の後完成する曲面多層配線板、45は積層工程、46は
内層用銅張積層板1に内層パターン形成44及び基準穴
加工2を施して得られる平面内層基板である。
2. Description of the Related Art FIG. 13 is a diagram showing a conventional process for manufacturing a curved multilayer wiring board, FIG. 14 is a sectional side view showing curved surface laminating by heat pressing, and FIG. 15 is a sectional side view showing outer layer pattern formation. In the figure, 1 is a copper clad laminate for inner layer,
Reference numeral 2 is a reference hole machining step, 3 is a copper clad laminate for outer layer, 4 is a prepreg, 18 is each layer connecting step, 19 is an outer layer pattern forming step performed after each layer connecting step 18, and 20e and 2e.
0f is the heat press 6 and the above-mentioned respective layer connecting step 18
Curved surface laminated substrate obtained by
And 23 are reference pins and reference pin receiving holes formed on the forming jig 21, respectively, 24 are heaters embedded in the forming jig 21, 25 is a release film, 26 is copper foil, 27
Is an inner layer pattern, 28 is a resist film formed on the curved surface laminated substrate 20f, 29 is a laser beam applied to the resist film 28, 30 is a resist pattern, 31 is a through hole for connecting the inner layer pattern 27 between layers, 32 is an outer layer pattern, 33d is the outer layer pattern forming step 19
The curved multilayer wiring board to be completed later, 45 is a laminating step, and 46 is a plane inner layer substrate obtained by performing inner layer pattern formation 44 and reference hole processing 2 on the inner layer copper clad laminate 1.

【0003】次に従来の曲面多層配線板の製造方法につ
いて説明する。エポキシ等の熱硬化性樹脂系の内層銅張
積層板1にフィルム等を用いて平面状態で内層パターン
27を形成し(図13工程44)、平面内層基板46を
得る。次いで、上記平面内層基板46と外層用銅張積層
板3及びプリプレグ4に位置決め用の基準穴を明け(図
13工程2)、離型フィルム25とともに基準ピン22
と基準ピン受け穴23を基準に上型下型一対の成形治具
21にレイアップ5し、プレス装置のヒーターはもちろ
んのこと成形治具21に埋込まれているヒーター24も
利用してヒートプレス6することにより曲面積層成形を
行い曲面積層基板20eを得る(図13工程45及び図
14)。
Next, a conventional method for manufacturing a curved multilayer wiring board will be described. The inner layer pattern 27 is formed in a planar state on the inner layer copper clad laminate 1 of thermosetting resin such as epoxy using a film or the like (step 44 in FIG. 13) to obtain a planar inner layer substrate 46. Next, a reference hole for positioning is made in the flat inner layer substrate 46, the copper clad laminate 3 for outer layer and the prepreg 4 (step 2 in FIG. 13), and the reference pin 22 together with the release film 25.
Lay-up 5 to the pair of molding jigs 21 of the upper die and the lower die with the reference pin receiving hole 23 as a reference, and use not only the heater of the press machine but also the heater 24 embedded in the molding jig 21 for heating. A curved surface laminated substrate 20e is obtained by pressing 6 to obtain a curved surface laminated substrate 20 (FIG. 13, step 45 and FIG. 14).

【0004】以上の積層工程45の後、5軸NCで所望
の方向に穴が明けられた後穴壁が清浄され(図13工程
15、16)、次いで、上記内層パターン27を層間接
続するためにスルーホールめっき17が施される(図1
3工程18)。
After the above laminating step 45, the hole wall is cleaned after the holes are drilled in the desired direction by the five-axis NC (steps 15 and 16 in FIG. 13), and then the inner layer pattern 27 is connected between layers. Through-hole plating 17 is applied to (Fig. 1
3 step 18).

【0005】次に、上記各層接続工程18の後、電着レ
ジストあるいはスプレー等により銅箔26の上にレジス
ト膜28を形成し(図13工程8)、5軸NCを用いて
レーザ光29を曲面上に照射する直接パターニングによ
ってレジストパターン30を形成して(図13工程9及
び図15(a))、最後に、現像10、エッチング11
及びレジスト剥離12によって外層パターン32が形成
され、曲面多層配線板33dが完成する(図13工程1
9、図14(b)及び図14(c))。
Next, after each layer connecting step 18, a resist film 28 is formed on the copper foil 26 by electrodeposition resist, spraying or the like (step 8 in FIG. 13), and a laser beam 29 is irradiated using a 5-axis NC. A resist pattern 30 is formed by direct patterning on the curved surface (step 9 in FIG. 13 and FIG. 15A), and finally, development 10 and etching 11 are performed.
Then, the outer layer pattern 32 is formed by the resist stripping 12 and the curved multilayer wiring board 33d is completed (FIG. 13, step 1).
9, FIG. 14 (b) and FIG. 14 (c)).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の曲面多層配線板
の製造は以上のような製造方法によっているので、たと
えば曲面形状が円筒形状等の一方向だけに曲がっている
ものではなく、部分球等の絞りの入った曲面形状になっ
た場合には、曲面多層配線板の内層のランドやパターン
の位置を、曲面成形する前の平面内層基板上で正確に模
擬できなくなり、平面状態で形成した平面内層基板上の
ランドやパターンは、ヒートプレスの結果曲面上の理論
位置からずれるという問題点がある。
Since the conventional curved multilayer wiring board is manufactured by the above-described manufacturing method, the curved surface is not curved in only one direction, such as a cylindrical shape, but a partial sphere or the like. In the case of a curved surface with a narrowed surface, the position of the land and pattern of the inner layer of the curved multilayer wiring board cannot be accurately simulated on the flat inner layer substrate before the curved surface is formed, and the flat surface There is a problem that the land or pattern on the inner layer substrate is displaced from the theoretical position on the curved surface as a result of heat pressing.

【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、部分球や回転放物面等の絞りの
ある曲面多層配線板の実現、信頼性の向上及び高精度化
を目的としている。また、曲面積層成形のプレスに使用
する成形治具を層数に関係無く一つの成形治具で全層を
一層ずつ積上げて積層成形することも目的としている。
また、貫通のスルーホールだけでなくブラインド・バイ
ア・ホールやインナ・バイア・ホールを有する曲面多層
配線板の実現も目的としている。更に、残存応力による
スプリングバック等の無い曲面多層配線板の実現も目的
としている。
The present invention has been made to solve the above problems, and realizes a curved multilayer wiring board having a diaphragm such as a partial sphere or a paraboloid of revolution, and improves reliability and accuracy. Has a purpose. Further, it is also an object to stack and form all layers one by one with a single molding jig regardless of the number of layers of a molding jig used for a curved surface lamination molding press.
It also aims to realize a curved multilayer wiring board having not only through-holes but also blind via holes and inner via holes. Furthermore, it is also intended to realize a curved multilayer wiring board without springback due to residual stress.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明に係る曲面多層
配線板の製造方法は、両面銅張積層板を、あるいはプリ
プレグと2枚の片面銅張積層板を、上型下型一対の成形
治具にレイアップしヒートプレスにより曲面積層基板を
製作し、次いでレジスト膜形成後レーザ露光により内層
パターン形成を行い、その上にプリプレグを介して片面
銅張積層板を上型下型一対の成形治具にレイアップしヒ
ートプレスで積上げる工程を少なくとも1回以上繰返
し、更にスルーホールを形成した後レジスト膜を形成し
てレーザ露光により外層パターン形成を行うものであ
る。
According to a method of manufacturing a curved multilayer wiring board according to the present invention, a double-sided copper-clad laminated board, or a prepreg and two single-sided copper-clad laminated boards, an upper mold, a lower mold, and a pair of molding cures. After laying up on a tool, heat-pressed to produce a curved laminated substrate, and then forming a resist film, laser exposure is performed to form an inner layer pattern, and then a single-sided copper-clad laminated plate is formed on the upper and lower molds through a prepreg. The process of laying up on a tool and stacking with a heat press is repeated at least once, and after forming a through hole, a resist film is formed and an outer layer pattern is formed by laser exposure.

【0009】また、上型下型一対の成形治具にレイアッ
プしヒートプレスする工程において、上型下型一対の成
形治具の代わりにオートクレーブ用成形治具を用い、こ
れに両面銅張積層板あるいはプリプレグと片面銅張積層
板をレイアップし、更に真空用パッキングをした後真空
プレスを行うものである。
Also, in the step of laying up the pair of molding jigs for the upper mold lower die and heat-pressing, a molding jig for an autoclave is used in place of the pair of molding jigs for the upper mold lower die, and a double-sided copper clad laminate is used for this. A plate or prepreg and a single-sided copper-clad laminate are laid up, further vacuum packed, and then vacuum pressed.

【0010】また、両面銅張積層板、あるいはプリプレ
グと2枚の片面銅張積層板を、上型下型一対の成形治具
またはオートクレーブ用成形治具にレイアップしプレス
によりベースとなる曲面積層基板を製作するベース成形
工程の後に、穴加工、穴壁清浄処理及びスルーホールめ
っきを施すブラインド・バイア・ホール形成工程を行
い、その後に次工程である積上げ工程に進むようにした
ものである。
A double-sided copper-clad laminate, or a prepreg and two single-sided copper-clad laminates are laid up on a pair of molding jigs for the upper and lower dies or molding jigs for autoclave and pressed to form a curved surface laminate serving as a base. After the base molding process for manufacturing a substrate, a blind via hole forming process for performing hole processing, hole wall cleaning treatment and through hole plating is performed, and then the next process, a stacking process, is performed.

【0011】また、ベース成形工程の後の積上げ工程
に、レーザ加工やドリル加工等によりブラインド・バイ
ア・ホールやインナ・バイア・ホール等のバイアホール
を形成する工程を追加したものである。
Further, a step of forming via holes such as blind via holes and inner via holes by laser processing or drilling is added to the stacking step after the base forming step.

【0012】また、両面銅張積層板や片面銅張積層板の
代わりに、単に銅箔を用いてプリプレグと一緒に成形治
具にレイアップしプレスするようにしたものである。
Further, instead of the double-sided copper-clad laminate or the single-sided copper-clad laminate, copper foil is simply used and laid up on a molding jig together with the prepreg and pressed.

【0013】[0013]

【作用】この発明における曲面多層配線板の製造方法
は、ベース成形工程でヒートプレスによりベースとなる
曲面積層基板を製作し、その後、レーザ露光により曲面
パターンを成形しては片面銅張積層板をプレスにより積
上げていく工程を少なくとも1回以上繰返すことによっ
て多層化を行っているため、曲面の絞りに関係無く曲面
多層配線板の内層のランドやパターンを曲面上の理論位
置に正確に形成することができ、スルーホールに対する
内層のランド切れや内層パターンに断線が無い信頼性の
高い曲面多層配線板の製作が可能となる。
According to the method of manufacturing a curved multilayer wiring board of the present invention, a curved laminated board to be a base is manufactured by heat pressing in a base molding step, and then a curved pattern is formed by laser exposure to form a single-sided copper clad laminated board. Since the multilayering is performed by repeating the process of stacking by pressing at least once, it is necessary to accurately form the land and pattern of the inner layer of the curved multilayer wiring board at the theoretical position on the curved surface regardless of the drawing of the curved surface. As a result, it is possible to manufacture a highly reliable curved multilayer wiring board having no land breakage in the inner layer with respect to the through hole and no break in the inner layer pattern.

【0014】また、ベース成形工程や積上げ工程におけ
る曲面積層成形を、オートクレーブ用成形治具に基板材
料をレイアップし真空用パッキングを行って真空プレス
することにより、曲面多層配線板の層数が増加しても曲
面積層成形に使用する成形治具が一つだけで済み、曲面
多層配線板の製造コストの低減及び成形治具の設計・製
作時間の大幅な短縮が可能となる。
Further, in the curved surface layer forming in the base forming step or the stacking step, the number of layers of the curved multilayer wiring board is increased by laying up the substrate material on the forming jig for the autoclave, vacuum packing and vacuum pressing. Even if only one molding jig is used for curved surface lamination molding, it is possible to reduce the manufacturing cost of the curved multilayer wiring board and the design jig manufacturing time significantly.

【0015】更に、ベース成形工程の後に、穴加工、穴
壁清浄処理及びスルーホールめっきを施してから積上げ
工程を行うことによって、曲面多層配線板にブラインド
・バイヤ・ホールを形成することが可能となる。
Furthermore, after the base forming step, by performing hole processing, hole wall cleaning processing and through hole plating and then the stacking step, it is possible to form blind via holes on the curved multilayer wiring board. Become.

【0016】また、ベース成形工程の後に積上げ工程
を、レーザ加工やドリル加工によりバイヤホールを形成
しレーザ露光による曲面パターニングを行った後プレス
により片面銅張積層板を積上げる工程を少なくとも1回
以上繰返す積上げ工程とすることによって、任意の層に
ブラインド・バイア・ホールやインナ・バイア・ホール
を形成することができ、パターン設計の自由度が向上し
曲面多層配線板のパターン密度の向上が可能となる。
In the stacking step after the base molding step, a step of stacking the single-sided copper-clad laminate by pressing after forming a via hole by laser processing or drilling and performing curved surface patterning by laser exposure is performed at least once. By repeating the stacking process, blind via holes and inner via holes can be formed in any layer, improving the freedom of pattern design and improving the pattern density of curved multilayered wiring boards. Become.

【0017】また、ベース成形工程や積上げ工程のプレ
スにおいて、両面銅張積層板や片面銅張積層板の代わり
に単に銅箔のみを用い、これとプリプレグを成形治具に
レイアップしプレスすることにより、多層化された曲面
多層配線板の残存応力を低減でき、スプリングバック等
の無い曲面多層配線板の実現が可能となる。
Further, in the press of the base forming step and the stacking step, only the copper foil is simply used instead of the double-sided copper-clad laminate and the single-sided copper-clad laminate, and this and the prepreg are laid up on a forming jig and pressed. Thereby, the residual stress of the multilayered curved multilayer wiring board can be reduced, and a curved multilayer wiring board without springback or the like can be realized.

【0018】[0018]

【実施例】実施例1.以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図1は曲面多層配線板の製造プロセ
ス、図2は曲面積層成形及び内層パターン形成の積上げ
工程を示す断面側面図、図3は外層パターン形成を示す
断面側面図であり、1〜6、8〜12、15〜33は上
記従来曲面多層配線板の製造方法と全く同一のものであ
る。
EXAMPLES Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional side view showing a manufacturing process of a curved multilayer wiring board, FIG. 2 is a cross-sectional side view showing a stacking step of curved-surface lamination molding and inner layer pattern formation, and FIG. 3 is a cross-sectional side view showing outer layer pattern formation. Nos. 12, 15 to 33 are exactly the same as the conventional method for manufacturing a curved multilayer wiring board.

【0019】図において、7aは内層用銅張積層板1と
外層用銅張積層板3及びプリプレグ4に基準穴加工2を
施した後上型下型一対の成形治具21にレイアップ5し
ヒートプレス6するベース成形工程、13は片面銅張積
層板、14aはレーザ露光(5軸NC)9により内層パ
ターン27を形成してはこの上にプリプレグ4を挟んで
上記片面銅張積層板13を積上げることを繰返し行う積
上げ工程である。
In the figure, reference numeral 7a denotes a copper clad laminate for inner layer 1, a copper clad laminate for outer layer 3 and a prepreg 4 which are subjected to reference hole machining 2 and then laid up on a pair of molding jigs 21 of an upper die and a lower die. The base molding step of heat pressing 6, 13 is a single-sided copper-clad laminate, 14a is an inner layer pattern 27 formed by laser exposure (5-axis NC) 9, and the prepreg 4 is sandwiched on the inner-layer pattern 27. Is a stacking process in which stacking is repeated.

【0020】次に、実施例の製造方法について説明す
る。エポキシ等の熱硬化性樹脂系の内層用銅張積層板
1、外層用銅張積層板3及びプリプレグ4に位置決め用
の基準穴を明け(図1工程2)、離型フィルム25とと
もに基準ピン22と基準ピン受け穴23を基準に上型下
型一対の成形治具21にレイアップ5し、プレス装置の
ヒーターはもちろんのこと成形治具21に埋込まれてい
るヒーター24も利用してヒートプレス6する(図1工
程7a)。
Next, the manufacturing method of the embodiment will be described. A reference hole for positioning is formed in the copper clad laminate for inner layer 1, the copper clad laminate for outer layer 3 and the prepreg 4 made of a thermosetting resin such as epoxy (step 2 in FIG. 1), and the reference pin 22 together with the release film 25. Lay-up 5 to the pair of molding jigs 21 of the upper die and the lower die with the reference pin receiving hole 23 as a reference, and use not only the heater of the press machine but also the heater 24 embedded in the molding jig 21 for heating. Press 6 (step 7a in FIG. 1).

【0021】次に、電着レジストあるいはスプレー等に
より銅箔26の上にレジスト膜28を形成し(図1工程
8)、5軸NCを用いてレーザ光29を曲面上に照射す
る直接曲面パターニングによってレジストパターン30
を形成(図1工程9)した後、現像10、エッチング1
1及びレジスト剥離12により内層パターン27を形成
して曲面積層基板20aを得る。その後、片面銅張積層
板13とプリプレグ4に位置決め用の基準穴を明け(図
1工程2)、これらを上記曲面積層基板20aの上に離
型フィルム25とともに、基準ピン22と基準ピン受け
穴23を基準に上型下型一対の成形治具21にレイアッ
プ5しヒートプレス6することにより曲面積層基板20
bを得る。このような上記内層パターン27の形成と上
記片面銅張積層板13の積上げを少なくとも1回以上繰
返す積上げ工程14aを行うことによって曲面多層化す
る。
Next, a resist film 28 is formed on the copper foil 26 by electrodeposition resist, spraying or the like (step 8 in FIG. 1), and direct curved surface patterning is performed by irradiating the curved surface with a laser beam 29 using a 5-axis NC. By resist pattern 30
After forming (step 9 in FIG. 1), developing 10, etching 1
The inner layer pattern 27 is formed by 1 and the resist peeling 12 to obtain the curved surface laminated substrate 20a. After that, reference holes for positioning are formed in the single-sided copper-clad laminate 13 and the prepreg 4 (step 2 in FIG. 1), and these are provided on the curved laminate board 20a together with the release film 25, the reference pins 22 and the reference pin receiving holes. The curved-surface laminated substrate 20
get b. By forming the inner layer pattern 27 and stacking the single-sided copper-clad laminate 13 at least once, a stacking step 14a is repeated to form a curved surface multilayer.

【0022】次いで、上記積上げ工程14aの後、5軸
NCで所望の方向に穴が明けられた後穴壁が清浄され
(図1工程15、16)、続いて上記内層パターン27
を層間接続するためにスルーホールめっき17を行って
曲面積層基板20cを得る(図1工程18)。
Then, after the stacking step 14a, the hole wall is cleaned by punching holes in a desired direction by the 5-axis NC (steps 15 and 16 in FIG. 1), and then the inner layer pattern 27 is formed.
Through-hole plating 17 is performed to connect the layers to each other to obtain a curved surface laminated substrate 20c (step 18 in FIG. 1).

【0023】以上のベース成形工程7a、積上げ工程1
4a及び各層接続工程18の後、電着レジストあるいは
スプレー等により銅箔26の上にレジスト膜28を形成
し(図1工程8)、5軸NCを用いてレーザ光29を曲
面上に照射する直接曲面パターニングによってレジスト
パターン30を形成(図1工程9)した後、現像10、
エッチング11及びレジスト剥離12により外層パター
ン32を形成する(図1工程19)ことによって曲面多
層配線板33aが完成する。
The above base forming step 7a and stacking step 1
After 4a and each layer connecting step 18, a resist film 28 is formed on the copper foil 26 by electrodeposition resist, spraying or the like (step 8 in FIG. 1), and a laser beam 29 is irradiated on the curved surface using the 5-axis NC. After forming the resist pattern 30 by direct curved surface patterning (step 9 in FIG. 1), development 10
The curved multilayer wiring board 33a is completed by forming the outer layer pattern 32 by etching 11 and resist stripping 12 (step 19 in FIG. 1).

【0024】実施例2.上記実施例1ではベース成形工
程7a及び積み上げ工程14aにおける曲面積層成形を
上型下型一対の成形治具21を用いて行っているが、図
5及び図6に示すように、オートクレーブ用成形治具3
5と真空用パッキング36を用いた曲面積層成形(図5
工程34)を行う場合について説明する。
Example 2. In the first embodiment, the curved surface layer forming in the base forming step 7a and the stacking step 14a is performed using the pair of upper and lower forming jigs 21. However, as shown in FIGS. Ingredient 3
5 and the curved surface lamination molding using the vacuum packing 36 (see FIG. 5).
The case of performing step 34) will be described.

【0025】ベース成形工程7bでは上記オートクレー
ブ用成形治具35に内層用銅張積層板1と外層用銅張積
層板3及びプリプレグ4を、また積上げ工程14bでは
上記オートクレーブ用成形治具35に曲面積層基板20
dと片面銅張積層板13及びプリプレグ4をレイアップ
5し、これを真空用パッキング36でパックした後真空
プレスする(図5工程34)ことで曲面積層成形を行っ
ているため、曲面積層成形に使用する成形治具が層数に
関係無く一つで済み、曲面多層配線板の製造コストをか
なり低減できるという効果がある。
In the base molding step 7b, the inner layer copper-clad laminate 1 and the outer layer copper-clad laminate 3 and the prepreg 4 are formed on the autoclave molding jig 35, and in the stacking step 14b, the autoclave molding jig 35 is curved. Laminated substrate 20
d and the single-sided copper clad laminate 13 and the prepreg 4 are laid up 5, packed with the vacuum packing 36, and then vacuum-pressed (step 34 in FIG. 5) to perform curved-surface laminate molding. There is an effect that the number of forming jigs to be used for is only one regardless of the number of layers, and the manufacturing cost of the curved multilayer wiring board can be considerably reduced.

【0026】実施例3.次に、図7に示すように、ベー
ス成形工程7を終えた後、5軸NCを用いて穴加工(図
7工程15)を行い、次に穴壁清浄処理16を施した後
スルーホールめっき17を行うブラインド・バイア・ホ
ール形成工程37を実施する場合について説明する。
Example 3. Next, as shown in FIG. 7, after finishing the base forming step 7, hole processing (step 15 in FIG. 7) is performed using the 5-axis NC, and then hole wall cleaning processing 16 is performed and then through-hole plating. The case of performing the blind via hole forming step 37 of 17 will be described.

【0027】ベース成形工程7を終えた後、穴加工(5
軸NC)15、穴壁清浄処理16及びスルーホールめっ
き17を行うブラインド・バイア・ホール形成工程37
を実施してから次工程である積上げ工程14を行ってい
るため、図8に示すように貫通のスルーホール31の他
にブラインド・バイア・ホール38を有する曲面多層配
線板33bを製作することができるという効果がある。
After the base forming step 7 is completed, hole forming (5
Axis NC) 15, hole wall cleaning treatment 16 and through hole plating 17 blind via hole forming step 37
Since the stacking step 14, which is the next step, is performed after the above step, the curved multilayer wiring board 33b having the blind via hole 38 in addition to the through hole 31 can be manufactured as shown in FIG. There is an effect that you can.

【0028】実施例4.次に、図9、図10及び図11
に示すように、ベース成形工程7の後に、必要に応じて
ブラインド・バイヤ・ホール38やインナ・バイヤ・ホ
ール43を形成しレーザ露光(5軸NC)9により内層
パターン27を形成した後片面銅張積層板13をプレス
40により積上げる工程を少なくとも1回以上繰返す場
合について説明する。
Example 4. Next, FIG. 9, FIG. 10 and FIG.
As shown in FIG. 5, after the base molding step 7, a blind via hole 38 and an inner via hole 43 are formed if necessary, and an inner layer pattern 27 is formed by laser exposure (5-axis NC) 9. A case where the step of stacking the stretched laminated plates 13 with the press 40 is repeated at least once will be described.

【0029】この場合、上記実施例1及び上記実施例2
の積上げ工程14の中に、曲面積層基板20にレジスト
膜形成8、レーザ露光(5軸NC)9、現像10、エッ
チング11、レジスト剥離12の順でバイアホールを形
成する部分の銅箔26を除去しその部分にレーザ加工に
より穴を明け(図10工程41)た後穴壁清浄処理16
及びバイアホールめっき42を施すバイアホール形成工
程39を、内層パターン27を形成するためのレジスト
膜形成8の前に入れ、更に上記バイアホール形成工程3
9を必要に応じて実施する製造プロセスとしたため、貫
通のスルーホール31の他にブラインド・バイヤ・ホー
ル38に加えてインナ・バイヤ・ホール43をも形成で
きる効果がある。
In this case, the first embodiment and the second embodiment
In the stacking step 14 of the above, the copper foil 26 is formed on the curved laminated substrate 20 in the order of resist film formation 8, laser exposure (5-axis NC) 9, development 10, etching 11, and resist stripping 12 in this order. After removing and making a hole in the portion by laser processing (step 41 in FIG. 10), hole hole cleaning treatment 16
And a via hole forming step 39 for applying the via hole plating 42 is inserted before the resist film forming 8 for forming the inner layer pattern 27, and the via hole forming step 3
Since 9 is a manufacturing process that is performed as necessary, there is an effect that not only the through-holes 31 penetrating through but also the inner via holes 43 can be formed in addition to the blind via holes 38.

【0030】なお、上記実施例1、上記実施例2、上記
実施例3及び上記実施例4では、ベース成形工程7にお
いて、内層用銅張積層板1と外層用銅張積層板3をプリ
プレグ4を挟んでプレスし得られた曲面積層基板20を
次工程に流しているが、両面銅張積層板を直接プレスし
て曲面積層板20を成形しても同様の効果が得られる。
In the above-mentioned Examples 1, 2, 3 and 4, in the base molding step 7, the inner layer copper-clad laminate 1 and the outer layer copper-clad laminate 3 are prepreg 4 formed. The curved surface laminated substrate 20 obtained by pressing with sandwiching is sandwiched in the next step, but the same effect can be obtained by directly pressing the double-sided copper clad laminated plate to form the curved surface laminated plate 20.

【0031】また、上記実施例4では、バイアホール形
成工程39において、レーザ露光(5軸NC)9により
銅箔26を除去しその部分にレーザ加工によって穴を明
け(図10工程41)ているが、銅箔26を除去せずド
リル加工により穴を明けて穴壁清浄処理16及びバイア
ホールめっき42を行っても同様の効果が得られる。
In the fourth embodiment, in the via hole forming step 39, the copper foil 26 is removed by laser exposure (5-axis NC) 9 and a hole is formed in the portion by laser processing (step 41 in FIG. 10). However, the same effect can be obtained even if the hole wall cleaning treatment 16 and the via hole plating 42 are performed by drilling a hole without removing the copper foil 26.

【0032】実施例5.次に、図12に示すように、上
記ベース成形工程7及び上記積上げ工程14のレイアッ
プ5において、上記内層用銅張積層板1、上記外層用銅
張積層板3及び片面銅張積層板13を、単に銅箔26の
みとしプリプレグ4と合わせてレイアップ5する場合に
ついて説明する。
Example 5. Next, as shown in FIG. 12, in the layup 5 of the base forming step 7 and the stacking step 14, the inner layer copper-clad laminate 1, the outer layer copper-clad laminate 3 and the single-sided copper-clad laminate 13 are stacked. The case of laying up 5 with only the copper foil 26 together with the prepreg 4 will be described.

【0033】この場合、プレス40により曲面積層成形
される絶縁体は半硬化のプリプレグ4だけであるため、
曲面積層成形後の曲面多層配線板33の残存応力を低減
でき、スプリングバック等の無い曲面多層配線板33を
実現できる効果がある。
In this case, the semi-cured prepreg 4 is the only insulator that is curvedly laminated and molded by the press 40.
The residual stress of the curved surface multilayer wiring board 33 after the curved surface lamination molding can be reduced, and the curved surface multilayer wiring board 33 without springback or the like can be realized.

【0034】なお、上記実施例1、上記実施例2、上記
実施例3、上記実施例4及び上記実施例5では、熱硬化
性樹脂系の基板材料を用いているが、熱可塑性樹脂系の
基板材料を用いても同様の効果が得られる。
It should be noted that although the substrate material of thermosetting resin is used in the above-mentioned first embodiment, the second embodiment, the third embodiment, the fourth embodiment and the fifth embodiment, the thermoplastic resin-based substrate material is used. Similar effects can be obtained by using a substrate material.

【0035】[0035]

【発明の効果】この発明は、以上のような製造工程とな
っているため、以下に記載されるような効果を奏する。
The present invention has the above-described manufacturing process, and therefore has the following effects.

【0036】銅張積層板を上型下型一対の成形治具によ
り曲面成形あるいは曲面積層成形して得られるベースの
曲面積層基板に、レーザ露光により曲面パターン形成を
行ってはその上に片面銅張積層板を上型下型一対の成形
治具により一層積上げ、また曲面パターン形成を行って
は一層積上げることを繰返して曲面多層配線板を製作す
るため、内外層ともランドやパターンの高い曲面位置精
度を得ることができ、更に、全層レーザ露光による曲面
パターニングを行っているため、円筒形状等の一方向だ
けに曲がっている曲面多層配線板のみでなく、部分球面
等の絞りの入った任意の曲面形状を持つ曲面多層配線板
をも得ることができる効果がある。
A curved surface pattern is formed by laser exposure on a curved surface laminated substrate of a base obtained by forming a curved surface of the copper clad laminated plate with a pair of upper mold lower molds or a curved laminated molding, and then a single-sided copper is formed on it. Curved multilayer wiring boards are manufactured by stacking the stretched laminated board further by a pair of upper and lower molds, then forming curved surface patterns, and then stacking further. Position accuracy can be obtained, and since curved patterning is performed by laser exposure on all layers, not only curved multilayer wiring boards bent in one direction such as cylindrical shape but also apertures such as partial spherical surfaces are included. There is an effect that a curved surface multilayer wiring board having an arbitrary curved surface shape can be obtained.

【0037】また、ベースとなる曲面積層基板あるいは
この上に片面銅張積層板を積上げていくためのプレスの
成形治具に、上型下型一対の成形治具の代わりにオート
クレーブ用成形治具を使用し、更に曲面積層基板あるい
は片面銅張積層板やプリプレグをレイアップして真空用
パッキングした後真空プレスすることにより、層数に関
係無く一種類の成形治具だけで曲面多層化ができる効果
が得られる。
Further, as a molding jig for a press for stacking a curved surface laminated substrate as a base or a single-sided copper clad laminated plate on this, a molding jig for an autoclave is used instead of a pair of molding jigs for an upper die and a lower die. Using a curved surface laminated board or a single-sided copper clad laminated board or prepreg and packing for vacuum and then vacuum pressing, curved surface multilayering can be performed with only one type of molding jig regardless of the number of layers. The effect is obtained.

【0038】また、ベース成形工程で得られた曲面積層
基板に5軸NCを用いて穴加工を行いスルーホールめっ
きを施してから次の積上げ工程に入るため、ブラインド
・バイア・ホールを有する曲面多層配線板が得られる効
果がある。
Further, since the curved laminated substrate obtained in the base forming step is subjected to through hole plating using the 5-axis NC and through hole plating is performed before the next stacking step, the curved multilayer board having blind via holes is formed. There is an effect that a wiring board can be obtained.

【0039】また、ベース成形工程の次工程である積上
げ工程に、必要に応じてレーザ加工あるいはドリル加工
を行ってバイアホールを形成するバイアホール形成工程
を入れることによって、貫通のスルーホールだけでなく
ブラインド・バイア・ホールやインナ・バイア・ホール
を有する曲面多層配線板を得ることができ、パターン密
度を向上できる効果がある。
In addition, not only through-holes but also through-holes can be formed by adding a via-hole forming step of forming a via hole by performing laser processing or drilling as required in the stacking step which is the next step of the base forming step. It is possible to obtain a curved multilayer wiring board having blind via holes and inner via holes, and it is possible to improve the pattern density.

【0040】また、ベース成形工程や積上げ工程に用い
る銅張積層板を銅箔のみとし、これとプリプレグとを成
形治具にレイアップしプレスすることによって、多層化
により得られる曲面多層配線板の残存応力を低減でき、
スプリングバック等の無いより理論曲面に一致した曲面
を有する曲面多層配線板を得ることができる効果があ
る。
Further, the copper clad laminate used in the base forming step and the stacking step is made of only copper foil, and this and the prepreg are laid up on a forming jig and pressed to form a curved multilayer wiring board. Residual stress can be reduced,
There is an effect that it is possible to obtain a curved multilayer wiring board having a curved surface that conforms to the theoretical curved surface without springback or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1を示す曲面多層配線板の製
造工程図である。
FIG. 1 is a manufacturing process diagram of a curved multilayer wiring board showing Example 1 of the present invention.

【図2】この発明の実施例1における曲面積層成形及び
内層パターン形成を示す積上げ工程の断面側面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional side view of a stacking step showing curved surface layer forming and inner layer pattern formation in Example 1 of the present invention.

【図3】この発明の実施例1における外層パターン形成
を示す断面側面図である。
FIG. 3 is a sectional side view showing formation of an outer layer pattern according to the first embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施例1によって得られる曲面多層
配線板の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of a curved multilayer wiring board obtained according to Example 1 of the present invention.

【図5】この発明の実施例2を示す曲面多層配線板の製
造工程図である。
FIG. 5 is a manufacturing process diagram of a curved multilayer wiring board showing Embodiment 2 of the present invention.

【図6】この発明の実施例2における真空用パッキング
後の真空プレスを示す断面側面図である。
FIG. 6 is a sectional side view showing a vacuum press after vacuum packing according to a second embodiment of the present invention.

【図7】この発明の実施例3を示す曲面多層配線板の製
造工程図である。
FIG. 7 is a manufacturing process drawing of a curved multilayer wiring board showing Embodiment 3 of the present invention.

【図8】この発明の実施例3によって得られる曲面多層
配線板の断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view of a curved multilayer wiring board obtained according to Example 3 of the present invention.

【図9】この発明の実施例4を示す曲面多層配線板の製
造工程図である。
FIG. 9 is a manufacturing process drawing of a curved multilayer wiring board showing Embodiment 4 of the present invention.

【図10】この発明の実施例4におけるバイアホール形
成工程を示す製造工程図である。
FIG. 10 is a manufacturing process diagram showing a via hole forming process in Embodiment 4 of the present invention.

【図11】この発明の実施例4によって得られる曲面多
層配線板の断面図である。
FIG. 11 is a sectional view of a curved multilayer wiring board obtained according to Example 4 of the present invention.

【図12】この発明の実施例5における銅箔及びプリプ
レグを用いた曲面積層成形の工程図である。
FIG. 12 is a process drawing of curved surface lamination molding using a copper foil and a prepreg in Example 5 of the present invention.

【図13】従来の曲面多層配線板の製造工程を示す製造
工程図である。
FIG. 13 is a manufacturing process diagram showing a manufacturing process of a conventional curved multilayer wiring board.

【図14】従来の曲面多層配線板の製造工程における曲
面積層成形を示す断面図である。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing curved surface layer forming in a conventional manufacturing process of a curved surface multilayer wiring board.

【図15】従来の曲面多層配線板の製造工程における外
層パターン形成を示す断面側面図である。
FIG. 15 is a cross-sectional side view showing formation of an outer layer pattern in a conventional process for manufacturing a curved multilayer wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 内層用銅張積層板 2 基準穴加工 3 外層用銅張積層板 4 プリプレグ 5 レイアップ 6 ヒートプレス 7 ベース成形工程 8 レジスト膜形成 9 レーザ露光(5軸NC) 10 現像 11 エッチング 12 レジスト剥離 13 片面銅張積層板 14 積上げ工程 15 穴加工(5軸NC) 16 穴壁清浄処理 17 スルーホールめっき 18 各層接続工程 19 外層パターン形成工程 20 曲面積層基板 21 成形治具 22 基準ピン 23 基準ピン受け穴 24 ヒーター 25 離型フィルム 26 銅箔 27 内層パターン 28 レジスト膜 29 レーザ光 30 レジストパターン 31 スルーホール 32 外層パターン 33 曲面多層配線板 34 真空用パッキング後真空プレス 35 オートクレーブ用成形治具 36 真空用パッキング 37 ブラインド・バイア・ホール形成工程 38 ブラインド・バイア・ホール 39 バイアホール形成工程 40 プレス 41 レーザ穴加工(5軸NC) 42 バイアホールめっき 43 インナ・バイア・ホール 44 内層パターン形成 45 積層工程 46 平面内層基板 1 Copper Clad Laminate for Inner Layer 2 Reference Hole Machining 3 Copper Clad Laminate for Outer Layer 4 Prepreg 5 Lay-up 6 Heat Press 7 Base Forming Process 8 Resist Film Formation 9 Laser Exposure (5-axis NC) 10 Development 11 Etching 12 Resist Stripping 13 Single-sided copper-clad laminate 14 Stacking process 15 Hole processing (5-axis NC) 16 Hole wall cleaning treatment 17 Through hole plating 18 Each layer connection process 19 Outer layer pattern forming process 20 Curved laminated substrate 21 Forming jig 22 Reference pin 23 Reference pin receiving hole 24 Heater 25 Release Film 26 Copper Foil 27 Inner Layer Pattern 28 Resist Film 29 Laser Light 30 Resist Pattern 31 Through Hole 32 Outer Layer Pattern 33 Curved Multilayer Wiring Board 34 Vacuum Packing and Vacuum Press 35 Autoclave Molding Tool 36 Vacuum Packing 37 Blind buy A hole forming process 38 Blind via hole 39 Via hole forming process 40 Press 41 Laser hole processing (5-axis NC) 42 Via hole plating 43 Inner via hole 44 Inner layer pattern formation 45 Laminating process 46 Planar inner layer substrate

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基準穴を加工した両面銅張積層板あるい
はプリプレグと2枚の片面銅張積層板を上型下型一対の
成形治具にレイアップしヒートプレスによって曲面積層
成形を行うベース成形工程、上記ベース成形工程後レジ
スト膜を形成しレーザ露光によって内層パターンを形成
した曲面基板と基準穴を加工した片面銅張積層板をプリ
プレグを介して上型下型一対の成形治具にレイアップし
ヒートプレスによって曲面積層成形を行う工程を少なく
とも1回以上繰返す積上げ工程、上記積上げ工程によっ
て得られる曲面積層基板にスルーホール穴加工及びスル
ーホールめっきを施す各層接続工程、及び上記各層接続
工程によって得られる曲面積層基板にレジスト膜を形成
しレーザ露光を行う外層パターン形成工程を有する曲面
多層配線板の製造方法。
1. A base molding in which a double-sided copper-clad laminate having a reference hole processed or a prepreg and two single-sided copper-clad laminates are laid up on a pair of molding jigs for an upper die and a lower die to perform curved laminating molding by heat pressing. Step, after the above base molding step, a resist film is formed, and a curved surface board on which an inner layer pattern is formed by laser exposure and a single-sided copper clad laminate processed with reference holes are laid up on a pair of molding jigs of an upper die and a lower die via a prepreg. Then, a stacking step in which the step of performing curved surface lamination molding by heat pressing is repeated at least once, each layer connecting step of performing through hole hole processing and through hole plating on the curved surface laminated substrate obtained by the stacking step, and each layer connecting step are obtained. Of curved surface multilayer wiring board having outer layer pattern forming step of forming resist film on curved curved surface laminated substrate and performing laser exposure Law.
【請求項2】 基準穴を加工した両面銅張積層板あるい
はプリプレグと2枚の片面銅張積層板をオートクレーブ
用の成形治具にレイアップし、これを真空用パッキング
でパックした後真空プレスすることよって曲面積層成形
を行うベース成形工程、上記ベース成形工程後レジスト
膜を形成しレーザ露光によって内層パターンを形成した
曲面基板と基準穴を加工した片面銅張積層板をプリプレ
グを介して上型下型一対の成形治具にレイアップしヒー
トプレスによって曲面積層成形を行う工程を少なくとも
1回以上繰返す積上げ工程、上記積上げ工程によって得
られる曲面積層基板にスルーホール穴加工及びスルーホ
ールめっきを施す各層接続工程、及び上記各層接続工程
によって得られる曲面積層基板にレジスト膜を形成しレ
ーザ露光を行う外層パターン形成工程を有する曲面多層
配線板の製造方法。
2. A double-sided copper-clad laminate having a reference hole formed therein or a prepreg and two single-sided copper-clad laminates are laid up on a molding jig for an autoclave, packed with vacuum packing, and then vacuum-pressed. Therefore, the base molding process for performing curved surface layered molding, the curved surface substrate on which the resist film is formed after the base molding step and the inner layer pattern is formed by laser exposure, and the single-sided copper clad laminated plate on which the reference hole is processed, through the prepreg. Stacking step in which the step of laying up on a pair of molding jigs of a mold and performing curved surface lamination molding by heat pressing is repeated at least once, and each layer connection for performing through-hole processing and through-hole plating on the curved surface laminated substrate obtained by the stacking step Step, and an outer layer for forming a resist film on the curved laminated substrate obtained by the above-mentioned each layer connecting step and performing laser exposure A method for manufacturing a curved multilayer wiring board having a pattern forming step.
【請求項3】 ベース成形工程と積上げ工程の間にスル
ーホール穴加工及びスルーホールめっきを行うブライン
ド・バイア・ホール形成工程を有することを特徴とする
請求項第1項又は第2項記載の曲面多層配線板の製造方
法。
3. The curved surface according to claim 1, further comprising a blind via hole forming step of performing through hole processing and through hole plating between the base forming step and the stacking step. Manufacturing method of multilayer wiring board.
【請求項4】 積上げ工程を、必要に応じてレーザ加工
またはドリル加工によるバイアホール形成工程を行った
後レーザ露光によって内層パターンを形成した曲面積層
基板と基準穴を加工した片面銅張積層板をプリプレグを
介してプレスにより曲面積層成形する工程を少なくとも
1回以上繰返す工程としたことを特徴とする請求項第1
項又は第2項記載の曲面多層配線板の製造方法。
4. A curved laminated board having an inner layer pattern formed by laser exposure after a stacking step, if necessary, a via hole forming step by laser processing or drilling, and a single-sided copper clad laminated board having a reference hole formed therein. The step of repeating the curved surface layer forming by pressing through a prepreg is repeated at least once.
Item 2. A method for manufacturing a curved multilayer wiring board according to item 2 or item 2.
【請求項5】 基準穴を加工した銅箔とプリプレグを成
形治具にレイアップしプレスによって曲面積層成形を行
うベース成形工程、上記ベース成形工程後レジスト膜を
形成しレーザ露光によって内層パターンを形成した曲面
基板と基準穴を加工した銅箔をプリプレグを介して成形
治具にレイアップしプレスによって曲面積層成形を行う
工程を少なくとも1回以上繰返す積上げ工程、上記積上
げ工程によって得られる曲面積層基板にスルーホール穴
加工及びスルーホールめっきを施す各層接続工程、及び
上記各層接続工程によって得られる曲面積層基板にレジ
スト膜を形成しレーザ露光を行う外層パターン形成工程
を有する曲面多層配線板の製造方法。
5. A base forming step of laying up a copper foil having a reference hole and a prepreg on a forming jig and performing curved surface layer forming by pressing, a resist film is formed after the base forming step, and an inner layer pattern is formed by laser exposure. The step of laying up the curved board and the copper foil having the reference holes processed into a forming jig via a prepreg and performing the curved surface lamination molding by a press at least one or more times. A method for manufacturing a curved multilayer wiring board, comprising: each layer connecting step of performing through hole drilling and through hole plating; and an outer layer pattern forming step of forming a resist film on a curved layered substrate obtained by each of the above layer connecting steps and performing laser exposure.
【請求項6】 積上げ工程を、必要に応じてレーザ加工
またはドリル加工によるバイアホール形成工程を行った
後レーザ露光によって内層パターンを形成した曲面積層
基板と基準穴を加工した銅箔をプリプレグを介してプレ
スにより曲面積層成形する工程を少なくとも1回以上繰
返す工程としたことを特徴とする請求項第5項記載の曲
面多層配線板の製造方法。
6. A curved laminated substrate having an inner layer pattern formed by laser exposure and a copper foil having a reference hole processed through a prepreg through a stacking step, a via hole forming step by laser processing or drilling if necessary. 6. The method for manufacturing a curved multilayer wiring board according to claim 5, wherein the step of forming the curved surface laminate by pressing is repeated at least once.
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